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1、东营中联国际集成电路废水处理厂新建工程技术要求及招标规范目录目录一、技術要求及招標規範範圍說明错误错误!未定义书签。未定义书签。二、規範和條例错误错误!未定义书签。未定义书签。三、技術說明错误错误!未定义书签。未定义书签。四、廢水處理工藝設計要求错误错误!未定义书签。未定义书签。五、工藝流程及 P&ID 圖错误错误!未定义书签。未定义书签。六、設備規格及廠牌错误错误!未定义书签。未定义书签。七、電氣控制工程說明错误错误!未定义书签。未定义书签。八、防腐工程說明错误错误!未定义书签。未定义书签。九、管線工程說明错误错误!未定义书签。未定义书签。十、廢水工程介面說明错误错误!未定义书签。未定义书签
2、。十一、投標文件错误错误!未定义书签。未定义书签。东营东芯集成电路废水处理厂新建工程技术要求及招标规范一、技术要求及招标规范范围说明一、技术要求及招标规范范围说明有关本合约废水处理工程的各系统装置的设计、供应、安装、调试、操作及维修等技术之要求,于本技术规范书及有关图纸内详细说明，以提供符合本合约要求的工程设计、制造至完工的各项细则.为能妥善完成本合约内各项工程事项，承包商须按要求提供一切所需的设计人员、施工及监督人员、材料、工具、物料、设备、储存、各有效的证件、图纸、临时施工措施、工地安全、检查、调试及运行等事项。-第第1 1节节结结束束-二、规范和条例二、规范和条例所有设备、材料的供应和施
3、工工艺，必须符合下列各机关、部门所颁布的最新的法定职责、条例、规格、标准、施工准则和业务条例：2.0.1 所有中国中央和当地政府机关及部门，包括但不仅限于以下所列的单位：1.消防局2.规划局3.环境保护局4.卫生防疫局5.自来水公司6.环境卫生管理局7.供电局8.排水管理处2.0.2 所有中国中央和当地所制定的规范和准则，以及国际认可的规例和标准，最新版本,包括以下，但不仅限于以下所列：1.建筑设计防火规范GB50016-20062.工业金属管道设计规范GB5031620003.工业设备及管道绝热工程设计规范GB50264-974.城市区域环境噪声标准GB3096935.工厂企业厂界噪声标准G
4、B12348-9016.工厂企业噪声控制设计规范GBJ87-857.环境空气质量标准GB309519968.大气污染物综合排放标准GB1629719969.污水综合排放标准GB8978199610.建筑给水排水设计规范GB50015-200311.建筑给水排水管道工程施工及验收规范GB50268-9712.建筑给水排水及采暖工程施工质量验收规范GB50242-200213.电子工业职业安全卫生设计规定SJ30002-9214.压力容器安全技术监察规程(质技监局锅发1999154 号）-第第 2 2 节节 结结 束束-三、技术说明三、技术说明3。0.1 废水来源本废水处理工程，为收集 8”晶圆生
5、产工艺所产生的各类废水及废液,废水、废液分类说明如下:项次12废水分类IWW 一般酸碱废水FWW 含氟废水酸处理塔排水废水来源制程系统一般酸碱废水制程系统含氟废水2HF 废液定量输送34AW 酸性含磷废水AHWW 含氨废水氨气吹脱及吸收塔排水制程系统背晶研磨废水制程系统金属研磨废水5CMP 研磨废水制程系统电介质研磨废水制程系统多晶硅研磨废水6回收水制程系统清洗水制程系统酸性含磷废水制程系统含氨废水3。0.2 废水废液水质特性各类废水及废液成份,如下列各表参考说明,供投标厂商进行工艺设计评估,惟投标商需考虑 8晶圆厂通用水质作完整考虑,以确保废水处理系统达标排放。废液成分名称硫酸废液成分浓度
6、80%左右处理方式收集委外处理收集委外处理/定量HF 废液浓度 20%输送至含氟废水处理系统处理光阻液废液(PIX）去光阻废液（STRIPPER）减薄废液（THINNER）3-收集委外处理收集委外处理收集委外处理有机溶剂废液（IPA)-IWW 一般酸碱废水水质特性收集委外处理分析项目pHCOD（mg/L)浓度范围213150FWW 含氟废水水质特性分析项目pHF(mg/L)SS(mg/L)SO42（mg/L)PO43(mg/L）浓度范围1。03.0500120050300100022005AW酸性含磷废水水质特性分析项目pHPO43-（mg/L）浓度范围13100500平均值2.5100017
7、516003AHWW 含氨废水水质特性分析项目pHNH3-N（mg/L）F-(mg/L)H2O2（mg/L）4浓度范围2122000300100CMP 研磨废水水质特性分析项目pHSS（mg/L）NH3-N(mg/L）TOC(mg/L）SiO2（mg/L）回收水水质特性分析项目pH电导度（us/cm）3。0.3 废水废液排放量废水排放量编号123456系统设计能力名称酸碱废水含氟废水酸性含磷废水含氨废水研磨废水回收水符号IWWFWWAWAHWWCMP-40m3/h10m3/h5m3/h5m3/h5m3/h10m3/h960m3/d240m3/d120m3/d120m3/d120m3/d240m
8、3/d废水处理站废水处理站废水处理站废水处理站废水处理站废水处理站承包商承包商承包商承包商承包商承包商处理系统所在位置责任方浓度范围2。510.51001000151800.5200浓度范围6910002000废液排放量5排放量名称磷酸废液硫酸废液HF 废液光阻液废液(PIX)去光阻废液（STRIPPER)减薄废液（THINNER）有机溶剂废液(IPA）设计能力5 m3/h5 m3/h5 m3/h5 m3/h5 m3/h5 m3/h5 m/h3系统所在位置实际排放量0.45 m3/d3。2 m3/d12 m3/d0。32 m3/d0。47 m3/d0。47 m3/d0。47 m3/d责任方3
9、号建筑（FAB）废水提升站承包商3 号建筑（FAB）废水提升站3 号建筑（FAB）废水提升站3 号建筑(FAB)废水提升站3 号建筑(FAB)废水提升站3 号建筑（FAB)废水提升站3 号建筑（FAB）废水提升站承包商承包商承包商承包商承包商承包商3。0。4 废水排放标准本项目生产废水按污水综合排放标准(GB89781996）的二级排放标准执行。污染物pHSSBOD5CODcr氨氮Cu 离子F 离子单位_mg/Lmg/Lmg/Lmg/Lmg/Lmg/L二级排放标准6。09。01503015025110-第第-四、废水处理工艺设计要求四、废水处理工艺设计要求3 3节节 结结 束束对排放的废水分类
10、收集，分别处理与综合处理相结合;废水1分类至少应区分为含氟废水、CMP 研磨废水、含氨废水、酸6碱废水、酸性含磷废水及收集暂存废液类。厂区制程排水管线,废水及废液收集管线材质应依本补充说1。1明第 9 节管线材质及所附空白标单材质要求执行工程。采用切实可行的先进技术与设备、自动监测等自动化程度高2的装备，确保处理效果达标,自动化控制系统具体要求如下：废水站控制柜设触控式屏幕,用以监控和调整各类参数；废水站控制柜需备有通讯接口，由业主接线将废水站控制柜内的2.1信号传输至业主中控室计算机,用以数据的监视和报告的输出2。2提供系统报警装置(故障报警及超载报警)2。3设备需考虑合理的备用数量2.43
11、3。1物化法3.23.33。4Stripping)及氧化除氨后，需再并入含氟废水处理.3.5酸性含磷废水采用化学混凝沉淀工艺酸碱废水应采用三段式 PH 调整,保证系统稳定运行含氟废水采用两段式化学混凝沉淀工艺高浓度含氨废水，因其中含有氟（F）,故在先经吹脱（Air水泵和风机的吸入口要有过滤装置处理工艺注意以下问题：处理工艺方法可采用：1.化学法；2。物理法；3。生物法;4.3。6研磨废水采用化学混凝沉淀工艺3.7回收水采用极电透析，导电度去除率 75。73。8处理工艺需考虑“以废治废”，降低运行成本处理系统要有回流及警急排放暂存功能,让不合格废水重新3。9再处理为保证系统质量及运行稳定性,套装
12、设备必须由设备厂商整4体提供-第第 4 4 节节 结结 束束-五、工艺流程及五、工艺流程及 P&IDP&ID 图图5.0.1 工艺流程描述1研磨废水处理系统在工艺生产过程中产生的研磨废水经收集管道至收集槽，然后经提升泵至废水站储槽,再经化学混凝沉淀系统处理后，出水并入酸碱废处理系统达标排放，产生的污泥排入各系统共享之浓缩池.2酸性含磷处理系统在工艺生产过程中产生的酸性含磷废水经收集管道至收集槽，然后经提升泵至废水站储槽，再经化学混凝沉淀系统处理后，出水并入酸碱废处理系统达标排放,产生的污泥排入各系统共享之浓缩池。3含氨废水处理系统含氨废水和氨气吸收塔排水分别经收集管道至收集槽,然后经提升泵至废
13、水站储槽，先经 PH 调整、加热后进入吹脱塔进行脱氮,8脱氮后出水则再进行化学氧化，进一步除氮,之后出水在进入含氟废水处理系统进行除氟。吹脱塔的含氨废气应以吸收塔进行中和处理，尾气应符合法令标准后排放。4含氟废水处理系统含氟废水用管道收集后至含氟废水收集槽和浓HF废液收集槽内，此外,酸性废气洗涤塔排出的废水，因其含有F 离子，也用管道输送至含氟废水收集槽内，而后含氟废水用泵将其送至废水处理站内含氟废水储槽；高浓度HF 废液用泵定量打到废水处理站含氟废水储槽内,与含氟废水一起进行处理.含氟废水采用两段化学混凝沉淀法进行处理,处理后出水进入酸碱废水系统调整PH后排放。产生的含氟污泥单独处理，先经浓
14、缩池浓缩后再经脱水机脱水。5酸碱废水处理系统酸碱废水经管道收集至酸碱废水收集槽，然后用泵送至废水站内酸碱废水储槽，经过三段 PH 调整后排放.6回收处理系统RO 浓水、酸碱中和后的排水以及机台回收水经收集后，进入 EDR（倒极电透析）系统脱盐处理，处理后的水可作为厂区内回用水使用。7高浓度废液收集系统高浓度废液（剥离废液、PIX 废液、IPA 废液、清洗废液、HF 废液、硫酸废液等）经收集后由专业公司外运处理。95。0。2P&ID图所附废水处理工艺流程图,投标商为求水质稳定达标，可自行增加处理单元,但不得以减化为由，予以删减处理单元.-六、设备规格及厂牌六、设备规格及厂牌序号123456设备类
15、别FRP 储槽PE 储槽酸碱废水输送泵非酸碱输送泵气动泵隔膜加药机推荐厂牌中信、尔华杰亚星、大自然KuobaoSuperGSD、WALRUSWilden、VERDER、NIKKISO、ALLDOS备注透明液位管，镀锌爬梯透明液位管，镀锌爬梯耐酸碱泵型式：卧式离心泵材质：铸铁型式：气动隔膜式型式：可调式耐酸碱隔膜泵第第5 5节节结结束束7鼓风机89101112131415刮泥机搅拌机污泥脱水机套装式斜板沉淀池自动泡药机收集槽AHWW 吹脱气提系统EDR 套装设备散气盘型式:三叶鲁式鼓风机富资附件：进出口消音器，滤清龙铁器，安全阀，逆止阀，防震接头，压力表型式:全桥式污泥刮泥机YE SAIL、功能
16、:下刮泥设计；MIDLAND材质：接液部分 sus304YE SAIL、材质：接液部份 FRP 防蚀WAN CHANGMIDLAND、型式：板框式隔膜式ISHIGIAMidland、材质:CS+防腐处理EVERYOUNG台玉、SERA台玉、Midland脱氮效率 90以上Midland、GE楷欣、,龙铁型式：圆碟状粗气泡1016171819202122232425压力表浮球液位计超声波液位计pH 计在线氟检测仪在线 COD 检测仪巴歇尔计量槽流量计PLC 自控图控软件水质分析实验室仪器吐气量：0。1m3/min 以上表径 21/2，PP 隔膜油华记、WIKAI浸式Key耐酸碱 PP 以上材质R
17、adarVEGA、用于药液桶槽及含HF 类HONDA腐蚀类废水废液DKK、SuntexDKK、HOTOC、SUNTEXHACH、TETHYS。PULSAROMRON、三菱用于电控柜中组态王用于废水处理厂之工控机标单所列项目标单所列厂牌-第第6 6节结束节结束-七、电气控制工程说明七、电气控制工程说明7.0.1电控系统构架现场设备需设置 LOCAL PANNEL 方便操作人员现场操作，LOCALPANNEL并可显示主要的系统数据(如：仪表等），详见系统架构图，系统中有各分系统相互连锁的信号时用一对一拉接线方式实现，各分系统的主要信号回 CCP 盘时同。各马达在主控盘上有自动/停止/手动 3 档,
18、并有运行/超载指示。整个系统采用工业计算机监控所有设备，通讯方式为 ETHERNET10/100M7.0.2元器件要求序列123名称断路器接触器热继电器系列EZD11厂牌施耐德施耐德施耐德其它要求45中间继电器PLCOMRONOMRON6触控式屏幕FUJI7软件891011121314端子台按钮指示灯I/O 接线板直流电源交流电源电缆箱体JBK5监控软件采用无限点监控软件,并具有设备状态监控、流程显KINGVIEW示、报警的记录、历史数据查询、参数的设定、报表的输出等功能.天得施耐德OMRON明纬正泰FAREAST、HUAN定做7.0.3控制柜制作要求1.箱体安装板及内外门板厚不小于 2。5m
19、m 其它板厚不小于 2mm。2.内部安装空调的柜体要求防护等级为 IP54。3.门锁采用带锁把手式且上下插销连杆式.4.柜门应焊接 M8 的螺丝，便于柜门接地.5.柜门不得有走扇现象，且开关门不的有异响。6.每扇柜门都配有 30W 日光灯及微动开关一组.7.门边内折，用于加强门板。8.门边四周贴密封条用于防尘，及关门消声。9.内部安装板采用整片扳制，颜色为丹红色。1210.箱体的背面板和两侧板可拆卸。11.箱体外观平整，无漆剥落现象。采用橘文式粉体烤漆。12.各板的连接缝隙不得大于 2 毫米。13.箱体外观颜色为 7035。14.门板按钮孔上下之间应安装加强筋，便于安装线槽，同时也加固门板.1
20、5.箱体内的底座部分要有盖板封，且为三块板组成，并是活动式便于进出动力线。16.开孔处无毛刺其尺寸完全符合图纸需求。17.底座左右雨遍及后面要预留进出线口，颜色为黑色。18.客体的顶端四角安装有吊环。7.0.4控制柜安装要求1.主回路配线如无特殊要求，三相主回路线一律为黑色 BVR 线。柜内走线要横平竖直，线槽内的布线要清晰顺畅，主回路线置于线槽内层控制线置于外层,以便故障时排查。主回路的导线连接须使用焊锡的压着端子，铜排至断路器上端头用为黄，绿，红色套分别套在对应 RS-T 相线两端,盘内导线之相序排列以面对箱面为准，R-ST 相别为由左至右，由上而下或由前而后。空开下端头至端子台之间的各主
21、回路元器件的联机两端用号码管标示（不得使用色套）。2.控制回路配线13如无特殊要求,其控制线一律用 1mm2,PLC 模块上用 0。75mm2,电线用多股 BVR 线。不同电压的控制线用不同颜色:交流 220V-黄色直流 24V蓝色3.接线线头裁剪处续修齐不得有毛刺及飞边，不得使用受损的螺丝接线。剥皮长度要与所选端子相适应.如需用接线端子时，其大小与线径一致。4.色套与号码管色套与号码管的大小应与所用电线的线径相适应.以保证在搬运或振动中不再在线滑动。号码管上的标识应从左到右、从下到上起读。标识字体清晰,不易脱落5.组件卷标每个在电气原理图上有标识的元器件都要贴上含设备名称及代码的卷标，卷标贴
22、在组件上方的线槽盖上且显目处,不得贴在组件上。标签应横平竖直，且在同一线槽盖上的标签应水平或垂直对齐6.线槽及导轨固定前要进行精确测量,保证固定后横平竖直,牢固耐用 导柜的固定点间距不得大于 40cm。在线槽交叉处应剪掉影响布线的线槽面并修平毛刺。内部布线要均匀,走线方向以使所用电线最短为好。大电线在里，小线在外。线槽内不得14有接头。备用线应藏在线槽内,两端做好绝缘处理。7.动力线和信号线要尽量分开走线，避免干扰.8.各元器件的安装，要首先满足说明书上的安装要求。9.端子台上也要有标签,便于查看此组线所接的是什么设备10.各控制柜之间的联线必须经过本柜的端子台与另外柜之间连接11.铜排和有电
23、且容易被人接触到的带电体要用透明压克力板遮盖。12.控制柜安装完成后应在厂内做以下测试：A.手动测试、B。PLC 强制端点测试、C。接线绝缘测试，且做好测试记录-第第-八、防腐工程说明八、防腐工程说明废水站中与酸碱性液体接触的 RC 水池及碳钢槽体需采用 FRP内衬保护,防止池体因腐蚀所造成的泄漏隐患。FRP 施工要求供做投标厂商之施作参考,废水处理厂之防腐工程为厂商责任施工，得标厂商应考虑废水水质特性，做适当的强化措施。FRP 内衬材质及施工要求如下：水池池壁及池底施工示意图（1）：三布五油水池池顶施工示意图（2）:两布三油157 7节节 结结 束束材料要求：1 昭和 R-802/R-806
24、 树脂，乙烯基树脂（上海昭和高分子有限公司)2 玻璃纤维纱席，300g/m2，国内优质品3 玻璃纤维表面席，30g/m2，国内优质品4 对含氟废水部份,涂层应使用有机表面席，30g/m2（以上），国内优质品-第第 8 8 节节 结结 束束-九、管线工程说明九、管线工程说明9 9。0 0。1 1 管材要求管材要求配管名称重力排配管管材 压力管配管管材酸性含磷废水管CS+PTFESCH80 PVC酸碱废水管SCH80 UPVCSCH80 PVC含氟废水管PP PN10PP PN10含氨废水管研磨废水管废气洗涤塔淋洗废水管硫酸废液管HF 废液管SCH80 UPVCSCH80 UPVCSCH80 CP
25、VCCS+PTFEPP PN10SCH80 UPVCSCH80 UPVCSCH80 CPVCCS+PTFEPP PN10保温及防腐户外保温户外保温全部保温户外保温户外保温户外保温户外保温PIX 光阻废液管 SUS304 SCH10S SUS304 SCH10S去光阻废液管SUS304 SCH10S SUS304 SCH10SIPA有机溶剂SUS304 SCH10S SUS304 SCH10S废液管减薄废液管SUS304 SCH10S SUS304 SCH10S硫酸铵废液管CPVC PN10CPVC PN10废水厂处理水UPVC PN10UPVC PN10废水厂空气管线GIPGIP废水厂供药管U
26、PVC PN10UPVC PN1016废水厂污泥管UPVC PN10UPVC PN10注：1重力管线需设置清扫口；2所有排水管线进入车间收集槽前必须加装过滤设备。9.0.2 管架施作方式1。抽水(泥)泵设备出口龙门架（面前架）（1)立架 SS400 8槽钢。(2)管架 SUS304 41252m/mt C 型钢+P 型夹.(3）零星管架 4以下采 SUS304 1-1/2单边有孔角钢,4以上采SUS304，2”单边有孔角钢，以SUS304 材质 U 型螺丝作固定。2.管路管排支架管线管架分为主固定型管架及辅助支撑型管架两种,其中主固定型管架每 5m 以内设一组,辅助支撑型管架则于两主支撑管架
27、5m 距离内，视承载管径大小于国家法令规定管架最小间距再等分设27 组(即每60-180cm 设一组）作辅助支撑型管架(1)当管架宽度小于1.5m 时，主固定型管架采用SS400 5#角钢作门型主架，另于门型支架底横梁管接处侧焊 SUS304，2单边有孔角钢作固定架；辅助支撑型管架则采 SUS304 2”单边有孔角钢作主梁另加 M10 SUS304 全牙螺杆作吊杆制造。(2)当管架宽度大于 1.5m 时，主固定型管架采用 8#槽钢作门型主架,另于门型支架底横梁管接处侧加焊 SUS304 2单边有孔角钢作固定架；辅助支撑17型管架则以 SUS304 2”单边有孔角钢侧加焊 8#槽钢与 M12 全
28、牙螺杆作吊杆制造。3。管架及支架涂装(1)所有非SUS304 钢制品涂装需喷砂除锈后上EPOXY 红丹底漆一道，EPOXY 柠檬绿底漆一道及 EPOXY 面漆两道，EPOXY 漆均使用永记虹牌漆。（2)所有 SUS304 焊接口处必须酸洗。(3)所有螺丝（含螺母，垫片）除标单另有要求采塑料螺丝材质外,一律采用 SUS304 材质施作（4)所有管夹（包含 P 型管夹、U 型螺丝）均采用 SUS304材质施作-第第 9 9 节节 结结 束束-十、废水工程接口说明十、废水工程接口说明项次一内容废水系统基本概况：(1)基本及细部设计（2)机械及管线设计（3）土木结构初稿设计（池体结构配置图)（4）电气
29、控制设计（1）土木结构配筋设计、校核及施工（2）土木工程施工、池槽走道、安全栏杆及爬梯（3）土木池壁整平与防水施作(清水模,槽体需漏水试验，进行槽体补漏至无漏水)（4)设备基础（R。C。）(5）管路管沟及跨建筑管廊18承包商1.1系统设计业主1。2土木工程1.3主要机械设备1。4电气工程1.5配管工程二2。12.22.32。4共同项目设备吊装工程（业主配合协调支持）（1）施工临时水电施工（1)试车时之药品（1 个月用量）（2）试车时之电力及清水源试车（3）试车操作与调整(1）主要设备验收（2）水质自测验收（3）运转指导（1）免税批文申办与政府机关之手续(2)设备报关、退税手续(3）设备海上内陆
30、运输(4）所有环保批文申请（6）池槽水流开孔、检修人孔及人孔盖（依设计图纸施作）（7）楼板加固强化（8）FRP 防腐工程（RC 池体内壁 FRP 涂衬）（9)其它 FRP 防腐工程（地面环氧地坪等）（1）机械设备（2）包商工厂制造之设备（1)一次侧电源配线至设废水系统主动力盘(2)施工临时用电与用水提供至现场(3)厂区照明设备(4）动力盘二次侧配线工程（5)操作控制盘（6）电气仪表计器材料(1)一次侧废水收集管线至 2地下室收集槽（2）2#地下室收集槽至 3#废水站（3）一次侧自来水源、高压空气、蒸汽提供至污水厂（4)池体废气抽排及环境抽风(5）系统放流池至巴歇尔槽管线（6）巴歇尔槽至整厂总排
31、口管线(7)控制阀类(8）现场施工（设系统污泥、废水、空气管线及预埋套管设置）2.5附注说明：附注说明：*环保验收之检测费用及一般公关费（如车马费，餐费等),由废气及废水承包商依检测费用比例分摊；特别公关费,其费用在人民币 20 万元以内,由业主、废水及废气承包商三方,依合约金额另行协议分摊比例,超过 20万元由业主自理。-第第-1010节节 结结 束束19十一、投标文件十一、投标文件投标单位于投标时，须包含但不仅限于以下文件内容:1.投标报价单2.公司简介及实绩说明3.法定代表人资格证明书4.授权委托书5.有关资信证明资料（投标商近 2 年纳税资料)6.废水处理系统功能计算书7.含氨废水吹脱及吸收系统功能计算书8.污泥脱水系统功能计算书9.系统流程图(PI D 图）10.平面配置图11.动力单线图、箱体图及电气规划说明12.废水站系统动作说明13.废水站操作运行成本分析14.施工组织计划15.施工质量管理计划16.设备规格清单17.池体清单18.主要设备型录或是系统图纸（桶槽、水泵、搅拌机、脱水机、鼓风机、EDR 套装设备、氨气提及氨吸收套装设备等)-20-21