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1、敦南科技股份有限公司新竹廠區產能擴增計畫開發單位:敦南科技股份有限公司開發單位:敦南科技股份有限公司中華民國中華民國中華民國中華民國 九十六九十六九十六九十六 年年年年 十二十二十二十二 月月月月壹、計畫內容貳、變更內容及差異分析參、其次次審查意見辦理情形說明簡簡 報報 大大 綱綱1壹、計畫內容壹、計畫內容產能預估量產能預估量增加增加30%先先進進製製程程改改善善產產品品良良率率提提升升原物料运用量變更原物料运用量變更空氣污染防制設備空氣污染防制設備配置之修正配置之修正空氣污染物排放量空氣污染物排放量變更變更廢棄物產生及處理廢棄物產生及處理方式之修正方式之修正符合實際需求產品性質:立生:產品為
2、電源管理IC為主敦南:LCD驅動IC為主立生:計畫每月產量30000片敦南:計畫每月產量39000片註:投入矽晶片片數立生為37000片/月(良率81%),敦南為敦南為40000片片/月月(良率良率98%),產能增加主要為良率提高。水污染防治設備功水污染防治設備功能提昇能提昇1.投入矽晶片原為投入矽晶片原為37000片片/月,增加為月,增加為40000片片/月,月,增加增加8%。2.因採先進製程改善,故良率提高,產能由原因採先進製程改善,故良率提高,產能由原30000片片/月,提昇為月,提昇為39000片,片,增加增加30%。2變更事項原計畫內容變更後內容差異設備(套)填充式洗滌塔45+1活性
3、碳吸附塔21-1沸石濃縮轉輪01+1蓄熱式焚化爐01+1小型填充式洗滌塔小型填充式洗滌塔0 02525+25+25排放管道(根)無機酸氣體45+1揮發性有機氣體220易燃性氣體025+25空氣污染防制設備變更內容 磷化氫及鹽酸之填充式洗滌塔與排放煙道25組避开發生爆炸降低工作場所之風險等級貳、變更內容及差異分析貳、變更內容及差異分析3空氣污染排放量變更內容對照表空氣污染排放量變更內容對照表 原計畫內容變更後內容差異原料種類每年排放量原料種類每年排放量每年排放量砷化氫0.069砷化氫0.0690PH30.156PH30.1560SiH40.069SiH40.0690溴化氫0.052溴化氫0.05
4、20硫酸5.910硫酸液滴2.074-3.836磷酸3.335 3.335 磷酸5.1805.180+1.845氨氣2.195 2.195 氨氣2.7732.773+0.578總氟0.138 0.138 氫氟酸1.8611.861+1.723氯化氫4.113 4.113 鹽酸5.1805.180+1.067氯氣0.052 0.052 氯氣3.6503.650+3.598揮發性有機物4.026 4.026 揮發性有機物5.1845.184+1.158單位:公噸/年 貳、變更內容及差異分析貳、變更內容及差異分析4廢水處理效率提昇廢水廠氟系廢水部份(每日廢水量約30CMD)原流體化結晶床處理效率未達
5、原設計功能,擬於其後增設混凝沈澱單元,以增加廢水處理廠處理效率,增設設備如下:混凝沈澱一套污泥貯槽污泥脫水機一套調節槽01調節槽03調節槽04調節槽05中和槽調節槽02中和槽取樣槽FBC含氟廢水收集槽pH調整槽放流槽NaOHCaCl2pH調整槽緩衝槽放流作業廢水洗滌塔廢水無法回收廢酸液冷卻廢水等含氟廢水污泥貯槽廢酸槽反應槽沈澱槽膠羽槽污泥貯槽污泥脫水機PolymerPAC濾液以集水坑收集至調節槽至緩衝槽污泥至污泥貯槽貳、變更內容及差異分析貳、變更內容及差異分析5變更後廢棄物產生及處理方式變更後廢棄物產生及處理方式 單位:公噸/月 貳、變更內容及差異分析貳、變更內容及差異分析原計畫內容變更後內容
6、差異量備 註廢棄物種類產生量廢棄物種類產生量廢硫酸36廢硫酸36-94.895.10之廢硫酸回收率為100%廢有機溶劑24廢有機溶劑75+51廢塑膠容器1.5廢塑膠混合物2.55+1.05廢玻璃容器1.5廢玻璃、陶瓷混合物3.55+2.05廢紙3廢紙3-廢木屑2廢木材混合物2-螢石9廢污泥90+81混合五金1混合五金4.5+2廢金屬1.56參、其次次審查意見辦理情形說明參、其次次審查意見辦理情形說明審查結論辦理情形說明:審查結論辦理情形說明:審查結論辦理情形說明:審查結論辦理情形說明:7參、其次次審查意見辦理情形說明參、其次次審查意見辦理情形說明硫酸回收每月約36公噸,因回收時加上部份雙氧水混
7、合,所以略高於理論計算值。排放量:約2.07公噸/年8參、其次次審查意見辦理情形說明參、其次次審查意見辦理情形說明排放量:約5.18公噸/年9參、其次次審查意見辦理情形說明參、其次次審查意見辦理情形說明排放量:約1.86公噸/年10參、其次次審查意見辦理情形說明參、其次次審查意見辦理情形說明排放量:約5.18公噸/年11參、其次次審查意見辦理情形說明參、其次次審查意見辦理情形說明排放量:約2.8公噸/年12參、其次次審查意見辦理情形說明參、其次次審查意見辦理情形說明排放量:約3.65公噸/年13參、其次次審查意見辦理情形說明參、其次次審查意見辦理情形說明排放量:約5.18公噸/年14參、其次次
8、審查意見辦理情形說明參、其次次審查意見辦理情形說明委員意見辦理情形說明:委員意見辦理情形說明:委員意見辦理情形說明:委員意見辦理情形說明:15參、其次次審查意見辦理情形說明參、其次次審查意見辦理情形說明16參、其次次審查意見辦理情形說明參、其次次審查意見辦理情形說明敦南科技聚賢樓新竹科學工業園區環境影響調查分析及因應對策報告環境監測計畫噪音振動項目監測地點:聚賢樓,頻率:每季乙次每次連續24小時。測站監測日期Leq早Leq日Leq晚Leq夜Ldn噪音管制區標準類別聚賢樓96/1/2649.9 57.3 55.8 48.9 58.0 第三類或第四類管制區內緊鄰八公尺(含)以上道路噪音標準註196
9、/3/1549.1 54.7 52.1 46.0 55.5 96/4/2650.2 55.0 52.8 46.8 56.2 96/5/2950.6 55.4 52.6 48.7 57.1 標準值7575767675757373註:1.依據中華民國85年1月31日行政院環境保護署(85)環署空字第 01467 號令訂定發布環境音量標準。17參、其次次審查意見辦理情形說明參、其次次審查意見辦理情形說明氟系廢水量:約30CMD廢水中氟離子濃度約5500 mg/L,處理後氟離子濃度約100 mg/L以下。每處理1mg/L氟離子約需加氯化鈣約1.5mg/L(以鈣離子計),混凝劑及助凝劑約2 mg/L。每
10、日乾污泥量約30(5500-100)(1+1.5+2)/1000=729 kg污泥含水率為75%以下,每日污泥量約3公噸(以污泥含率75%計,729 kg/0.253000 kg),每月污泥量計約90公噸。原環評污泥量為每月9公噸,為低估,新增污泥量每月約81公噸。污泥產量說明污泥產量說明 18參、其次次審查意見辦理情形說明參、其次次審查意見辦理情形說明回收有機溶劑產量說明回收有機溶劑產量說明 1.微影、黃光、擴散等製程中所运用的有機溶劑包含光阻劑、去光阻劑、異丙醇、晶邊清洗液、醋酸、丙酮等每月用量約25公噸,回收之廢有機溶劑約20公噸左右。2.微影製程每月运用顯影液約31公噸左右。3.回收廢液中含清洗用水約24公噸。合計:預估新製程每月產生廢有機溶劑約75公噸,將回收後委託清理(回收利用)。19參、其次次審查意見辦理情形說明參、其次次審查意見辦理情形說明20參、其次次審查意見辦理情形說明參、其次次審查意見辦理情形說明212223