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1、泓域咨询/纳米级薄膜沉积设备项目运营管理规划纳米级薄膜沉积设备项目运营管理规划目录一、 项目基本情况3二、 操作研究5三、 动作研究6四、 工作研究的步骤12五、 工作研究概述14六、 运输模型在物流配送系统规划中的应用19七、 因素评分法20八、 重心法22九、 产业环境分析23十、 薄膜沉积技术概况24十一、 必要性分析27十二、 进度计划方案28项目实施进度计划一览表28十三、 项目投资计划30建设投资估算表32建设期利息估算表33流动资金估算表34总投资及构成一览表36项目投资计划与资金筹措一览表37一、 项目基本情况（一）项目投资人xx（集团）有限公司（二）建设地点本期项目选址位于x
2、xx。（三）项目选址本期项目选址位于xxx，占地面积约89.00亩。（四）项目实施进度本期项目建设期限规划12个月。（五）投资估算本期项目总投资包括建设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总投资34138.21万元，其中：建设投资27360.56万元，占项目总投资的80.15%；建设期利息376.96万元，占项目总投资的1.10%；流动资金6400.69万元，占项目总投资的18.75%。（六）资金筹措项目总投资34138.21万元，根据资金筹措方案，xx（集团）有限公司计划自筹资金（资本金）18751.92万元。根据谨慎财务测算，本期工程项目申请银行借款总额15386.29万元。
3、（七）经济评价1、项目达产年预期营业收入（SP）：76800.00万元。2、年综合总成本费用（TC）：59072.30万元。3、项目达产年净利润（NP）：12994.03万元。4、财务内部收益率（FIRR）：31.39%。5、全部投资回收期（Pt）：4.59年（含建设期12个月）。6、达产年盈亏平衡点（BEP）：22823.94万元（产值）。（八）主要经济技术指标主要经济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积59333.00约89.00亩1.1总建筑面积110333.92容积率1.861.2基底面积37973.12建筑系数64.00%1.3投资强度万元/亩295.462总投资万元34138.
4、212.1建设投资万元27360.562.1.1工程费用万元23493.652.1.2工程建设其他费用万元3234.832.1.3预备费万元632.082.2建设期利息万元376.962.3流动资金万元6400.693资金筹措万元34138.213.1自筹资金万元18751.923.2银行贷款万元15386.294营业收入万元76800.00正常运营年份5总成本费用万元59072.306利润总额万元17325.377净利润万元12994.038所得税万元4331.349增值税万元3352.7710税金及附加万元402.3311纳税总额万元8086.4412工业增加值万元26843.2313盈亏
5、平衡点万元22823.94产值14回收期年4.59含建设期12个月15财务内部收益率31.39%所得税后16财务净现值万元26004.87所得税后二、 操作研究操作研究就是仔细研究工人和机器的每一个操作，研究如何使工人的操作更经济、更有效以及工人和机器的配合更协调。操作研究的目的是在作业流程设计与改进的基础上，分析具体操作，并加以改进，以减少疲劳、提高效率。人机活动图是一种把人与机器在工作时间上的配合关系描述出来的图形化工具。在使用这种方法时，通常利用条形图的长度来表示时间。借助人机活动图，管理人员可以分析人和设备的工作及空闲时间，以此来确定实行多设备看管或同一设备为多个操作人员共用的可能性，
6、最终达到有效利用人力、设备或工作地，的目的。三、 动作研究动作研究是对工人在执行一项操作任务时涉及的动作所进行的系统研究，其目的是减少不必要的动作，确认最好的操作顺序以取得最大的效率。可以看出，动作研究是操作研究的继续和深化。吉尔布雷斯被公认为“动作研究之父”。莉莲吉尔布雷斯是美国第一个获得心理学博士的女士，被称为“管理学第一夫人”，与吉尔布雷斯一道从事动作研究。吉尔布雷斯通过对动作进行科学的研究和分析，提出了经济动作原则和动素的概念。1、经济动作原则经济动作原则最初由吉尔布雷斯提出，是指导人们如何节约动作，如何提高动作效率的原则，经不断研究和补充，归纳为十个原则。（1）双手的动作应该是同时的
7、和对称的。合理地利用双手同时工作，能提高劳动效率。心理学试验证明，右手疲劳后，左手参加工作，可以迅速解除右手疲劳，反之亦然，甚至脚参加工作也可以帮助解除手的疲劳。另外，双手（或双脚）交替或对称运动可以使人体保，持平衡，减少身体的摇晃。由于平衡作用，在一定程度（指负重）内双手运动比单手运动更能减少身体的紧张程度，消除疲劳，所以不能不加分析地认为双手操作比单手操作的劳动强度大。为了实现双手操作，应该相应地布置工作地和工位器具。（2）工具和物料应该放在近处和操作者面前，使它处在双手容易拿到的位置。手的移动距离应该愈短愈好，移动次数愈少愈好。（3）所有的工具和物料必须有明确的和固定的存放地点。（4）为
8、了将物料送到靠近使用的地点，应该利用重力式的送料盒或容器。（5）只要条件允许，工具和物料应该放在预先设定的位置。（6）尽可能采用“下坠式传送”方式。（7）所有的工作，只要用脚来做更为有利，就应该避免用手来做；只要经济合算，就应采用动力驱动的工具和设备；只要可能，就应该采用虎钳或夹具来固定工作物，以便腾出双手来进行其他操作。（8）物料和工具摆放应能使操作流畅并富有节奏。（9）避免骤然改变方向的动作的发生，采用流畅而连续的手动动作。（10）工作地和座椅的高度最好在工作时可以替换着坐和站，同时应该具备适宜的光线，使工作者尽可能地舒适。上述十个原则，实际上分为三个方面：身体利用原则；工作位置安排原则；
9、工具设备设计原则。2、动素分析动素就是完成一个动作的基本元素。而动素的基本思想就是吉尔布雷斯奠定的。他认为虽然人所进行的作业千变万化，但分解以后的基本动作不超过17种。即每一个动作都是由种类少于17个的动素构成的，只不过这些动素的组合顺序不同罢了。后来，美国机械工程师学会增加了“发现”这个动素，用F表示，这样就有了18种动素。这18种动素都用专门的象形符号来表示。下面简要介绍这18种动素。（1）伸手，即空手移动，伸向目标，又称运空。起点是手开始伸出的瞬间，终点是手刚触及目标物的瞬间。该动素之前常有“放手”，之后常有“握取”。（2）移物。用手持物从一处移至另一处的动作称为移物，又称运实。起点是手
10、带负荷并开始朝向目的地移动的瞬间，终点是带有负荷的手抵达目的地的瞬间。该动素前常有“握取”，后常有“定位”及“放手”。（3）握取，即利用手指充分控制物体。起点是手指或手掌环绕一物体，欲控制该物体的瞬间，终点是物体已被充分控制的瞬间。该动素常发生在“伸手”与“移物”之间，其后常有“持住”。（4）装配，即为了组合两个以上的物件而完成的动作。起点是两个物件开始接触的瞬间，终点是两个物件完全组合的瞬间。该动素之前常有“定位”或“预对”，其后常有“放手”。（5）使用，即利用器具或装置所做的动作。起点是开始控制工具进行工作的瞬间，终点是工具使用完毕的瞬间。在某项操作内，常可连续发生多次“使用”。（6）拆卸
11、，即对两个以上组合的物体，施以分解动作。起点是两个物体开始分离的瞬间，终点是两个物体完全分离的瞬间。该动素之前常有“握取”，之后常有“移物”或“放手”。（7）放手，即从手中放掉东西。起点是手指开始脱离物体的瞬间，终点是手指完全脱离物体的瞬间。（8）检查，即将产品和所制定的标准相比较的动作。起点是开始检验物体的瞬间，终点是判定出产品质量优劣的瞬间。（9）寻找，即确定目标物的位置的动作。起点是眼睛开始致力于寻找的瞬间，终点是眼睛找到目标物的瞬间。（10）选择，即在同类物件中，选取其中一个。起点是寻找的终点，终点是物件被选出。（11）计划，即在操作进行中为决定下一步骤所做的考虑。起点是开始考虑的瞬间
12、，终点是决定行动的瞬间。（12）定位，即以物体放置于所需的正确位置为目的而进行的动作，又称对准。起点是开始放置物体至一定方位的瞬间，终点是物体已被安置于正确方位的瞬间。该动素之前常有移动，之后常有放手。（13）预对，即物体定位前，先将物体安置到预定位置。起点和终点与定位的起点与终点相同。（14）持住，即手握物体并保持静止状态，又称拿住。起点是用手开始将物体定置于某一方位的瞬间，终点是物体不必再定置于某一方位上为止的瞬间。该动素之前为握取，之后为放手。（15）休息，即因疲劳而停止工作。起点是停止工作的瞬间，终点是恢复工作的瞬间。（16）迟延，即不可避免的停顿。起点是开始等候的瞬间，终点是开始工作
13、的瞬间。（17）故延，即可以避免的停顿。起点是开始停顿的瞬间，终点是开始工作的瞬间。（18）发现，即东西已找到的瞬间动作。起点是眼睛开始寻找到物体的瞬间，终点是眼睛已找到物体的瞬间。上述18种动素又分为三类。第一类为有用的动素。它们虽非最有效的，却是完成操作所必要的，如伸手、移物、握取、装配、使用、放手、检查、定位等。对这些动素，应根据节约动作原则，采取减少疲劳、提高效率的措施。第二类常常是减缓第一类操作的动素，如拆卸、寻找、选择、计划、预对、持住等。对这些动素，应研究改进工作地布置，事先加强指导和准备，尽可能减少它们发生。第三类是对完成操作并没有促进作用的动素，如休息、迟延、故延、发现等动素
14、。对这些动素，应尽量消除。动素分析是把作业分解成动素，从而把改进作业建立在对动素减少和重新组合基础上的一种方法。具体地讲，就是对每一个作业进行分解，通过手、足、眼、头等的活动，把动作的顺序和方法与双手、眼睛等的活动联系起来，进行详尽的分析，用动素符号记录下来，找到动素组合的不当之处以及作业中存在的多余动素，进而加以改善。吉尔布雷斯夫妇把电影技术应用到动作研究中，进行了微动作研究。他们当时使用35毫米摄影机以每秒16框的速度，将被观测对象的全部动作完整地拍摄下来，形成影片，再进行慢放，为动作改进提供原始数据。微动作研究不仅应用于工业领域，在运动和健康护理等方面也得到了广泛的运用。此外，动作研究的
15、胶片不仅为微动作研究和培训工人提供了可以参照的永久性记录，也可用于解决工作方法方面的争执。3、对动图及其在动作研究中的应用动作研究人员经常利用图表工具来分析和记录动作过程和结果。四、 工作研究的步骤工作研究通常包括以下五个步骤。1、确定研究对象一般应把运营系统中的关键环节、薄弱环节或带有普遍性的问题确定为工作研究的对象。从实施角度考虑，对容易开展、见效快的环节或方面也应作为工作研究的重点。研究对象可以是一个运营系统或者是其中的一部分，如某一职能部门、生产线上的某一车间、工序、某一工作岗位，甚至某一具体作业、动作等。2、制定研究目标为了便于评价工作研究的效果，在确定了研究对象之后还要制定具体的目
16、标。其中，定量指标有：作业时间的减少、人员的节约、物料或能源消耗的降低以及产品质量的提高等。定性指标有：职员工作兴趣和积极性的提高，工作环境与条件的改善，安全性的增加和疲劳的减轻等。3、现行方法写实现行方法写实就是真实、全面地将现在采用的工作方法或工作过程如实、详细地记录下来。现行方法写实的手段众多，方法各异，如录音、拍照、摄像，并借助各类专用表格记录。尽管方法各异，但都是工作研究的基础，而且记录的详尽、正确程度直接影响着下一步，对原始记录资料所做分析的效果。目前，已有不少规范的专用图表工具。借助这些工具，工作研究人员可准确、迅速、方便地记录所研究对象的真实情况。4、现行方法分析现行方法分析的
17、目的是确定现行工作方法中的每一作业是否必要，顺序是否合理，哪些可以去掉，哪些可以合并，哪些需要改变，需要添加哪些作业。现行方法分析可以采用简明有效的“5WIH”分析方法。“5W1H”分析方法是指以寻找减少、合并、调整顺序等机会为出发点，从why、what、how、who，where，when六个方面反复提出有关工作过程是否合适的问题，从而优化工作方案的工作研究方法。5、新方法的设计、评价和实施这一步骤是工作研究的核心部分，具体包括新方法的设计、评价和实施三项主要内容。（1）设计新方法。设计新方法多数情况下不是推倒重来，而是在现有工作方法的基础上对其进行改进。（2）评价新方法。评价新方法的优劣主
18、要从经济性、安全程度和管理方便程度三个方面考虑。评价指标可以是定量的，也可以是定性的。（3）实施新方法。正如物体要保持其原有惯性一样，当某种变化不被人了解或理解，而且改变了人们多年的习惯时，就会遇到一定的阻力。所以，工作研究成果的实施往往要比对工作的研究本身困难得多。因此，在实施过程中要认真做好宣传、培训、试点和示范工作，切勿急于求成。五、 工作研究概述1、工作研究的基本概念工作研究是指运用系统分析的方法，在现有工作条件下，详尽地分析某一特定的操作或动作，排除其中不合理、不经济、混乱的因素，寻求更简捷、更经济、更有效的作业方法，建立工作标准，确定标准作业时间。工作研究的目标是消除时间、人力、物
19、力、资金等方面的浪费，提高工作效率。提高工作效率的途径有多种，例如可以通过购买先进设备、提高劳动强度来实现。工作研究则遵循以内涵方式提高效率的原则，在既定的工作条件下，不依靠增加投资，不增加工人劳动强度，只通过重新组合生产要素、优化作业过程、改进操作方法、整顿现场秩序等方法，消除各种浪费，节约时间和资源，从而提高工作效率、增加效益。同时，由于作业规范化、工作标准化，产品质量可以得到提高。因此，工作研究是组织提高工作效率和经济效益的一个有效方法。工作研究的基本技术是方法研究与时间研究。方法研究是指对现有的作业方法进行系统分析，从中发现不合理的因素，并加以改善。时间研究又叫作业测定，是指对实际完成
20、作业的时间进行测定，以确定标准作业时间。工作研究中的方法研究和时间研究是相互关联的，方法研究是时间研究的基础，制定工作标准的前提，而时间研究又是选择和比较工作方法的依据。2、工作研究的产生与发展工作研究发端于泰勒在钢铁厂所开展的搬运生铁块试验与铲运试验，以及吉尔布雷斯在建筑行业所从事的砌砖方法研究。后来，统计学的应用奠定了工作抽样的基础。今天，人们越来越重视研究人类工程学和行为科学对减少疲劳、提高效率的影响。（1）泰勒的搬运生铁块试验与铲运试验泰勒是工作研究的开拓者。在此之前，工人的工作标准及定额是凭管理者的经验制定的。泰勒运用了一套科学的方法，对工人的操作过程和操作内容进行精确的研究，设计合
21、理的操作内容和程序，规定相应的作业时间标准。这些标准是控制劳动费用的基础，也是安排生产作业计划和确定价格的主要依据。1）搬运生铁块试验把整个搬运过程分解成一些基本动作，研究这些动作最合理、最省力的方法，进而计算采用正确操作方法所用的时间。2）铲运试验在铲运试验中，泰勒主要进行了人的负荷和铲运工具改进方面的研究。清理物料堆的边缘部分和堆底。同时，还研究了铁锨的抛送角度和移动距离与铲运量之间的关系。一段时间后，因为工人采用了合适的铁锨并运用了科学的作业方法，其平均铲运量也有了大幅度的提高。在搬运生铁块试验和铲运试验以及其他作业方法研究的基础上，结合管理方法的改进，泰勒提出了著名的完成作业任务的四个
22、准则。按照科学的方法完成每一项作业，而不是凭经验；科学地挑选工人，并进行培训和教育，使之成长成才，而不是由工人自己选择工作，并且自由行事；与工人密切合作，同时在工资制度上体现按劳取酬；管理者与工人各司其职，而不是把管理方面的职责也推给工人。（2）吉尔布雷斯的砌砖方法研究吉尔布雷斯专注于动作研究，取得了影响久远的成果，因此被人们尊称为“动作研究之父”。在建筑行业，砌砖很常见。多少年来，所使用的工具和原料以及作业方法，都没有什么实质性的改进。然而，在看似简单的作业背后却包含着深刻的科学原理。吉尔布雷斯的动作研究最早就是从砌砖作业开始的。然后，吉尔布雷斯对这些貌似合理的动作进行了仔细分析，发现有许多
23、地方都可以进行改进。1）探身拿砖。2）灰铲形状与大小。应该根据灰泥的稀稠度，设计灰铲的形状和大小，以便每次铲出的灰泥不多不少，正好够一次使用，以免太少需要再铲一次，或太多需要刮掉一些。3）寻找砖的平整面。4）敲击砖块。最后，吉尔布雷斯把这些改进方案在工人中进行推广应用。统计结果表明，工作效率提高了近三倍。当然，工人的工资也有显著的提高。（3）统计学在工作研究中的应用以及工作研究的新发展20世纪30年代以后，随着统计学的广泛应用，在英国纺织业首先采用抽样方法调查设备的利用情况，以后逐步形成了工时抽样的理论和方法。同一时期，美国的魁克在动作研究的基础上，提出了对每一个细微动作预先制定标准时间的设想
24、。以后经过许多人长期研究，分别提出了工作因素系统、方法时间测定系统等。这些系统总称为预定动作时间系统，简称PTS。这些系统的共同特点是广泛分析各种作业的共同动作，选定其中最基本的动作，按照动作的距离、负荷重量、难度等因素进行时间测定，并制定出相应的作业时间标准。这样，无须经过现场测评，就能事先制定出标准作业时间。如今，工作研究有了更进一步的发展，越来越重视人类工程学、行为科学对工作效率的影响。同时，普遍实行了以增加员工工作内容为主要特征的横向扩大化，以增加员工职责为主要特征的纵向扩大化，强调了团队作业的重要性。六、 运输模型在物流配送系统规划中的应用（一）运输模型及其求解典型物流配送要解决的问
25、题是：如何把某种产品从若干个产地配送到若干个销地才能使总的运输费用最低。解决这类问题的前提条件是每个产地的供应量、每个销地的需求量以及各地之间的单位运输费用已知。运输模型是解决这类问题的一种有效方法。运输模型是一种特殊的线性规划模型，由以下三个部分组成。（1）决策变量（2）目标函数（3）约束条件物资配送方案往往不是唯一的，但最低运输费用只有一个。求解运输模型最常用的是表上作业法。其思路是从最低的单位运输费用出发，在满足供应量和需求量两个约束的前提下，求得可行解，然后用最小费用法寻找最优解，即最低运输费用所对应的配送方案O。当决策变量较多时，可利用专业软件求解运输模型。（二）运输模型在物流配送系
26、统规划中的应用1、物流系统物资配送方案优化运输模型最广泛的应用是给出费用最低的物资配送方案。对物流配送系统来说，运输成本是运营成本的主要组成部分。下面举例说明运输模型在物流配送系统中的应用。2、物流中心选址规划运输模型不但可用于现有物流系统中物资配送方案的优化，而且可以直接用于工厂或物流中心的选址规划。随着企业的发展，企业可能需要建设新的工厂或物流中心（或配送中心、仓储中心或分销中心）。此时，可借助运输模型进行新的工厂或物流中心的选址规划。例如，路路通物流公司为了满足化学制剂厂日益扩大的需求，需要新建一个物流中心。通过多因素评分法初步确定备选地址为长治和洛阳。为此，可应用运输模型分析计算出增加
27、长治或洛阳后总的运输费用。这样，就可以选择较小运输费用所对应的城市作为新建物流中心的地址。七、 因素评分法因素评分法就是对影响决策问题的主要因素进行评分，并根据其影响决策问题的重要性，对备选方案进行综合评分，在此基础上选择最佳决策方案。因素评分法的内涵在于，它不但综合考虑了影响选址的主要因素，而且考虑了这些因素对选址影响的重要程度，从而使选址建立在科学的基础之上。因素评分法应用于生活和工作的各个方面，如购房、职业规划、旅游路线选择、新产品评价等。这里介绍其在选址规划中的应用。因素评分法一般有以下几个步骤。（1）识别影响选址规划的主要因素（为叙述方便，以下简称因素），如市场位置、原材料供应、基础
28、设施等。（2）根据所确定的影响因素对选址规划的重要性，给每个因素赋予权重，并做归一化处理，即让所有因素权重之和等于1。确定权重的具体方法有专家评价法（如德尔菲法）、两两对比排序法等。（3）确定一个统一的分值，如100分。（4）对每一个备选地址的每一个因素给出评价分值。（5）将每一个因素的评价分值与其权重相乘，计算出每一个备选地址的每一个因素的加权评分值。（6）把每一个备选地址的所有因素的加权评分值相加，得到各个备选方案的综合评价分值。（7）综合评价分值最高的地址就是最佳选址方案。实际中，为了使决策更加客观，也可以设置最低综合评价分值，对超过最低评价分值的少数几个备选方案再结合经济技术分析进行优
29、选。八、 重心法重心在物理上的意义是物体各部分所受重力的合力的作用点。选址规划的重心法就是根据重心在物理上的这种含义，借助重心来辅助选择经济中心（如物流配送中心、仓储中心、销售中心、社区医院等）的地理位置，使从该经济中心到各个配送目的地的总的配送成本最低。采用重心法的前提条件是：已知目的地的地理位置和配送到各个目的地的经济量。这一经济量可以是重量，也可以是数量。重心法一般有以下几个步骤：（1）绘制表示配送目的地相对位置的地图。（2）添加坐标系，并标明各个配送目的地的坐标。（3）计算重心位置的坐标（4）根据重心位置周边的具体情况，综合考虑其他因素确定经济中心的位置。（5）根据重心位置周边的具体情
30、况，综合考虑其他因素确定经济中心的位置。有趣的是，重心位置的总负荷并不是最小的。接下来的问题是，既然重心位置的总负荷不是最小的，为什么还要用重心法去进行选址规划？答案是：虽然重心位置的总负荷不是最小的，但总负荷最小的位置一定在重心附近。实际中，总负荷最小的位置往往不具备建厂条件，所以求出总负荷最小的位置不但烦琐，而且没有必要。采用重心法，可以快速地计算出重心位置，在重心位置附近选择几个具备建设工厂或服务设施的城市或位置，再结合经济技术分析选择理想的地址。九、 产业环境分析以“中国制造2025”和“互联网+”行动计划为引领，实施产业强县战略，推进新型工业化进程，实现工业率先发展。着力建设一流的经
31、济开发区，打造现代制造业先进配套基地。以开发区和特色产业基地为发展平台，以项目建设为发展支撑，深入推进传统特色产业转型升级和新兴产业率先发展，形成先进制造业主导的工业发展格局。到“十三五”末，力争全部工业总产值突破500亿元；规模以上企业数量每年新增15家以上，达到220家以上，规上工业增加值增速达到9%以上。（一）着力推进园区率先发展以规划为引领，完善基础设施建设，加快招商引资进度，以“工业新城生态园区”为目标，助力产业转型发展、率先发展。（二）加快传统产业转型升级“十三五”期间，配合产业转型升级，逐步淘汰低端钢铁压延、低端零配件加工制造等技术含量低、高耗能低产出行业，实现传统特色制造业高端
32、化发展。（三）推动新兴产业发展壮大坚持传统产业与新兴产业双轮驱动，大力培育壮大新能源车辆制造、汽车零部件生产、数控设备生产等新兴产业，为经济发展提供新的支撑。力争到“十三五”末，新兴产业产值占工业总产值的比重达到30%以上。十、 薄膜沉积技术概况1、基本情况薄膜沉积设备通常用于在基底上沉积导体、绝缘体或者半导体等材料膜层，使之具备一定的特殊性能，广泛应用于光伏、半导体等领域的生产制造环节。2、薄膜沉积设备技术基本情况及对比薄膜沉积设备按照工艺原理的不同可分为物理气相沉积（PVD）设备、化学气相沉积（CVD）设备和原子层沉积（ALD）设备。（1）PVD物理气相沉积（PVD）技术是指在真空条件下采
33、用物理方法将材料源（固体或液体）表面气化成气态原子或分子，或部分电离成离子，并通过低压气体（或等离子体）过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。PVD镀膜技术主要分为三类：真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜。（2）CVD化学气相沉积（CVD）是通过化学反应的方式，利用加热、等离子或光辐射等各种能源，在反应器内使气态或蒸汽状态的化学物质在气相或气固界面上经化学反应形成固态沉积物的技术，是一种通过气体混合的化学反应在基体表面沉积薄膜的工艺，可应用于绝缘薄膜、硬掩模层以及金属膜层的沉积。（3）薄膜沉积设备技术之间对比PVD为物理过程，CVD为化学过程，两种具有显著的区别。ALD也是采
34、用化学反应方式进行沉积，但反应原理和工艺方式与CVD存在显著区别，在CVD工艺过程中，化学蒸气不断地通入真空室内，而在ALD工艺过程中，不同的反应物（前驱体）是以气体脉冲的形式交替送入反应室中的，使得在基底表面以单个原子层为单位一层一层地实现镀膜。相比于ALD技术，PVD技术生长机理简单，沉积速率高，但一般只适用于平面的膜层制备；CVD技术的重复性和台阶覆盖性比PVD略好，但是工艺过程中影响因素较多，成膜的均匀性较差，并且难以精确控制薄膜厚度。3、ALD、PVD、CVD技术应用差异PVD、CVD、ALD技术各有自己的技术特点和技术难点，经过多年的发展，亦分别发展出诸多应用领域。原子层沉积可以将
35、物质以单原子层形式一层一层地镀在基底表面的方法。从原理上说，ALD是通过化学反应得到生成物，但在沉积反应原理、沉积反应条件的要求和沉积层的质量上都与传统的CVD不同，在传统CVD工艺过程中，化学气体不断通入真空室内，因此该沉积过程是连续的，沉积薄膜的厚度与温度、压力、气体流量以及流动的均匀性、时间等多种因素有关；在ALD工艺过程中，则是将不同的反应前驱物以气体脉冲的形式交替送入反应室中，因此并非一个连续的工艺过程。ALD与CVD技术之间既存在明显的区分度，又在部分常规应用场景中存在可替代性。具体情况如下：在PERC电池背钝化Al2O3的沉积工艺中，ALD技术与PECVD技术存在互相替代的关系在
36、2016年之前，PECVD在PERC电池背面钝化的应用被迅速推广，原因是在常规单晶电池制造工艺流程中，仅电池正面需要用PECVD镀SiNX，因此电池厂商选择PERC电池背面沉积Al2O3的方法时，PECVD技术被优先用于Al2O3的沉积。而当时的ALD技术在国外主要应用于半导体领域，大多属于单片式反应器类型，这种反应器虽然镀膜精度高，但产能较低。近年来，晶圆制造的复杂度和工序量大大提升，以逻辑芯片为例，随着90nm以下制程的产线数量增多，尤其是28nm及以下工艺的产线对镀膜厚度和精度控制的要求更高，特别是引入多重曝光技术后，工序数和设备数均大幅提高；在存储芯片领域，主流制造工艺已由2DNAND
37、发展为3DNAND结构，内部层数不断增高；元器件逐步呈现高密度、高深宽比结构。由于ALD独特的技术优势，在每个周期中生长的薄膜厚度是一定的，拥有精确的膜厚控制和优越的台阶覆盖率，因此能够较好的满足器件尺寸不断缩小和结构3D立体化对于薄膜沉积工序中薄膜的厚度、三维共形性等方面的更高要求。ALD技术愈发体现出举足轻重、不可替代的作用。十一、 必要性分析1、现有产能已无法满足公司业务发展需求作为行业的领先企业，公司已建立良好的品牌形象和较高的市场知名度，产品销售形势良好，产销率超过 100%。预计未来几年公司的销售规模仍将保持快速增长。随着业务发展，公司现有厂房、设备资源已不能满足不断增长的市场需求
38、。公司通过优化生产流程、强化管理等手段，不断挖掘产能潜力，但仍难以从根本上缓解产能不足问题。通过本次项目的建设，公司将有效克服产能不足对公司发展的制约，为公司把握市场机遇奠定基础。2、公司产品结构升级的需要随着制造业智能化、自动化产业升级，公司产品的性能也需要不断优化升级。公司只有以技术创新和市场开发为驱动，不断研发新产品，提升产品精密化程度，将产品质量水平提升到同类产品的领先水准，提高生产的灵活性和适应性，契合关键零部件国产化的需求，才能在与国外企业的竞争中获得优势，保持公司在领域的国内领先地位。十二、 进度计划方案（一）项目进度安排结合该项目建设的实际工作情况，xx（集团）有限公司将项目工
39、程的建设周期确定为12个月，其工作内容包括：项目前期准备、工程勘察与设计、土建工程施工、设备采购、设备安装调试、试车投产等。项目实施进度计划一览表单位：月序号工作内容1234567891011121可行性研究及环评2项目立项3工程勘察建筑设计4施工图设计5项目招标及采购6土建施工7设备订购及运输8设备安装和调试9新增职工培训10项目竣工验收11项目试运行12正式投入运营（二）项目实施保障措施本期项目计划在获得土地使用权后动工建设。为了确保项目按进度计划顺利进行，同时为了节约项目建设时间，根据该项目的建设和运营特点，项目建设单位拟采用以下具体保障措施：1、项目建设单位要合理安排设计、采购和设备安
40、装的时间，在工作上交叉进行，最大限度缩短建设周期。将投资密度比较大的部分工程尽量押后施工，诸如其它配套工程等。2、将整个项目分期、分段建设，进行项目分解、工期目标分解，按项目的适应性安排施工，各主体工程的施工期叉开实施。3、在技术交流谈判同时，提前进行设计工作。对于制造周期长的设备，提前设计，提前定货。融资计划应比资金投入计划超前，时间及资金数量需有余地。4、项目建设单位组建一个投资控制小组，负责各期投资目标管理跟踪，各阶段实际投资与计划对比，进行投资计划调整，分析原因采取措施，确保该项目建设目标如期完成。十三、 项目投资计划（一）投资估算的依据本期项目其投资估算范围包括：建设投资、建设期利息
41、和流动资金，估算的主要依据包括：1、建设项目经济评价方法与参数（第三版）2、投资项目可行性研究指南3、建设项目投资估算编审规程4、建设项目可行性研究报告编制深度规定5、建设工程工程量清单计价规范6、企业工程设计概算编制办法7、建设工程监理与相关服务收费管理规定（二）项目费用与效益范围界定本期项目费用界定为工程费用和项目运营期所发生的各项费用；项目效益界定为运营期所产生的各项收益，并严格遵循财务评价过程中费用与效益计算范围相一致性的原则。本期项目建设投资27360.56万元，包括：工程费用、工程建设其他费用和预备费三个部分。（三）工程费用工程费用包括建筑工程费、设备购置费、安装工程费等；工程建设
42、其他费用包括：建设管理费、勘察设计费、生产准备费、其他前期工作费用，合计23493.65万元。1、建筑工程费估算根据估算，本期项目建筑工程费为13926.76万元。2、设备购置费估算设备购置费的估算是根据国内外制造厂家（商）报价和类似工程设备价格，同时参照机电产品报价手册和建设项目概算编制办法及各项概算指标规定的相应要求进行，并考虑必要的运杂费进行估算。本期项目设备购置费为8950.60万元。3、安装工程费估算本期项目安装工程费为616.29万元。（四）工程建设其他费用本期项目工程建设其他费用为3234.83万元。（五）预备费本期项目预备费为632.08万元。建设投资估算表单位：万元序号项目建
43、筑工程设备购置安装工程其他费用合计1工程费用13926.768950.60616.2923493.651.1建筑工程费13926.7613926.761.2设备购置费8950.608950.601.3安装工程费616.29616.292其他费用3234.833234.832.1土地出让金1441.371441.373预备费632.08632.083.1基本预备费319.30319.303.2涨价预备费312.78312.784投资合计27360.56（六）建设期利息按照建设规划，本期项目建设期为12个月，其中申请银行贷款15386.29万元，贷款利率按4.9%进行测算,建设期利息376.96万
44、元。建设期利息估算表单位：万元序号项目合计第1年第2年1借款1.1建设期利息376.96376.960.001.1.1期初借款余额15386.291.1.2当期借款15386.2915386.290.001.1.3当期应计利息376.96376.960.001.1.4期末借款余额15386.2915386.291.2其他融资费用1.3小计376.96376.960.002债券2.1建设期利息2.1.1期初债务余额2.1.2当期债务金额2.1.3当期应计利息2.1.4期末债务余额2.2其他融资费用2.3小计3合计376.96376.960.00（七）流动资金流动资金是指项目建成投产后，为进行正常运营，用于购买辅助材料、燃料、支付工资或者其他经营费用等所需的周转资金。流动资金测算一般采用分项详细测算法或扩大指标法，根据企业流动资金周转情况及本项目产品生产特点和项目运营特点，该项目流动资金测算参照同行业流动资产和流动负债的合理周转天数，采用分项详细测算法进行测算。根据测算，本期项目流动资金为6400.69万元。流动资金估算表单位：万元序号项