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1、传感器与检测技术基础 电容式传感器第1页，共86页，编辑于2022年，星期四电容式接近开关电容式接近开关电容式指纹传感器电容式指纹传感器电容式变送器电容式变送器差压传感器各种电容式传感器各种电容式传感器第2页，共86页，编辑于2022年，星期四 以电容器为敏感元件，将机械位移以电容器为敏感元件，将机械位移量转换为电容量变化的传感器称为电容量转换为电容量变化的传感器称为电容式传感器。式传感器。第3页，共86页，编辑于2022年，星期四电容式位移传感器的位移测量范围在电容式位移传感器的位移测量范围在1um10mm1um10mm之间，变极距式电容传感之间，变极距式电容传感器的测量精度约为器的测量精度
2、约为2%2%。变面积式电容。变面积式电容传感器的测量精度较高，其分辨率可达传感器的测量精度较高，其分辨率可达0.3um0.3um。第4页，共86页，编辑于2022年，星期四 S 极板的遮盖面积，单位为极板的遮盖面积，单位为m2；极板间介质的介电系数；极板间介质的介电系数；两平行极板间的距离，单位为两平行极板间的距离，单位为m；0 真空的介电常数，真空的介电常数，0=8.85410-12 F/m；r 极板间介质的相对介电常数，对于空气介质，极板间介质的相对介电常数，对于空气介质，r 1。3 3.1 .1 电容式传感器的工作原理及特性电容式传感器的工作原理及特性3.1.1 3.1.1 基本工作原理
3、基本工作原理平行极板电容器的电容量为：平行极板电容器的电容量为：第5页，共86页，编辑于2022年，星期四3.1.2 3.1.2 电容式传感器的类型和特性电容式传感器的类型和特性 1.1.变极距型电容传感器变极距型电容传感器 第6页，共86页，编辑于2022年，星期四极板极板1极板极板2图图3-1 3-1 变极距型电容传感器变极距型电容传感器C00 0CC0 0图图3-2 3-2 C C-特性曲线特性曲线第7页，共86页，编辑于2022年，星期四下极板上移：下极板上移：设动片未移动时极板间距为设动片未移动时极板间距为 0 0初始电容量为：初始电容量为：电容的相对变化量为：电容的相对变化量为：第
4、8页，共86页，编辑于2022年，星期四略去高次项，得：略去高次项，得：所以变极距型电容传感器在设计时要考虑满所以变极距型电容传感器在设计时要考虑满足足 0 0的条件。且一般的条件。且一般 只能在极小的只能在极小的范围内变化。范围内变化。第9页，共86页，编辑于2022年，星期四非线性误差与非线性误差与/0 0有关。其表达式为：有关。其表达式为：传感器的灵敏度为：传感器的灵敏度为：第10页，共86页，编辑于2022年，星期四差动式变间隙型电容传感器差动式变间隙型电容传感器动极板上移：动极板上移：初始位置时，初始位置时，动极板动极板动极板动极板定极板定极板定极板定极板定极板定极板定极板定极板C1
5、 1C2 2第11页，共86页，编辑于2022年，星期四第12页，共86页，编辑于2022年，星期四提高一倍提高一倍减小减小略去高次项：略去高次项：电容量的相对变化为电容量的相对变化为 ：非线性误差为：非线性误差为：灵敏度：灵敏度：第13页，共86页，编辑于2022年，星期四角位移变面积型角位移变面积型2.2.变面积型电容传感器变面积型电容传感器 第14页，共86页，编辑于2022年，星期四显然：电容显然：电容C C 与角位移与角位移 呈线性关系。呈线性关系。动片动片定片定片（a a）角位移式）角位移式第15页，共86页，编辑于2022年，星期四板状线位移变面积型板状线位移变面积型第16页，共
6、86页，编辑于2022年，星期四线性线性 当其中一个极板发生当其中一个极板发生x位移后，改变了两极板间位移后，改变了两极板间的遮盖面积的遮盖面积S，电容量，电容量C同同样随之变化。样随之变化。b（b b）直线位移式）直线位移式ax第17页，共86页，编辑于2022年，星期四同心圆筒形线位移电容式传感器同心圆筒形线位移电容式传感器第18页，共86页，编辑于2022年，星期四D0D1La圆柱形电容式线位移传感器圆柱形电容式线位移传感器初始电容初始电容C C0 0为：为：当覆盖长度变化时，电容量也当覆盖长度变化时，电容量也随之变化。当内筒上移为随之变化。当内筒上移为a 时，时，内外筒间的电容内外筒间
7、的电容C1为：为：第19页，共86页，编辑于2022年，星期四(a)(a)厚度传感器厚度传感器x3.3.变介电常数型电容传感器变介电常数型电容传感器 (a)(a)单组式平板形厚度传感器单组式平板形厚度传感器 图图3-6 3-6 厚度传感器的等效电路厚度传感器的等效电路CC1C2C3设固定极板长度为设固定极板长度为a、宽度为、宽度为b、两极板间的距离为、两极板间的距离为；被测物的厚度和它的介电常数分别为；被测物的厚度和它的介电常数分别为x和和,则则第20页，共86页，编辑于2022年，星期四1CBld2d12xCA(b)(b)(b)(b)线位移传感器线位移传感器线位移传感器线位移传感器图图图图3
8、-7 3-7 3-7 3-7 线位移传感器等效电路线位移传感器等效电路线位移传感器等效电路线位移传感器等效电路CACBC单组式平板形线位移传感器单组式平板形线位移传感器 设极板宽度为设极板宽度为b b，板间无介质，板间无介质 2 2 时，传感器的时，传感器的电容量为：电容量为：第21页，共86页，编辑于2022年，星期四插入介质插入介质 2 2 后的电容量为：后的电容量为：所以所以该式表明：电容量该式表明：电容量C与位移与位移x成线性关系。成线性关系。第22页，共86页，编辑于2022年，星期四(c)(c)(c)(c)液位传感器液位传感器液位传感器液位传感器2r22r1hhx图图3-8 3-8
9、 液位传感器的等效电路液位传感器的等效电路C2C1C圆筒式液位传感器圆筒式液位传感器 其中其中 第23页，共86页，编辑于2022年，星期四例例3-13-1 某电容式液位传感器由直径为某电容式液位传感器由直径为40mm40mm和和8mm8mm的的两个同心圆柱体组成。储存灌也是圆柱形，直径为两个同心圆柱体组成。储存灌也是圆柱形，直径为50cm50cm，高为，高为1.2m1.2m。被储存液体的。被储存液体的rr 2.12.1。计算传感。计算传感器的最小电容和最大电容以及当传感器用在该储存灌内器的最小电容和最大电容以及当传感器用在该储存灌内时的灵敏度。时的灵敏度。解：因为解：因为所以所以第24页，共
10、86页，编辑于2022年，星期四同理，当被测液位高度最大，即同理，当被测液位高度最大，即hx=h=1.2m时时传感器的电容量最大。传感器的电容量最大。第25页，共86页，编辑于2022年，星期四图5-5 变面积型电容传感器原理图 储存灌的容积为：储存灌的容积为：故传感器的灵敏度为：故传感器的灵敏度为：第26页，共86页，编辑于2022年，星期四3 3.2 .2 电容式传感器的测量电路电容式传感器的测量电路3.2.1 3.2.1 电容传感器的等效电路电容传感器的等效电路图图3-9 3-9 电容传感器等效电路电容传感器等效电路RP（a）CRLC（b）第27页，共86页，编辑于2022年，星期四3.
11、2.2 3.2.2 电容传感器的测量电路电容传感器的测量电路 1.1.电桥电路电桥电路 图图3-10 3-10 电容传感器构成的交流电桥电容传感器构成的交流电桥UCr1C（a）RRUSCCr1R（b）RCr2USCU第28页，共86页，编辑于2022年，星期四（c）USCUCr1Cr2CC（d）UCr1Cr2USCLL图图3-10 3-10 电容传感器构成的交流电桥电容传感器构成的交流电桥另两个臂是紧耦合电感臂的电桥具有较高的另两个臂是紧耦合电感臂的电桥具有较高的灵敏度和稳定性，且寄生电容影响极小、大灵敏度和稳定性，且寄生电容影响极小、大大简化了电桥的屏蔽和接地，适合于高频电大简化了电桥的屏蔽
12、和接地，适合于高频电源下工作。源下工作。第29页，共86页，编辑于2022年，星期四图图3-11 3-11 变压器式变压器式 交流电桥交流电桥Cr1Cr2USCU变压器电桥使用变压器电桥使用元件最少元件最少，桥路，桥路内阻最小内阻最小，因此目前较多采用。因此目前较多采用。差动式电容传感器接入变压器式电桥，当放差动式电容传感器接入变压器式电桥，当放大器输入阻抗极大时，对任何类型的电容式大器输入阻抗极大时，对任何类型的电容式传感器，电桥输出电压与输入位移均成线性传感器，电桥输出电压与输入位移均成线性关系。关系。第30页，共86页，编辑于2022年，星期四Cr1Cr2USC图图3-12 3-12 电
13、桥测量电路电桥测量电路放大放大放大放大振荡器振荡器振荡器振荡器相敏相敏检波检波滤波器滤波器滤波器滤波器在要求精度很高的场合，可采用自动平衡电桥；传在要求精度很高的场合，可采用自动平衡电桥；传感器必须工作在平衡位置附近，否则电桥非线性增感器必须工作在平衡位置附近，否则电桥非线性增大；大；接有电容传感器的交流电桥输出阻抗很高，输出接有电容传感器的交流电桥输出阻抗很高，输出电压幅值又小，所以必须后接高输入阻抗放大器电压幅值又小，所以必须后接高输入阻抗放大器将信号放大后才能测量。将信号放大后才能测量。由于电桥输出电由于电桥输出电压与电源电压成压与电源电压成比例，因此比例，因此要要求电源电压波求电源电压
14、波动极小，需采动极小，需采用稳幅、稳频用稳幅、稳频等措施等措施，第31页，共86页，编辑于2022年，星期四2.2.运算放大器电路运算放大器电路 图图3-13 3-13 运算放大器运算放大器测量电路测量电路CxC0-AUUSCIiIxIC Cx x为传感器，为传感器，为传感器，为传感器，C C0 0为固定电容。为固定电容。为固定电容。为固定电容。当运算放大器输入阻抗很高、当运算放大器输入阻抗很高、当运算放大器输入阻抗很高、当运算放大器输入阻抗很高、增益很大时，可认为运算放增益很大时，可认为运算放增益很大时，可认为运算放增益很大时，可认为运算放大器输入电流为零，根据克大器输入电流为零，根据克大器
15、输入电流为零，根据克大器输入电流为零，根据克希霍夫定律，有：希霍夫定律，有：希霍夫定律，有：希霍夫定律，有：第32页，共86页，编辑于2022年，星期四如果传感器是一只平行板电容，则：如果传感器是一只平行板电容，则：代入（代入（3-203-20）式得：）式得：可见运算放大器的输出电压与动极板的板间可见运算放大器的输出电压与动极板的板间距离距离 成正比。运算放大器电路解决了单个成正比。运算放大器电路解决了单个变极距型电容传感器的非线性问题。变极距型电容传感器的非线性问题。上式是在运算放大器的放大倍数和输入阻上式是在运算放大器的放大倍数和输入阻抗无限大的条件下得出的，实际上该测量抗无限大的条件下得
16、出的，实际上该测量电路仍然存在一定的非线性。电路仍然存在一定的非线性。第33页，共86页，编辑于2022年，星期四3.3.二极管双二极管双T T形电路形电路图图图图3-14 3-14 3-14 3-14 二极管双二极管双二极管双二极管双T T T T形电路形电路形电路形电路(a)C2C1UERLR1R2i1i2+若将二极管理想化，则正半周时，二极管若将二极管理想化，则正半周时，二极管D D1 1导通、导通、D D2 2截止，电容截止，电容C C1 1被以极短的时间充电至被以极短的时间充电至U UE E ，电容，电容C C2 2的的电压初始值为电压初始值为 U UE E ，电源经，电源经R R1
17、 1以以i i1 1向向R RL L供电，而电容供电，而电容C C2 2经经R R2 2、R RL L放电，流过放电，流过R RL L 的放电电流为的放电电流为i i2 2，流过，流过R RL L 的的总电流总电流i iL L为为i i1 1 和和i i2 2的代数和。的代数和。0-R2R1RLC2C1D1D2iC1iC2+UE+第34页，共86页，编辑于2022年，星期四(b)UE+i2 R1R2C1C2RL+i1 在负半周时，二极管在负半周时，二极管D D2 2导通、导通、D D1 1截止，电容截止，电容C C2 2很快被充电至电压很快被充电至电压U UE E；电源经电阻；电源经电阻R R
18、2 2以以i i1 1 向向负载电阻负载电阻R RL L供电，与此同时，电容供电，与此同时，电容C C1 1经电阻经电阻R R1 1、负载电阻负载电阻R RL L 放电，流过放电，流过R RL L 的放电电流为的放电电流为i i2 2。流过流过R RL L的总电流的总电流i iL L 为为i i1 1 和和i i2 2 的代数和。的代数和。0-R2R1RLC2C1D1D2iC1iC2+UE+第35页，共86页，编辑于2022年，星期四根据一阶电路时域分析的三要素法，可直接得到根据一阶电路时域分析的三要素法，可直接得到电容电容C C2 2的电流的电流i i 2 2如下：如下：在在 时时,电流电流
19、i i2 2的平均值的平均值I I2 2可写成可写成第36页，共86页，编辑于2022年，星期四电容电容C C1 1上的平均电流为上的平均电流为:故在负载故在负载R RL L上产生的电压为：上产生的电压为：当当R RL L已知时，已知时，为常数，设为为常数，设为K K，则，则输出电压不仅与电源电压的频率和幅值有关，而且与输出电压不仅与电源电压的频率和幅值有关，而且与T T形网络中的电容形网络中的电容C C1 1和和C C2 2的差值有关。当的差值有关。当电源电压确定电源电压确定后，输出电压只是电容后，输出电压只是电容C C1 1和和C C2 2 的函数的函数。第37页，共86页，编辑于2022
20、年，星期四双双T T电路的特点：电路的特点：线路简单，可全部放在探头内，大大缩短了电线路简单，可全部放在探头内，大大缩短了电容引线、减小了分布电容的影响；容引线、减小了分布电容的影响；电源周期、幅值直接影响灵敏度，要求它们电源周期、幅值直接影响灵敏度，要求它们高度稳定；高度稳定；输出阻抗为输出阻抗为R R，而与电容无关，克服了电容式，而与电容无关，克服了电容式传感器高内阻的缺点；传感器高内阻的缺点；适用于具有线性特性的单组式和差动式电适用于具有线性特性的单组式和差动式电容式传感器。容式传感器。第38页，共86页，编辑于2022年，星期四又称又称差动脉冲调宽差动脉冲调宽 电路电路利用对传感器电容
21、的充放电使电路输出脉冲的宽度随利用对传感器电容的充放电使电路输出脉冲的宽度随传感器电容量变化而变化。通过低通滤波器得到对应传感器电容量变化而变化。通过低通滤波器得到对应被测量变化的直流信号。被测量变化的直流信号。C C C C1 1 1 1、C C C C2 2 2 2为差动式传感器的两为差动式传感器的两为差动式传感器的两为差动式传感器的两个电容，若用单组式，则其中个电容，若用单组式，则其中个电容，若用单组式，则其中个电容，若用单组式，则其中一个为固定电容，其电容值与一个为固定电容，其电容值与一个为固定电容，其电容值与一个为固定电容，其电容值与传感器电容初始值相等；传感器电容初始值相等；传感器
22、电容初始值相等；传感器电容初始值相等；A A A A1 1 1 1、A A A A2 2 2 2是两个比较器，是两个比较器，是两个比较器，是两个比较器，U UU Ur r r r为其参为其参为其参为其参考电压。考电压。考电压。考电压。图图图图3-16 3-16 3-16 3-16 差动脉冲调宽电路差动脉冲调宽电路差动脉冲调宽电路差动脉冲调宽电路R2D1D2ABR1C1C2U0FUrG+-+-QQRS双稳态触发器A2A14 4、差动脉宽调制电路、差动脉宽调制电路第39页，共86页，编辑于2022年，星期四当接通电源后，若触发器当接通电源后，若触发器Q Q端为高电平端为高电平(U U1 1)，端为
23、低电平端为低电平(0)(0)，则触发器通过，则触发器通过R R1 1对对C C1 1充电；充电；当当F F点电位点电位U UF F 升到与参考电压升到与参考电压U Ur r 相等时，比较相等时，比较器器A A1 1产生一脉冲使触发器翻转，从而使产生一脉冲使触发器翻转，从而使Q Q端为端为低电平，低电平，端为高电平端为高电平(U U1 1)。此时，电容。此时，电容C C1 1通通过二极管过二极管DD1 1迅速放电至零，而触发器由迅速放电至零，而触发器由 端端经经R R2 2向向C C2 2充电；当充电；当G G点电位点电位U UG G与参考电压与参考电压U Ur r相相等时，比较器等时，比较器A
24、 A2 2输出一脉冲使触发器翻转，此输出一脉冲使触发器翻转，此时，电容时，电容C C2 2通过二极管通过二极管D D2 2迅速放电至零，如迅速放电至零，如此交替激励。此交替激励。第40页，共86页，编辑于2022年，星期四 显然，电路充放电的时间，即触发器输出显然，电路充放电的时间，即触发器输出方波脉冲的宽度受电容方波脉冲的宽度受电容C C1 1、C C2 2的调制。当的调制。当C C1 1=C C2 2 时，电路各点的电压波形如图时，电路各点的电压波形如图3-3-17(a)17(a)所示，所示，QQ和和 两端电平的脉冲宽度相两端电平的脉冲宽度相等，两端间的平均电压为零。当差动电容等，两端间的
25、平均电压为零。当差动电容C C1 1和和C C2 2的值不相等，例如的值不相等，例如C C1 1C C2 2时，时，C C1 1和和C C2 2充充放电时间常数发生变化，电路中各点的电压波放电时间常数发生变化，电路中各点的电压波形如图形如图3-17(b)3-17(b)所示。所示。第41页，共86页，编辑于2022年，星期四tuAuAuBuBuABuABUFUFUGUGUrUrUrUr-U1U1T1U1-U10000000000T2U1U1U1U1T1T2ttttttttt(a)(b)差动脉冲调宽电路各点电压波形图U0第42页，共86页，编辑于2022年，星期四根据电路知识可知：根据电路知识可知
26、：U UA A、U UB BA A点和点和B B点的矩形脉冲的直流分量；点的矩形脉冲的直流分量；T T1 1、T T2 2 分别为分别为C C1 1和和C C2 2的充电时间；的充电时间；U U1 1触发器输出的高电位。触发器输出的高电位。C C1 1、C C2 2的充电时间的充电时间T T1 1、T T2 2为：为：第43页，共86页，编辑于2022年，星期四A A、B B两点间的电压经低通滤波器滤波后获得，两点间的电压经低通滤波器滤波后获得，等于等于A A、B B两点电压平均值两点电压平均值U UA A与与U UB B之差，之差，设设R1 1R2 2R，则则 说明差动脉冲调制电路输出的说明
27、差动脉冲调制电路输出的直流电压与传感直流电压与传感器两电容差值成正比。器两电容差值成正比。第44页，共86页，编辑于2022年，星期四对于差动式变极距型电容传感器：对于差动式变极距型电容传感器：对于差动式变面积型电容传感器来说，设电对于差动式变面积型电容传感器来说，设电容器初始有效面积为容器初始有效面积为S S0 0，变化量为，变化量为 S S，则滤，则滤波器输出为：波器输出为：第45页，共86页，编辑于2022年，星期四可见可见差动脉冲调宽电路能适用于任何差动差动脉冲调宽电路能适用于任何差动式电容传感器，并具有理论上的线性特性式电容传感器，并具有理论上的线性特性。该电路采用直流电源，电压稳定
28、度高，不存该电路采用直流电源，电压稳定度高，不存在稳频、波形纯度的要求，也不需要相敏检在稳频、波形纯度的要求，也不需要相敏检波与解调等；对元件无线性要求；经低通滤波与解调等；对元件无线性要求；经低通滤波器可输出较大的直流电压，对输出矩形波波器可输出较大的直流电压，对输出矩形波的纯度要求也不高。的纯度要求也不高。第46页，共86页，编辑于2022年，星期四5 5、调频电路、调频电路振荡回路固有电容传感器电容引线分布电容图图3-18 3-18 调频式测量电路原理框图调频式测量电路原理框图Cxf振荡器振荡器uf限幅限幅放大器放大器uL鉴频器鉴频器第47页，共86页，编辑于2022年，星期四被测信号被
29、测信号被测信号被测信号调频信号调频信号调频信号调频信号鉴频信号鉴频信号鉴频信号鉴频信号调频电路的优点：调频电路的优点：调频电路的优点：调频电路的优点：抗干扰能力强抗干扰能力强抗干扰能力强抗干扰能力强 特性稳定特性稳定特性稳定特性稳定 高电平直流信号高电平直流信号高电平直流信号高电平直流信号 易于接口易于接口易于接口易于接口Cxf振荡器振荡器uf限幅限幅放大器放大器uL鉴频器鉴频器第48页，共86页，编辑于2022年，星期四3 3.3 .3 电容式传感器的特点及设计电容式传感器的特点及设计 与应用中存在的问题与应用中存在的问题 3.3.1 3.3.1 电容传感器的特点电容传感器的特点1 1电容式
30、传感器的优点电容式传感器的优点 （1 1）温度稳定性好）温度稳定性好 传传感感器器的的电电容容值值一一般般与与电电极极材材料料无无关关，仅仅取取决决于于电电极极的的几几何何尺尺寸寸，且且空空气气等等介介质质损损耗耗很很小小，只只要要从从强强度度、温温度度系系数数等等机机械械特特性性考考虑虑，合合理理选选择择材材料料和和几几何何尺尺寸寸其其他他因因素素(因因本本身身发发热热极小极小)影响甚微。影响甚微。第49页，共86页，编辑于2022年，星期四（2 2）结构简单，适应性强）结构简单，适应性强 电容式传感器结构简单，易于制造。能在高低电容式传感器结构简单，易于制造。能在高低温、强辐射及强磁场等各
31、种恶劣的环境条件下工温、强辐射及强磁场等各种恶劣的环境条件下工作，适应能力强，尤其可以承受很大的温度变化，作，适应能力强，尤其可以承受很大的温度变化，在高压力、高冲击、过载等情况下都能正常工作，在高压力、高冲击、过载等情况下都能正常工作，能测超高压和低压差，也能对带磁工件进行测量。能测超高压和低压差，也能对带磁工件进行测量。此外传感器可以做得体积很小，以便实现某些特此外传感器可以做得体积很小，以便实现某些特殊要求的测量。殊要求的测量。第50页，共86页，编辑于2022年，星期四3 3动态响应好动态响应好 电电容容式式传传感感器器由由于于极极板板间间的的静静电电引引力力很很小小，（约约1010-
32、5-5N N），需需要要的的作作用用能能量量极极小小，又又由由于于它它的的可可动动部部分分可可以以做做得得很很小小很很薄薄，即即质质量量很很轻轻，因因此此其其固固有有频频率率很很高高，动动态态响响应应时时间间短短，能能在在几几MHzMHz的的频频率率下下工工作作，特特别别适适合合动动态态测测量量。又又由由于于其其介介质质损损耗耗小小可可以以用用较较高高频频率率供供电电，因因此此系系统统工工作作频频率率高高。它它可可用用于于测测量量高高速速变变化化的的参参数数，如测量振动、瞬时压力等。如测量振动、瞬时压力等。第51页，共86页，编辑于2022年，星期四4 4可以实现非接触测量、具有平均效应可以实
33、现非接触测量、具有平均效应 当被测件不能允许采用接触测量的情况当被测件不能允许采用接触测量的情况下下,电容传感器可以完成测量任务。当采用非电容传感器可以完成测量任务。当采用非接触测量时接触测量时,电容式传感器具有平均效应电容式传感器具有平均效应,可以可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。减小工件表面粗糙度等对测量的影响。第52页，共86页，编辑于2022年，星期四电容式传感器除上述优点之外，还因带电极板电容式传感器除上述优点之外，还因带电极板间的静电引力极小，因此所需输入能量极小，间的静电引力极小，因此所需输入能量极小，所以所以特别适宜低能量输入特别适宜低能量输入的测量，例如测量的测量，例如测
34、量极低的压力、力和很小的加速度、位移等，极低的压力、力和很小的加速度、位移等，可以做得很灵敏，分辨力非常高。可以做得很灵敏，分辨力非常高。第53页，共86页，编辑于2022年，星期四2.2.电容式传感器的缺点电容式传感器的缺点 (1)(1)输出阻抗高，负载能力差输出阻抗高，负载能力差 电电容容式式传传感感器器的的容容量量受受其其电电极极几几何何尺尺寸寸等等限限制制，一一般般为为几几十十到到几几百百pFpF，使使传传感感器器的的输输出出阻阻抗抗很很高高，尤尤其其当当采采用用音音频频范范围围内内的的交交流流电电源源时时，输输出出阻阻抗抗高高达达10106 610108 8。因因此此传传感感器器负负
35、载载能能力力差差，易易受受外外界界干干扰扰影影响响而而产产生生不不稳稳定定现现象象，严严重重时时甚甚至至无无法法工工作作，必必须须采采取取屏屏蔽蔽措措施施，从而给设计和使用带来不便。从而给设计和使用带来不便。第54页，共86页，编辑于2022年，星期四 容容抗抗大大还还要要求求传传感感器器绝绝缘缘部部分分的的电电阻阻值值极极高高（几几十十MM以以上上），否否则则绝绝缘缘部部分分将将作作为为旁旁路路电电阻阻而而影影响响传传感感器器的的性性能能（如如灵灵敏敏度度降降低低），为为此此还还要要特特别别注注意意周周围围环环境境如如温温湿湿度度、清清洁洁度度等对绝缘性能的影响。等对绝缘性能的影响。高高频频
36、供供电电虽虽然然可可降降低低传传感感器器输输出出阻阻抗抗，但但放放大大、传传输输远远比比低低频频时时复复杂杂，且且寄寄生生电电容容影影响响加大，难以保证工作稳定。加大，难以保证工作稳定。第55页，共86页，编辑于2022年，星期四(2)(2)寄生电容影响大寄生电容影响大 传传感感器器的的初初始始电电容容量量很很小小，而而其其引引线线电电缆缆电电容容(l l2m2m导导线线可可达达800pF800pF)、测测量量电电路路的的杂杂散散电电容容以以及及传传感感器器极极板板与与其其周周围围导导体体构构成成的的电电容等容等“寄生电容寄生电容”却较大。却较大。“寄寄生生电电容容”降降低低了了传传感感器器的
37、的灵灵敏敏度度，且且是是随随机机变变化化的的，使使传传感感器器的的工工作作不不稳稳定定，影影响响测测量量精精度度，其其变变化化量量甚甚至至超超过过被被测测量量引引起起的的电电容容变变化化量量，致致使使传传感感器器无无法法工工作作。因因此此对对电电缆选择、安装、接法有要求缆选择、安装、接法有要求第56页，共86页，编辑于2022年，星期四(3)(3)输出特性非线性输出特性非线性 变极距型电容传感器的输出特性是非线变极距型电容传感器的输出特性是非线性的，虽可采用差动结构来改善，但不可能性的，虽可采用差动结构来改善，但不可能完全消除。其他类型的电容传感器完全消除。其他类型的电容传感器只有忽略只有忽略
38、了电场的边缘效应时，输出特性才呈线性了电场的边缘效应时，输出特性才呈线性。否。否则边缘效应所产生的附加电容量将与传感器则边缘效应所产生的附加电容量将与传感器电容量直接叠加，使输出特性非线性。电容量直接叠加，使输出特性非线性。第57页，共86页，编辑于2022年，星期四3.3.2 设计与应用中存在的问题 电容式传感器所具有的高灵敏度、高精度等独特的优点是与其正确设计、选材以及精细的加工工艺分不开的。在设计传感器的过程中，在所要求的量程、温度和压力等范围内，应尽量使它具有低成本、高精度、高分辨力、稳定可靠和高的频率响应等。第58页，共86页，编辑于2022年，星期四1 1绝缘材料的绝缘性能绝缘材料
39、的绝缘性能 温温度度变变化化使使传传感感器器内内各各零零件件的的几几何何尺尺寸寸和和相相互互位位置置及及某某些些介介质质的的介介电电常常数数发发生生改改变变,从从而改变传感器的电容量而改变传感器的电容量,产生温度误差。产生温度误差。湿度湿度也影响某些介质的介电常数和绝缘电阻值。也影响某些介质的介电常数和绝缘电阻值。因因此此必必须须从从选选材材、结结构构、加加工工工工艺艺等等方方面面来来减减小小温温度度等等误误差差和和保保证证绝绝缘缘材材料料具具有有高高的的绝绝缘性能。缘性能。第59页，共86页，编辑于2022年，星期四 电电容容式式传传感感器器的的金金属属电电极极的的材材料料以以选选用用温温度
40、度系系数数低低的的铁铁镍镍合合金金为为好好，但但较较难难加加工工。也也可可采采用用在在陶陶瓷瓷或或石石英英上上喷喷镀镀金金或或银银的的工工艺艺，这这样样电电极极可以做得极薄，对减小边缘效应极为有利。可以做得极薄，对减小边缘效应极为有利。传传感感器器内内电电极极表表面面不不便便经经常常清清洗洗，应应加加以以密密封封；用用以以防防尘尘、防防潮潮。可可在在电电极极表表面面镀镀以以极极薄薄的的惰惰性性金金属属（如如铑铑等等）层层，代代替替密密封封件件起起保保护护作作用用，可可防防尘尘、防防湿湿、防防腐腐蚀蚀，并并在在高高温温下下可可减减少少表表面面损耗、降低温度系数。损耗、降低温度系数。第60页，共8
41、6页，编辑于2022年，星期四 传传感感器器内内，电电极极的的支支架架除除要要有有一一定定的的机机械械强强度度外外还还要要有有稳稳定定的的性性能能。因因此此选选用用温温度度系系数数小小和和几几何何尺尺寸寸长长期期稳稳定定性性好好，并并具具有有高高绝绝缘缘电电阻阻、低低吸吸潮潮性性和和高高表表面面电电阻阻的的材材料料。例例如如石石英英、云云母母、人人造造宝宝石石及及各各种种陶陶瓷瓷等等做做支支架架。虽虽然然这这些些材材料料较较难难加加工工，但但性性能能远远高高于于塑塑料料、有有机机玻玻璃璃等等。在在温温度度不不太太高高的的环环境境下下，聚聚四四氟氟乙乙烯烯具具有有良良好好的的绝缘性能，可以考虑选
42、用。绝缘性能，可以考虑选用。第61页，共86页，编辑于2022年，星期四 尽尽量量采采用用空空气气或或云云母母等等介介电电常常数数的的温温度度系系数数近近似似为为零零的的电电介介质质（也也不不受受湿湿度度变变化化的的影影响响）作作为为电电容容式式传传感感器器的的电电介介质质。若若用用某某些些液液体体如如硅硅油油、煤煤油油等等作作为为电电介介质质，当当环环境境温温度度、湿湿度度变变化化时时，它它们们的的介介电电常常数数随随之之改改变变，产产生生误误差差。这这种种误误差差虽虽可可用用后后接接的的电电子子电电路路加加以以补补偿偿，但但无无法法完完全全消消除。除。第62页，共86页，编辑于2022年，
43、星期四 在在可可能能的的情情况况下下,传传感感器器内内尽尽量量采采用用差差动动对对称称结结构构,这这样样可可以以通通过过某某些些类类型型的的测测量量电电路路(如如电桥电桥)来减小温度等误差。来减小温度等误差。选选用用50kHz50kHz至至几几MHzMHz作作为为电电容容传传感感器器的的电电源频率，以降低对传感器绝缘部分的绝缘要求。源频率，以降低对传感器绝缘部分的绝缘要求。传传感感器器内内所所有有的的零零件件应应先先进进行行清清洗洗、烘烘干干后后再再装装配配。传传感感器器要要密密封封以以防防止止水水分分侵侵入入内内部部而而引引起起电电容容值值变变化化和和绝绝缘缘性性能能下下降降。壳壳体体的的刚
44、刚性性要要好，以免安装时变形。好，以免安装时变形。第63页，共86页，编辑于2022年，星期四 适适当当减减小小极极间间距距，使使电电极极直直径径或或边边长长与与间间距距比比增增大大，可可减减小小边边缘缘效效应应的的影影响响，但但易易产产生生击击穿穿并有可能限制测量范围。并有可能限制测量范围。电电极极应应做做得得极极薄薄使使之之与与极极间间距距相相比比很很小小，这样也可减小边缘电场的影响。这样也可减小边缘电场的影响。+-图图3-19 3-19 边缘效应边缘效应2消除和减小边缘效应消除和减小边缘效应第64页，共86页，编辑于2022年，星期四 等等位位环环3 3与与电电极极2 2同同平平面面并并
45、将将电电极极2 2包包围围，彼彼此此电电绝绝缘缘但但等等电电位位，使使电电极极1 1和和2 2之之间间的的电电场场基基本本均均匀匀，而而发发散散的的边边缘缘电电场场发发生生在在等等位位环环3 3外外周周不不影影响传感器两极板间电场。响传感器两极板间电场。可在结构上增设可在结构上增设等位环等位环来消除边缘效应。来消除边缘效应。等位环等位环等位环等位环3 3 3 3+-图图3-20 3-20 带有等位环的平板式电容器传感器带有等位环的平板式电容器传感器电极电极电极电极1 1 1 1电极电极电极电极2 2 2 2第65页，共86页，编辑于2022年，星期四边边缘缘效效应应引引起起的的非非线线性性与与
46、变变极极距距型型电电容容式式传传感感器器原原理理上上的的非非线线性性恰恰好好相相反反，在在一一定定程程度度上上起起了补偿作用。了补偿作用。第66页，共86页，编辑于2022年，星期四 寄寄生生电电容容与与传传感感器器电电容容相相并并联联，影影响响传传感感器器灵灵敏敏度度，而而它它的的变变化化则则为为虚虚假假信信号号影影响响仪仪器的精度，必须消除和减小它。器的精度，必须消除和减小它。3 3消除和减小寄生电容的影响消除和减小寄生电容的影响第67页，共86页，编辑于2022年，星期四（1 1）增加传感器原始电容值）增加传感器原始电容值（2 2）注意传感器的接地和屏蔽；）注意传感器的接地和屏蔽；（3
47、3）集成化）集成化（4 4）采用）采用“驱动电缆驱动电缆”(”(双层屏蔽等位传输双层屏蔽等位传输)技术技术（5 5）采用运算放大器法；）采用运算放大器法；（6 6）整体屏蔽法）整体屏蔽法第68页，共86页，编辑于2022年，星期四 （1 1）增加传感器原始电容值）增加传感器原始电容值 采采用用减减小小极极片片或或极极筒筒间间的的间间距距(平平板板式式间间距距为为0.20.5mm0.20.5mm，圆圆筒筒式式间间距距为为0.15mm)0.15mm)，增增加加工工作作面面积积或或工工作作长长度度来来增增加加原原始始电电容容值值，但但受受加加工工及及装装配配工工艺艺、精精度度、示示值值范范围围、击击
48、穿穿电电压压、结结构构等等限限制制。一一般般电电容容值值变变化化在在 1010-3-310103 3 pFpF范范围围内内，相相对对值值变变化化在在 1010-6-611范围内。范围内。第69页，共86页，编辑于2022年，星期四 （2 2）集成化）集成化 将将传传感感器器与与测测量量电电路路本本身身或或其其前前置置级级装装在在一一个个壳壳体体内内，省省去去传传感感器器的的电电缆缆引引线线。这这样样，寄寄生生电电容容大大为为减减小小而而且且易易固固定定不不变变，使使仪仪器器工工作作稳稳定定。但但这这种种传传感感器器因因电电子子元元件件的的特特点点而而不不能能在在高高、低低温或环境差的场合使用。
49、温或环境差的场合使用。第70页，共86页，编辑于2022年，星期四 当当电电容容式式传传感感器器的的电电容容值值很很小小，而而因因某某些些原原因因(如如环环境境温温度度较较高高)，测测量量电电路路只只能能与与传传感器分开时，可采用感器分开时，可采用“驱动电缆驱动电缆”技术。技术。（3 3）“驱动电缆驱动电缆”(”(双层屏蔽等位传输双层屏蔽等位传输)技术技术采用这种技术可使电缆线长达采用这种技术可使电缆线长达10m10m之远也之远也不影响仪器的性能。不影响仪器的性能。第71页，共86页，编辑于2022年，星期四图图3-21 “3-21 “驱动电缆驱动电缆”技术技术1：1+测量电路外屏蔽层内屏蔽层
50、芯线传感器-传感器与测量电路前置级间的引线为双屏蔽传感器与测量电路前置级间的引线为双屏蔽层电缆层电缆，其内屏蔽层与信号传输线，其内屏蔽层与信号传输线(即电缆芯线即电缆芯线)通过增益为通过增益为1 1的放大器成为等电位，从而消除的放大器成为等电位，从而消除了芯线与内屏蔽层之间的电容。了芯线与内屏蔽层之间的电容。第72页，共86页，编辑于2022年，星期四由于屏蔽线上有随传感器输出信号变化而由于屏蔽线上有随传感器输出信号变化而变化的电压，因此称为变化的电压，因此称为“驱动电缆驱动电缆”。外屏蔽层接大地或接仪器地，用来防止外界电外屏蔽层接大地或接仪器地，用来防止外界电场的干扰。场的干扰。当电容式传感