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1、 被测机械量电参数 输出 力学量传感器的种类繁多，应用广泛，主要应用于测力、测压、称重、测位移、测加速度、测扭矩、测温度等检测系统。目前已成为生产过程检测以及实现生产自动化不可缺少的手段之一。主要种类如下：测量电路2.力敏传感器力敏传感器l应变式传感器应变式传感器l电感式传感器电感式传感器l电容式传感器电容式传感器l压电式传感器压电式传感器2.32.3 电容式传感器电容式传感器优点优点：测量范围大、灵敏度高、结构简单、适应性强、动态响应快、易实现非接触测量等。目前由于材料、工艺，特别是测量电路及集成电路技术等方面已达相当高的水平，寄生电容的影响问题得到较好解决，使电容式传感器的优点得以充分发挥
2、。应用应用：压力、位移、厚度、加速度、液位、物位、湿度和成分含量等测量之中。原理：利用电容器将非电量转换成电容量变化,进而实现非电量到电量的转化。实质：一个可变参数电容器。一、一、工作原理与类型工作原理与类型 （一）工作原理（一）工作原理两块金属平板作电极构成电容器，当忽略边缘效应时，其电容为 S极板相对覆盖面积；极板间距离；r相对介电常数；0真空介电常数，08.85pF/m；极板间介质的介电常数。、S和r中的某一项或几项有变化，就改变了C0。或S的变化可反映线位移或角位移的变化，也可间接反映压力、加速度等的变化；r的变化则可反映液面高度、材料厚度等的变化。S（二）（二）类型类型三种基本类型三
3、种基本类型：l变极距变极距(变间隙变间隙)()型型l变面积型变面积型(S)型型l变介电常数变介电常数(r)型型教材表2-3列出了电容式传感器的三种基本结构形式。l位移位移：线位移和角位移两种。l极极板板形形状状：平板或圆板形和圆柱(圆筒)形，另外还有球面形和锯齿形等其他的形状，但一般少用。其中差动式一般优于单组（单边）式。差动式灵敏度高、线性范围宽、稳定性高。图(b)、(c)、(d)、(f)、(g)、(h)为变面积型，图(a)和(e)为变极距型，图(i)(l)则为变介电常数型。1 1、变极距型电容传感器、变极距型电容传感器极板1固定不动，极板2为可动极，当动片随被测量变化而移动时，两极板间距变
4、化，使电容量变化，其变化量为变极距型电容传感器特点：原理上有非线性，常用差动式结构改善非线性、提高灵敏度和减小外界因素(电源电压、环境温度)影响，或用适当测量电路改善非线性。21CC0C-特性曲线C0极距为时的初始电容量。2 2、变面积型电容传感器、变面积型电容传感器变面积型中，平板形结构对极距变化特别敏感，测量精度受影响。圆柱形结构受极板径向变化影响小，实际中最常用，其中线位移单组式的电容量C在忽略边缘效应时为：l外圆筒与内圆柱覆盖部分的长度；r2、r1圆筒内半径和内圆柱外半径。当两圆筒相对移动l时，电容变化量C为这类型具有良好的线性,大多用来检测位移等参数。3 3、变介电常数型电容传感器、
5、变介电常数型电容传感器 这类传感器大多用来测电介质的厚厚度度、液液位位，以及利用极间介质的介电常数随温度、湿度改变来测介质材料的温温度度、湿度湿度等。n若忽略边缘效应，单组式平板形厚度传感器如图，传感器的电容量与被厚度的关系为x厚度传感器C1C2C3Cn若忽略边缘效应，单组式平板形线位移传感器如下图，传感器的电容量与被位移的关系为：C1C2C3CC4 a、b、lx:定极板长度和宽度及被测物进入两极板间的长度；:两固定极板间的距离；x、0:被测物厚度及其介电常数、空气的介电常数。l平板形lxn若忽略边缘效应，圆筒式液位传感器如下图，传感器的电容量与被液位的关系为液位传感器CC1C2可见，传感器电
6、容量C与被测液位高度hx成线性关系。h2r12r2hx例某电容式液位传感器由直径为40mm和8mm的两个同心圆柱体组成。储存灌也是圆柱形，直径为50cm，高为1.2m。被储存液体的r2.1。计算传感器的最小电容和最大电容以及当用在储存灌内传感器的灵敏度(pF/L)。解：二、二、转换电路转换电路（一）（一）电容式传感器等效电路电容式传感器等效电路L-引线电缆电感+电容式传感器本身电感：r-引线电阻+极板电阻+金属支架电阻；C0-传感器的电容；Cp-引线电缆、所接电路及极板与外界所形成的总寄生电容；Rg-极间等效漏电阻，包括极板间的漏电损耗和介质损耗、极板与外界间的漏电损耗、介质损耗。C0CpRg
7、LrCeReLreCe供电电源频率为谐振频率的1/31/2将传感器电容接入交流电桥一个臂(另一个为固定电容)或两相邻臂，另两臂可以是电电阻阻或电电容容或电电感感或者变变压压器器的的两两个个二二次次线线圈圈。其中另两臂是紧紧耦耦合合电电感感臂臂的电桥具有较高灵敏度和稳定性、寄生电容影响极小，大大简化了电桥的屏蔽和接地，适于高频电源下工作。变变压压器器式式电电桥桥使用元件最少，桥路内阻最小，因此较多采用。（二）测量电路（二）测量电路1 1、电桥电路、电桥电路特点特点：高频交流正弦波供电；输出调幅波，要求电源电压波动小，需稳幅稳频等措施；常处不平衡工作状态，传感器必须工作在平衡位置附近，否则电桥非线
8、性增大，在要求高精度场合需用自动平衡桥；输出阻抗很高(几M至几十M)，输出电压低，必须后接高输入阻抗、高放大倍数的处理电路。2 2、二极管双、二极管双T T形电路形电路e是高频电源，它提供了幅值为U的对称方波，D1、D2为特性完全相同的两只二极管，固定电阻R1=R2=R，C1、C2为传感器的两个差动电容。图二极管双T型交流电桥在 时，RL上的电压为：负半周时，由图d有：同理，正半周时，由图c得：一个周期T内负载上的平均电流为：由上方程组解得：二极管双T电路特点：线路简单，可全部放在探头内，大大缩短了电容引线、减小了分布电容的影响；电源周期、幅值直接影响灵敏度，要求它们高度稳定；输出阻抗为R，而
9、与电容无关，克服了电容式传感器高内阻的缺点；适用于具有线性特性的单组式和差动式电容式传感器。3 3、差动脉冲调宽电路、差动脉冲调宽电路利用对传感器电容的充放电使电路输出脉宽随传感器电容变化而变化。经低通滤波得到被测量变化的直流信号。图中C1、C2为差动式传感器的两个电容，若用单组式，则其中一个为固定电容，其电容值与传感器电容初始值相等；A1、A2是两个比较器，Ur为其参考电压。R2双稳态触发器VD1VD2A1A2ABR1C1C2uABFQQUr差动脉冲调宽电路GtuAuAuBuBuABuABUFUFUGUGUrUrUrUr-U1U1T1U1-U10000000000T2U1U1U1U1T1T2
10、ttttttttt(a)(b)差动脉冲调宽电路各点电压波形图U0UAB经低通滤波后，得到直流电压U0为:UA、UBA点和B点的矩形脉冲的直流分量；T1、T2 分别为C1和C2的充电时间；U1触发器输出的高电位。Ur触发器的参考电压。C1、C2的充电时间T1、T2为 设R1R2R，则 因此，输出的直流电压与传感器两电容差值成正比。设电容C1和C2的极间距离和面积分别为1、2和S1、S2，将平板电容公式代入上式，对差差动动式式变变极极距距型型和变变面面积积型型电容式传感器分别可得：差动脉宽调制电路的差动脉宽调制电路的特点：采用直流电源，其电压稳定度高不存在稳频、波形纯度的要求无论是变间隙、变面积电
11、容传感器都能线性输出不需相敏检波与解调对元件无线性要求由于低通滤波的作用，对输出矩形波纯度要求不高。4 4、运算放大器式电路运算放大器式电路*其最大特点是能够克服变极距型电容式传感器的非线性。其原理如图将Cx=代入上式得-AuoCCxu运算放大器式电路原理图负号表输出与电源电压反相。显然输出电压与电容极板间距成线性关系，这从原理上保证了变极距型电容式传感器的线性。假设条件：放大器开环增益A=，输入阻抗Zi=，因此实际仍然存在一定的非线性误差，但一般A和Zi足够大，这种误差很小。三、三、主要性能、特点和设计要点主要性能、特点和设计要点（一）（一）主要性能主要性能1 1、静态灵敏度静态灵敏度被测量
12、缓慢变化时传感器电容变化与引起其变化的被测量变化之比。对于变极距型，其静态灵敏度kg为 可见灵敏度是初始极距的函数，同时还随被测量变化。减小可提高灵敏度。但过小易导致电容器击穿过小易导致电容器击穿（空气的击穿电压为3kV/mm）。可在极间加一层云母片（其击穿电压大在极间加一层云母片（其击穿电压大于于 103kV/mm）或塑料膜来改善电容器耐压性能或塑料膜来改善电容器耐压性能。灵敏度取决于r2/r1，r2与r1越接近，灵敏度越高。虽然内外极筒原始覆盖长度与灵敏度无关，但不可太小，否则边缘效应将影响传感器的线性。另外，变变极极距距型型和和变变面面积积型型传传感感器器可可用用差差动动结结构构形形式式
13、来来提提高高静静态态灵灵敏敏度度，一般可提提高高一一倍倍。对变面积型差动式线移电容传感器，其静态灵敏度为对于圆柱形变面积型电容式传感器，其静态灵敏度为变面积型和变介电常数型电容传感器在忽略变面积型和变介电常数型电容传感器在忽略边缘效应边缘效应时，其时，其输入被测量与输出电容呈线性关系，其静态灵敏度为常数输入被测量与输出电容呈线性关系，其静态灵敏度为常数 显然，C与被测量为非线性关系。仅当(/1时，略去各非线性项后才得到近似线性关系CC0(/)。取值不能大，否则降低灵敏度。因此变极距型电容传感器常工作在一个较小的范围内（1cm至零点几mm），且最大应小于极板间距的1/51/10。2 2、非线性、
14、非线性当变极距型传感器的极板间距变化时，其电容变化：可见，非线性得到很大改善，灵敏度提高了一倍。若电容式传感器输出量采用容容抗抗XC=1/(C)，那么被测量就与XC成线性关系，不需满足这一要求。在忽略边缘效应时，变面积型和变介电常数型（测厚除外）电容式传感器有很好的线性，但实际上边缘效应引起极板或极筒间电电场场分分布布不均匀，导致非线性问题仍然存在，且灵敏度下降，但比变极距型好得多。采用差动形式，取两电容之差为输出量C（二）（二）电容传感器电容传感器特点特点1 1温度稳定性好温度稳定性好传感器电容一般与电极材料无关，仅取决于电极的几何尺寸，且空气等介质损耗很小，因此只需从强度、温度系数等机械特
15、性考虑，合理选择材料和几何尺寸，其他因素(因本身发热极小)影响甚微。2 2结构简单，适应性强结构简单，适应性强 电容式传感器结构简单，易于制造。能在高低温、强辐射及强磁场等各种恶劣的环境条件下工作，适应能力强，尤其可承受较大温度变化，在高压力、高冲击、过载等情况下都能正常工作，能测超高压和低压差，也能对带带磁磁工件进行测量。此外传感器可做得体积很小，以便实现某些特殊要求的测量。3 3动态响应好动态响应好由于极板间的静电引力很小（约几个10-5N），所需作用能量极小，又由于其可动部分可做得很小很薄，即质量很轻，因此其固有频率高，动态响应快，能在几MHz频率下工作，特别适合动态测量。又因其介质损耗
16、小，可用较高频率供电，因此系统工作频率高。可用于测高速变化的参数，如瞬时压力等。4 4可实现非接触测量、具有平均效应可实现非接触测量、具有平均效应当被测件不允许接触测量的情况下,电容传感器可胜任。当采用非接触测量时,电容式传感器有平均效应,可减小工件表面粗糙度等对测量的影响。此外，因带电极板间的静电引力极小，所需输输入入能能量量极极小小，特别适宜对低能量输入的测量，例如测极低的压力、力和很小的加速度、位移等，可使得其灵敏、分辨力非常高，能感受微小位移。不足：不足：1 1输出阻抗高，负载能力差输出阻抗高，负载能力差 电容式传感器的容量受其电极几何尺寸等限制，一般为几十到几百pF，输输出出阻阻抗抗
17、很很高高，尤其当采用音频范围内的交流电源时，输出阻抗高达106108。因此传感器负载能力差，易受外界干扰影响而产生不稳定现象，严重时甚至无法工作，必须采取屏蔽措施，从而给设计和使用带来不便。容抗大还要求传感器绝缘部分的阻值极高（几十M以上），否则绝缘部分将作为旁路电阻影响传感器性能（如灵敏度降低），为此还要特别注意周围环境如温湿度、清洁度等对绝缘性能的影响。高频供电虽可降低传感器输出阻抗，但放大、传输远比低频时复杂，且寄生电容影响加大，难以保证工作稳定。2 2寄生电容影响大寄生电容影响大传感器电容量很小，其引线电电缆缆电电容容(l2m线达800pF)、测量电路的杂杂散散电电容容以及极极板板与与
18、其其周周围围导导体体构构成成的的电电容容等“寄寄生生电电容容”却较大，降低传感器的灵敏度；这些电容随机变化，使传感器工作不稳定，其变化量甚至超过信号变化量，使传感器无法工作。因此对电缆选择、安装、接法有要求3 3、输出特性非线性、输出特性非线性变极距型的输出特性为非线性，虽可用差动结构改善，但不能完全消除。其他类型当忽略了电场边缘效应时输出才呈线性。否则边缘效应产生的附加电容将与传感器电容直接叠加，使输出特性非线性。材料、工艺、电子技术特别是IC技术的发展，使电容式的优点得到发扬而缺点被不断克服。目前已成为一种高灵敏度、高精度，在动态、低压及一些特殊测量方面的传感器。（三）（三）设计要点设计要
19、点电容式传感器高灵敏度、高精度等优点与其正确设计、选材及精细加工工艺分不开。在设计传感器的过程中，在所要求的量程、温度和压力等范围内，应尽量使它具有低成本、高精度、高分辨力、稳定可靠和高的频率响应等。1 1保证绝缘材料的绝缘性能保证绝缘材料的绝缘性能必须从选材、结构、加工工艺等方面来减小环环境境温温度度、湿湿度度等变化所产生的误差,以保证绝缘材料的绝缘性能.。温度变化使零件的几何尺寸和相互位置及某些介质的介电常数改变,从而产生温度误差。湿度影响某些介质的介电常数和绝缘电阻值。2 2消除和减小边缘效应消除和减小边缘效应适当减减小小极极间间距距，使电极直径或边长与间距比增大，可减小边缘效应影响，但
20、易产生击穿并限制测量范围。电极应极薄使之与极间距相比很小，这样也可减小边缘电场影响。此外，可在结构上增设等位环等位环来消除边缘效应。带有等位环的平板电容传感器结构原理图均匀电场1233边缘电场边缘效应引起的非线性与变极距型电容式传感器原理上的非线性恰好相反，在一定程度上起了补偿作用。（1 1）增加传感器原始电容值）增加传感器原始电容值 采用减减小小极极片片或或极极筒筒间间的的间间距距(平板式间距为0.20.5mm，圆筒式间距为0.15mm)，增增加加工工作作面面积积或工工作作长长度度来增加原始电容值，但受加工及装配工艺、精度、示值范围、击穿电压、结构等限制。一般电容值变化在10-3103pF范
21、围内，相对值变化在10-61范围内。寄生电容与传感器电容并联，严重影响灵敏度和精度，必须消除和减小它。可采用方法：3 3消除和减小寄生电容的影响消除和减小寄生电容的影响（1 1）增加传感器原始电容值）增加传感器原始电容值（2 2）注意传感器的接地和屏蔽；（）注意传感器的接地和屏蔽；（3 3）集成化）集成化（4 4）采用）采用“驱动电缆驱动电缆”(双层屏蔽等位传输双层屏蔽等位传输)技术技术（5 5）采用运算放大器法；（）采用运算放大器法；（6 6）整体屏蔽法）整体屏蔽法 （2 2）注意传感器的接地和屏蔽）注意传感器的接地和屏蔽图为采用接地屏蔽的圆筒形电容式传感器。图中可动极筒与连杆固定在一起随被
22、测量移动。可动极筒与传感器的屏蔽壳（良导体）同为地，因此当可动极筒移动时，固定极筒与屏蔽壳之间的电容值将保持不变，从而消除由此产生的虚假信号。引线电缆也必须屏蔽在传感器屏蔽壳内。为减小电缆电容的影响，应尽可能使用短而粗的电缆线，缩短传感器至电路前置级的距离。接地屏蔽圆筒形电容式传感器示意图绝缘体屏蔽壳固定极筒可动极筒连杆导杆 （3 3）集成化）集成化 将传感器与测量电路或其前置级安装在同一壳体内，省去传感器的电缆引线。这样寄生电容大为减小且易固固定定不不变变，使仪器工作稳定。但这种传感器因电子元件的特点而不能在高、低温或环境差的场合使用。（4 4）采用）采用“驱动电缆驱动电缆”(双层屏蔽等位传
23、输双层屏蔽等位传输)技术技术 电容传感器的电容值很小，而因某些原因(如环境温度较高)测量电路只能与其分开时，可采用“驱动电缆”技术。传感器与测量电路前置级间的引线为双双屏屏蔽蔽层层电电缆缆，其内屏蔽层与信号传输线(即电缆芯线)通过1:1放大器成为等电位，从而消除芯线与内屏蔽层之间的电容。由于屏蔽线上有随传感器输出信号变化而变化的电压，因此称为“驱动电缆”。这种技术可使电缆线长达10m10m也不影响仪器性能。1:1放大器是一个输入阻抗要求很高、具有容性负载、放大倍数为1(准准确确度度要要求求达达10 0-4-4)的同相(要求相移为零)放大器。因此“驱动电缆”技术对1:1放大器要求很高，电路复杂，
24、但能保证电容式传感器的电容值小于1pF时，也能正常工作。“驱动电缆”技术原理图1：1测量电路前置级外屏蔽层内屏蔽层芯线传感器（5 5）采用运算放大器法）采用运算放大器法 利用运算放大器的虚地可减小引线电缆寄生电容CP。下图中电容传感器的一个电极经电缆芯线接运算放大器的虚地点,电缆的屏蔽层接仪器地,这时与传感器电容相并联的为等效电缆电容Cp/(1A)，因而大大地减小了电缆电容的影响。外界干扰因屏蔽层接仪器地，对芯线不起作用。传感器的另一电极接大地，用来防止外电场的干扰。若采用双屏蔽层电缆，其外屏蔽层接大地，干扰影响就更小。实际上，这是一种不完全的电缆“驱动技术”，结构较简单。开环放大倍数A越大，
25、精度越高。选择足够大的A值可保证所需的测量精度。图5.3-12利用运算放大器式电路虚地点减小电缆电容原理图-AuoCCxu（6 6）整体屏蔽法）整体屏蔽法将电容式传感器和所用转换电路、传输电缆等用同一屏蔽壳屏蔽起来，正确选取接地点可减小寄生电容的影响和防止外界的干扰。下图是差动电容式传感器交流电桥所采用的整体屏蔽系统，屏蔽层接地点选择在两固定辅助阻抗臂Z3和Z4中间，使电缆芯线与其屏蔽层之间的寄生电容CP1和CP2分别与Z3和Z4相并联。如果Z3和Z4比CP1和CP2的容抗小得多，则寄生电容CP1和CP2对电桥平衡状态的影响就很小。交流电容电桥的屏蔽系统C1C2CP1CP2Z3Z4-A5 5防
26、止和减小外界干扰防止和减小外界干扰当外界干扰(如电磁场)在传感器上和导线之间感应出电压并与信号一起输送至测量电路时就会产生误差。干扰信号足够大时，仪器无法正常工作。此外，接地点不同所产生的接地电压差也是一种干扰信号，也会给仪器带来误差和故障。防止和减小干扰的措施归纳为：u屏蔽和接地:传感器壳体；导线；传感器与测量电路前置级等。u增加原始电容量，降低容抗。u导线和导线之间要离得远，导线尽可能短，最好成直角排列，若必须平行排列时，可采用同轴屏蔽电缆线。u尽可能一点接地，避免多点接地。地线用粗导体或宽印制线。u采用差动式电容传感器，减小非线性误差，提高传感器灵敏度，减小寄生电容的影响和温度、湿度等误
27、差。四、应用四、应用 可直接用于检测位移、物质的化学组成、电场等参数；可间接用于其它可转换为位移或介电常数的量如压力、加速度、流体液位、流体成分等。典型应用举例典型应用举例：接近觉检测：人体接近探测、灯光开关、车辆探测；非电量测量：流量（转换为压力、位移）、压力、液位、物质水份、空间距离、电容层析成像（多电极分布式测量，推导出检测范围的电介质分布，用于两相流）、厚度、线位移、角位移、惯性（通过加入弹性环节）。差动式电容压力传感器结构图 图 电容式听诊器结构1外壳；2固定电极板；3绷紧的膜片差动式电容加速度传感器结构图图4-电容式位移传感器 1-测杆；2-开槽簧片；3-固定电极；4-活动电极电容式硅微压力传感器一维微型加速度传感器新型传感器-基于MEMS技术的微传感器1、为什么变极距型电容传感器的灵敏度和非线性是矛盾的？实际应用中怎样解决这一问题？2、有一变极距型电容传感器，两极板的重合面积为8cm2，两极板间的距离为1mm，已知空气的相对介电常数为1.0006，试计算该传感器的位移灵敏度。3、一电容测微仪，其传感器的圆形极板半径r=4mm，工作初始间隙=0.3mm，问：（1）工作时，若传感器与工作的间隙变化量=1m时，电容变化量是多少？（2）如果测量电路的灵敏度S1=100mV/pF，读数仪表的灵敏度S2=5格/mV，在=1m时，读数仪表的指示值变化多少格？