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1、真空的定义真空常用名词术语真空的定义真空常用名词术语1、真空的定义真空系统指低于该地区大气压的稀簿气体状态。2、真空度处于真空状态下的气体稀簿程度，通常用真空度高和真空度低来表示。真空度高表示真空度好的意思，真空度低表示真空度差的意思。3、真空度单位通常用托（Torr）为单位，近年国际上取用帕（Pa）作为单位。1 托1/760 大气压1 毫米汞柱 4、托与帕的转换 1 托133.322 帕或1 帕7.510-3 托 5、平均自由程作无规章热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号表示。6、流量单位时间流过任意截面的气体量，符号用Q表示，单位为帕升/秒（PaL/s）或托升/秒（Tor
2、rL/s）。7、流导表示真空管道通过气体的力量。单位为升/秒（L/s），在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差。符号记作U。UQ/(P2-P1)第 1 页 共 5 页 8、压力或压强气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用P表示。9、标准大气压压强为每平方厘米 101325 达因的气压，符号：（Atm）。10、极限真空真空容器经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度称为极限真空。通常真空容器须经 12 小时炼气，再经 12 小时抽真空，最终一个小时每隔 10 分钟测量一次，取其 10 次的平均值为极限真空值。11、抽气速率在肯定的压强和温度下，单位时间内由泵进气口处抽走的气体称为
3、抽气速率，简称抽速。即 SpQ/（PP0）12、热偶真空计利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。13、电离真空计（又收热阴极电离计）由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极放射电子电离气体分子，离子被收集极收集，依据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。14、复合真空计由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气10-5Pa。15、冷阴极电离计阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘第 2 页 共 5 页宁放电产生离子，依据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。16、电阻
4、真空计利用加热元件的电阻与温度有关，元件的温度又与气体传导有关的原理，通过电桥电路来测量真空度的真空计。17、麦克劳真空计（压缩式真空计）将待测的气体用汞（或油）压缩到一微小体积，然后比较开管和闭管的液柱差，利用玻义尔定律直接算出气体压强的一种肯定真空计。18、BA 规这是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离规。收集极是一根细丝，放在栅网中心，灯丝放在栅网外面，因而削减软X 射线影响，延长测量下限，可测超高真空。19、水环真空泵泵的叶轮转子旋转而产生水环。由于转子偏心旋转而使水环与叶片间容积发生周期性转变而进行抽气的机械真空泵。20、往复真空泵利用活塞的往复运动而进行抽气的机械真空泵。21、油封机
5、械真空泵用油来保持密封的机械真空泵，可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式等。22、罗茨真空泵第 3 页 共 5 页具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵，此泵不行以单独抽气，前级需配油封、水环等可直排大气的真空泵。23、涡轮分子真空泵有一高速旋转的叶轮，当气体分子与高速旋转的涡轮叶片相碰撞时就被驱向出气口再由前级泵抽除。24、油集中真空泵集中泵喷口中喷出高速蒸汽流。在分子流条件下，气体分子不断地向蒸流中集中，并被蒸汽带向泵出口处逐级被压缩后再由前级泵排解。25、低温真空泵利用 20K 以下的低温表面分散吸附气体的真空泵。26、冷阱（水冷挡板）置于真空容器和泵之间，用于吸附气体或捕集油蒸
6、汽的装置。27、气镇阀油封机械真空泵的压缩室上开一小孔，并装上调整阀，当打开阀并调整入气量，转子转到某一位置，空气就通过此孔掺入压缩室以降低压缩比，从而使大部分蒸汽不致凝聚而和掺入的气体一起被排解泵外起此作用的阀门称为气镇阀。28、真空冷冻干燥真空冷冻干燥，也称升华干燥。其原理是将材料冷冻，使其含有的水份变成冰块，然后在真空下使冰升华而达到干燥目的。29、真空蒸镀第 4 页 共 5 页在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。30、真空干燥利用真空环境下沸点低的特点来干燥物品的方法。31、真空系统常用名称 (1)主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满意特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油集中泵就是主泵。(2)前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。(3)粗抽泵：从大气压下开头抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开头工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。(4)维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的帮助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如集中泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。第 5 页 共 5 页