《砷化氢行业前景如何_砷化氢行业前景分析报告.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《砷化氢行业前景如何_砷化氢行业前景分析报告.docx（3页珍藏版）》请在taowenge.com淘文阁网|工程机械CAD图纸|机械工程制图|CAD装配图下载|SolidWorks_CaTia_CAD_UG_PROE_设计图分享下载上搜索。
1、砷化氢行业前景如何_砷化氢行业前景分析报告砷化氢，又称砷化三氢、砷烷、胂，是最简单的砷化合物。化学式AsH3，为无色气体，有剧毒 ，本身无臭，但空气中砷化氢浓度超过0.510-6时，可被空气氧化产生轻微类似大蒜的气味。常温下砷化氢很稳定，分解成氢和砷的速度非常慢，但温度高于230时迅速分解。尽管它杀伤力很强，在半导体工业中仍被广泛使用，也可用于合成各种有机砷化合物。中国砷化氢行业应用高纯砷烷主要应用在半导体产业中，用于外延硅N型掺杂，N型扩散，离子注入，砷化镓、磷砷化镓等材料生长，半导体化合物制造等方面。除应用在半导体产业外，高纯砷烷还可以应用在光电子、微波、光伏等行业中。高纯砷烷是重要的高纯
2、电子气体，在部分应用领域具有较强的不可替代性。高纯砷烷技术壁垒高，早期我国不具备量产能力，需求依靠进口，但国外对我国进口高纯砷烷进行严格管控。中国砷化氢行业发展概况高纯砷烷与高纯磷烷的产品性质、制备方法、应用领域较为相似，一般能够生产高纯磷烷的企业也能够生产高纯砷烷，但高纯砷烷合成及提纯难度更大，在我国实现量产前，全球仅有两家企业能够生产。电子产业发展对国民经济发展以及国家安全具有重要意义，为满足半导体产业需求，我国政府对高纯砷烷的研发与生产给予大力支持。2013年，南大光电申请的高纯砷烷项目立项，2015年底项目验收，2016年进入商业化生产阶段，自此我国具备了高纯砷烷量产能力。此后，我国高
3、纯砷烷生产企业开始增多，现阶段除南大光电外，还有正帆科技、昊华科技、启源领先、华特股份等。此外，2020年，睿智特气、正帆科技等企业还计划新增与扩建高纯砷烷产能，我国高纯砷烷行业规模正在不断扩大。我国共拥有已投产和预备投产的高纯砷烷产能约92吨，其中，南大光电产能达到30吨，占比达到33%。2020年，正帆科技计划建设的高纯砷烷产能为40吨，睿智特气计划建设的产能为100吨，若能顺利投产，未来我国高纯砷烷产量将大幅增长。从产品纯度来看，我国高纯砷烷企业中，仅有南大光电产品等级达到6N级，其他均为5N级或电子级产品，行业产品结构还有较大提升空间。高纯砷烷是具有较强不可替代性的高纯电子气体之一，在高纯电子气体中属于技术壁垒高的产品类型，国外对其出口进行严格管制。为满足电子产业需求，我国政府对高纯砷烷的研究及生产鼓励力度不断加大，南大光电是我国首家实现量产的企业。现阶段，我国高纯砷烷生产规模不断扩大，但能够生产6N级别产品的企业仅南大光电一家，行业结构还需持续优化。