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1、厂务常用缩写 字体:小 中 大|打印 发表于:2007-4-20 08:54 作者:cecilcxm 来源:半导体技术天地 Abbreviation Full Name 中 文 說 明 HVAC CUP Central Utility Plant 中央動力廠房 GEX General EXhaust 普通及熱排氣 SEX Scrubber EXhaust 酸排氣 VEX Volatile orgaic compound EXhaust 有機溶劑排 AEX Ammonia EXhaust 鹼性排氣 PCW Plant Cooling Water 工藝冷卻水 PV Process Vacuum 工
2、藝真空 HV House Vacuum 真空吸塵 CW City Water 自來水 FMCS Faility Monitoring Contro System 廠務監控系統 MCC Motor Control Center 馬達控制中心 VFD Variable Frequency Device 變頻 CCTV Close Circuit Televsion 閉路電視 PA Public Adress system 廣播系統 FA Fire Alarm system 火災報警系統 UPW Ultra Pure Water 超純水 FWW Fluoride Waste Water 低濃度氫氟酸
3、廢水 IWW Industry Waste Water 工業廢水 OWW Organic Waste Water 有機溶劑廢水 DAHW Drain Amonia Hydride Waste 含氨廢水 RCL Recycle water 製程回收循環水 RCM Reclaim water 製程回收再利用水 HFW High Fluoride Waste water 高濃度氫氟酸廢水 BGW Backgriding Waste water 晶背研磨廢 SAW Sulfuric Acid Waste water 硫酸廢 PAW Phosphoric Acid Waste water 磷酸廢液 SW
4、 Stripper Waste water 剝離液廢液 TW Thinner Waste water 清洗廢 PIX Pix waste water PIX 廢 SLOW Oxide slurry waste water 介電質研磨廢水 SLWP Metal slurry waste water 金屬研磨廢 SLWP Poly slurry waste water 多晶硅研磨廢水 PN2 Process N2 製程用氮氣 GN2 General N2 一般用氮氣 CDA Compressor Dry Air 壓縮乾燥空氣 VMB Valve Manifold Box 閥箱 空調系統 AHU A
5、ir Handling Unit 空调箱 MAU Make-up Air Unit 外气空调箱 VAV Variable Air Volume box 可变风量风 FFU Fan Filter Unit 风车过滤器 HEPA High Efficiency Particulate Filter 高效率过滤 ULPA Ultra Low Penetration Filter 超高效率过滤器 A/S Air Shower 空气浴尘室 CUP Central Utility Plant 中央動力廠房 電力系統 FMCS Faility Monitoring Control System 廠務監控系統
6、 MCC Motor Control Center 馬達控制中心 VFD Variable Frequency Device 變頻器 CCTV Close Circuit Televsion 閉路電視 SCADA Supervisory Control And Data Acquisition 监视控制和数据搜集系 MCC Motor Control Center 馬達控制中心 VFD Variable Frequency Device 變頻器 水處理系統 UPW Ultra Pure Water 超純水 RO Reverse Osmosis 逆滲透膜 TOC Total Organic Ca
7、rbon 總有機碳 MB Mixed Bed 混床 UF UltraFiltration 超濾 SC Strong Cation 強陽離子 SA Strong Anion 強陰離子 WA Weak Anion 弱陰離子 DO Dissolved Oxygen 溶解氧 MD Membrane Degasify 脫氣膜 GF Gravity Filter 重力式過濾器.DI Deionize 去離子水 氣體/化學系統 CQC Continuous Quality Control 连续品质控制系统 VMB Valve Manifold Box 閥箱 VMP Valve Manifold Panel
8、閥盘 GMS Gas Monitoring System 气体监测系统 CDS Chemical Dispense System 化學系统 SDS Slurry Dispense System 化學研磨系统 环境安全卫生 ESH Environment Safety Health 环境安全卫生 SCBA Self Contained Brathing Apparatus 自给式空气呼吸器 HVAC AHU Air Handling Unit 空调箱 MAU Make-up Air Unit 外气空调箱 VAV Variable Air Volume box 可变风量风箱 FD Fire Dam
9、per 防火风门 FSD combined Fire Smoke Damper 防火防烟风门 SD Smoke Damper 防烟风门 PHX Plated type Heat Exanger 板式热交换器 FFU Fan Filter Unit 风车过滤器 HEPA High Efficiency Particulate Filter 高效率过滤器 ULPA Ultra Low Penetration Filter 超高效率过滤器 A/S Air Shower 空气浴尘室 A/L Air Lock 气闭门室 DCC Dry Cooling Coil 干盤管 FCU Fan Coil Unit
10、 小型冷风机 SF Smoke Fan 消防排烟风车 EF Exhaust Fan 通风排气风 CUP Central Utility Plant 中央動力廠房 GEX General EXhaust 普通及熱排氣 SEX Scrubber EXhaust 酸排氣 VEX Volatile orgaic compound EXhaust 有機溶劑排氣 AEX Ammonia EXhaust 鹼性排氣 PCW Process Cooling Water 工藝冷卻 PV Plant Vacuum 工藝真空 HV House Vacuum 真空吸塵 CW City Water 自來水 FMCS Fa
11、ility Monitoring Control System 廠務監控系統 MCC Motor Control Center 馬達控制中心 VFD Variable Frequency Device 變頻器 CCTV Close Circuit Televsion 閉路電視 PA Public Adress system 廣播系統 FA Fire Alarm system 火災報警系 UPW Ultra Pure Water 超純水 RO reverse Osmosis 逆滲透膜 TOC total organic carbon 總有機碳 MB mixed bed 混床 UF ultrafi
12、ltration 超濾 SC strong cation 強陽離子 SA strong Anion 強陰離子 WA weak Anion 弱陰離子 DO dissolved oxygen 溶解氧 MD membrane Degasify 脫氣膜 GF gravity Filter 重力式過濾器.DI deionize 去離子水 FWW Fluoride Waste Water 低濃度氫氟酸廢水 IWW Industry Waste Water 工業廢水 OWW Organic Waste Water 有機溶劑廢水 DAHW Drain Amonia Hydride Wastewater 含氨廢
13、水 RCL Recycle water 製程回收循環水 RCM Reclaim water 製程回收再利用水 HFW High Fluoride Waste 高濃度氫氟酸廢液 BGW Backgriding Waste water 晶背研磨廢水 SAW Sulfuric Acid Waste 硫酸廢液 PAW Phosphoric Acid Waste 磷酸廢液 SW Stripper Waste 剝離液廢液 TW Thinner Waste 清洗廢液 PIX PIX waste PIX 廢液 SLW-O SLurry Wastewater Oxide 介電質研磨廢水 SLW-M SLurry
14、 Wastewater Metal 金屬研磨廢水 SLW-P SLurry Wastewater Poly 多晶硅研磨廢水 PN2 Process N2 製程用氮氣 GN2 General N2 一般用氮氣 CDA Compressor Dry Air 壓縮乾燥空氣 VMB Valve Manifold Box 閥箱 ESH ESH Environment Safety Health 环境安全卫生 SCBA Self Contained Brathing Apparatus 自给式空气呼吸器 ISO International Organization for Standardization 国际标准化组织