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1、电子级多晶硅产业化技术研究工程可行性报告一、工程立项的背景和意义 1、工程立项的背景在人们消费水平不断提高以及对新能源产品不断追求的新形势下，应用于众多高科技产品中的一系列新材料的市场将十分广阔。电子级多晶硅材料就是众多高科技电子信息行业不可或缺的原料。电子级多晶硅不仅应用于太阳能光伏电池而且可以大量用于集成电路等半导体器件等产品中，具有不可替代的作用。而目前世界上制备电子级多晶硅的技术主要被美、日、德等跨国公司所垄断。国内还没有能生产电子级硅材料的企业。目前国内市场直接使用电子级硅烷的消耗量大致为600-700吨/年，随着浙江正泰集团非晶薄膜电池生产基地和河北廊坊太阳能薄膜电池生产基地的上马
2、，未来三年，国内对电子级多晶硅的需求将到达1200-1500吨/年。目前国内多晶硅产品严重短缺，全部依赖进口。因此在国内开发生产电子级多晶硅及硅料具有相当好的市场前景。就国际市场而已，多晶硅年需求量约为20000吨，中国约占三分之一，年需求量为6500吨左右，用于半导体集成电路和功率器件的生产，且每年呈30%的速度增长。开发生产电子级多晶硅不仅市场广阔，而且意义重大，将会改写我国长期以来依赖进口的局面，填补我国规模化生产电子级多晶硅的空白。国家支持和鼓励企业大力开展电子多晶硅的研发和生产目前，电子级硅材料产业也是一个十分敏感的战略性工业，多晶硅的主要制造技术又只掌握在美、日、德等几个兴旺国家手
3、里，从国家平安的战略高度来考虑，国家积极支持和扶植规模型的电子级多晶硅产业，否那么一旦有什么风吹草动，国家战略平安就将处于危险的地位。我国是一个正在迅速崛起、经济快速增长的开展中大国，我国的电子工业和光伏产业也正处在飞速开展的关键时期，很难想象随着社会的进步，对高科技产品需求的不断加大，我国还要依靠进口高纯硅料来维持我国电子产品出口世界第一、光伏产品制造世界第一的地位。也就是说，没有国产高纯多晶硅材料的供给，要保持我国电子信息产业和光伏产业的高速开展是不可能的。因此鉴于电子级多晶硅产业对开展我国电子信息产业、光伏产业的重要作用和战略地位，国家支持和鼓励企业大力开展电子级多晶硅产品研发和生产。电
4、子级多晶硅材料均列入和符合?国家中长期科学和技术开展规划纲要2006-2021年?和?国家产业政策指导目录?中?电子专用材料制造?的产业政策。2、工程立项的意义国内电子级多晶硅市场开展潜力巨大随着我国电子半导体行业的不断开展，对电子级多晶硅以及硅产品的消费量将不断增加，在我国具有很好的开展前景。良好经济效益和社会效益电子级多晶硅工程建成投产，既为企业创造经济效益，又具有良好的社会效益。符合国家产业政策本工程的电子级多晶硅可应用到多种高科技领域，对传统能源的替代具有积极的作用，符合国家绿色环保、循环经济、可持续开展的产业政策。我国目前多晶硅生产技术落后，电子级多晶硅的研发和产业化生产将填补国内空
5、白国内实验室制备多晶硅的方法为数也不少，但真正有实用价值并能够投入大规模生产获取商业利益的根本没有。本工程研发电子级多晶硅和硅材料的产业化技术将填补国内的规模化生产的空白。环保优势本工程在利用国外先进多晶硅生产技术的根底上，进行电子级多晶硅的研发和产业化生产。工程三废排放量少，易于治理。针对本工艺生产的特点，本工程将建设切实可行的废水处理装置和废气处理设施，确保工程满足清洁生产需要。综上所述，投资电子级多晶硅工程，进行产业化升级和生产，可缓解我国电子级多晶硅产品供给紧张矛盾，摆脱长期依赖进口的被动局面，同时也填补了我国大量生产电子级多晶硅材料的空白。不仅具有良好的经济效益，同时也具有良好的社会
6、效益。因此，本工程的立项很有意义。二、国内外研究现状和开展趋势1、国外工艺技术概况有关研究资料说明，实验室制备多晶硅的方法及专利为数不少。真正有实用价值并能够获取商业利益的方法主要有改进西门子法、硅烷法和流化床法。其中改进西门子工艺生产的多晶硅的产能约占世界总产能的80，短期内产业化技术垄断封锁的局面不会改变,其中硅烷法的技术主要掌握在美国MEMC和REC两家跨国公司里，已经形成批量化的生产，并进行技术封锁。比拟而言，硅烷法由于杂质的汽液化点的温度与硅烷本体有一定的距离，所以更容易提纯，因而是开发电子级多晶硅的理想方法。2、国内工艺技术概况目前，国内尚无规模化生产电子级多晶硅方面的技术，仅有科
7、研院所和大专院校在实验室进行一些研究，未能形成规模化生产和市场化效应。本工程在国内是第一家对电子级多晶硅产业化技术进行系统性的开发和研究，可为规模化生产创造条件。三、工程主要研究开发内容、技术关键及主要创新点1.1 工艺路线介绍 本工程采用的是硅烷法制备多晶硅的工艺。即用硅烷进行反响生成多晶硅。硅烷法工艺与经由三氯氢硅反响的改进西门子法相比，该方法产品质量更高及消耗总量更低。目前用硅烷热分解法工艺的主要有两家公司在采用，一是美国的MEMC公司，二是欧洲的REC公司。而美国的技术生产的产量更大，工艺技术更加成熟先进，是当前国际市场硅烷法生产的主流。此法在国际上属于先进技术。目前在中国尚无一个公司
8、采用硅烷法生产多晶硅。硅烷法具有如下的几大优点，是三氯氢硅法所无法替代的：a. 耗电低。硅烷的分解温度为800，比三氯氢硅低300左右，所以用电仅为三氯氢硅法的1/2左右。b.硅烷容易分解，材料利用率高。三氯氢硅法复原炉分解率仅为10-15%，硅烷法复原炉分解率为85%以上，硅烷法复原炉未反响物料循环量小于三氯氢硅法。材料利用率高。c.环境友好。硅烷法的生产原料对设备腐蚀小，不含氯化物，生产过程不副产氯化氢，三废排放少，排放可控，对环境影响小。d.热解炉尾气容易处理。硅烷法热解炉内气体主要是氢气和少量未反响硅烷，别离出的氢气经过过滤，回到四氢化钠铝制备，别离出的硅粉、硅烷送回热解炉。e.硅烷容
9、易提纯，是电子级多晶硅的理想原料采用硅烷法生产多晶硅有一个很大的好处在于因为硅烷中各类杂质的气化/液化点温度与硅烷本体的气化/液化点有相当的距离，在精制时比拟容易与硅烷别离，因此硅烷的纯度可以做得很高。同时为了到达高纯的目的，在原方案的根底上，我们在设计时，加大了硅烷气体在精馏时的循环量，使硅烷的纯度大大提高，特别是硼、磷等杂质含量从原技术的1-10ppm降低到0.1-0.15ppb,到达电子级多晶硅的要求。1.2 研究开发内容工程公司根据国内多晶硅生产的现状，投资建设硅烷法多晶硅工程，采用的是引进国外硅烷法多晶硅生产技术与国内自行研发相结合的模式，在引进技术的根底上，开发和生产电子级多晶硅，
10、并形成产业化生产。经过与国内、外多家技术专利商交流以及同国内著名院校专家的探讨，决定引进国外光伏级多晶硅的生产技术，在此根底上，进行电子级多晶硅的研发和产业化升级、生产，这样在建设本钱、生产本钱和质量控制上更加符合中国的国情和实际情况。拟采用的电子级多晶硅生产装置采用在生产现场进行组装和改造，使装置运行更加稳定，产品质量满足国内和国际市场的要求，使产品在市场上具有较强的竞争力，完全替代电子级多晶硅和硅烷进口，填补国内产业化生产电子级多晶硅的空白。2007年公司与国外几家多晶硅专利商和主要设备制造商进行了技术交流。根据对各种技术的筛选比拟，决定采用美国主流技术的硅烷法生产的太阳能级多晶硅技术，并
11、于2021年至2021年进行了太阳能级多晶硅工程的建设。目前生产线已经安装完成，进入试生产阶段，为进一步开发电子级多晶硅产品打下了根底。1)如何使用通过使用石英砂、氢氟酸等廉价原料经过反响器，调节反响温度、压力、流速等条件来制备出优质的四氟化硅气体。2如何控制硅烷气体在提纯装置中的流速、循环时间调节硅烷的循环量以及寻找一种有效地吸附剂来大幅提高作为多晶硅原料的硅烷的纯度。3如何有效调节电子级多晶硅生产装置的压力温度平衡，硅烷、氢气等物料进样配比、进样流速等条件，得到最优化的电子级硅烷。1使用硅烷法制备多晶硅工程承当单位是国内首家掌握硅烷法制备多晶硅工艺技术的公司。硅烷法制备多晶硅的工艺较其他制
12、备多晶硅的工艺具有耗能低、原料易提纯，材料利用率高、反响环境友好、三废排放少，尾气易处理等优点、2国内首创使用石英砂制备多晶硅的原料四氟化硅。硅烷法制备多晶硅需要大量的四氟化硅气体来作为原料，产业化生产电子级的多晶硅对原料四氟化硅的纯度要求、产量要求很高，一般的制备方法往往很难到达这样的纯度要求和产量要求。我们创造了一套使用二氧化硅粉末与高浓度硫酸、氢氟酸以一定比例反响制取高纯四氟化硅的装置。此法在国内甚至是全世界只有在实验室制备少量四氟化硅气体中使用，将其运用到产业化生产中还是国内首创。此法中，未反响完的残渣在沉降别离槽沉降后，将上层的硫酸清液抽出至硫酸蒸发器进行蒸发浓缩至一定的质量百分比浓
13、度，沉降下来的二氧化硅浆料用泵抽到二氧化硅硫酸混合槽，循环使用，降低生产本钱，减少工业生产污染物的排放。此工艺与其他产业化生产四氟化硅的工艺相比拟具有耗能低、原料价格低廉、排污量少和生产的四氟化硅纯度高、产量大、连续性好等优点。通过反复摸索、调试得到四氟化硅生产的最正确工艺条件，为后期制备高纯电子级多晶硅大大降低了生产本钱。3增加一个硅烷反响器，提高硅烷的转化率美国原有技术是通过四氢化铝钠与四氟化硅在一个反响器中进行反响，这样的反响所得硅烷只能到达90%左右的转化率。为了解决转化率低的技术难题，我们设计了以下技术方案：一种硅烷生产工艺，四氢化铝钠溶液一次经过第一反响器和第二反响器。气体四氟化硅
14、一次经过第二反响器和第一反响器，所述四氢化铝钠溶液为四氢化铝钠的二甘醇二甲醚溶液。这样硅烷反响所得的转化率可达99%以上。本技术所提供的硅烷生产工艺，利用四氢化铝钠溶液和四氟化硅直接反响生成硅烷，四氢化铝钠和四氟化硅气体为逆向进料方式，在第一反响器内，四氢化铝钠的量大于四氟化硅的量，可以使四氟化硅完全反响，在第二反响器内，四氟化硅的量大于四氢化铝钠的量，可以使得四氢化铝钠完全反响。原料完全反响，从而大大减少成品硅烷中四氟化硅气体的含量，根本能到达99%以上的转化率，提高粗硅烷的纯度，为后期精制电子级硅烷提供了必不可少的条件。4增加一组电子级净化装置，有效降低多晶硅产品中硼、磷的含量。光伏级多晶
15、硅对杂质中硼、磷的含量要求比拟低，在1-10ppm之内就可以。但应用于电子级多晶硅、非晶薄膜以及TFT液晶显示屏等半导体器件中对硼、磷杂质的要求就比拟高，必须控制在0.1-0.15ppb范围之内。经过研究发现，我们增加的一组电子级净化装置主要用于除去硅烷中的硼、磷杂质，在一定温度压力的调节下，能够有效的将多晶硅中的硼、磷杂质含量降低到0.1ppb以下，到达电子级多晶硅的标准。5) 采用有效地吸附剂及吸附装置，提纯合成多晶硅原料四氟化硅，使硅烷中的碳含量大幅降低，到达纯化多晶硅产品的目的。四、工程预期效益目标1.工程总投入估算工程研发总投入根据设计所列分析检测仪器清单，具体如表1所示：表1 设备
16、清单装置名称数量台套单价万元总价万元硅烷纯度测试仪18484微量水测试仪15050气相色谱仪16868氢中硅烷含量测量仪24080在线氧分析仪 12525钢瓶清洗、试压检漏系统1100100可燃有毒气体检测系统11212低温红外光谱仪1 330330ICP-MS1170170粒径仪15050碳氧分析仪15050合计：10191工程研发总投入根据表1的设备清单，本工程电子级硅烷研发检测、仪器设备等总投入为1019万元，在此根底上进行电子级多晶硅工程的研发，因此工程的研发总投资估算如下所示： 1研发检测仪器设备等固定资产投资： 1019万元；2研发经费投入估算：工程设计等研发费用： 195万元人员
17、劳务费用： 50万元工程试车材料费用： 1200万元试车燃料动力费用： 300万元产品检测费用： 100万元专利申请费用： 8万元工程人员出差等费用： 15万元工程管理费用： 20万元预备费用： 10万元合计： 1898万元3工程研发总投入：2917万元，其中检测设备等固定费用投入为1019万元，研发费用为1898万元。2 工程期贷款利息本研发工程局部资金拟使用银行贷款，贷款额为10001%计取。建设期贷款利息为：万元。本研发工程资金来源按企业自筹、银行贷款和政府重大专项支助的模式进行资金筹措，其中企业自筹1517万元，银行贷款1000万元，申请省科技专项省财政拨款资助资金300万元，地方部门
18、配套经费100万。1 本钱工程投产后正常年份的多晶硅制造本钱包括原料、动力燃料、员工工资、设备折旧以及修理费用等，按500t/a计算，制造本钱为9351.5万元。2 利润根据本钱核算数据，可计算出企业在工程建成达产后正常年份的利润数据，详见表2。表2 多晶硅利润表序号科目工程总额500t/a)万元备注1营业收入450002减：营业本钱3管理费用-4504财务费用5销售费用-4506税金及附加-22507营业利润8减：所得税按15%计-48109净利润综上所述，营业收入和利润是在工程研发成功后，反映了整个企业的经营情况，其中1500吨产量中，多晶硅为1000吨，电子级硅烷为500吨，按照目前的硅
19、烷价格，比多晶硅价格高300%，我们在目前的价格根底上打了九折计算所得，总额为27255.9万元，可见规模化生产电子级多晶硅产品的前景和效益非常好。4. 产业化前景4.1 产品市场本工程所生产的多晶硅产品大局部被股东公司购置使用，同时国内外市场对高纯度的多晶硅产品需求量很大，销路十分广泛。原料供给主要原料合金粉、金属中间体、砂粉等国内供给充足、质量稳定，其来源是有保障的。工艺设备技术本工程的工艺技术在国外是比拟先进、成熟的，在国内尚没有厂家涉足，技术上有一定难度，需要借鉴国外经验，消化吸收并大胆创新，我们相信是一定可以实现的，有一定风险，但不大，并可以完全克服。关键设备从国外引进，使本装置技术
20、到达国际先进水平。资金来源工程公司股东实力雄厚，企业知名度较大。银行信誉较好，所以其中34.3%申请银行贷款支持，%由企业自筹解决，%申请国家专项资金资助。工程建设原装置建于高新技术企业园区，园区有较好的公用工程设施，水、电、气等可直接引到本装置界区，交通、运输等设施也较完备，厂房及动力配套原本留有开展余地，工程建设条件优越。5.社会效益 5.1 同时通过工程建设培养青年专家和技术骨干20余名，培养企业高层决策和管理人才2名。5.2 解决200-300名员工的就业问题，为社会的和谐与稳定做出奉献。5.3 获取专利、知识产权情况工程完成后，通过消化吸收再创新，经过实际运行及工艺技术改进，形本钱公
21、司自有的技术和知识产权，同时对再创新以后的技术进行专利申报，其中创造专利1-2项。其他专利技术4项：，为国家调整产业结构作出奉献。5.5 产品替代进口，为国家节约外汇，逐步出口，为国家创汇。五、工程实施方案和技术路线1. 工程规划1.1 产能设计 本工程在前期光伏级多晶硅生产装置的根底上，进行电子级多晶硅产业化升级改造和优化，为到达规模化效应，进行国产化替代，尽量满足市场的需求，因此进行最大化的产能设计。全厂生产时间按8000小时/年计，24小时/天循环生产，生产4.5吨/天电子级多晶硅，全年计总产能约1500吨。1.2 产品规格按电子级多晶硅的规格进行设计、生产，具体规格如下：表3 多晶硅产
22、品质量标准 GB/T 12963-1996 序号指标名称指标分析方法备注1硼含量wt% 0.15 ppb色谱法2磷含量wt% 0.15 ppb色谱法3砷含量wt% 0.02 ppb色谱法4锑含量wt% 0.02 ppb色谱法5其它金属含量wt% 5 ppb色谱法2技术路线本工程具体工艺步骤如下列图所示：其中图1为光伏级多晶硅的技术路线，图2为电子级多晶硅的技术路线。电子级多晶硅技术路线与光伏级多晶硅技术路线相比作了以下优化：1将二级净化装置放于过滤装置之前。2在过滤装置之后添加一套电子级硅烷净化装置3在硅烷循环管上添加一套硅烷计量装置，调节硅烷精制的循环量。4 在多晶硅复原工艺过程中，对复原炉
23、进行改进，采用导热油的热量对硅芯进行加热，使多晶硅生长时保持均匀，并提高多晶硅沉降密度，从而提高多晶硅的品质，并到达省电，降低本钱的目的。3. 工程实施方案3.1 人员组织为更好地实施本工程，公司专门组织了工程组，由总经理担任工程的总负责人，参加人员有高层的技术精英，有中层的技术骨干和现场一线的工程技术人员共同组成，具体如下：工程总负责人 1 名工艺工程师 3名有硕士、高级工程师、工程师设备工程师 2名有高级工程师、工程师仪表工程师 2名工程师电器工程师 2名工程师3.2 确定技术路线联合高校技术专家和国家级设计院一同完成此工程的工艺和工程化的设计，并确定工程的技术路线。本工程工艺选择原那么：
24、首先选择处于世界领先水平的硅烷法生产技术，该技术生产的多晶硅装置在国外运行稳定，产品质量满足国际市场要求。根据上述原那么，从多晶硅材料生产的主要工艺技术现状和开展趋势来看，并经过与国内外多家技术专利协商交流以及对装置现场的考察，本工程1500吨/年电子级多晶硅产业化生产的建设已在引进的国外硅烷法技术的根底上，对技术路线进行合理有效的改进和改造，并进行大胆的技术创新，形成自有的知识产权。3.3 进行工程化设计确定工艺路线，只是实施工程的第一步，为进一步开展好工程，必须请有甲级资质的设计院对该工艺路线进行工程化设计。因此我们确定中国化学工程第二设计院宁波工程设计公司对工程进行二次的施工图设计。3.
25、4 采购设备为保证工程实施的质量和可靠性，同时降低工程的投入和建设本钱，本工程采用进口设备和国产设备相结合，在已有的光伏多晶硅生产线上进行合理的配置和改造，形成自动化流程控制的一体化生产装置，从而生产出高质量的电子级多晶硅，使产品实现升级换代。本工程控制系统、硅烷压缩机、复原装置、和局部检测设备采用国外引进，局部电化学内抛光不锈钢管进口。其余的设备、管道、阀门国内质量已全部过关，均采用国产。其中电子级硅烷净化装置采用进口和国内设备装置结合在现场组装而成。3.5 安装调试多晶硅工程是化工和电子结合的建设工程，重要的原材料电子级硅烷又是一种易燃易爆的危险物料，因此必须要求有甲级资质的安装单位进行施
26、工安装，因此我们确定中化六建和中电二建两家国家级的施工单位本工程的设备装置、管道阀门的安装调试工作。3.6 厂房本工程是在原有的光伏级多晶硅生产线进行技术升级和创新改造，利用原有的厂房和土地资源，不需新增和扩建。3.7 平安和环保平安和环评在原光伏级多晶硅工程建设时已做评估和审批，本工程无新的原料和排放增加，请设计院做一个关于平安、环保和消防的设计说明到有关政府职能部门备案审核即可。3.8 试生产和规模化生产调试成功后，我们将按照试生产/检测确认/送交客户/批量生产/设计产能验收/规模化生产这样的过程和程序进行操作，按工程实施的方案时间表进行工程建设。到达年产1500吨电子级多晶硅的规模产能。
27、六、方案进度安排 根据设计和建设工期的需要，本工程的实施期限为两年，具体方案进度安排如下：2021年6月12月 工艺路线和工程化设计，实验室试验2021年1月3月 电子级多晶硅生产线研发工程的设备、仪器、管道阀门订购2021年4月6月 安装调试2021年7月12月 试生产，中试，问题反响，问题解决，循环试车2021年1月3月 客户认定、提出问题，解决问题，认定通过 2021年4月6月 规模生产，工程验收七、现有工作根底和条件1、股东条件公司的大股东均是太阳能和半导体产业内的知名企业，是我国最早生产太阳能电池组件和太阳能硅片的企业之一，产品普及全国，并远销到欧美、非洲及东南亚地区。目前综合年产能
28、到达500MW。2、企业现有条件企业注册资金4亿元。是浙江省山海协作最大单体工程，也是本市重点的招商引资企业。公司方案斥资约46亿元人民币、规划用地870亩分三期建造年产4500吨太阳能级多晶硅工程，打造成我国拥有电子级多晶硅和电子级硅烷生产能力且拥有自主知识产权的生产基地。公司一期投资约15亿元人民币，方案年产多晶硅1500吨。引进当今国际上先进的硅烷法工艺生产多晶硅，同时融入了世界上先进的工艺及装备。3、合作院校条件目前，该工程已得到浙江大学、武汉理工大学等著名高等院校的技术支持并建立了长期合作的关系，为研发、生产过程中遇到的问题提供技术上的支持。4、人才条件公司现有员工300余人，拥有各
29、种学历和硕士研究生学历的有80余人。其中10%以上是从事多晶硅行业多年的工程技术人员。本工程的负责人，是国内著名大学的研究生毕业，高级工程师，专业研究方向是半导体材料，对硅材料领域相当熟悉，具备扎实的理论研究能力和生产实践能力。本工程的技术参与人员，即其他副总经理及高级管理人员也均是化工、半导体专业背景，从事过多年的太阳能及半导体行业的研究和企业管理者。工程研发组成员共有6名，其中4名是研究生，2名本科生。5、技术条件为配合工程试车，公司已于2021年1月起陆续配置了高级技术人员和专家、管理人员进行技术消化、工艺研发和技术创新，并编写了各个单元的操作指导书，具备了工程实施的技术条件。 6、 研
30、发条件光伏级硅烷法多晶硅生产工程经过两年来的建设，已经形成了试车和生产的硬件条件，在建设过程中，经过大量的技术创新，例如电子级硅烷的提纯方法，循环氢气回用、余热利用等，融合在设计和施工过程中，使硅烷法多晶硅的生产技术更加成熟，可靠，更加节能。目前生产光伏级多晶硅的设备、工艺管道等已经安装完毕，为下一步进行电子级多晶硅生产设备、管路的设置安装打下了扎实的根底。综上所述，本工程已具备了市场、技术人才、研发条件和技术条件，为工程的开展打下了良好的工作根底。我们认为电子级多晶硅产业化研究工程可行，敬请上级主管部门审核批准。附表： 省级科技方案工程经费概算表工程名称：电子级多晶硅产业化技术研究工程 金额
31、单位： 万元 序号概算科目名称合计省财政拨款经费地方部门配套经费自筹经费123451一、经费支出合计2917300100251721、设备费101900101931购置设备费000042试制设备费 101900101953设备租赁费000062、材料费1200180100100073、测试化验加工费1002008084、燃料动力费300100020095、差旅费150015106、会议费 200020117、合作、协作研究与交流费550055128、出版/文献/信息传播/知识产权事务费8008139、人员劳务费5000501410、专家咨询费120001201511、管理费2000201612
32、、其他开支1000101二、经费来源合计2917300100251721、申请省财政经费3003000032、地方、部门配套拨款1000100043、自筹经费251700251751单位自有货币资金151700151762其他资金(银行贷款)1000001000省财政科技经费拨付进度申请第1年第2年第3年金 额1501500比例50500注：支出概算按照经费开支范围确定的支出科目和不同经费来源编列，同一支出科目一般不同时在财政拨款经费和自筹经费中概算。经费概算说明本工程研发总投资为2917万元，来源分为四局部:1)企业自有资金1517万元；2银行贷款1000万元；3争取省科技专项资助资金300
33、万元；4地方部门配套拨款100万元。如果专项资金补助缺乏的局部，那么由企业自有资金解决。1设备费：1019万元。主要用于购置电子级多晶硅产业化研究活动中的装置、设备和检测仪器。详见表1 表1设备清单装置名称数量台套单价万元总价万元硅烷纯度测试仪18484微量水测试仪15050气相色谱仪16868氢中硅烷含量测量仪24080在线氧分析仪 12525钢瓶清洗、试压检漏系统1100100可燃有毒气体检测系统11212低温红外光谱仪1 330330ICP-MS1170170粒径仪15050碳氧分析仪15050合计：10192材料费：1200万元。申请省科技经费资助主要用于采购产品开发过程中所需要的试车
34、材料：如铝粉、金属钠、砂石粉、填料以及试车过程中的各类消耗品等。具体数据如表1所示。表1 多晶硅制造本钱表序号材料名称单位定额kg/公斤硅单价(元/公斤总价万元试车期间按每月1.85t的产量来计算，方案试车5个月备注1砂粉2合金粉233金属中间体4环基物855硫酸516甲苯7试剂8液氮129氮气15制造本钱合计12003测试化验加工费：100万元申请省科技经费资助。主要用于产品后期加工多晶硅切片、包装等、购置产品检测时的标准气体，标准样本以及外送检测费用等。4燃料动力费：300万元。申请省科技经费资助主要用于试车的水、电、天然气、液氮、高纯氮等动力费用支付。此局部费考虑到能源价格逐年上涨、到工
35、地现场的燃料动力费以及试制设备的往返运输费等因素，参照目前浙江地区现行的燃料油、天然气、电、水价格标准预计共需燃料动力费300万元。5差旅费：15万元。用于工程技术人员的关于工程开发、会务、调研等出差费用。包括国内差旅费、市内交通费、住宿费及出差补助。用于科研人员之间的学术交流，出席国际、国内学术会议，开展业务调研等。国内差旅费按4000元/人次计，30人次，共计需12万元；市内交通3万元。6会议费：20万元。用于组织或参加相关会议，开展学术研讨会、基层调研咨询会、专家论证会、课题协调会、课题验收会等活动而发生的会议费用，包括课题组内部会议、国内相关专业会议以及国际相关研讨会。国内相关专业费用
36、10万元，用于会务费、交通费及食宿费，0.5万元/人次20人次10万元。国际相关研讨会10万元，用于国外专家国家机票、交通费，食宿费等，2.0万元/人次5人次10万元。7合作、协助研究与交流费：55万元。用于该工程的技术合作研发单位的合作费用以及合作单位的交流费用。包括技术咨询费用、工程设计费用等。8出版/文献/信息传播/知识产权事务费：8万元。主要用于专利申请、软件、图书资料的购置。9人员劳务费：50万元。主要用于工程的研发人员的工资费用及设备、装置、管道的安装、调试等劳务费用。10专家咨询费：120万元。用于工程工程安装、净化管道的工程施工图设计、审图等费用以及国外技术专家的技术咨询费等。国际技术专家及国内高级专业技术职称专家咨询费：5000美金/人月1人24月万元；400元/人天800人天32.0万元；其他专业技术人员咨询费：200元/人天320人天万元。11管理费：20万元。用于公司对本工程实施所产生的管理费用，如电脑、打印机、办公用品等的费用支出。12其他开支：10万元。为工程的预备费用，主要用于弥补材料采购资金缺乏，或工程施工过程出现的不可预见的开支等。