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1、电阻应变片的工作原理 金属电阻应变片的工作原理是吸附在基体材料上应变电阻随机械形变而产生阻值变化的现象俗称为电阻应变效应。金属导体的电阻值可用下式表示 R L/S 式中 金属导体的电阻率 cm2/m S导体的截面积 cm2 L导体的长度 m 我们以金属丝应变电阻为例当金属丝受外力作用时其长度和截面积都会发生变化从上式中可很容易看出其电阻值即会发生改变假如金属丝受外力作用而伸长时其长度增加而截面积减少电阻值便会增大。当金属丝受外力作用而压缩时长度减小而截面增加电阻值则会减小。只要测出加在电阻的变化通常是测量电阻两端的电压即可获得应变金属丝的应变情 2、陶瓷压力传感器原理及应用 抗腐蚀的陶瓷压力传
2、感器没有液体的传递压力直接作用在陶瓷膜片的前表面使膜片产生微小的形变厚膜电阻印刷在陶瓷膜片的背面连接成一个惠斯通电桥闭桥由于压敏电阻的压阻效应使电桥产生一个与压力成正比的高度线性、与激励电压也成正比的电压信号标准的信号根据压力量程的不同标定为 2.0/3.0/3.3 mV/V等可以和应变式传感器相兼容。通过激光标定传感器具有很高的温度稳定性和时间稳定性传感器自带温度补偿 070并可以和绝大多数介质直接接触。陶瓷是一种公认的高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗冲击和振动的材料。陶瓷的热稳定特性及它的厚膜电阻可以使它的工作温度范围高达-40135而且具有测量的高精度、高稳定性。电气绝缘程度 1、应变片压力传
3、感器原理与应用 力学传感器的种类繁多如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器及电容式加速度传感器等。但应用最为广泛的是压阻式压力传感器它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性。下面我们主要介绍这类传感器。在了解压阻式力传感器时我们首先认识一下电阻应变片这种元件。电阻应变片是一种将被测件上的应变变化转换成为一种电信号的敏感器件。它是压阻式应变传感器的主要组成部分之一。电阻应变片应用最多的是金属电阻应变片和半导体应变片两种。金属电阻应变片又有丝状应变片和金属箔状应变片两种。通常是将应变片通过特殊的粘和剂紧密的粘合在
4、产生力学应变基体上当基体受力发生应力变化时电阻应变片也一起产生形变使应变片的阻值发生改变从而使加在电阻上的电压发生变化。这种应变片在受力时产生的阻值变化通常较小一般这种应变片都组成应变电桥并通过后续的仪表放大器进行放大再传输给处理电路通常是 A/D转换和 CPU显示或执行机构。金属电阻应变片的内部结构 如图1 所示是电阻应变片的结构示意图它由基体材料、金属应变丝或应变箔、绝缘保护片和引出线等部分组成。根据不同的用途电阻应变片的阻值可以由设计者设计但电阻的取值范围应注意阻值太小所需的驱动电流太大同时应变片的发热致使本身的温度过高不同的环境中使用使应变片的阻值变化太大输出零点漂移明显调零电路过于复
5、杂。而电阻太大阻抗太高抗外界的电磁干扰能力较差。一般均为几十欧至几十千欧左右。电阻应变片力传感器 力学传感器是将各种力学量转换为电信号的器件力学量可分为几何学量、运动学量及力学量三部分其中几何学量指的是位移、形变、尺寸等运动学量是指几何学量的时间函数如速度、加速度等。力学量包括质量、力、力矩、压力、应力等。根据被测力学的不同这里我们首先要介绍的是应用最为广泛的应变式压力传感器在以后的网页中我们将逐步介绍其它类型的力学传感器。力学传感器的种类繁多如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器及电容式加速度传感器等。但应用最为
6、广泛的是压阻式压力传感器它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性。下面我们主要介绍这类传感器。在了解压阻式力传感器时我们首先认识一下电阻应变片这种元件。电阻应变片是一种将被测件上的应变变化转换成为一种电信号的敏感器件。它是压阻式应变传感器的主要组成部分之一。电阻应变片应用最多的是金属电阻应变片和半导体应变片两种。金属电阻应变片又有丝状应变片和金属箔状应变片两种。通常是将应变片通过特殊的粘和剂紧密的粘合在产生力学应变基体上当基体受力发生应力变化时电阻应变片也一起产生形变使应变片的阻值发生改变从而使加在电阻上的电压发生变化。这种应变片在受力时产生的阻值变化通常较小一般这种应变片都组成应变电桥
7、并通过后续的仪表放大器进行放大再传输给处理电路通常是A/D转换和 CPU显示或执行机构。金属电阻应变片的内部结构 如图 1 所示是电阻应变片的结构示意图它由基体材料、金属应变丝或应变箔、绝缘保护片和引出线等部分组成。根据不同的用途电阻应变片的阻值可以由设计者设计但电阻的取值范围应注意阻值太小所需的驱动电流太大同时应变片的发热致使本身的温度过高不同的环境中使用使应变片的阻值变化太大输出零点漂移明显调零电路过于复杂。而电阻太大阻抗太高抗外界的电磁干扰能力较差。一般均为几十欧至几十千欧左右。电阻应变片的工作原理 金属电阻应变片的工作原理是吸附在基体材料上应变电阻随机械形变而产生阻值变化的现象俗称为电
8、阻应变效应。金属导体的电阻值可用下式表示 式中 金属导体的电阻率 cm2/m S导体的截面积 cm2 L导体的长度 m 我们以金属丝应变电阻为例当金属丝受外力作用时其长度和截面积都会发生变化从上式中可很容易看出其电阻值即会发生改变假如金属丝受外力作用而伸长时其长度增加而截面积减少电阻值便会增大。当金属丝受外力作用而压缩时长度减小而截面增加电阻值则会减小。只要测出加在电阻的变化通常是测量电阻两端的电压即可获得应变金属丝的应变情况。压阻式传感器 某些固体材料受到外力的作用后除了产生变形其电阻率也要发生变化这种由于应力的作用而使材料电阻率发生变化的现象称为“压阻效应”。利用压阻效应制成的传感器称为压
9、阻式传感器。压阻式传感器有两重类型一种是利用半导体材料的体电阻做成粘贴式应变片称为半导体应变片用此应变片制成的传感器称为半导体应变式传感器另一种是在半导体材料的基片上用集成电路工艺制成的扩散电阻以此扩散电阻的传感器称为扩散型压阻传感器。半导体应变式传感器 半导体应变式传感器的结构形式基本上与电阻应变片传感器相同也是由弹性敏感元件等三部分组成所不同的是应变片的敏感栅是用半导体材料制成。图 1 所示为半导体应变片典型结构。半导体敏感条 1 粘贴在由胶膜制成的基底 2 上并有引线 5 将其与联接片 4 相接变于焊接外部引线 3。半导体应变片与金属应变片相比最突出的优点是它的体积小而灵敏高。它的灵敏系
10、数比后者要大几十倍甚至上百倍输出信号有时不必放大即可直接进行测量记录。此外半导体应变片横向效应非常小蠕变和滞后也小频率响应范围亦很宽从静态应变至高频动态应变都能测量。由于半导体集成化制造工艺的发展用此技术与半导体应变片相结合可以直接制成各种小型和超小型半导体应变式传感器使测量系统大为简化。但是半导体应变片也存在着很大的缺点它的电阻温度系统要比金属电阻变化大一个数量级灵敏系数随温度变化较大它的应变电阻特性曲线性较大它的电阻值和灵敏系数分散性较大不利于选配组合电桥等等。扩散型压阻式传感器 扩散型压阻传感器的基片是半导体单晶硅。单晶硅是各向异性材料取向不同时特性不一样。因此必须根据传感器受力变形情况来加工制作扩散硅敏感电阻膜片。利用半导体压阻效应可设计成多种类型传感器其中压力传感器和加速度传感器为压阻式传感器的基本型式。图 2 为压阻式压力传感器结构示意图。硅压阻式压力传感器由外壳、硅膜片硅杯和引线等组成。硅膜片是核心部分其外形状象杯故名硅杯在硅膜上用半导体工艺中的扩散掺杂法做成四个相等的电阻经蒸镀金属电极及连线接成惠斯登电桥再用压焊法与外引线相连。膜片的一侧是和被测系数相连接的高压腔另一侧是低压腔通常和大气相连也有做成真空的。当膜片两边存在压力差时膜片发生变形产生应力应变从而使扩散电阻的电阻值发生变化电桥失去平衡输出相对应的电压其大小就反映了膜片所受压力差值。