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1、薄膜材料与薄膜技术课程简介课程编号：02034910课程名称：薄膜材料与薄膜技术Thin Solid Films Materials and Technology学分：2学时：32 （课内实验（践）：2 上机： 课外实践： ）适用专业：材料类本科生建议修读学期：第6学期开课单位：材料科学与工程学院材料物理与化学系课程负责人：先修课程：材料科学基础考核方式与成绩评定标准：考核方式：开卷考试成绩评定标准：本课程的总成绩主要由两部分组成：平时成绩（包括作业情况、出勤情况等）占20%, 期末考试成绩占80%o教材与主要参考书目：教材：郑伟涛等，薄膜材料与薄膜技术，化学工业出版社，2007主要参考书目：
2、1 .陈国平 主编，薄膜物理与技术，东南大学出版社，19932 .杨邦朝 王文生 著，薄膜物理与技术，电子科技大学出版社，1994内容概述：中文：真空与薄膜技术在近代物理和近代科学技术发展中起着重要作用，本课程是扩大材料物理专业 本科生视野和就业面重要的专业选修课之一。本课程在材料物理基础等课程的基础上，结合本校工科 的特色，介绍真空和薄膜技术等方面的一些基础知识，为学生的进一步学习和工作打好基础。其教学内容 主要包括：薄膜技术与高科技、真空技术基础、薄膜的制备方法、薄膜的生长、薄膜的性质和表征以及薄 膜材料和应用。本课程意在培养学生从事薄膜以及相关行业的能力，要求学生能了解真空、薄膜制备、生
3、长以及薄膜 材料应用的知识，并全面了解薄膜行业的科研前景。培养学生能在实际工作中根据需要，应用相关知识解 决实际问题的能力。英文： Technoligies of Vacuum and Thin Solid Films play an important role in the development of modern physics and modern science and technology, this course is an important selective course to expand the material physics major students view
4、 and employment. On the basis of the Fundamentals of Materials Physics”,combining the characteristics of our school of engineering, the basic knowledge of the vacuum and thin film technology was introduced. Its teaching content mainly includes thin film technology, vacuum technology, preparation met
5、hods of thin film, the growth of thin films, film properties and characterization, and film materials and applications.This course aims to culture students ability in the film and its related industry, require students to understand the vacuum, thin preparation, growth and application of thin film m
6、aterials, to fully understand the film industry and research prospect. This course aims to culture the students ability to solve practical problems, according to the need in the actual work.薄膜材料与薄膜技术教学大纲课程编号：02034910课程名称：Thin Solid Films Materials and Technology学分：2学时： 32 （实验： 上机： 课外实践： ）适用专业：材料科学与工
7、程等建议修读学期：6开课单位：材料科学与工程学院材料物理与化学系课程负责人：先修课程：材料科学基础一、课程性质、目的与任务【课程性质】真空与薄膜技术在近代物理和近代科学技术发展中起着重要作用，本课程是扩大材料物理专业本科生 视野和就业面重要的专业选修课之一。本课程在材料物理基础和固体物理等课程的基础上，结合 本校工科的特色，介绍真空和薄膜技术等方面的一些基础知识，为学生的进一步学习和工作打好基础。【教学目的与任务】（1）让学生掌握与真空和薄膜制备相关的基本概念、方法和规律，激发学生对现代科学知识的兴趣， 培养科学研究的方法。（2）介绍真空和薄膜物理发展的基本情况和他们对近代物理和近代科技发展所
8、起的重要作用，培养 学生的科学素质和科学精神。（3）介绍当今真空技术和薄膜技术的前沿领域概况，培养学生的现代意识和科学远见。【对应毕业要求】对应指标点：1.4：能够应用专业知识解决材料科学与工程专业复杂工程问题。3.1：能够设计针对新材料的研发、应用和工艺改进等复杂工程问题的解决方案。6.1 ：能够基于工程相关背景知识对专业工程实践和复杂工程问题的解决方案的合理性进行分析。6.2 ：能够评价复杂工程问题解决方案对社会、健康、安全、法律以及文化的影响，并理解应承担的责任。二、教学内容及学时分配（按章节列出内容要求学时等，实验上机项目要列在课程内容一栏）薄膜材料与薄膜技术总学时数为32学时，其中理
9、论教学为32学时；课程教学共有6章，具体内 容及学时安排等如下表所示：课程内容教学 要求重点（）难点（）学时 安排实验 学时上机学时备注（-）绪论1薄膜与高新技术C什么是薄膜A（二）真空技术基础2真空基本知识A稀薄气体的基本性质BA真空的获得B真空的测量与检漏C（三）薄膜的制备方法10热生长c化学气相沉积BLB膜技术C真空蒸发B溅射镀膜AA离子镀B外延镀膜法B（四）薄膜的形成与生长3凝结过程B形核BA薄膜的形成过程和生长模式AA溅射薄膜的形成过程B（五）薄膜的性质与表征11薄膜厚度控制及测量BA薄膜的性质：力学性质、电学性质、磁学性质BA薄膜的结构与缺陷B薄膜的组分、形貌表征A薄膜结构的表征A
10、（六）薄膜材料及其应用5超硬薄膜材料B石携烯c形状记忆合金薄膜c磁性薄膜与超导薄膜B半导体薄膜C（教学基本要求：A-掌握；B-熟悉；C-了解）三、建议实验（上机）项目及学时分配无四、教学方法与教学手段教学方法：课堂讲授中要重点对基本概念、基本方法和解题思路的讲解；采用启发式教学，培养学生 思考问题、培养学生思考问题、分析问题和解决问题的能力；引导和鼓励学生通过自学获得知识；调动学 生学习的主观能动性。教学手段：本课程属于专业基础课，在教学中可采用电子教案、CAI课件及多媒体教学系统等先进教 学手段，处理好重点和难点。启发式教学，实现“课堂介绍+答疑”教学互动。在理论授课时，除了耍坚持 由浅入深
11、，循序渐进和阶段性的原则，还要注意和横向课程的衔接。加强课堂教学的实践环节，充分发挥 模型、实物等的作用，来激发学生的兴趣和想象力。五、考核方式与成绩评定标准考核方式：开卷考试成绩评定标准：本课程的总成绩主要由两部分组成：平时成绩（包括作业情况、出勤情况等）占20%, 期末考试成绩占80%o期终考试试卷对应该课程支撑毕业要求指标点的情况如下表所示：课程支撑毕业要求指标点在试卷中的相应分数（范围）指标点1. 280%指标点4. 220%总计100%六、教材与主要参考书目教材：郑伟涛等，薄膜材料与薄膜技术，化学工业出版社，2007主要参考书目：1 .陈国平 主编，薄膜物理与技术，东南大学出版社，19932 .杨邦朝王文生著，薄膜物理与技术，电子科技大学出版社，19943 .唐伟忠，薄膜材料制备原理、技术及应用，冶金工业出版社，1999七、大纲编写的依据与说明本课程教学大纲，是根据材料科学与工程专业本科生培养的目标与要求，结合本校实际情况、本课程 的性质以及教学的基本任务和基本要求，在参考国内多家院校编制的教学大纲基础上，经专业教研室讨论, 以及学院教学委员会审定后编写的。