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1、半导体半导体ICIC切割切割SSSSSS培训教材培训教材第一章V2 Handler 的各部分机械调节的方法n n按下按下E-StopE-Stop，转动，转动Turret,Turret,检查运动顺序是否正确：检查运动顺序是否正确：外环下外环下外环下外环下内环下内环下内环下内环下外环上外环上外环上外环上内环上内环上内环上内环上 n n确定吸嘴的位置，在确定吸嘴的位置，在Reject Boat,Good BoatReject Boat,Good Boat以及以及OrientaterOrientater处的位置是否在正中处的位置是否在正中间间 。OrientatorReject BoatGood Bo
2、atSaw Sort System Technician Training ManualSaw Sort System Technician Training Manual ASA V2 HandlerASA V2 Handler机械位置调整机械位置调整n n8 8个吸嘴是否在同一个高度个吸嘴是否在同一个高度 方法：方法：在在在在XY TableXY TableXY TableXY Table上面确定一个固定点，转动上面确定一个固定点，转动上面确定一个固定点，转动上面确定一个固定点，转动Turret,Turret,Turret,Turret,看每一个吸嘴接触定点的高看每一个吸嘴接触定点的高看每
3、一个吸嘴接触定点的高看每一个吸嘴接触定点的高度是否相同，调节上方顶杆和杆套，选取高度平均值，使各吸嘴处于同一高度。度是否相同，调节上方顶杆和杆套，选取高度平均值，使各吸嘴处于同一高度。度是否相同，调节上方顶杆和杆套，选取高度平均值，使各吸嘴处于同一高度。度是否相同，调节上方顶杆和杆套，选取高度平均值，使各吸嘴处于同一高度。n n检查吸嘴在检查吸嘴在XY Table,Reject Boat,Good BoatXY Table,Reject Boat,Good Boat以及以及OrientaterOrientater处的高度是否满足要处的高度是否满足要求：求：在XY Table上面放置一个Unit
4、,如图所示吸嘴UnitXY TableSaw Sort System Technician Training ManualSaw Sort System Technician Training Manual ASA V2 HandlerASA V2 Handler机械位置调整机械位置调整Orientator位置的高度标准：Reject Boat,Good Boat上面高度标准：Saw Sort System Technician Training ManualSaw Sort System Technician Training Manual ASA V2 HandlerASA V2 Hand
5、ler机械位置调整机械位置调整n n检查检查XY Table XY Table 在在XYXY轴向的平行度：轴向的平行度：固定一个吸嘴，转动固定一个吸嘴，转动XY Table XY Table 在在X,YX,Y轴向的马达，轴向的马达，移动移动XY Table XY Table 检查Good Arm在Index Tray和Good Boat上面的高度，以在Index Tray上的高度为基准；Reject Arm在Reject Tray 和Reject Boat上面的高度，以Reject Tray上面的高度为基准。Turret速度设定：旧机器50100，新机器100120Saw Sort Syste
6、m Technician Training ManualSaw Sort System Technician Training Manual ASA V2 HandlerASA V2 Handler机械位置调整机械位置调整n nGood Boat802 sensor,Reject Boat801 sensorGood Boat802 sensor,Reject Boat801 sensor 调节时调节时BoatBoat必须在必须在ArmArm的正下方的正下方Good BoatSensorSensorUnitArm 2检查Arm2 Gripper 和 Carrier是否在同一个平面；跑机过程中检
7、查Gripper是否变形；Arm 2 在XY Table的马达位置，Retainer活动顺畅；Arm 2 在Flipper,Wash的位置是否正确，调节气阀，使上下运动力度再合适的范围之内；Saw Sort System Technician Training ManualSaw Sort System Technician Training Manual ASA V2 HandlerASA V2 Handler机械位置调整机械位置调整n nWashing&Drying:Washing&Drying:Washing Washing冲洗次数为冲洗次数为3636次，速度为次，速度为80mm/s80
8、mm/s Drying Drying烘烤次数为烘烤次数为810810次，速度为次，速度为60mm/s,60mm/s,温度设定为温度设定为2323 若在正常设定下发现不能清洗干净不能烘干，则必须检查如下：若在正常设定下发现不能清洗干净不能烘干，则必须检查如下：清洗不干净：v检查上下喷嘴是否堵塞；v检查高压水压力状况；vCarrier在Start,End的位置是否正确清洗不干净：v检查上下喷嘴是否堵塞；v检查压缩空气的压力；v加热泵是否工作；vCarrier在Start,End的位置是否正确Saw Sort System Technician Training ManualSaw Sort Sys
9、tem Technician Training Manual ASA V2 HandlerASA V2 Handler机械位置调整机械位置调整发现链条活动常：v检查前后导矸是否平行；v导杆前后距离太近导致链条过长刮到Wash底部；v连轴器松动导致位置变化；vCarrier托盘是否松动，检查轴套是否破损，及时更换；v长轴是否变形n nFlipperFlipper检查检查检查Flipper在Work,Home状态下是否平衡，调节连轴器，使之达到平衡；Carrier两头的夹子是否松动，固定架子的杆是否松动；检查Flipper在翻转是是否顺畅；检查定位针是否磨损；调节气阀大小，使之翻转的动作平缓Saw
10、 Sort System Technician Training ManualSaw Sort System Technician Training Manual ASA V2 HandlerASA V2 Handler机械位置调整机械位置调整n nLead in Lead in 检查：检查：检查检查SensorSensor高度，皮带是否磨损导致高度，皮带是否磨损导致SubstrateSubstrate不能到位，检查轨道宽度不能到位，检查轨道宽度Arm 1检查检查Arm 1 Left在Lead in 位置是否平行，定位针是否破损，保证在吸料时，Substrate完好；检查Arm 1 Left在
11、Chuck table位置，检查上下平面是否平行，确保放料位置正确；检查Arm 1 Right在Chuck table位置，检查平面度，下降高度不能太低，确保位置正确；方法：手动使手动使CarrierCarrier在在Chuck table Chuck table 位置下降到底，比较位置下降到底，比较Chuck table Chuck table 与与CarrierCarrier两个平面，以两个平面，以Chuck table Chuck table 平面为基准，同时移动平面为基准，同时移动Arm 1 RightArm 1 Right到一到一个定位销与个定位销与Chuck table Chuck
12、 table 平面平行，再检查另外一个定位销是否与平面平行，再检查另外一个定位销是否与Chuck Chuck table table 平面平行，若不平行，松开中间四个螺丝进行调整。平面平行，若不平行，松开中间四个螺丝进行调整。Saw Sort System Technician Training ManualSaw Sort System Technician Training Manual ASA V2 HandlerASA V2 Handler机械位置调整机械位置调整检查Arm 1 Right在Flipper位置:确保位置正确，当Arm 1 Right下降抓Carrier时，不能太低，刚好
13、能抓到位最好检查整机效率Saw机速度 60Wash 速度 80，次数3-6Dry 速度 60，次数8-10Turret速度 80-100 在跑机时，观察机器状态，协调各参数，若发现异常，及时处理Saw Sort System Technician Training ManualSaw Sort System Technician Training Manual ASA V2 Handler ASA V2 Handler 机械位置调整机械位置调整Saw Sort System Technician Training ManualSaw Sort System Technician Trainin
14、g Manual ASA V2 Saw ASA V2 Saw 机机械位置调整机机械位置调整镜头（7.4）确定镜头聚焦的零点，一般在Rubber孔边缘面上，低倍镜头聚焦范围在高倍镜头聚焦的范围内，达到 High/Low 拒交相一致；任何原因拆开镜头，安装时要按照原次序安装，有空袭是要涂上密封胶，保证镜头十字架与Substrate十字架平行；若发现镜头脏污时应及时清洁，用净化纸棉签与酒精清洗。断片处理残片切割采用半自动切割方式（3.4），在CH3方向，只能在切两刀之后再重新对刀第一刀，第二刀和第三刀的距离不同?Saw Sort System Technician Training ManualSa
15、w Sort System Technician Training Manual ASA V2 Saw ASA V2 Saw 机机械位置调整机机械位置调整保证切割残片时，抬刀高度和贴Marking 纸的厚度一般为5张，切完时最下面一层纸应不被切透。（4.1.2）Z-Axis Auto Down Length 20mm Down 0.01mm注意：每一次NCS测高报警时，应清理 Sensor 直至测高完成，发现损坏请及时更换Work Thickness 1.1mm Focus Stroke 2.5mm Focus Setup 0.05mm2.5mm1.1mm做PR时，-Level 设置为45%5
16、0%。十字架边缘要清晰，斜光一般不要求太强，一台机器的PR应该包括几种不同型号的Substrate.第二章第二章换刀程序退出主菜单退出主菜单.进入换刀菜单进入换刀菜单.如图如图按按F1进入换刀界面进入换刀界面二二:用换刀工具把新刀换上用换刀工具把新刀换上.(重要部重要部分分,需现场指导和培训需现场指导和培训)换刀工具如下:装刀顺序如图装刀顺序如图 换刀要按照以上顺序进行安装保证换刀要按照以上顺序进行安装保证每部分要正确和到位每部分要正确和到位.并保证每部分并保证每部分清洁清洁清洁未清洁三三:对对BBD进行清洁已达到指定要求进行清洁已达到指定要求n n两种情况两种情况:磨轮罩打开和关闭的状态磨轮
17、罩打开和关闭的状态.关闭打开BBD:调节方法如下调节BBD的螺丝,使BBD的感光量在 打开磨轮时在60%-80%之间 关闭磨轮时在10%左右 如果没达到规定量,请用棉签清洗传感器部分四四:对非接触测高进行清洁已达到指定对非接触测高进行清洁已达到指定要求要求在关闭清洗水和吹气的情况下传感器的电压水平需达到90%-99%之间.如无法达到时.请用棉签对传感器清洗进入测高菜单进入测高菜单 选择选择F3测高模式后进入测高模式后进入 选择Z1或Z2需测高对应的选项进行自动测高进行刀痕校准进行刀痕校准 校准前校准后开始自动切割由技术员观察切割质量开始自动切割由技术员观察切割质量 n n注意事项:n n1：换
18、刀时,需对刀架周围和刀架本身进行清洁.以防止sub残渣卡在刀架上造成切偏缺陷和掉真空报警。n n2：清洁刀架两侧的冷却水管。以防水管堵塞造成刀片冷却不够,使刀片变形导致刀痕变大产生的切偏缺陷.第三章第三章打磨法兰程序 在生产过程中.出现打刀后法兰出现以下情况:1:刀片打碎后,有残留在法兰上的碎片无法取下(打磨或更换）2:在换刀时发现法兰外盖难以取下并感到有卡住的情况（更换）3:把新刀放在法兰内环时发现刀活动范围过大,或发现刀无法轻松的放入内环（更换）4:内外环无法完好闭合.（打磨）n n 请根据以上情况对法兰进行打磨或对法兰进行更换 进入打磨程序进入打磨程序.如图如图 按F1进入菜单 把工具按
19、要求装上把工具按要求装上.如图如图 工具如图:安装过程需现场培训和指导打磨位置如图打磨位置如图侧面图正面图打磨高度和距离打磨高度和距离进入设定程序进入设定程序.对各参数进行校对后对各参数进行校对后开始打磨开始打磨 注意：打磨参数已经设定，技术员只需选择所要打磨的（动作轴）后按enter就开始自动打磨。在打磨完毕后根据打磨效果对（总次数）进行修改以达到最佳效果第四章第四章Saw PR退到主菜单后选择F2进入选择选择F2,进行 Tech PR程序第一步如图中所示，用绿色田字对准白色十字架后，在下列目录，选择F7或F8,进行灯光或聚焦设定，已确保到达最佳效果完成以上步骤后，按F5进行水平校准，（校对
20、同一条直线上的两个不同的十字架来达到水平）第二步CH1方向完成水平校准后，按”Enter”进行电脑自动teach如图框所示，达到此标准后按Enter进入下一步第三步 确认切割道此步骤重点注意如图：用3根绿线中，选择中间的实体绿线来对应白色十字架的中心。（这是刀片切割的位置，请保证要对应到中心位置）后按Enter确认第四步CH2方向的方法请参考以上四个步骤进行Tech第五步第六步校准目标确认切割道完成完成PR第五章第五章HANMI更换程序。更换程序更换程序进入此键面进行程序选择选定需要更换的程序后按（deviceChange)进行确认。产品选择后成红色状态表示更换成功更换产品对应的模具更换产品对
21、应的模具Saw blockDry blockTurn tableTable pickerUnit pickerSQUARE PAD校准吸嘴校准吸嘴先打开Special key on,按Auto Align进行自动校准吸嘴观察吸嘴位置，以确定吸嘴已装正确观察此数据，确保X:0.001-0.005之间更换更换 Saw 程序程序退到主菜单后选择F3(程序目录）选择需要更换的程序后，按F10确认进行刀片测高进行刀片测高请根据换刀程序步骤进行刀片测高最后确认最后确认n n以上步骤做完后，请按以下几点进行最后确认1：让操作员把相对应的产品放入机器。2：由技术员检查第一片产品的：刀痕确认，Vision，和摆
22、放位置。并让R/L操作员确认产品质量第六章第六章VISIONBGA Hanmi SSS vision操作操作n n在在 Hanmi SSS Hanmi SSS 机器系统里机器系统里,已存储了原始的已存储了原始的 vision vision 检查程序检查程序 C C：DBTeach Data.DBTeach Data.。根据不。根据不 同的产品所做的程序也同时存在同的产品所做的程序也同时存在 C:VisionDBTeach Data C:VisionDBTeach Data 里里.n n每次产品更换，除了更换相应的每次产品更换，除了更换相应的 conversion kit conversion
23、kit 外，必须根据不同的产外，必须根据不同的产品调用相关的程序。品调用相关的程序。必须用无尘纸认真擦拭必须用无尘纸认真擦拭 Dry block,Dry block,保证保证 Dry block Dry block 的清洁的清洁.n n程序调用完毕，程序调用完毕，主程序中以红色字体显示当前运行程序，主程序中以红色字体显示当前运行程序，其已和其已和 Vision Vision 检查程序完成自动连接。（见图检查程序完成自动连接。（见图1 1）检查 Vision 端程序状态，若在 Database Index 中和主机相同的程序通道显示出来，则程 序调用完成（见图 2）。否则，重新在主机中调入一次，
24、或关闭 Vision 程序，再重新启动 图 2图1第二步第二步n n一般而言，程序调用完成，即可开始生产。存在一般而言，程序调用完成，即可开始生产。存在 C:VisionDBTeach Data C:VisionDBTeach Data 里的里的 Teach Teach 文件文件 由由 PM PM 或工程师或工程师完成并已优化。完成并已优化。n n在跑第一条产品时，若发现白点在跑第一条产品时，若发现白点X-Mark X-Mark 未挑干净未挑干净,或很多或很多Over-reject,Over-reject,操作员应通知当班负责技术员调整操作员应通知当班负责技术员调整Teach Teach 光线
25、光线或重做或重做TeachTeachBall teaching1.选择检查球的摄像头,(见图3),检查是否有切过的package 放在加热板上,将检查摄像头移到加热板下可显示package 内一次检查的区域。图32.选择按钮 live,以获得图像。（见图 4）图43.选择通道“#1”，在“Light”中可调节主光和侧光的设定值，保持“CH1”设定为0。（见图5,图6.图7）图5图6CH1主光侧光图7光线的优化对vision 的检测十分关键，优化程度可放大图象，通过快捷键“Ctrl+A”显示各位置的灰度值来判断。见下图推荐值。在主光和侧光的调节方面，建议先设定侧光为0，逐步调节主光，使灰度值在以
26、下的推荐范围内。图8记住此主光设定值，在设定侧光时，可先使主光为0，逐步调节侧光，使灰度值在以下推荐范围内此后将两者组合，得到较佳的光线组合。图9图104.选择通道“#2”，在“Light”中可调节“CH1”的设定值，保持主光和侧光的设定值设定为0，“CH1”中的设定值是否恰当，可在整片“Strip”内寻找有白点的区域，看在此灯光下，该白点是否清晰可见。见图12.图13.图11图12图13调节此处光的数值,使该白点是否清晰可见5.光线设定完毕，建议先退回到“Setup DB Sheet”保存一次，防止灯光的设定因之后的“Teach”不成功而作废。图14图146.回到“Teach”界面将指针指在
27、图象可视区域，右击鼠标，显示：图157.选择ROI Dragging，设定一次检查区域。8.画好一次检查区域，左击鼠标,确定检查区域。注意确定的区域必须和主机设定的值一致，此后在“Setup DB Sheet”中显示的“Shot”值也是一样的。见图16图16此处设定值与下图一致与上图设定相同9.若ROI 设定有误，可取消此次设定。10.确定检查区域后，点击“Teach”按扭。11.“Threshold setting”窗口会自动弹出，设定“X-Mark low value”and“X-Mark high value”。Vision 检查白点的原理是：在灯光的照射下，黑白灰度等级由0255，但统
28、计计算无法区分计算所有灰度等级，所以设定了“Threshold value”,高于“Threshold value”的灰度点，即判定为白象素点，低于“Threshold value”的灰度点，即判定为黑象素点。“X-Mark low value”是判定划伤缺陷的阀值，若设定的过低，package 上的一些稍亮的区域就会被判为白点，造成Over reject。若设定的过高，则划伤形成的稍亮部分无法检查出来，划伤缺陷无法检测。最佳设定可根据以下推荐图象进行。“X-Mark high value”是判定白点缺陷的阀值，拖动滑标，设定值以白点刚可以显示出来为准。该设定值和“Setup DB sheet
29、”中“Maximum Reject Mark Area”配合使用，检出白点。12.“Threshold setting”设定完成后，Teaching 区域若显示绿色，则表示teach 成功，保存“Setup DB sheet”,即完成Teach 工作。（见图25）若Teach 失败，必须根据“Ball result”的提示信息修改相关的设定值。常用的快捷键：“Ctrl+A”：显示各点色素值,辅助光线设定“Ctrl+D”打开DB sheet“Ctrl+E”执行Test run“Ctrl+T”执行Teach“Ctrl+I”显示I/O 控制界面“Ctrl+Alt+V”显示主机和vision PC 之
30、间的局域网通讯连接信息。“Ctrl+Alt+Shift+T”：显示“Threshold value”设定滑标,用于设定辨别package 边界分辨值。“Ctrl+Alt+Shift+R”：Ini 设定值写入运行程序。Setup DB sheet 内关键参数的含义及设定:IPIN Remove:Package 一角的方向标志,亮度大,可能被误认为白点或Extra ball。因此程序中定义了一个矩形区域，将这个区域屏蔽，即视而不见。矩形区域大小由此参数决定。Pkg Edge threshold:package 放在加热板上，切割道露出的区域和package 产生的黑白对比是辨认package 边界
31、的依据。黑白对比的原理和X-mark 辨认原理一样。所以，由于加热板太脏，package 边缘黑白对比度小，难于辨认出package 边缘，会造成PKG Absence 的over-reject.或引发Missing ball 的over-reject。因为，系统程序中球的阵列是根据package 边界计算得到，在辨认package 边界后，计算得出理论上球的相对位置，若边界确认有误，则球的阵列就会出错（见图33）。这是必须保持加热板清洁的又一原因。图33Pkg Edge threshold 的设定原则：在Teach 过程中，灯光设定完成后。通过快捷键“Ctrl+Alt+Shift+T”，显示
32、出“Threshold value”设定滑标（见图34）,通过调整滑标，使package 边界清晰可见（见图35）。记下该值，进入到Setup DB sheet 里修改Pkg Edge threshold为该值即可。可根据最终Teach 的结果适当调整。在Teach 过程中的low limit and high limit 的设置显示窗口。即使teach 成功,只表示程序已记录相关的package 信息，不可能100%合适。所以,在观察白点的误判机率时，可在较小的上下范围内调整，而不必重新调整光线或重做teach。如发现一些白点漏检,可能是白点区域交暗，应将阀值减小一点。反之，如有太多的ove
33、r-reject,可将阀值增大一点。当然，over-reject发生的原因还有package 上有残留水滓，建议适当加长加热时间和空气清洁次数。还有Package的表面脏污，加强Saw 机内的清洗。Illumination:显示的是在做Teach 过程中设置的光线值。Maximum Reject Mark Area:定义的是白点检查区域内的白点象素阀值。图38 中蓝色区域为X-mark 的检查区域，统计该区域内所有判定为白色的象素。比如设定值为3000，正常情况下，Good unit 在该区域内所有判定为白色的象素的总和小于3000，当有-Mark 时，判定为白色的象素的总和大于阀值3000，
34、就可以被Vision 检查出来，若实际上因为光线不好或白点太暗，有-Mark 时该区域内判定为白色的象素的总和仍然小于3000，比如为2900,Vision 系统还是无法将其检查出来。在这种情况下，修改该设定值为2800,即可判别出来。当然，在Ini 文件中改变蓝色区域的大小，使统计区域改变也可达到相同的效果。见下图X-mark 白点Over-reject 的情况：若发现很多好的Package 被Over-reject，放大图像，看是否有水的残渍。因为其在灯光下显白色，使得蓝色区域内的白色像素点总和已高于X-mark的阀值，造成Over-reject。此情况下，增大阀值，可解决。但是，同时又有
35、可能将一些色泽较暗的白点漏检。所以，调整加热时间和清洁喷嘴的吹气次数，保持喷嘴和加热板真空孔的通畅，尽可能干燥package 是最根本的办法。第七章第七章常见问题,电路图和机械原理 Hanmi Hanmi 机器常见的问题机器常见的问题3 Point Alignment3 Point Alignmentn nUnitUnit在在TrayTray上面摆放不好（针对做上面摆放不好（针对做“三点三点”调试后仍不能解决摆放问题的情调试后仍不能解决摆放问题的情况），判断方法：况），判断方法：检查吸嘴是否干净，用酒精及无尘纸清洁；Visionset upMarkLive 检查光线是否合适：正常：最佳光线应该
36、是使吸嘴看起来呈现出白色正方块，这一点对“三点”调试非常重要；检查X1,X2上的吸嘴是否完好无损，如有损坏，应立即更换。请使用相同类型的吸嘴；如果上面三个步骤仍然不能解决问题，请检查吸嘴相对于如果上面三个步骤仍然不能解决问题，请检查吸嘴相对于TrayTray盘的高度是否合适。盘的高度是否合适。简易测高方法简易测高方法手动测试手动测试Z Z1-11-1打在打在TrayTray上面的高度：上面的高度：Motor setupMotor setup3 point setup3 point setup Z1 valueZ1 value分别手动测量a,b,c,d点的高度，记录Z1高度，得到四个数据，选取其
37、中最小的数值然后减去0.1-0.5之间的数值，即为Z1-1在Good Tray 上面的高度值。若四个数据比较接近，则减去0.1-0.2之间的数值。然后依次按照上面的方法测试:Z2-1-Good Tray Z1-1-Rework Tray Z2-1-Rework Trayabdc Hanmi Hanmi 机器常见的问题机器常见的问题3 Point Alignment3 Point AlignmentMotor setup Z1-1的Vacuum off from down(off set)position 1.0?Z Picker vacuum off confirm time(Device s
38、etup Device Parameter)对于6X6以下的产品，此值设置为小于15，对于3X3的产品设置为0 对于较大的产品，一般设置为30控制信号流程马达控制板位置感应器汽缸电磁阀信号接口输入板信号接口输出板Plc 逻辑控制储存器Cpu控制中心马达解码器步进马达伺服马达马达驱动器Home sensorLimit sensorHome sensorLimit sensorWash/dry 传动装置滑动套筒4滑动套筒3滑动套筒2滑动套筒1导杆2导杆1传动链条传动齿轮2传动齿轮1支撑轴承4支撑轴承3支撑轴承2支撑轴承1联轴器马达变速器Wash/dry 马达传动杆2传动杆1联动滑块Wash/dry
39、 控制图控制图加热泵控制信号水泵控制信号风刀x4清洗喷嘴x4吹风泵高压清洗水动力水电流断路保护器延时继电器直流继电器1电磁阀压缩空气交流继电器1加热棒高压水泵总电源交流继电器2直流继电器2压缩空气控制盒V2真空流程图真空流程图Reject arm head Good arm head 吸嘴x8真空阀x8压缩空气电磁阀Arm 1 right head Arm 1 left head真空储气罐出风口进风口V2真空泵真空泵控制信号交流继电器总电源进风口出风口压缩空气交流继电器V2吹风泵吹风泵控制信号管道Wash/dry 风刀管道控制信号机械控制信号气缸Reject unit信号电磁阀SAW 真空流程
40、图 真空泵马达联轴器真空泵储气罐电磁阀角度马达基座电源冷却水进水口流量计 电磁阀流量感应器220v电压储水箱冷却水排水口真空感应器真空指示表24v电源Work vacuum sensorJig vacuum sensor真空发生器压缩空气工作台底座工作台橡胶垫来料工件球压伤故障分析球压伤故障分析检查reject boat;reject arm;reject tray 的位置Reject tray 中有球压伤的现象检查Good tray 中是否有球压伤的现象检查X-Y table carrier 上的units 是否有压伤的情况检查吸嘴x8的高度是否一致，相对于table;orientator;
41、good boat 的位置和高度检查flipper翻转前是否有压伤的情况检查flipper的水平；flipper table上的异物;clamper pin的磨损;检查物料在chuck table 上的定位是否正确 检查arm 1 right head 相对于chuck table 的位置，arm 1 right head 相对于 flipper 的位置检查arm 1 left head 相对于chuck table 的位置检查arm 1 left head 相对于 lead in 的位置检查物料相对于 lead in 的位置无有有有有无无无马达位置参数旋转的角度上下的高度前后的位置左右的位置
42、活动范围的线平行装配的角度机械位置参数面平行位置参数前后的位置部件传动时相互之间的配合散散units的故障分析的故障分析检查wash/dry 之前units 在carrier 的定位是否良好检查flipper 翻转前units在carrier的定位是否良好换向器处报警频繁X-y table 中的units 是否散掉Reject tray 中的units散掉Good tray 中的units 散掉Units 散掉的故障检查nozzle;reject boat;reject arm;reject tray 的相互配合位置检查nozzle;good tray;good arm;good boat 的
43、相互配合位置检查nozzle;x-y table;orientator 的相互配合位置检查wash/dry 的传动是否平稳，加热棒的温度设定是否太高，Arm 2 right head 的相对位置，retainer 与carrier 分开时的相对位置检查flipper clamp,flipper,flipper table 的动作是否正常，翻转中carrier,units,retainer 之间是否有松动的情况检查units被吸起后在arm 1 right head的位置是否正常 检查arm 1 right head 相对于flipper 的位置是否正常检查substrater 在chuck t
44、able 的位置是否正常检查arm 1 right head 相对于chuck table 的位置是否正常检查arm 1 left head 相对于chuck table 的位置是否正常检查arm 1 left head 相对于lead in 的位置是否正常检查substrater 相对于lead in 的位置是否正常无有否是是否是是否否是是V2 机械传动流程机械传动流程Unit in turret nozzleUnits retainer in x-y table Units in x-y table Units in arm 2 right head Units in arm 2 left
45、 head Units in wash/dry block Units in flipper table ccwUnits in flipper table cwUnits in arm 1 right head Units in chuck table Substrate in chuck tableSubstrate in arm 1 left head Substrate in lead-in positionSubstrate in magazine Unit in orientator Unit in reject boatUnit in reject arm Unit in rej
46、ect trayUnit in good boat Unit in good arm Unit in good tray Tray in machineUnit in vision checkV2 vision 接线图接线图CAMERA PLCHUBVISION PCUI PC网线网线通讯线通讯线视频信号24v电源线触发信号Hanmi 位置故障判断位置故障判断Marking Camera显示units位置是否正常，Package picker 1,2；turn table 1,2；Z-picker的真空表显示是否正常Intel Camera 显示substrate的位置是否正常，Substra
47、te 在chuck table 的位置是否正常。Ball Camera 显示units位置是否正常,Unit picker 的真空表显示是否正常 检查substrate 进料时的高低位置检查substrate 在lead-in 的前后位置检查substrate 在lead-in 的左右位置检查strip picker 和它的定位针是否损坏检查substrate 在lead-in的活动范围检查strip picker和saw的A点位置检查unit picker 与dry block 的配合位置检查unit picker 与Saw的B电位置检查Dry Block 的定位和真空密封情况检查unit
48、picker 的橡胶垫是否损坏检查package picker 与turn table1，2 的位置检查package picker的橡胶垫是否损坏检查turn table 与底座的真空密封情况检查Z-picker的脏堵,橡胶嘴的清洁和破损情况检查Z-picker 的三点校准检查Z-picker与turn table;good/reject feeder 高度是否正常常见问题汇总常见问题汇总 刀切偏影响的方面有哪些刀切偏影响的方面有哪些n n法兰法兰n n冷却水冷却水n n残渣残渣n nPRPRn n真空真空n n镜头镜头n n刀架刀架n n程序程序n n还能想到哪些？还能想到哪些？能影响能影
49、响PR的几个要素是什么的几个要素是什么n n镜头镜头n n位置位置n n灯光灯光n n框格大小框格大小n n还能想到哪些？还能想到哪些？那些相关的部件能影响真空那些相关的部件能影响真空n n水泵水泵n n水管水管n n电磁阀电磁阀n n来料来料n n还能想到哪些？还能想到哪些？切割水或水压和那些部件有关切割水或水压和那些部件有关漏水漏水n n泵泵n n管子管子n n电磁阀电磁阀n n调节阀调节阀n n水帘水帘n n残渣残渣n n堵塞堵塞n n还能想到哪些？还能想到哪些？程序你都知道哪些？程序你都知道哪些？n n列出你所知道的参数：列出你所知道的参数：n n n n n n n n n n n
50、n n n n n 以下问题你知道吗以下问题你知道吗?n nSAW SAW 机的真空产生原理及正常值的确立标准机的真空产生原理及正常值的确立标准n n安全门的问题安全门的问题n nVISION VISION 的作用和使用规定的作用和使用规定.n n整个机器的电压标准值和相应的安全措施整个机器的电压标准值和相应的安全措施.n nDRY/BLOCK DRY/BLOCK 传动的工作原理传动的工作原理.n n关于机器信号线和电源线的连接标准及整理关于机器信号线和电源线的连接标准及整理.n n工具的保管和使用问题工具的保管和使用问题n n机器后面的换向器的功能使用和机器后面的换向器的功能使用和SKIP