立式扫描台方案分析.pptx

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1、2023/3/271SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM概述.3一 立式扫描试验台的结构组成部分4二 立式扫描台基本参数与技术指标30三 实现功能32四 系统特点33五 立式扫描台装置示意图34六 动作运行步骤35七 软件介绍43八 试验报告45九 扫描台的维护和保养.46 目 录第1页/共47页2023/3/272SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM 本公司根据国内外有关标准和规范:欧标EN1822,美标IEST-PR.CC021,国标GB6166-85等,以及国内外有关知名机构领导与专家的指导,我们自主研发了高效过滤器立式扫描试验台,其能在确

2、定的风量条件下试验过滤器的效率和阻力并借助扫描的方法确定过滤器不漏或漏。扫描试验台的基础与核心是粒子计数,尘源是一定浓度的液态气溶胶(DEHS)。扫描试验台能根据效率的检测对过滤器进行标准化分级。下面将详细介绍一下立式扫描台。概述第2页/共47页2023/3/273SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM一 立式扫描试验台的结构组成部分 1 风机动力部分 2 气溶胶发生器 3 过滤器输送部分 4 过滤器导向部分 5 被测过滤器安装压紧部分 6 模板安装部分 7 扫描检测部分。含5台SX-L310尘埃粒子计数器(28.3L/min,0.3um最小粒径)。8 电气控制及数据处理

3、部分。液晶显示电脑一台。结构中凡与气溶胶接触的部分均用不锈钢材质,风机调节采样变频方法控制。第3页/共47页2023/3/274SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM一 立式扫描台结构组成风机动力部分电气控制及数据处理部分气溶胶发生器第4页/共47页2023/3/275SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM立式扫描台结构组成过滤器输送部分过滤器导向部分第5页/共47页2023/3/276SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM静压箱扫描检测部分被测过滤器安装压紧部分机架模板安装部分立式扫描台结构组成第6页/共47页2023/3/2

4、77SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM风机动力部分-试验风量校正V锥流量计注:检漏试验之前需要用V锥流量计校正皮托管流量计并测出相对误差,如图结构所示。测得风量相对误差5%读数(试验空气温度:235相对湿度75%。皮托管流量计第7页/共47页2023/3/278SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM排风管转换蝶阀静压箱气流转换箱风机皮托管流量计注:1 由于所测过滤器尺寸较大,风管内径设定为500mm。2 弯曲风管可以将气溶胶颗粒和气体混合更加均匀,提高测试准确率。3 设备配有转换蝶阀,扫描运行时蝶阀处于关闭状态,气流经过气流 转换箱进入静压箱,当

5、扫描完成后蝶阀打开,气溶胶会随气流经过 排风过滤箱中的中效过滤器排出,排出的气体无污染。排风过滤箱中效过滤器高效过滤器袋式过滤器风机动力部分第8页/共47页2023/3/279SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM试验风道示意图1 袋式过滤器2 风机3 空气加热器4 调节试验空气风阀5 高效过滤器6 气溶胶注入口7 试验气流8 风量测量9 气流转换箱10 转换蝶阀11 中效过滤器12 上游采样点13 受试过滤器14 过滤器安装台15 阻力测量16 屏蔽装置17 下游采样头移动臂18 采样头移动系统19 下游采样特点说明:在气流转换箱(9)之后安装了一个转换蝶阀(10)。实

6、验时转换蝶阀关闭,试验气流通过气流转换箱进入静压箱,扫描结束后转换蝶阀打开,气溶胶随着气流通过装换蝶阀经中效过滤器过滤后排出,此种装置确保了多余的气溶胶不会污染空气和受试过滤器。第9页/共47页2023/3/2710SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM气溶胶发生器调节阀过滤器气雾系统加热系统冷却系统压缩机系统第10页/共47页2023/3/2711SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM气溶胶发生器 扫描试验台采样多分散试验气溶胶进行试验,气溶胶物质为葵二酸二辛脂,俗称DEHS.多分散气溶胶发生器的运行参数可调,发生试验气溶胶的中径与滤纸试验所得最易

7、穿透粒径(MPPS)的偏离不超过50%(ISO29463-4:2001)。气溶胶发生器相关性能参数(ISO 29463-2:2001):1 粒子发生率:10 s10 s 2 粒径调整范围:0.081.0um本台气溶胶发生器相关参数技术指标:1 气溶胶均匀性:10%2 气溶胶发生器集中度:0.3um-0.5um,70%启动气溶胶发生器后,通过调整运行参数,可将气溶胶中径调整到MPPS,试验期间,气溶胶的浓度和粒径分布会保持稳定。为了获得更具有统计意义的结果,在上游浓度不超出计数器浓度测量范围的前提下,上下游粒子计数的数值应足够大,防止上游浓度超出粒子计数器的测量范围(在计数模式下),我们在采样点

8、和计数器之间安装了稀释系统。8-111 第11页/共47页2023/3/2712SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM稀释器使用说明一 本稀释器与采样量为28.3L/min的粒子计数器配套使用,稀释倍数K采样实例法确定,K=稀释前计数/稀释后计数.在试验过程中,当发现或怀疑粒子计数有问题时,需要对K进行检测,按下面方法进行.第12页/共47页2023/3/2713SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM稀释器使用说明A:先测上下游计数器相关比;A-a:把被测件取出,使上游和下游相连通,撤出稀释器使上游采样直通上游采样口(即稀释倍数K=1);A-b:喷入

9、一定浓度的气溶胶(不要超过计数器上限浓度)A-c:记录上游 下游计数值,得出相关比R=上游计数/下游计数.B:测稀释倍数K;B-a:把稀释器按原样接入上游计数系统;B-b:喷入一定浓度的气溶胶;B-c:记录上游 下游计数值,得出稀释倍数K=稀释前/稀释后RX下游计数值/上游计数值稀释器稀释倍数与多种因素有关,所以某一稀释器只能与某一计数器配用,而且采样管道的走向,长短,采集量均保持不变,计数浓度不能变化太大,否则K将会变化.定期进行校正复核是必须的.稀释器有多种类型,本稀释器组成与原理可简单表示成下述示意图:第13页/共47页2023/3/2714SUXIN CLEANROOMSUXIN CL

10、EANROOM稀释器使用说明二 主要技术参数 1.稀释倍数:70-100倍 2.输出流量:28.3L/min 3 准确度(稀释比的)10%三 操作步骤:1.把稀释器输入接嘴与上游气溶胶的采样接嘴用适当的塑胶管连接起来,管道不能太长(1.5m),管道走向从上到下为最佳,不能曲折.2.同样稀释器输出接嘴与计数器的采样入口用塑胶管相连接,计数器采样量为28.3L/min.3.稀释流量为一固定值,可通过流量计上的调节阀旋钮调节.4 稀释器按照上述方式接入系统后,要保持不变.第14页/共47页2023/3/2715SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM过滤器输送部分可升降进料滚筒机

11、构:机构配有电动滚筒提供动力,使产品快速到达指定位置。产品进入时滚筒处在上升位置,当产品到达指定位置时,升降气缸下降,滚筒跟着下降到下位,产品会平稳落到过滤器支撑滚筒上。升降气缸升降气缸导轨滚筒第15页/共47页2023/3/2716SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM过滤器导向部分调节导向轴导向滚轮出料导向挡边进料导向挡边过滤器导向机构:1 对进料过滤器进行导向支撑,防止过滤器在运行过程中偏离轨道。2 根据产品高度不同可进行上下手动调节,调节快捷方便。3 导向滚轮可根据过滤器厚度尺寸不同进行相应换型。第16页/共47页2023/3/2717SUXIN CLEANROO

12、MSUXIN CLEANROOM被测过滤器安装压紧部分压板-1拉紧气缸压板-4压板-3压板-2压板-4固定架固定架第17页/共47页2023/3/2718SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM压板-1拉紧气缸压板-4固定架压板-4压板-3压板-2拉紧气缸固定架导轨导轨过滤器支撑滚筒注:压板组成的矩形边框 可用来压紧固定过滤 器,边框可根据不同的 产品进行相应的更换 调整,产品换型时,拉紧 气缸伸出,根据产品尺 寸直接更换相应的压 板-2和压板-3,使矩形 边框尺寸与产品尺寸 相符,拉紧气缸缩回压 紧压板.被测过滤器安装压紧部分第18页/共47页2023/3/2719SUX

13、IN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM过滤器支撑滚筒电动滚筒弹簧挡块弹簧固定环固定底板滚筒固定板移动支撑板压缩弹簧直线导轨导向轴第19页/共47页2023/3/2720SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM模板安装部分注:模板固定是由4个旋转夹紧 气缸(上下各2个)和安装 轨道实现的,模板安装时手 动将模板放在安装轨道上推 至指定位置,旋转夹紧气缸 缩回夹紧模板,安装过程快 速方便。旋转夹紧气缸静压箱静压箱安装轨道模板第20页/共47页2023/3/2721SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM模板旋转夹紧气缸旋转夹紧气缸模板固定夹紧

14、时的状态第21页/共47页2023/3/2722SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM扫描部分采样探头机构 SX-L310下游粒子计数器传动机构固定架第22页/共47页2023/3/2723SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM传动机构Y轴方向步进电机X轴方向步进电机X轴主动同步带X轴主动同步带Y轴方向同步带X轴方向同步带X轴方向同步带注:采样探头X轴方向移动是通过两条 主动同步带带着上下两条X轴方向 同步带移动实现的,Y轴方向移动 是步进电机直接驱动Y轴方向同步 带实现的,运动方向都设有行程开 关限位。第23页/共47页2023/3/2724SUX

15、IN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM传动机构X轴方向步进电机X轴主动同步带Y轴方向移动导轨X轴方向移动导轨X轴方向同步带Y轴方向同步带同步轮第24页/共47页2023/3/2725SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM采样探头机构采样探头无杆气杆移动导轨调节导轨采样管注:1 采样探头之间的距离和数量 可根据过滤器尺寸的差异和 扫描轨迹进行相应的调整与 分布,过滤器固定后,无杆 气杆带动采样探头向前移动,使采样探头与过滤器的位置 处于最佳距离(10-50mm ISO29463-4:2001),根据 过滤器的厚度差异,采样探 头自身个体也可前后手动调节。2

16、下游采样使用4个采样头并 列使用(4台计数器),缩 短了扫描时间。3 采样头的长:宽15:1,开 口面积为9cm1cm,保 证采样头开口处流速与过 滤器面风速相差不大于 25%(ISO.29463-4:2001),确保采样量不会出现太大 的误差。4 采样头的移动速度控制:通过步进电机控制移动速 度,导向机构导向,速度 可控性较 好,坐标定位 准确,可以有效快速的找 出泄露点。第25页/共47页2023/3/2726SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOMSX-L310尘埃粒子计数器 工作原理:在光学粒子计数器中,颗粒物逐粒进入一个受到强光照射的光敏区,颗粒物穿越光敏区时产生

17、光散射,设在特定空间角的光探测器感受散射光,并将其转换成电脉冲。脉冲高度代表颗粒物的尺寸,单位时间内的脉冲数量表面被测空气的颗粒物浓度。性能参数:1 尘埃粒子计数器符合ISO 21501-1和ISO 21501-4的要求 2 粒径测量范围:0.3um-1um 3 流量误差:5%4 重复性:10%5 粒径分布误差:30%6 粒子浓度示值误差:30%当颗粒物浓度过高时,会产生重叠误差,即数个颗粒物同时进入光敏区,计数器将它们视为一个大颗粒物。为保证测量浓度不超出浓度上限,我们采取了适当的稀释措施。可采用以下方法确定计数器浓度的上限。以恒定速率向已知风量的气流中注入气溶胶,在精确测量的气流中,每分钟

18、的气溶胶计数约20000-30000。测定浓度后,降低风量并继续以同一速率注入气溶胶。使用下式比较高浓度下的实测浓度与计算浓度。C X V =C X Vccmm 式中:C=计算浓度 C =实际浓度 V=计算风量 V =实际风量 ccmmISO 29463-2:2011第26页/共47页2023/3/2727SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOMSX-L310尘埃粒子计数器 若实测值与计算值相等,则进一步降低风量,反复此试验,直到实测值降到计算值的95%尘埃粒子计数器的维护和检查需有资质的人员定期维护和检查,包括用Latex(聚苯乙烯乳胶球)气溶胶来标定计数器。第27页/共

19、47页2023/3/2728SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM电气控制柜与操作台注:使用最新的电气控制元件,控制快速准确,设置简单,操作方便,运行过程中出 现任何异常状况会及时报 警,机器停止。电控柜触摸屏警示灯操作面板控制器电脑主机打印机显示器第28页/共47页2023/3/2729SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM二 立式扫描台基本参数与技术指标 1 基本参数 1.1 供电电压:单项AC 220V5%;三项AC 380V5%;耗电功率为7KW。1.2 供电频率:50Hz2Hz。1.3 适用过滤器等级:H10-H14平板型高效过滤器。1.4

20、 气溶胶粒子:DEHS。1.5 气溶胶粒径:0.3um-0.5um,集中度70%。1.6 采样流量 28.3L/min5%。1.7 稀释倍数 70-100倍。1.8 扫描速度5cm/s。1.9 防触电等级级。1.10 外形尺寸:整体安装尺寸:7200(L)X 5300(W)X 2240(H)静压箱::1245(L)X 1245(W)X 400(H)气溶胶发生器:900(L)X 430(W)X 1100(H)电控柜:600(L)X 300(W)X 1700(H)2 环境条件 2.1 温度:235。2.2 相对湿度:55%15RH。2.3 大气压力:68kPa-106kPa。2.4 环境净化等级:

21、10000级。第29页/共47页2023/3/2730SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM 3 计数要求 3.1 风量相对误差:0-4000 m/h 可调5%。3.2 过滤效率范围:H10-H14。3.3 过滤阻力范围:0-500Pa(初阻力)5%(额定风量)。3.4 被测截面处气溶胶均匀性10%。3.5 检测覆盖率:100%。3.6 检漏能力:90%。3第30页/共47页2023/3/2731SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM三 实现功能:3.1 能检测过滤效率 3.2 能检测过滤阻力 3.3 检测过滤器尺寸范围:762X762-1220X1

22、220mm 厚度范围:69-134mm 3.4 实现计数扫描检漏第31页/共47页2023/3/2732SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM四 系统特点 4.1 本扫描台对被测过滤器采样立式安装,从侧面送风,采样头紧贴过滤器出风面(相距50mm)立式扫描,现定为40mm/s,便于观察。4.2 扫描台对被测过滤器的安装密封采用了气动方式,简单 快速 可靠,突破以往的安装模式,有效解决了密封性问题。4.3 系统采样稀释器,为欧标EN1882所规定的旁道式稀释器,可以把稀释倍率做的很大和稳定。4.4 扫描台采用了4组采样头,配备4台大流量激光粒子计数器(SX-L310),大大

23、缩短扫描时间,扫描时间范围为60-120s.4.5 扫描台采用先进的在线监测软件系统,扫描检测过程通过电脑显示器反映出来,一目了然。最后的数据 检测结果全部自动打印出来。第32页/共47页2023/3/2733SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM五 扫描装置示意图1 试验空气的预过滤器2 变频风机3 空气加热器4 风道气溶胶注入口5 带送风调节和气溶胶流量调节 的气溶胶发生器6 上游粒子计数采样点7 上游混合段8 稀释系统9 上游粒子计数器10 受试过滤器11 压差测量12 下游采样点和排气分流13 下游粒子计数器14 风量测量15 采样头移动系统16 控制与数据存储用

24、计算机第33页/共47页2023/3/2734SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM六 动作运行步骤第34页/共47页2023/3/2735SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM动作运行步骤第一步:将过滤器放在滚筒上,滚筒会将过滤器带到指定的位置产品放置受试过滤器第35页/共47页2023/3/2736SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM动作运行步骤第二步:过滤器到达指定位置停下,可升降进料滚筒机构下降,过滤器跟着降到支撑滚筒上,下一步将被压紧机构压紧在模板上。产品到位第36页/共47页2023/3/2737SUXIN CLE

25、ANROOMSUXIN CLEANROOM动作运行步骤第三步:如图所示,过滤器被压紧机构(红色区域)压紧与模板合并在一起,下一步进行扫描。压紧机构受试过滤器模板产品压紧第37页/共47页2023/3/2738SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM动作运行步骤第四步:扫描。如图所示,采样探头移动到过滤器前面规定的位置,开始准备扫描。扫描第38页/共47页2023/3/2739SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM动作运行步骤第五步:扫描结束,采样探头回到初始原点位置。扫描结束第39页/共47页2023/3/2740SUXIN CLEANROOMSUXI

26、N CLEANROOM动作运行步骤第六步:扫描结束,采样探头回到初始原点位置,压紧机构退到后位。扫描结束第40页/共47页2023/3/2741SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM动作运行步骤第七步:出料。过滤器支撑滚筒转动,将过滤器沿着导向轨道被送出来。受试过滤器第41页/共47页2023/3/2742SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM七 软件介绍 立式扫描台配备了与之对应的高效过滤器检漏台软件,高效过滤器检漏台软件为一套完整的高效过滤器检漏及效率测试软件,它包含设置管理,自动扫描,报表管理等功能。第42页/共47页2023/3/2743SU

27、XIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM扫描台自动扫描流程:1.系统选择待检的工作单(预先已经输入完毕,定义了该批待检的过滤器的型号测试要求以及待检的数量);2.系统从工作单中读取相应的运行参数;3.下载给控制器的运行参数;4.发送控制器探头归位指令;5.判定风量,阻力是否满足条件,不满足则提示调整,并结束;6.提示关开始自净;7.将探头移动到中间,到后开始自净;8.提示打开发生器;9.上游计数开始;10.送探头到起始位置;11.延时;12.发送开始扫描指令,同时发送给粒子仪的开始计数指令,根据设置开始扫描,屏幕同步显示扫描位置;13.接受到控制器的扫描结束命令,并发送给计数器

28、,读上下游粒子数;14.判定是否合格;15.不合格,提示是否重新测试,是,重新扫描;16.判定是合格,并打印对应的信息;17.记录本次测量结果,并更新对应检测工单:已经检测数量,通过数量,不合格数量,是否检测完毕等信息。第43页/共47页2023/3/2744SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM八 试验报告 检漏试验报告中至少应包含以下内容:a)受试物品 1)过滤器的名称与型号、物品号、系列号;2)过滤器外形尺寸;3)过滤器安装方向(上游密封还是下游密封)。b)试验参数 1)试验空气的温度和相对湿度;2)过滤器的名义风量和试验时的体积风量;3)对应滤速下滤纸的滤纸MPP

29、S(见ISO29463-3);4)气溶胶发生器(名称与型号,产品编号);5)试验气溶胶(物质,中位粒径,几何标准差);6)采用替代气溶胶的声明:使用固体气溶胶(例如PSL时),应满足附录E的要求;7)上游和下游粒子计数器(名称与型号,产品编号)和所用粒径通道(针对光学粒子计数器);8)连接上游粒子计数器的稀释系统(名称与型号,产品编号);9)上游粒子计数器稀释系统(名称与型号,产品编号);10)下游采用头(形状,采用流量);11)渗漏限和信号值设定(表明渗漏的限值)。c)试验结果 1)试验风量下的平均阻力;2)上下游平均浓度;3)确认无渗漏的证明(指出渗漏判别标准)。第44页/共47页2023

30、/3/2745SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM九 试验装置的维护与检查 试验装置的所有元件和测量仪器都应进行定期维护、检查、标定。表1列出了必要的维护与检查项目。在表中所列各项目的周期内至少进行一次维护和检查。当发生必须进行维护操作的故障时,以及在改造和翻修后,应立即进行检查与标定。ISO 29463-2 对维护与检查工作做了详细规定,包括试验装置上所有元件和测量仪器的标定细节。维护与检查工作的目的是防止仪器测量值的偏离超过允许值。ISO 29463-2 规定的测量仪器的误差极限,针对的是从测量至记录的全过程。为了避免两批试验的测量偏差超出允许范围,其间可利用标样过

31、滤器进行对比试验。为了防止因积尘引起的性能漂移,记录标样过滤器的试验结果。若在对比试验中,穿透率数值的偏离超过算术平均值的30%,或阻力数值的偏离超过算术平均值的10%,就应采取缩小偏离的措施。维护、检查和标定所需周期可能因具体试验台以及具体运行情况而易。规定具体周期时,应考虑具体设备和运行情况。第45页/共47页2023/3/2746SUXIN CLEANROOMSUXIN CLEANROOM表1 试验装置上各元件的维护和检查周期元件维护或检查的类型和频率试验空气准备系统;试验风道整套系统;试验空气用过滤器每年,或 达到最大阻力时 发生渗漏时连接测量仪器的气溶胶采样管每年清洁,或每次改变气溶胶物质前做清洁流量计每年用标样阻力检查试验风量调整的重复性每年负压部分的气密性粒子计数器伪计数率超标时;每年压力测量管路的气密性每年气溶胶传输管路的气密性每年采样流量的测量装置每年扫描的粒子浓度场每年上游和下游气溶胶传输损失每年扫描系统的坐标测量每年扫描系统的采样头移动速度每年用标样过滤器检验试验装置每年第46页/共47页2023/3/2747感谢您的观看!第47页/共47页

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