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1、TFC 膜系设计实例教程教学 TFC 膜系设计实例教程 TFC 膜系实例设计步骤(首先以 AR 膜三层为例介绍)1(首选镀膜材料:AL2O3 ZRO2 MGF2 2(AR 膜技术要求:400-700 R1 3(运行 TFC 软件(如图 1)，选择“取消”按钮，如要打开已设计好的膜系文件，可按“打开”来调用文件。图 1 4(在 File 菜单中选择 New Coating 选项(如图 2)。图 2 5(进入环境编辑界面(Edit Environment)如图 3 图 3 6.在环境编辑界面中，第一项为监控波长(Reference wavelength),默认设制为 550(图 3)。如果设计 4
2、00-700 波段的 AR 的话，就可以用这个设制。如要设计红外波段的话，那就要改大点。设好后，点击 Analysis Parameters.项，进入下一个波段的设制界面(Set Analysis Parameters)。(如图 4)图 4 6(在 Set Analysis Parameters 界面中选 Wavelengths and Angles 设计波段范围，在第一个输入框里输入起始波段 400，第二输入框里输入结束波段 700，第三个输入框里的为步长，可以不改，其它的不动(如图 4)。输入完成后，按“OK”键确认，返回到如图 3 的界面，再按“OK”键，进入设计界面(如图 5)图 5
3、7.在 Modify 菜单中选 LayersFront(如图 6)，然后进入添加膜层。(如图 7)图 6 图 7 7(选择 Options Front Layers.,添加层数，如图 7，在弹出的输入框的第一个中输入 3 代表 3 层，如图 8 图 8 8(然后点“OK”，进入，出现如图 9 的画面。图 9 9(现在把 Material(材料)项中的，改成你所要的材料 AL2O3 ZRO2 MGF2，把Optimize?(优化否)项中的 NO，全部 改为 YES(如图 10)图 10 10.选择 Modify 菜单中的 Targetscontinuous 项来设定优化目标(如图 11)图 11
4、 11(选择 Options 中的 Add Continuous targets.(如图 12)，点击进入，如果是创建一个优化目标的话 就不用改，如果要创建几个优化目标的话，就在第一个输入框中输入几。如图13 图 12 图 13 12(如图 14，在 Wavelength(begin)(起始波长)处输入 400，在Wavelength(end)(结束波长)处输入 700 其它不要动。图 14 13(完成后，选 Run 菜单的 Optimize Design 选项进行优化，如图 15 图 15 14(优化界面如图 16 图 16 15(优化完成后，点击 Analyze 查看优化后的曲线，如图 17 图 17 16(好了，这个 AR 的膜系已设计完成了，要查看每层的物理厚度，可以打开菜单 Modify 中选 LayersFront 如图 18 图 18 17(763(4 120.09 90.83 就是我们优化后的厚度了