《pumping技术方案.pdf》由会员分享，可在线阅读，更多相关《pumping技术方案.pdf（20页珍藏版）》请在taowenge.com淘文阁网|工程机械CAD图纸|机械工程制图|CAD装配图下载|SolidWorks_CaTia_CAD_UG_PROE_设计图分享下载上搜索。
1、 二次配工程 Pumping Line 施工方案 编制人：审核人：审批人：建设有限公司 2021 年 02 月 21 日 目 录 一、施工范围.1 二、材料供应界面区分.1 三、pumping 材料选定.1 四、机台接管说明.3 五、pumping line 管线的设计.3 六、HOOK UP 工程 pumping line 系统施工流程.4 七、HOOK UP 内部点检.8 八、施工安全管理.9 1 一、施工范围 本包负责 FAB 厂房 1F 至 3F 机台及附属设备 pumping line 系统管线的施工，主要包括以下内容：（1）真空管：机台 Hook-Up 至 PUMP 端。（2）排气
2、管：PUMP 至 LOCAL SCRUBBER。（3）by pass：LOCAL SCRUBBER 之间；LOCAL SCRUBBER 至 EXHAUST 二、材料供应界面区分 本包负责 pumping line 系统所有需要之材料采购及安装。三、pumping 材料选定 品名 材质 尺寸/型号 规格 管材 SUS 304L 内外抛光 8”6”4”3”2”1.5”1.SUS304L 有缝 BA 管（内外抛光）及焊道剃除（机台至 pump进口端）2.管口直径为 Tubing Size 3.管壁厚度为 5S 规格,8及以上为 10S 规格 4.伸缩结为 SUS 316L 中心环 SUS 304 I
3、SO KF 1.需外加外圈材质为 SUS304 2.有特别标注全氟杜邦 9100 要求的管路应安装全氟橡胶材质杜邦 9100 型号 O 型密封圈；3.成品需以超音波震荡清洗 4.所有尺寸需符合 Tubing Size，5S 规格 转接头 SUS 304L ISO KF 1.所有 Reducer 皆为喇叭口设计 2.成品需以超音波震荡清洗 3.成品需以塑料盖盖上 4.需以 CNC 车床制作 2 5.所有尺寸需符合 Tubing Size，5S 规格 法兰 SUS 304L ISO KF 1.需以 CNC 车床制作 2.2及以下为 KF Flange，3及以上为 ISO Flange(与机台衔接处
4、配合机台 Flange 规格）3.ISO 法兰凸缘厚度2mm 4.成品需以超音波震荡清洗 5.成品需以塑料盖盖上，6.所有尺寸需符合 Tubing Size，5S 规格 弯头 SUS 304L 内外抛光 8”6”4”3”2”1.成品需以超音波震荡清洗；2.禁止使用直管斜切焊接代替弯管；3.材质与管道材质相同；4.对于特殊弯头（小于 90，大于 45）需以 90成品弯头进行角度切割；伸缩结 SUS 316L NW ISO KF 1.两端应有 KF or ISO Flange 2.2及以下Bellow 长度为100mm(含Flange).3-6之间Bellow长度为 180mm（含 Flange）
5、3.成品需超音波震荡清洗,塑料盖盖上，并以塑料袋包装 4.Bellow 材质为 SUS316L,Bellow 应加装 PU 护套（特殊位置及有加热带包裹除外）硅胶护套 Silicon 8”6”4”3”1.厚度需大于 20mm；2.能够耐受真空管工作环境的温度（有包覆加热带的管路不用加装 PU 护套）；PU 护套尺寸为 2”-8”，具体尺寸根据现场 Bellow 尺寸确定.Clamp Al NW ISO KF 1.成品需以超音波震荡清洗 2.成品应用塑料袋包装；3.主要用于 2及以下为 KF Flange 连接；4.材质为铝合金材质 Clamp；测试口 SUS 304L NW 1.套件包括 Ca
6、p，KF-25 Clamp，Centering，长颈法兰；2.该测试口用于管路安装完成后，氦气检测使用；3.Cap（盲板）,Clamp（卡箍）,Centering（中心圈）,长颈法兰尺寸都是为1”；4.测试口安装位置没有特殊要求，但要整齐划一，方便 He检。闸阀 SUS 304 4”6”1.阀门规格：Vacuum Range 为 1*10-9 mBar，Helium Leak Rate1*10-9 mBar Valve Body 为 SUS304；2.应有明显的 Open&Close 操作方向标示；3.应有明显的标示说明哪一面朝向高真空侧；3 球阀 SUS 304 1-1/2”2”1.Port
7、 size 1-1/2”and 2”2.两端接头为 KF Connector 3.两片式阀门 4.所有尺寸需符合 Tubing Size，5S 规格 5.成品需以超音波震荡清洗 四、机台接管说明（1)机台 TO PUMP 机台至 PUMP 真空段连接，支架形式为落地装固定支架，机台端 BELLOW安装于 REDUCER 之后，PUMP 端 REDUCER 安装于变径之前。PUMP 段一般需安装测试孔及 VCR，测试孔尺寸为 KF25，如有特殊需求机台端也需安装 VCR。（2）同层机台至 pump 段，机台接口处需要 BELLOWS 不需测试孔，PUMP 端需要安装 BELLOWS 不需要测试孔
8、.（3）PUMP 至 scrubber 段，PUMP 出口段安装 bellow,不需安装测试孔，scruuber 接口位置仅安装 bellow (4)scruber 至厂排段：自 scruber 接出排气管道 2m（长度根据现场实际需求），后由 Exhaust 承商衔接。4 五、pumping line 管线的设计 1、为保证真空抽气速率，真空管路管径为 PUMP 抽气口径的 1.5-2倍 2、避震设计：为避免 PUMP 抽气时震动造成管路漏气，机台及 PUMP 端入口需加装BELLOW，(管路直立部份，需设计固定支撑架）PUMP 端至 LOCAL SCRUBBER 距离保持大约 3 公尺，且
9、 BELLOW 加 PU 护套（管路无需加热的情况下）3、测漏设计：为未来管路测漏方便，PUMP 端需预留 NW 25 测漏口。4、拆装设计：为管路拆卸及安装方便，于适当长度之管路需设计加装 FLANGE，直管每段不得超过 2 m。5、收口设计：管路收口设计以 TAP-TYPE REDUCER 方式。6、测试口必须包含 O-Ring,Clamp,Cap 7、Vent port 使用 1/4 VCR。8、真空管总角度不得超过 270，单个弯头最大角度不超过 60，超过两组弯头时，需经过业主同意 六、HOOK UP 工程 pumping line 系统施工流程 1、铣孔四方会勘 Pre-Hook
10、up 前进行四方会勘（真空管厂商、HUS、UPE、IE），根据设备MAIN TOOL 及附属设备（PUMP、LOCAL SCRUBBER）的 lay out 图位置，进行设备真空点位 marking，据此进行真空管路走向分析或调整附属设备位 5 置以使得真空管路符合角度要求（不超过两组弯，单个弯头并不超过 60，如需三组弯时，需经过设备同意）。从而确定铣孔位置。再根据 HDC 或设备要求的真空管尺寸，进行铣孔尺寸预估。2、穿楼板铣孔 根据四方会勘确认的铣孔位置和铣孔尺寸进行铣孔作业，铣孔尺寸确认与pumping line 管道是否有加热需求相关，当 pumping line 管道不需要加热时，
11、铣孔尺寸需比穿楼板处管道尺寸大两寸，当 pumping line 管道需要加热时，铣孔尺寸需比穿楼板处管道尺寸大四寸，以预留加热夹套安装之空间。3、Pre hook up Pre hook 时，对 V1 版图纸中管路尺寸，阀门需求，主机辅机接口尺寸大小进行确认。4、管道预制 Pre hook up 后，根据已经确认的铣孔位置和管路走向，进行 ISO 施工图纸绘制，后进行管道厂外焊接预制。1）、测量完管道路径后，绘制施工图，下料人员按图预制所需材料，切割时使用不锈钢管专用切割工具。每一段真空管路（法兰对法兰见段长）长度不得大于 2 米，以免拆装维护及避免于运转中厂房搬运架管碰撞供应中管路风险。2
12、）焊接前，所有参与焊接工作人员必须持有焊工证并且经过第三方认证考试合格，所有机具必须有合格证书，焊接预制环境需严格遵守 6S 标准。3）焊接时，管工将管道对接完成后，焊工开始施焊，焊接过程充气体保护，焊接完成后检查是否氧化并及时封口。焊道表面无锈蚀及孔蚀破空，焊道须无假焊，过度氧化现象。5）管道上需焊接防坠挂片，配合 RACK 和管路支架使用，起到防止下滑的作用。6 5、管道安装 1）、管道预制完成后，根据绘制的 ISO 图纸将管道安装于管架(RACK)上（自下而上安装）2）、安装管路过程中，需要使得焊好的防坠挡片与 rack 或支架形成良好受力条件，然后用 P 型卡及 PTFE 管道衬垫进行
13、管道固定。3）安装过程中，每根管道闸阀，测试口，等高度应保持高度方向的一致性。4）波纹管的延伸或压缩需小于10%，以免造成材质劣化。Bellows 处需安装硅胶护套，有包覆加热带的管路除外 5）管道安装完成后，无加热需求的应及时贴好管道流向标签，及时挂号阀门开关状态指示牌。6）pre hoook 后管路安装只安装至 foundation 下方。6、hook up 设备 在 move in 并且放出机台点位后，进行 hook up 正式会勘，会勘过程中对机台点位进行精确确认。7、机台头及尾排预制安装 1）在 hook up 正式会勘后，根据精确确认的机台接口尺寸形式及辅机接口形式，进行 foun
14、dation 下方已预留好的管道主机台接口段管道预制并安装；进行 pump scrubber 段管道预制安装。2）Pump 到 Scrubber、Scrubber 到 Scrubber 水平管路每 2M 设一处管支撑，垂直管路每 1.5 M 设一处管支撑，弯角处需增加支撑，支撑架需确实固定。8、管路测试 进行管路测试前，检查管道安装情况，确保支架固定牢固，配管位置恰当，间距合适，检查焊口，保证测试口/吹扫口完好。管路测漏：（1）测漏前确认氦气测漏机本身测漏合乎标准:(He leak test 5 x 10-10 mBar L/sec)，7 （2）测试各设备真空管路侦测 Pipe 上每一銲接点及
15、 Clamp 处其漏率标准：He leak test 5 x 10-9 mBar L/sec （3）在焊道和法兰口等管道连接位置，喷 HE，若测漏仪显示漏率急剧变化，则有漏点，需重新测试。测试合格后 需张庆贴易碎标签。9、在管路加热夹克施作完成并 QC 后，需对穿楼板铣孔的位置进行防火封堵的施作。Pumping Line 系统-安装展示 8 七、HOOK UP 内部点检 PUMPING LINE 管路施工过程中程中，要进行项目部自捡，检验内容如下 No.检查标准 是否合格 1 门型支架标准必须依设计图纸施工 2 所有参与焊接工作人员必须经过第三方认证 3 所有机具必须拥有校正报告及合格证书（手
16、动焊机没有校正报告）4 进场材料外包装需完好并配备相应合格证书 5 焊接预制环境需严格遵守 6S 标准 6 现场焊接使用氩气纯度不得低于 5N 7 依设备制程需求选用正确的真空闸阀，所有阀门需有开关挂牌标示 8 报废管材需单独堆放 9 管路支撑需有防下滑挂片设置 10 每一段真空管路（法兰对法兰间段长）长度不得大于 2米 11 波纹管的延伸或压缩需小于10%12 Bellows 处需安装硅胶护套，有包覆加热带的管路除外 13 管路使用不锈钢 SUS304L SCH5S 有缝管，Bellow 为SUS316 材质 14 管径 NW50(含)以下使用 NW 型(手铐式)clamp；NW63(含)以
17、上使用 ISO 型(Double wall 式)clamp，中心环需为全氟化材质 15 管路/管件法兰接合处于氦测漏检测及外观检测无异常后应张贴QC 易碎标签 16 现场施工管材需及时加以保护并 CAP 17 预制间存放管路之支架焊道需进行洁净处理并予以软保护防止管路划伤 9 18 切割管路时避免夹具划伤管路，轻拿轻放，严禁拖拽管路 19 所有预制完管件必须擦拭干净并进行成品保护 20 外焊道点焊点不超过四口 21 预制完成管路需进行擦拭洁净处理并佩戴无尘手套 22 切割管路应用水平尺衡量是否水平 23 管支撑管垫选用特氟龙材质管垫 24 2F 开孔处，3F 华夫孔处须各架设一处管支撑固定 2
18、5 pump inlet 管路配置应少于 2 个 Elbow 小于 120 度 26 锈蚀及孔蚀破孔管道不予使用 27 外焊道需进行洁净处理 八、施工安全管理 1 项目人员进场前安全培训计划 所有参与项目建设的公司员工，都将接受各项培训,培训后考核。培训合格的工人发给胸卡，并发放个人防护用具：安全鞋、安全帽、安全眼镜、安全背心等。如果胸卡发生遗失，立即汇报给相关上级管理单位。2 工具和设备使用知识培训（1）提供工具设备，并确保按照制造商要求使用工具设备，在合适的地方放置工具设备防护装置，并使工具设备正常有序地运行。（2）不在项目中使用任何自制工具设备。工具设备的使用和维护都应遵照制造商要求。若
19、需要例外处理（也就是分布梁），需要例外处理的工具设备应提交业主，使用前由业主审核验收。10 （3）确保只可在有充足照明的区域和时间内进行施工。提供安全施工所需要的照明。人工照明设备的制造应符合公认的国际标准，应由业主验收。A.便携梯子培训 除非空间限制，否则现场一律不得使用人字梯。B.人身安全防护培训 a 任何工人在未接受安全培训之前不得进入工地。b 任何员工不戴安全帽不得进入工地，安全帽要保持清洁，并不得用作其他用途 c 工作服要保持清洁，整齐，穿着合身，并要定期换洗。d 在高处 2 米以上工作时必须穿好全身式双扣安全带并 100系好。e 无机电设备资质人员不得操作机电设备。f 施工材料不得
20、堆放过高。g 在危险地区必须设置警示牌，围栏和警示旗。在夜间要有红色警示灯。h 工作前不得饮酒或未经医务人员许可擅自用药。i 技术工人必须具有国家颁发的证书（如架子工，焊工，电工，起重工等），并在上岗前佩带所要求的 PPE。j 工地所有工人必须要穿钢包头皮鞋，不得穿凉鞋，运动鞋，脱鞋，高根鞋或赤脚。k 所有工人要注意自我言行，严禁在工地吵架，打架。l 在工地禁止吸烟（在指定的地点除外）。m 无安全人员的许可，不得移动手脚架，保护装置，安全标识，危险警示。n 在地面坑洞周围必须设置危险警示和围栏。11 o 禁止高处抛扔任何物品，垃圾，工具等。p 在空气中烟尘等污染超标使要戴口罩，口罩要按正确方法
21、清洗。q 从事切削，凿刻，研磨，冲钻，焊接等作业时要戴防护眼镜或面罩。r 在周围噪音超过 85 分贝的环境里作业，要戴耳塞或吸音棉等防护装置。s 接触易伤手的材料要戴防护手套。C.脚手架作业培训 a 搭设脚手架要持证操作,并经安全人员验收和贴挂标签后方可使用。b 踏板两头要固定牢固，并要使用安全网。c 爬梯/脚手架爬梯每三米需提供休转平台。d 移动式脚手架要经安全人员，验收并贴挂标签后方可使用。e 脚手架不能缺件，组装要牢固可靠。所有连接处，销钉处，支撑点和焊接点都要经过安全检查。f 脚手架台脚轮要有刹车装置。位置固定好后既踩下刹车。g 安全护栏高度为 1.2M，中间（0.6M）有横栏。移动脚
22、手架的工作平台四周必须有不低于 200mm 的踢脚板。12 h 踏板和挂钩不能变形，踏板架设要稳固可靠。i 脚手架在移动时，速度要适中。上面的人员须下车，待手脚架重新定位后再上去工作。j 当脚手架为 2 层以上高度时，必须用支撑来进行加固。k 脚手架使用注意事项：脚手架基层要平整 踏板无开裂，厚度要达到要求 D.应急程序培训 a 现场安全员要对所有员工针对发生火灾，自然的或人为的灾害时，应采取的措施进行培训。这些措施要符合 公司健康、安全和环境计划 中的规定；业主的安全管理要求以及合肥市和国家的法规。b 每一名工人都要接受紧急撤离培训，以及使用消防设备，如灭火器的培训，并了解在紧急情况下的所有
23、有关程序。任何事故事件必须立即汇报到业主。从现场撤离只有经业主方可进行。E.现场急救培训 a 在现场设置急救室，并且设有一个专职的急救人员。b 对所有员工的急救培训将由施工现场的专职人员进行。现场医务室要备有所有急救用品，如急救箱，其中包括抢救伤病 13 人员的急救药品，创可贴，药棉，绷带等。所有工人都要经过正确使用急救物品的培训。F.有毒物品和放射性物质管理的培训 a 使用有毒物品前根据业主的要求，对员工进行特殊培训，掌握如何使用和处理有毒的物品.b 所有的钨丝线和 X 射线源都是有害的，所有的油漆和稀料以及氧气都是易燃的。因此要依照公司环境；健康和安全计划中的规定使用和存放此类物品。化学品
24、供货商要在供货前提交 MSDS 并经业主安全工程师批准。废弃的化学品要运出现场。不得倾倒在雨水里或地沟里。3 高处作业安全防护方案（1）目的 为了对施工现场高处作业进行控制和管理，防止出现事故，减少职业危害，根据安全生产的有关规定，制定本制度。（2）高处作业定义：凡在坠落高度基准面 2m 以上（含 2m）有可能坠落的高处进行的作业，均称为高处作业，作业人员必须可靠佩戴 5 点式安全带或全身式安全带；（3）高处作业危险源的分析 A.高处作业施工人员坠落 导致高处作业人员坠落有二种方式：一种是导致伤者高处坠落原因不是由于物质不稳定而引起，而是伤者本人身体失稳造成坠落称为直接高处坠落，另一种是由于物
25、质变形、移位、打击使身体失稳而导致坠落。a 直接高处坠落形式：中被障碍物所绊而失足。14 在脚手架、爬梯上下攀爬失手而坠落。在管道、小梁行走时脚步不稳（如打滑、踩空）身体失控坠落。b 直接高处坠落原因有：高处作业思想不集中或开玩笑、追逐、嬉闹。酒后进行登高作业。因睡眠、休息不足而精神不振。现场孔洞及高处边缘缺乏栏杆或盖板。高处作业不戴工具袋手抓物件而失足坠落。高处作业不扎安全带。c 间接高处坠落表现方式：踩中易滚动或不稳定物件而坠落。操作中用力过猛或猛拉猛甩不受力物件。脚手架上的脚手板、架子管因变形、断裂而失稳导致人员坠落。工作中梯子折断或倾倒下导致人员坠落。触电、物件打击或其他方式导致人员坠
26、落。d 间接高处坠落原因：高处作业地点无栏杆。通道上摆放过多物品。操作人员操作不当。脚手架不按规定搭设，梯子摆放不稳。B.高处落物伤人事故 a 起重机械超重或误操作造成机械损坏、倾倒、吊件坠落。b 各种起重机具（钢丝绳、卸卡等）因承载力不够而被拉断或折断导致落物。15 c 用于承重的平台承载力不够而使物件坠落。d 起吊过程吊物上零星物件没有绑扎或清理而坠落。e 高处作业时拉电源线或皮管时将零星物件拖带坠落或行走时将物 件碰落。f 在高处持物行走或传递物品时失手将物件跌落。g 在高处切割物件材料时无防坠落措施。h 向下抛掷物件。C.防止高处作业人员坠落的安全防控措施 a 担任高处作业人员必须身体
27、健康。患有精神病、癫痫病及患有高血压、心脏病等不宜从事高处作业病症的人员，不准参加高处作业。凡发现工作人员有饮酒、精神不振时，禁止登高作业。b 高处作业均须先搭建脚手架或采取防止坠落措施，方可进行。c 在立柱、盖梁、箱梁以及其他危险的边沿进行工作，临空一面应装设安全网或防护栏杆，同时工作人员须使用安全带。d 在没有脚手架或者在没有栏杆的脚手架上工作，高度超过1.5m 时，必须使用安全带或采取其他可靠的安全措施。e 安全带的挂钩或绳子应挂在结实牢固的构件上，或专为挂安全带用的钢丝绳上。禁止挂在移动或不牢固的物件上。f 高处作业应一律使用工具袋，较大的工具应用绳拴在牢固的构件上，不准随便乱放，以防
28、止从高处坠落发生事故。g 在进行高处工作时，除有关人员外，不准他人在工作地点的下面通行或逗留，工作地点下面应有围栏或装设其他保护装置，防止落物伤人。如在格栅式的平台上工作，为了防止工具和器材掉落，应铺设木板。h 不准将工具及材料上下投掷，要用绳系牢后往下或往上吊送，以免打伤下方工作人员或击毁脚手架。16 i 上下层同时进行工作时，中间必须搭设严密牢固的防护隔板、罩棚或其他隔离设施。工作人员必须戴安全帽。j 禁止登在不坚固的结构上进行工作。为了防止误登，必要时要在不坚固的结构物处挂上警告牌。D.防止高处落物伤人安全措施 a 对于重要、大件吊装必须制定详细吊装施工技术措施与安全措施，并有专人负责，
29、统一指挥，配置专职安全人员监护。b 非专业起重工不得从事起吊作业。c 各个承重临时平台要进行专门设计并核算其承载力，焊接时由专业焊工施焊并经检查合格后才允许使用。d 起吊前对吊物上杂物及小件物品清理或绑扎。e 从事高处作业时必须佩工具袋，大件工具要绑上保险绳。f 加强高处作业场所及脚手架上小件物品清理、存放管理，做好物件防坠措施。g 上下传递物件时要用绳传递，不得上下抛掷，传递小型工件、工具时使用工具袋。h 尽量避免交叉作业，拆架或起重作业时，作业区域设警戒区，严禁无关人员进入。i 切割物件材料时应有防坠落措施。j 起吊零散物品时要用专用吊具进行起吊。E.高处作业安全防护 a 攀登用具，结构构
30、造上必须牢固可靠，移动式梯子，均按现行的国家标准验收其质量。b 梯脚底部应坚实，不得垫高使用，梯子的上端有固定措施。c 作业人员从规定的通道上下，上下梯子时，必须面向梯子，且不得手持器物。17 d 攀登的用具，结构构造上必须牢固可靠。当梯面上有特殊作业，重量超过上述荷载时，应按实际情况加以验算。e 悬空作业安全防护：f 悬空作业处有牢靠的立足处，并视具体情况，配置防护栏网、栏杆或其它安全设施。g 悬空作业所用的索具、脚手板、吊篮、吊笼、平台等设备。均需经过技术科验证后方可使用。h 预应力张拉区域应标示明显的安全标志，禁止非操作人员进入。张拉的两端必须设置挡板。挡板距所张拉钢筋的端部1.5m2m
31、，且应高出最上一组张拉筋 0.5m，其宽度应距张拉钢筋两外侧各 1m。i 进行高处焊接，气割时事先清理火星飞溅范围内的易燃，易燃物或采取可靠的隔离措施才能施工。（4）结合本项目的特点分析本项目高处作业安全隐患:由于本项目时间紧，工程量大，同时施工平行包商多，所以做施工计划时须在时间上或者空间上避免交叉作业开为原则。4 文明施工（1）项目开工后根据业主及其他上级部门要求，在施工现场张贴各类宣传图画。（2）凡是进入施现场的人员，必须佩戴安全防护用品。（3）各类施工人员都熟悉本岗位的操作规程、规章制度和岗位责任制，无违章行为。（4）施工人员严禁穿拖鞋、高跟鞋、易滑的硬底鞋上班和酒后上班。以及上班时嘻笑打闹。18 （5）施工工地四周连续设置彩旗围挡，施工现场悬挂安全生产宣传和警示牌，特别是主要施工部位设置醒目的安全警示牌。（6）加强宣导，做到工完场清。