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1、射线光电子能谱数据处理及分峰步骤射线光电子能谱数据处理及分峰步骤N1sN1sN1sN1s-1-1Kinetic EnergyKinetic EnergyeVeV1072.61072.60.050.051 1CountsCountspulse countingpulse counting0.10.16 60 00 00 00 00 04014012202.522202.524127.084127.082458.362458.362559.722559.722523.562523.562553.482553.482509.82509.83 3、再下面一个数据是、再下面一个数据是步长步长步长步长值，
2、如值，如0.050.05或或0.10.1或或1 1，每张谱图间有可能不一样。每张谱图间有可能不一样。4 4、继续向下、继续向下,可以找到可以找到401401或或801801这样的数，该数这样的数，该数为为通道数通道数通道数通道数，即有，即有401401或或801801个数据点。个数据点。5 5、再下面的数据开始两个数据是、再下面的数据开始两个数据是脉冲脉冲脉冲脉冲，把它们，把它们舍舍舍舍去去去去，接下来的，接下来的401401或或801801个数据都是个数据都是Y Y轴数据，轴数据，将它们将它们copycopy到到B(Y)B(Y)。第1页/共27页第2页/共27页第3页/共27页第4页/共27
3、页6 6、X X轴：轴：轴：轴：点点A(X)A(X)，再点右键，然后点，再点右键，然后点set column valuesset column values，出现一个对话框，在出现一个对话框，在fromfrom中填中填1 1，在，在toto中填中填401(401(通道数通道数)，在，在col(A)col(A)中填中填BEBE始始始始-0.05*(i-1)-0.05*(i-1)，或直接填或直接填1486.6-KE1486.6-KE始始始始-0.05*(i-1)0.05*(i-1)，最后点最后点do itdo it。7 7、此时即可以作出、此时即可以作出N1sN1s谱图。谱图。8 8、画出来的图有
4、可能有一些尖峰，那是、画出来的图有可能有一些尖峰，那是脉冲脉冲脉冲脉冲，应把它们，应把它们去去去去掉掉掉掉，方法为点，方法为点Data-Move Data PointsData-Move Data Points，然后按键盘上的，然后按键盘上的 或或 箭头去除脉冲。箭头去除脉冲。第5页/共27页第6页/共27页第7页/共27页二、分峰步骤二、分峰步骤二、分峰步骤二、分峰步骤1 1、将所拷贝数据转换成将所拷贝数据转换成将所拷贝数据转换成将所拷贝数据转换成TXTTXT格式：格式：格式：格式：把所需拟合元素把所需拟合元素的数据引入的数据引入OriginOrigin后，将后，将column Acolum
5、n A和和B B中的值复中的值复制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左制到一空的记事本文档中（即成两列的格式，左边为结合能，右边为峰强），并存盘。如要对数边为结合能，右边为峰强），并存盘。如要对数据进行去脉冲处理或截取其中一部分数据，需在据进行去脉冲处理或截取其中一部分数据，需在OriginOrigin中做好处理。中做好处理。第8页/共27页第9页/共27页2 2、打开、打开XPS PeakXPS Peak，引入数据引入数据引入数据引入数据：点：点Data-ImportData-Import(ASCII)(ASCII)，引入所存数据，则出现相应的，引入所存数据，则出现相应的XPSXPS谱图
6、。谱图。第10页/共27页3 3、选择本底选择本底选择本底选择本底：点：点BackgroundBackground，因软件问题，因软件问题，High High BE BE和和Low BELow BE的位置最好不改，否则无法再回到的位置最好不改，否则无法再回到 OriginOrigin，此时本底将连接这两点，此时本底将连接这两点，TypeType可据实可据实际际 情况选择，一般选择情况选择，一般选择Shirley Shirley 类型。类型。第11页/共27页第12页/共27页 4 4、加峰加峰加峰加峰：点点Add peakAdd peak，出现小框，在，出现小框，在Peak TypePeak
7、Type处选择处选择s s、p p、d d、f f等峰类型（一般选等峰类型（一般选s s），在），在PositionPosition处选择希望的峰位，处选择希望的峰位，需固定时则点需固定时则点fixfix前小方框，同法还可选半峰宽前小方框，同法还可选半峰宽（FWHMFWHM）、峰面积等。各项中的）、峰面积等。各项中的constraintsconstraints可用来固定可用来固定此峰与另一峰的关系，如此峰与另一峰的关系，如Pt4fPt4f7/27/2和和Pt4fPt4f5/25/2的峰位间距可固的峰位间距可固定为定为3.453.45，峰面积比可固定为，峰面积比可固定为4:34:3等。点等。点D
8、elete peakDelete peak可去可去掉此峰。然后再点掉此峰。然后再点Add peakAdd peak选第二个峰，如此重复。选第二个峰，如此重复。第13页/共27页第14页/共27页第15页/共27页5、拟合：拟合：选好所需拟合的峰个数及大致参数后，点Optimise region进行拟合，观察拟合后总峰与原始峰的重合情况，如不好，可以多次点Optimise region。6 6、参数查看：参数查看：参数查看：参数查看：拟合完成后，分别点另一个窗口中的拟合完成后，分别点另一个窗口中的Rigion PeaksRigion Peaks下方的下方的0 0、1 1、2 2等可看每个峰的参数
9、，等可看每个峰的参数，此时此时XPSXPS峰中变红的为被选中的峰。如对拟合结果峰中变红的为被选中的峰。如对拟合结果不不regionregion满意，可改变这些峰的参数，然后再点满意，可改变这些峰的参数，然后再点OptimiseOptimise。第16页/共27页第17页/共27页第18页/共27页7、点Save XPS存图存图，下回要打开时点Open XPS就可以打开这副图继续进行处理。第19页/共27页8 8 8 8、数据输出：、数据输出：、数据输出：、数据输出：点点DataPrint with peak parametersDataPrint with peak parameters可打印
10、带各峰参数可打印带各峰参数的谱图，通过峰面积可计算此元素在不同峰位的化学态的的谱图，通过峰面积可计算此元素在不同峰位的化学态的含量比。含量比。点点DataExport to clipboardDataExport to clipboard，则将图和数据都复制到，则将图和数据都复制到了剪贴板上，打开文档（如了剪贴板上，打开文档（如WordWord文档），点粘贴，就把文档），点粘贴，就把图和数据粘贴过去了。图和数据粘贴过去了。点点DataExport DataExport（spectrumspectrum），则将拟合好的数据存盘，），则将拟合好的数据存盘，然后在然后在OriginOrigin中从多列数据栏打开，则可得多列数据，并中从多列数据栏打开，则可得多列数据，并在在OriginOrigin中作出拟合后的图。中作出拟合后的图。第20页/共27页第21页/共27页将拟合好的数据将拟合好的数据重新引回到重新引回到重新引回到重新引回到OriginOrigin:第22页/共27页第23页/共27页第24页/共27页第25页/共27页第26页/共27页