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1、 第五章 电容式传感器 5.1 电容式传感器工作原理和结构5.2 电容式传感器等效电路5.3 电容式传感器测量电路5.4 电容式传感器应用 第1页/共39页电容极板间介质的介电常数，0为真空介电常数，r极板间介质的相对介电常数；A两平行板所覆盖的面积；d两平行板之间的距离。两个平行金属板组成的平板电容器，不考虑边缘效应时电容量为 一、基本工作原理一、基本工作原理5.1 电容式传感器工作原理和结构d极板1极板2被测参数变化A、d或发生变化时，电容量C也随之变化。仅改变一个参数，该参数的变化可转换为电容量的变化，通过测量电路就可转换为电量输出。第2页/共39页电容式传感器的三种类型：变极距型、变面
2、积型和变介电常数型。一、基本工作原理一、基本工作原理5.1 电容式传感器工作原理和结构第3页/共39页若电容器极板间距离由初始值d0缩小了d，电容量增大了C，则有二、变极距型电容传感器二、变极距型电容传感器5.1 电容式传感器工作原理和结构d/d01时，1-(d/d0)21，则C与d近似呈线性关系。变极距型电容式传感器只有在d/d0很小时，才有近似的线性关系。1、基本输出特性第4页/共39页电容的相对变化量为 二、变极距型电容传感器二、变极距型电容传感器5.1 电容式传感器工作原理和结构当|d/d0|1时，级数展开有 输出电容的相对变化量与输入位移之间成非线性关系。传感器的相对非线性误差：2、
3、非线性特性第5页/共39页电容传感器的灵敏度为二、变极距型电容传感器二、变极距型电容传感器5.1 电容式传感器工作原理和结构3、灵敏度单位输入位移所引起的输出电容相对变化的大小与d0呈反比关系。当|d/d0|1时有近似线性关系 2、非线性特性要提高灵敏度，应减小起始间隙d0，但非线性误差却随着d0的减小而增大。一般变极板间距离电容式传感器的起始电容在20100pF之间，极板间距离在25200m的范围内。最大位移应小于间距的1/10。变极距电容式传感器在微位移测量中应用最广。第6页/共39页在差动式平板电容器中，当动极板位移d时，电容器C1的间隙d1变为d0-d，电容器C2的间隙d2变为d0+d
4、，则 二、变极距型电容传感器二、变极距型电容传感器5.1 电容式传感器工作原理和结构在实际应用中，为了提高灵敏度，减小非线性误差，大都采用差动式结构。4、差动式结构动极板动极板定极板定极板定极板定极板C1 d1C2 d2第7页/共39页电容值相对变化量为 二、变极距型电容传感器二、变极距型电容传感器5.1 电容式传感器工作原理和结构略去高次项，则C/C0与d/d0近似线性关系为电容值总的变化量为 4、差动式结构动极板动极板定极板定极板定极板定极板C1 d1C2 d2第8页/共39页差动式传感器的灵敏度为二、变极距型电容传感器二、变极距型电容传感器5.1 电容式传感器工作原理和结构差动式传感器的
5、相对非线性误差近似为 4、差动式结构动极板动极板定极板定极板定极板定极板C1 d1C2 d2差动式结构的电容传感器非线性误差大大降低，灵敏度增加了一倍。第9页/共39页两种常用变面积型电容传感器：线位移式和角位移。三、变面积型电容传感器三、变面积型电容传感器5.1 电容式传感器工作原理和结构传感器的电容量与水平位移呈线性关系。被测量通过动极板移动引起两极板有效覆盖面积改变，产生电容量的变化。当动极板相对于定极板平移x时，则电容相对变化量为 1、平行平板线位移式第10页/共39页初始电容C0为三、变面积型电容传感器三、变面积型电容传感器5.1 电容式传感器工作原理和结构传感器的电容量与内筒线位移
6、呈线性关系。当覆盖长度变化时，电容量也随之变化。当内筒上移为a 时，内外筒间的电容相对变化量为 2、同轴圆筒线位移式DdLa第11页/共39页初始电容C0为三、变面积型电容传感器三、变面积型电容传感器5.1 电容式传感器工作原理和结构传感器的电容量与角位移呈线性关系。当动极板有一个角位移时，与定极板间的有效覆盖面积就发生改变，从而改变了两极板间的电容量。电容相对变化量为 3、角位移式第12页/共39页设固定极板长度为a、宽度为b、两极板间的距离为d；被测物的厚度和介电常数分别为dx和,则四、变介质型电容传感器四、变介质型电容传感器5.1 电容式传感器工作原理和结构传感器的电容量与被测量物体的厚
7、度和介电常数有关。当介电常数一定时，通过传感器电容量的变化测量物体的厚度。1、单组平板厚度式电容传感器 dxCC1C2C3第13页/共39页设极板宽度为b，板间无介质2时，传感器的电容量四、变介质型电容传感器四、变介质型电容传感器5.1 电容式传感器工作原理和结构传感器的电容量与位移呈线性关系。插入介质2 后的电容量2、单组平板位移式电容传感器 d21CBld12xCACACBC第14页/共39页设被测介质的介电常数为1，液面高度为h,变换器总高度为H，内筒外径为d，外筒内径为D，变换器电容值为 四、变介质型电容传感器四、变介质型电容传感器5.1 电容式传感器工作原理和结构变换器的电容增量正比
8、于被测液位高度。3、测量液位圆筒式电容传感器 C2C1C第15页/共39页 第五章 电容式传感器 5.1 电容式传感器工作原理和结构5.2 电容式传感器等效电路5.3 电容式传感器测量电路5.4 电容式传感器应用 第16页/共39页考虑了电容器的损耗和电感效应，电容式传感器的等效电路。一、电容式传感器等效电路一、电容式传感器等效电路5.2 电容式传感器等效电路根据等效电路，电容式传感器有一个谐振频率，通常为几十兆赫。当工作频率等于或接近谐振频率时，谐振频率破坏传感器正常作用。因此，工作频率应该选择低于谐振频率。并联损耗电阻Rp：表示极板间的泄漏电阻和介质损耗。并联损耗低频时影响大，随着工作频率
9、增高，容抗减小，影响就减弱。串联损耗电阻Rs：引线电阻、电容器支架和极板电阻的损耗。电感L：电容器的电感和外部引线电感。第17页/共39页 第五章 电容式传感器 5.1 电容式传感器工作原理和结构5.2 电容式传感器等效电路5.3 电容式传感器测量电路5.4 电容式传感器应用 第18页/共39页与电感传感器不同，电容传感器中电容值和电容变化量都十分微小，难以直接为仪表所显示和记录。因此，需要一些测量电路检测出电容的微小变化量，并转换成相应的电压、电流或频率输出。一、调频式测量电路一、调频式测量电路5.3 电容式传感器测量电路常用测量电路：调频电路、运算放大器电路、二极管双T形交流电桥、环形二极
10、管充放电电路、脉冲宽度调制电路等。Cxf振荡器uf限幅放大器uL鉴频器调频测量电路中电容式传感器作为振荡器谐振回路的一部分,当输入量导致电容量发生变化时，振荡器的振荡频率就发生变化。若用频率直接作为测量系统的输出量，来判断被测非电量的大小，具有非线性、不易校正等问题。因此，加入鉴频器，频率变化转换为电压振幅变化来输出。第19页/共39页调频振荡器的振荡频率为 一、调频式测量电路一、调频式测量电路5.3 电容式传感器测量电路调频测量电路具有较高的灵敏度，可测量高至级位移变化量。信号输出频率易于用数字仪器测量，并与计算机通讯，抗干扰能力强，可实现遥测遥控。当被测信号不为0时，C0，振荡器频率变化为
11、 振荡回路的总电容，C=C1+C2+Cx，C1为振荡回路固有电容,C2为传感器引线分布电容,Cx=C0C为传感器的电容。当被测信号为0时，C=0，则振荡器有一个固有频率为第20页/共39页运算放大器的放大倍数大，输入阻抗高,可作为电容式传感器的理想测量电路。二、运算放大器测量电路二、运算放大器测量电路5.3 电容式传感器测量电路运算放大器电路输出电压为 测量电路输出电压的相位与电源电压的反相。设Cx为电容式传感器电容；Ui是交流电源电压;Uo是输出信号电压;是虚地点。运算放大器输入电流可认为零，根据克希荷夫定律有第21页/共39页平行平板电容传感器，则二、运算放大器测量电路二、运算放大器测量电
12、路5.3 电容式传感器测量电路实际上运算放大器测量电路仍然存在一定的非线性。为保证仪器精度，除了要求运算放大器阻抗和放大倍数足够大外，还要求电源电压的幅值和固定电容值非常稳定。运算放大器的输出电压与极板间距离成线性关系。在运算放大器的放大倍数和输入阻抗无限大的条件下，运算放大器电路解决了变极距型电容传感器的非线性问题。第22页/共39页二极管双T形交流电桥电路中，e为高频电源，提供了幅值为U的对称方波，VD1、VD2为特性完全相同的两只二极管，R1、R2为阻值相等的两个固定电阻，C1、C2为传感器的两个差动电容。三、二极管双三、二极管双T T形交流电桥形交流电桥5.3 电容式传感器测量电路（1
13、）传感器没有输入C1=C2当e为正半周时，二极管VD1导通、VD2截止，则电容C1被以极短的时间充电至U。在前负半周时，电容C2已经充电至电压U。1、电路基本结构 2、基本工作原理 第23页/共39页三、二极管双三、二极管双T T形交流电桥形交流电桥5.3 电容式传感器测量电路（1）传感器没有输入时C1=C2电源经R1以I1向RL供电，而电容C2经电阻R2和负载电阻RL放电，流过RL的电流为I2。流过RL的总电流IL为I1和I2的代数和。2、基本工作原理 同理，当e为负半周时，流过负载电阻RL的电流为I1和I2的代数和。根据所给的条件，在一个周期内流过负载电阻上平均电流I1=I2、I1=I2且
14、方向相反，流过RL的平均电流为零。第24页/共39页三、二极管双三、二极管双T T形交流电桥形交流电桥5.3 电容式传感器测量电路（2）传感器有输入时C1C2若传感器输入不为0，则C1C2,I1I2,在一个周期内通过RL上的平均电流不为零。因此，输出电压在一个周期内平均值为 2、基本工作原理 输出电压既与电源幅值和频率f 有关，又与电容C1和C2的差值有关。第25页/共39页三、二极管双三、二极管双T T形交流电桥形交流电桥5.3 电容式传感器测量电路（2）传感器有输入时C1C2当RL一定时，引入常数M，在一个周期内输出电压平均值可简写为 2、基本工作原理 当电源确定后，输出电压是电容C1和C
15、2的函数。（3）双T电路的特点线路简单，可全部放在探头内，大大缩短了电容引线、减小了分布电容的影响；电源周期、幅值影响灵敏度，要求高度稳定；输出阻抗与电容无关，克服了电容式传感器高内阻的缺点；适用于具有线性特性的差动式传感器。第26页/共39页在环形二极管充放电法测量电容电路中，高频方波信号源，通过环形二极管电桥，对被测电容进行充放电，环形二极管电桥输出一个与被测电容成正比的微安级电流。四、环形二极管充放电测量电四、环形二极管充放电测量电路路5.3 电容式传感器测量电路1、电路基本结构 输入方波加在电桥的A点和地之间，Cx为被测电容，Cd为平衡电容传感器初始电容的调零电容，C为滤波电容，A为直
16、流电流表。二极管双T形交流电桥的改进第27页/共39页（1）当输入的方波由E1跃变到E2时，电容Cx和Cd两端的电压皆由E1充电到E2。电容Cx的充电电流为i1，Cd的充电电流为i3。在充电过程中T1这段时间内，VD2、VD4一直处于截止状态，由A点向C点流动的电荷量为四、环形二极管充放电测量电四、环形二极管充放电测量电路路5.3 电容式传感器测量电路在放电过程中T2这段时间内，VD1、VD3截止，由C点向A点流过的电荷量为2、基本工作原理（2）当输入的方波由E2返回到E1时，Cx、Cd放电，两端的电压由E2下降到E1，放电电流分别为i2和i4。第28页/共39页（3）设方波的频率f=1/T0
17、即每秒钟要发生的充放电过程的次数，由C点流向A点的平均电流为I2,从A点流向C点的平均电流为I3,流过从C至A支路的瞬时电流平均值为四、环形二极管充放电测量电四、环形二极管充放电测量电路路5.3 电容式传感器测量电路环形二极管充放电测量电路的输出电流I正比于传感器电容值的增量Cx。2、基本工作原理（4）令Cx的初始值为C0，Cx为Cx的增量，Cx=C0+Cx。初始调节Cd=C0，则有第29页/共39页差动脉冲调宽电路，通过对传感器电容的充放电，使电路输出脉冲的宽度随传感器电容量变化而变化。通过低通滤波器，被测量的变化转换为直流信号输出。五、脉冲宽度调制测量电路五、脉冲宽度调制测量电路5.3 电
18、容式传感器测量电路当接通电源后，若触发器Q端为高电平，则触发器通过R1对Cx1充电。2、基本工作原理 1、电路基本结构 Cx1、Cx2为差动式传感器的两个电容；A1、A2是两个比较器，Ur为其参考电压。第30页/共39页当F点电位UF升到与参考电压Ur相等时，比较器A1产生一脉冲使触发器翻转，使Q端为低电平。此时，电容Cx1通过二极管VD1迅速放电至零，而触发器经R2向C2充电。五、脉冲宽度调制测量电路五、脉冲宽度调制测量电路5.3 电容式传感器测量电路2、基本工作原理 当G点电位UG与参考电压Ur相等时，比较器A2输出一脉冲使触发器翻转。此时，电容Cx2通过二极管VD2迅速放电至零。如此交替
19、激励。因此，电路充放电的时间，即触发器输出方波脉冲的宽度受电容Cx1、Cx2的调制。第31页/共39页（1）当Cx1=Cx2时，触发器两端电平的脉冲宽度T1和T2相等，测量电路在一个周期T=T1+T2时间内输出平均电压为零。五、脉冲宽度调制测量电路五、脉冲宽度调制测量电路5.3 电容式传感器测量电路2、基本工作原理（2）当Cx1Cx2时，C1和C2充放电时间常数发生变化，触发器两端电平的脉冲宽度T1和T2不相等，测量电路在一个周期T=T1+T2时间内输出平均电压为第32页/共39页五、脉冲宽度调制测量电路五、脉冲宽度调制测量电路5.3 电容式传感器测量电路2、基本工作原理（3）在一个周期内输出
20、平均电压与传感器电容的关系为对差动变极距型平行板电容传感器有同理，变面积型电容传感器有因此，差动脉冲宽度调制电路适用于差动电容式传感器，并具有理论上的线性特性。电路采用直流电源，电压稳定度高，不存在稳频、波形纯度的要求；经低通放大器可输出较大的直流电压，对输出矩形波的纯度要求也不高。第33页/共39页 第五章 电容式传感器 5.1 电容式传感器工作原理和结构5.2 电容式传感器等效电路5.3 电容式传感器测量电路5.4 电容式传感器应用 第34页/共39页电子技术的发展，解决了电容式传感器存在的许多技术问题，使电容式传感器应用广泛。精确测量：位移、厚度、角度、振动等物理量；力、压力、差压、流量
21、、成分、液位等参数。在自动检测与控制系统中也常常用来作为位置信号发生器。一、电容式压力传感器一、电容式压力传感器5.4 电容式传感器应用 凹玻璃圆片凹玻璃圆片弹性膜片弹性膜片(动电极动电极)固定电极固定电极P差动型电容式压力/压差传感器：当被测压力或压力差作用于膜片并产生位移时，两个电容器的电容量，一个增大，一个减小。电容值的变化经测量电路转换成与压力或压力差相对应的电流或电压的变化。第35页/共39页二、电容式称重传感器二、电容式称重传感器5.4 电容式传感器应用 电容式称重传感器结构形式很多。基本原理：利用弹性敏感元件受压后变形，引起电容随外加重量的变化而变化。绝缘材料定极板动极板极板支架
22、弹性体称重时，弹性元件受力变形，动极板发生位移，导致传感器电容量变化。F在弹性钢体上高度相同处打一排孔，在孔内形成一排平行的平板电容。在电路上各电容是并联的，输出反映的结果是平均作用力的变化，测量误差大大减小（误差平均效应）。第36页/共39页三、电容式加速度传感器三、电容式加速度传感器5.4 电容式传感器应用 基本结构：两个固定极板间有一个用弹簧片支撑的质量块m，质量块的两端面经抛光后作为动极板。弹簧片定极板2质量块（动极板）定极板1绝缘体aC1C2m基本原理：当传感器测量竖直方向的振动时，因m的惯性作用，使其相对固定电极产生位移，两个差动电容器C1和C2的电容发生相应的变化，其中一个变大，另一个变小。第37页/共39页四、电容式传感器其他应用四、电容式传感器其他应用5.4 电容式传感器应用（1）电容式液位计（2）电容式料位计（3）电容式湿敏传感器（4）电容式键盘（5）电容传声器（6）生物识别技术硅电容指纹图像传感器：最常见的半导体指纹传感器，通过电子度量来捕捉指纹。在半导体金属阵列上能结合大约100,000个电容传感器。第38页/共39页感谢您的观看！第39页/共39页