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1、关于生物医学传感器第一页，本课件共有68页2第一章第一章 绪绪 论论1.1.传感器（传感器（Transducer/Sensor）的定义）的定义 我我国国国国家家标标准准(GB7765-87中中)传传感感器器的的定定义义是是：“能能够够感感受受规规定定的的被被测测量量并并按按照照一一定定规规律律转转换换成成可可用用输输出出信信号号的的器器件件或或装置装置”。包含了以下几方面的意思：包含了以下几方面的意思：传感器是测量装置，能完成检测任务；传感器是测量装置，能完成检测任务；它它的的输输入入量量是是某某一一被被测测量量，可可能能是是物物理理量量，也也可可能能是是化化学量、生物量等。学量、生物量等。它
2、它的的输输出出量量是是某某种种物物理理量量，这这种种量量要要便便于于传传输输、转转换换、处处理理、显显示示等等等等，这这种种量量可可以以是是气气、光光、电电物物理理量量，但但主主要要是是电电学学物理量；物理量；输出输入有对应关系，且应有一定的精度程度。输出输入有对应关系，且应有一定的精度程度。第二页，本课件共有68页3传感器的组成传感器的组成传传感感器器一一般般由由敏敏感感元元件件、转转换换元元件件、基基本本转转换换电电路路三三部部分分组成，组成框图如图所示：组成，组成框图如图所示：敏敏感感元元件件：是是直直接接感感受受被被测测量量，并并输输出出与与被被测测量量成成确确定定关关系的某一物理量的
3、元件。系的某一物理量的元件。转转换换元元件件：敏敏感感元元件件的的输输出出就就是是它它的的输输入入，它它把把输输入入转换成电路参量。转换成电路参量。基基本本转转换换电电路路：上上述述电电路路参参数数接接入入基基本本转转换换电电路路，便便可可转转换成电量输出。传感器只完成被测参数至电量的基本转换换成电量输出。传感器只完成被测参数至电量的基本转换 第三页，本课件共有68页4传感器的组成传感器的组成 一种气体压力传感器的示意图。一种气体压力传感器的示意图。膜膜盒盒2 2的的下下半半部部分分与与壳壳体体1 1固固接接，上上半半部部分分通通过过连连杆杆与与磁磁芯芯4 4相相连连，磁磁芯芯4 4置置于于两
4、两个个电电感感线线圈圈3 3中中，后者接入转换电路后者接入转换电路5 5。膜膜盒盒就就是是敏敏感感元元件件，其其外外部部与与大大气气压压力力相相通通，内内部部感感受受被被测测压压力力。当当变变化化时时，引引起起膜膜盒盒上上半半部部分分移移动动，即即输输出出相相应应的的位位移量。移量。转转换换元元件件是是可可变变电电感感线线圈圈3 3，它它把把输输入入的的位位移移量量转转换换成成电电感感的的变变化。化。第四页，本课件共有68页5 实实际际上上，有有些些传传感感器器很很简简单单，有有些些则则较较复复杂杂，大大多多数数是是开开环环系系统统，也也有有些些是是反反馈馈的的闭闭环环系系统统。最最简简单单的
5、的传传感感器器由由一一个个敏敏感感元元件件（兼兼转转换换元元件件）组组成成，它它感感受受被被测测量量时时直直接接输输出出电电量量，如如热热电电偶偶就是这样。就是这样。如如图图所所示示，两两种种不不同同的的金金属属材材料料A A和和B B，一一端端连连接接在在一一起起，放放在在被被测测温温度度T T中中，另另一一端端为为参参考考，温温度度为为T T0 0，则则在在回回路路中中将将产产生生一一个个与与温温度度T T、T T0 0有有关关的的电动势，从而进行温度测量电动势，从而进行温度测量。第五页，本课件共有68页6第六页，本课件共有68页7传感器的组成传感器的组成l有有些些传传感感器器由由敏敏感感
6、元元件件和和转转换换元元件件组组成成。如如图图所所示示的的压压电电式式加加速速度度传传感感器器，其其中中质质量量块块m m是是敏敏感感元元件件，压压电电片片是是转换元件。转换元件。l因转换元件的输出已是电量，故无需转换电路。因转换元件的输出已是电量，故无需转换电路。l敏敏感感元元件件与与转转换换元元件件在在结结构构上上常常是是装装在在一一起起的的，由由于于空空间间的的限限制或者其他原因，转换电路常装入电箱中。制或者其他原因，转换电路常装入电箱中。l尽尽管管如如此此，因因为为不不少少传传感感器器要要在在通通过过转转换换电电路路后后才才能能输输出出电电信信号，从而决定了转换电路是传感器的组成环节之
7、一。号，从而决定了转换电路是传感器的组成环节之一。第七页，本课件共有68页MEMS技术技术 从广义上讲，MEMS是指集微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于一体的微型机电系统 MEMS技术是一种多学科交叉的前沿性领域，它几乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子、机械、光学、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等 Micro-Electro-Mechanical Systems（USA）Micro-Machine(JAPAN)Micro-Systems(EUROPE)第八页，本课件共有68页加速度传感器加速度传感器正文第九页，本课件共有68页电梳驱动原理
8、电梳驱动原理第十页，本课件共有68页微观结构微观结构正文第十一页，本课件共有68页动作模拟演示动作模拟演示第十二页，本课件共有68页132.2.传感器的作用传感器的作用 人人们们为为了了从从外外界界获获取取信信息息，必必须须借借助助于于感感觉觉器器官官。而而单单靠靠人人们们自自身身的的感感觉觉器器官官，在在研研究究自自然然现现象象和和规规律律以以及及生生产产活活动动中中它它们们的的功功能能就就远远远远不不够够了了。为为适适应应这这种种请请况况，就就需需要要传传感感器器。传传感感器器是是人人类类五五官官的的延延长长，是是代代替替人人体体五五种种感感觉觉器器官官（视视、听听、触、嗅、味）的装置。触
9、、嗅、味）的装置。在在信信息息时时代代，首首先先要要解解决决的的就就是是获获取取准准确确可可靠靠的的信信息息，而传感器是获取自然和生产领域中信息的主要途径与手段。而传感器是获取自然和生产领域中信息的主要途径与手段。传感器技术是现代医学仪器及计算机应用的关键技术。传感器技术是现代医学仪器及计算机应用的关键技术。第十三页，本课件共有68页142.2.传感器的作用传感器的作用在医学上，在医学上，生物医学传感器的主要用途有生物医学传感器的主要用途有:(1)提供生物医学提供生物医学检测检测的信息的信息 (2)提供连续提供连续监护监护的信息的信息 (3)提供人体疾病治疗和提供人体疾病治疗和控制控制的信息的
10、信息 第十四页，本课件共有68页152.2.传感器的作用传感器的作用(1)提供生物医学检测的信息提供生物医学检测的信息:如心音、血压、脉搏、血流、呼吸、体温等信息、如心音、血压、脉搏、血流、呼吸、体温等信息、供临床诊断和医学研究用。供临床诊断和医学研究用。除直接从人体收集信息外除直接从人体收集信息外,临床上常从各种体液临床上常从各种体液(血、血、尿、唾液等尿、唾液等)样品获得诊断信息。这类信息是利用样品获得诊断信息。这类信息是利用化学传感器和生物传感器来获取生化检验信息化学传感器和生物传感器来获取生化检验信息,是是诊断各种疾病必不可少的依据。诊断各种疾病必不可少的依据。第十五页，本课件共有68
11、页162.2.传感器的作用传感器的作用 (2)提供连续监护的信息提供连续监护的信息:长时间连续测定某些参量长时间连续测定某些参量,监视这些参量是否处于规监视这些参量是否处于规定的范围内定的范围内,以便了解病人的恢复过程以便了解病人的恢复过程,出现异常时出现异常时及时报警。及时报警。如心脏手术后的病人需监视其体温、脉搏、动脉压、如心脏手术后的病人需监视其体温、脉搏、动脉压、静脉压、呼吸和心电等一系列参数的变化情况静脉压、呼吸和心电等一系列参数的变化情况第十六页，本课件共有68页172.2.传感器的作用传感器的作用(3)提供人体疾病治疗和控制的信息：提供人体疾病治疗和控制的信息：利用检测到的生理参
12、数控制人体的生理过程。利用检测到的生理参数控制人体的生理过程。例如自动呼吸机用传感器检测病人的呼吸信号来例如自动呼吸机用传感器检测病人的呼吸信号来控制呼吸机的动作，使之与人体呼吸同步；控制呼吸机的动作，使之与人体呼吸同步；电子假肢用测得的肌电信号，控制人工肢体的电子假肢用测得的肌电信号，控制人工肢体的运动运动;人工肝、人工肾（血液透析）体外循环中的血人工肝、人工肾（血液透析）体外循环中的血流、血压控制等。流、血压控制等。第十七页，本课件共有68页18生物医学测量上的各种参量生物医学测量上的各种参量位移位移 血管内、外径血管内、外径,主动脉、腔静脉尺寸主动脉、腔静脉尺寸,左心室左心室尺寸尺寸,肢
13、体容积变化肢体容积变化,胸廓变化胸廓变化,心脏收缩变心脏收缩变化，骨胳肌收缩变化化，骨胳肌收缩变化,胃收缩胃收缩,肠蠕动肠蠕动速度速度血流速度血流速度,排尿速度排尿速度,分泌速度分泌速度,发汗速度发汗速度,流泪速度流泪速度,呼吸气流速呼吸气流速振动振动（加速度）（加速度）心音心音,呼吸音呼吸音,血管音血管音,脉搏脉搏,心尖搏动心尖搏动,心瓣膜振动心瓣膜振动,手颤手颤,颈动脉搏动颈动脉搏动,脉象脉象,语音语音压力压力血压血压,眼压眼压,心内压心内压,颅内压颅内压,胃内压胃内压,食道压食道压,膀胱压膀胱压,子宫内压子宫内压力力心肌力心肌力,肌肉力肌肉力,咬合力咬合力,骨胳负载力骨胳负载力,血液粘滞
14、力血液粘滞力,手握力手握力第十八页，本课件共有68页19生物医学测量上的各种参量生物医学测量上的各种参量流量流量血流量血流量,呼吸流量呼吸流量,尿流量尿流量,心输出量心输出量温度温度口腔温口腔温,直肠温直肠温,皮肤温皮肤温,体核温体核温,心内温心内温,肿物温肿物温,中耳膜内温中耳膜内温,脏器温脏器温,血液温血液温生物电生物电心电心电,脑电脑电,肌电肌电,眼电眼电,胃电胃电,神经电神经电,脑干脑干电电,皮肤电皮肤电化学化学成分成分K,Na,Cl K,Na,Cl，Ca,OCa,O2 2 ，COCO2 2,H,Li,H,Li生物生物物质物质乳酸乳酸,血糖血糖,蛋白质蛋白质,胆固醇胆固醇,酶，抗原酶，
15、抗原,抗体抗体,受体受体,激素激素,神经递质神经递质,DNA,RNA,DNA,RNA第十九页，本课件共有68页203.3.生物医学传感器的分类生物医学传感器的分类 生物医学传感器的分类方法有很多种生物医学传感器的分类方法有很多种 （1 1）按被测量分为三大类：）按被测量分为三大类：1)1)物理传感器；物理传感器；2)2)化学传感器；化学传感器；3)3)生物传感器生物传感器 1 1）物理传感器：）物理传感器：用用于于测测量量血血压压、体体温温、血血流流量量、血血粘粘度度、生生物物组组织织对对辐辐射射的的吸吸收收、反反射射或或散散射射以以及及生生物物磁磁场场等等。这这些些被被测测量量都都属属于于物
16、物理理量量，设设计计传传感感器时多利用这些非电量的物理效应。器时多利用这些非电量的物理效应。第二十页，本课件共有68页213.3.生物医学传感器的分类生物医学传感器的分类2 2）化学传感器：）化学传感器：化化学学传传感感器器是是把把人人体体内内某某些些化化学学成成分分、浓浓度度等等转转换成与之有确切关系的电学量的器件。换成与之有确切关系的电学量的器件。用用于于测测量量人人体体体体液液中中离离子子的的成成分分或或浓浓度度（如如CaCa+、K K+、Na+Na+、）、pHpH值值、氧氧分分压压（po2po2）及及葡葡萄萄糖糖浓浓度度等等。这这些些被被测测量量都都属属于于化化学学量量，不不过过这这些
17、些被被测测物物质质的的分分子子量量一一般般都都不不太太大大，利利用用电电化化学学原原理理或或物理效应可以制成化学传感器。物理效应可以制成化学传感器。利利用用各各种种化化学学传传感感器器测测量量人人体体中中的的某某些些化化学学成成分分,如如用用离离子子选选择择性性电电极极测测量量纳纳、氯氯、钙钙等等离离子子;利利用用气气敏电极测定氧分压和二氧化碳分压。敏电极测定氧分压和二氧化碳分压。第二十一页，本课件共有68页223.3.生物医学传感器的分类生物医学传感器的分类 生物电位生物电位（如心电、脑电、眼电、肌电等）（如心电、脑电、眼电、肌电等）本来属于物理量，但由于测量生物电位时不可避免本来属于物理量
18、，但由于测量生物电位时不可避免地使用电极，电极和皮肤或软组织之间的界面是一个地使用电极，电极和皮肤或软组织之间的界面是一个半电池。电极是电化学研究的对象，如把测量生物电半电池。电极是电化学研究的对象，如把测量生物电位的电极也看作是一种传感器，则应将其列入化学传位的电极也看作是一种传感器，则应将其列入化学传感器。感器。第二十二页，本课件共有68页23一次性心电电极通用型一体五导联线吸球心电电极第二十三页，本课件共有68页24ECG-2203B 心电图机多参数监护仪第二十四页，本课件共有68页25第二十五页，本课件共有68页263.3.生物医学传感器的分类生物医学传感器的分类 3)3)生物传感器：
19、生物传感器：用于酶、抗原、抗体、激素、脱氧核糖核酸（用于酶、抗原、抗体、激素、脱氧核糖核酸（DNADNA）等物质的传感。）等物质的传感。这类物质也属于化学物质，但它们的这类物质也属于化学物质，但它们的分子量较大，分分子量较大，分子结构比较复杂子结构比较复杂，一般的化学传感器很难对它们进，一般的化学传感器很难对它们进行识别。行识别。生物传感器的敏感部分具有生物识别功能，有很生物传感器的敏感部分具有生物识别功能，有很强的特异性和高度的敏感性，能有选择地与被测强的特异性和高度的敏感性，能有选择地与被测物质起作用物质起作用。生物传感器是具有生物识别能力的化学传感器生物传感器是具有生物识别能力的化学传感
20、器。第二十六页，本课件共有68页27生物传感器生生理理参参数数利用生物活性物质选择性利用生物活性物质选择性识别来测定生化物质识别来测定生化物质利用材料的物理变化利用材料的物理变化物理传感器非非电电学学量量参参数数机体的各种生物电机体的各种生物电（心电、脑电、肌电、（心电、脑电、肌电、神经元放电等）神经元放电等）生物电电极电电学学量量参参数数利用化学反应原理，把利用化学反应原理，把化学成分、浓度转换成化学成分、浓度转换成电信号电信号化学传感器第二十七页，本课件共有68页283.3.生物医学传感器的分类生物医学传感器的分类 （2 2）按工作原理分类：）按工作原理分类：电阻式传感器、电阻式传感器、电
21、感式传感器、电感式传感器、电容式传感器、电容式传感器、压电式传感器、压电式传感器、光电式传感器、光导纤维式传感器、红外传感器、光电式传感器、光导纤维式传感器、红外传感器、热电式传感器、热电式传感器、超声波式传感器、超声波式传感器、半导体式传感器、半导体式传感器、声表面波传感器、声表面波传感器、超导传感器等。超导传感器等。第二十八页，本课件共有68页293.3.生物医学传感器的分类生物医学传感器的分类 （3 3）按被测对象分类：）按被测对象分类：血压传感器、血氧传感器、血压传感器、血氧传感器、温度传感器、心音传感器、温度传感器、心音传感器、脉搏波传感器、呼吸传感器、脉搏波传感器、呼吸传感器、葡萄
22、糖传感器、基因传感器等。葡萄糖传感器、基因传感器等。第二十九页，本课件共有68页30血氧饱和度指夹仪.血氧饱和度探头红外脉搏传感器压电式脉搏传感器第三十页，本课件共有68页31BP300T压力传感器腕式电子血压计上臂式电子血压计新型上臂式电子血压计第三十一页，本课件共有68页32温度传感器模块 DS18B20SHT1115温湿度智能传感器第三十二页，本课件共有68页33OTP-538红外测温传感器SDT-718 热释电红外模块红外测温仪第三十三页，本课件共有68页34医用传感器应具有以下特性医用传感器应具有以下特性:1较高的灵敏度和信噪比较高的灵敏度和信噪比,以保证能检测出微小的有以保证能检测
23、出微小的有用信息。用信息。2良好的线性和快速响应良好的线性和快速响应,以保证信号变换后不失真以保证信号变换后不失真并能使输出信号及时跟随输入信号的变化。并能使输出信号及时跟随输入信号的变化。3良好的稳定性和互换性良好的稳定性和互换性,以保证输出信号受环以保证输出信号受环境影响小而保持稳定。同类型传感器的性能要境影响小而保持稳定。同类型传感器的性能要基本相同基本相同,在互相调换时不影响测量数据。在互相调换时不影响测量数据。第三十四页，本课件共有68页35除具有上述特性外，还必须考虑到生物体的解除具有上述特性外，还必须考虑到生物体的解剖结构和生理功能，尤其是安全性和可靠性更剖结构和生理功能，尤其是
24、安全性和可靠性更应特别重视。应特别重视。传感器必须与生物体内的化学成分相容，既不被传感器必须与生物体内的化学成分相容，既不被腐蚀也不给生物体带来毒性；腐蚀也不给生物体带来毒性；传感器的形状、尺寸和结构应和被检测部位的传感器的形状、尺寸和结构应和被检测部位的结构相适应，使用时不应损伤组织，不给正常结构相适应，使用时不应损伤组织，不给正常生理活动带来干扰；生理活动带来干扰；传感器有更严格安全要求和其它生物方面的要传感器有更严格安全要求和其它生物方面的要求。求。第三十五页，本课件共有68页364.4.开发新型传感器的途径开发新型传感器的途径1 1）采用新原理）采用新原理 利用新的物理效应、化学效应可
25、研制出新一代传感器。利用新的物理效应、化学效应可研制出新一代传感器。例如利用例如利用约瑟夫逊效应约瑟夫逊效应开发的磁场传感器可以检测开发的磁场传感器可以检测极微弱的磁场，使超高灵敏度的测量成为现实，可用极微弱的磁场，使超高灵敏度的测量成为现实，可用于超低温中的磁导率测量、生物体磁场的测量等方面。于超低温中的磁导率测量、生物体磁场的测量等方面。光纤传感器、声表面波传感器、光纤传感器、声表面波传感器、DNADNA传感器等已取得传感器等已取得很大进展。很大进展。第三十六页，本课件共有68页37约瑟夫逊效应约瑟夫逊效应（超导隧道效应）：（超导隧道效应）：l19621962年，剑桥大学研究生约瑟夫逊分析
26、了由极薄绝缘年，剑桥大学研究生约瑟夫逊分析了由极薄绝缘层（厚度约为百万分之一毫米）隔开的两个超导体断层（厚度约为百万分之一毫米）隔开的两个超导体断面处发生的现象，超导面处发生的现象，超导绝缘绝缘超导超导 (SIS)(SIS)结，称结，称为约瑟夫逊结。为约瑟夫逊结。l通过调节两块超导体间的绝缘层的厚薄，可以使通过调节两块超导体间的绝缘层的厚薄，可以使其电压比某一特定值大时才有电流通过，小时则其电压比某一特定值大时才有电流通过，小时则没有电流通过。没有电流通过。第三十七页，本课件共有68页38约瑟夫逊效应约瑟夫逊效应（超导隧道效应）：（超导隧道效应）：l约瑟夫逊预言，超导电流可以穿过绝缘层，在薄约
27、瑟夫逊预言，超导电流可以穿过绝缘层，在薄绝缘层隔开的两种超导材料之间有电流通过，即绝缘层隔开的两种超导材料之间有电流通过，即“电子对电子对”能穿过薄绝缘层（隧道效应）；能穿过薄绝缘层（隧道效应）；l同时还产生一些特殊的现象：只要超导电流不超过某同时还产生一些特殊的现象：只要超导电流不超过某一临界值，则电流穿过绝缘层时将不产生电压，即电一临界值，则电流穿过绝缘层时将不产生电压，即电流通过薄绝缘层无需加电压。流通过薄绝缘层无需加电压。l这些预言被美国贝尔实验室用试验证实，而这一这些预言被美国贝尔实验室用试验证实，而这一超导物理现象则被称为超导物理现象则被称为“约瑟夫逊效应约瑟夫逊效应”。l约瑟夫逊
28、效应是超导体的电子学应用的理论基础。约瑟夫逊效应是超导体的电子学应用的理论基础。第三十八页，本课件共有68页39SQUIDSQUID传感器传感器(超传导量子干涉器件超传导量子干涉器件)l脑磁图测量系统的核心部件是脑磁图测量系统的核心部件是SQUIDSQUID传感器传感器l地球的磁场为约地球的磁场为约0.3100.310-4-4 T T（特拉斯）（特拉斯）l脑生物磁场脑生物磁场50501000fT(1fT=101000fT(1fT=101515 T T）lSQUIDSQUID传感器可检测到地球磁场十亿分之一的传感器可检测到地球磁场十亿分之一的变化量。变化量。第三十九页，本课件共有68页40SQU
29、IDSQUID传感器传感器(超传导量子干涉器件超传导量子干涉器件)最新式的脑磁图测量系统可提供多达最新式的脑磁图测量系统可提供多达275275个传感器，个传感器，其中的关键技术是其中的关键技术是SQUIDSQUID；SQUIDSQUID传感器是由超导材料铌金属，使用约瑟夫逊隧传感器是由超导材料铌金属，使用约瑟夫逊隧道效应的技术制作而成。道效应的技术制作而成。SQUIDSQUID传感器均匀的分布在底部为头盔型的液氦杜瓦传感器均匀的分布在底部为头盔型的液氦杜瓦容器内，工作在零下容器内，工作在零下269269的超低温液态氦中，其工的超低温液态氦中，其工作温度接近于绝对零度，即零下作温度接近于绝对零度
30、，即零下273.16273.16。第四十页，本课件共有68页41脑磁图脑磁图传感器矩阵列传感器矩阵列l脑磁图传感器均匀紧密脑磁图传感器均匀紧密地分布在大致成六角形地分布在大致成六角形的头盔内表面。的头盔内表面。l头盔和液氦杜瓦容器做头盔和液氦杜瓦容器做成一体。成一体。l传感器矩阵列从传感器矩阵列从6464个至个至275275个可供选择。个可供选择。l浸泡在液态氦中的测量线浸泡在液态氦中的测量线圈离液氦杜瓦容器头盔外圈离液氦杜瓦容器头盔外表面的间距小于表面的间距小于1717毫米。毫米。第四十一页，本课件共有68页42SQUIDSQUID（超传导量子干涉器件）（超传导量子干涉器件）l SQUIDS
31、QUID是基于铌金属合金超是基于铌金属合金超导材料，使用约瑟夫隧道连导材料，使用约瑟夫隧道连接技术制作而成的。接技术制作而成的。l每块晶片上制作每块晶片上制作8080个个SQUIDSQUID电电路，且一次同时加工十块晶路，且一次同时加工十块晶片，在技术上保证了制作成片，在技术上保证了制作成的的SQUIDSQUID具有高度的均匀一致具有高度的均匀一致性，也就保证了所有信道的特性，也就保证了所有信道的特性相同。性相同。l图中显示了一个图中显示了一个SQUIDSQUID传感器传感器的内部结构的电子显微镜放的内部结构的电子显微镜放大图大图。第四十二页，本课件共有68页43液氦杜瓦容器液氦杜瓦容器l头盔
32、形的液氦杜瓦容器是优化低温系统的一部分，并头盔形的液氦杜瓦容器是优化低温系统的一部分，并留有放置脑电图电极的空间。留有放置脑电图电极的空间。l为了抗无线电波的干扰，液氦杜瓦真空容器内还安装为了抗无线电波的干扰，液氦杜瓦真空容器内还安装了抗电磁波干扰的屏蔽层。了抗电磁波干扰的屏蔽层。l在杜瓦真空容器内还涂有一层低温吸着材料以维持在杜瓦真空容器内还涂有一层低温吸着材料以维持其真空度其真空度。第四十三页，本课件共有68页44磁场屏蔽室磁场屏蔽室l一般由两层一般由两层 m m 金属板和一层铝板构成，可同时屏蔽低金属板和一层铝板构成，可同时屏蔽低频和高频的噪声干扰，重约吨。频和高频的噪声干扰，重约吨。l
33、m m金属层是具有很高磁导率的合金，主要用来屏蔽来自金属层是具有很高磁导率的合金，主要用来屏蔽来自室外的低频噪声室外的低频噪声(10Hz)(10Hz)(10Hz)。l磁场屏蔽室之所以能有屏蔽效能，是因为电磁波穿磁场屏蔽室之所以能有屏蔽效能，是因为电磁波穿过电磁屏蔽体时会产生吸收损耗和反射损耗。过电磁屏蔽体时会产生吸收损耗和反射损耗。第四十四页，本课件共有68页45MEGMEG信号的发生原理信号的发生原理 脑磁图是研究脑磁场信号的脑功能图象技术。一组脑磁图是研究脑磁场信号的脑功能图象技术。一组紧密排列的脑神经元细胞产生的生物电流可看作为一个紧密排列的脑神经元细胞产生的生物电流可看作为一个信号源。
34、由这一电流源产生的生物磁场可穿透脑组织以信号源。由这一电流源产生的生物磁场可穿透脑组织以及颅骨到达头部之外，可用一组探测器阵列来测量分布及颅骨到达头部之外，可用一组探测器阵列来测量分布在头皮表面上的这种磁场以确定脑内信号源的精确位置在头皮表面上的这种磁场以确定脑内信号源的精确位置和强度。和强度。由脑磁图探测到的大脑活动部位可以是由外界激由脑磁图探测到的大脑活动部位可以是由外界激发产生的结果，比如视觉刺激，或者是自发性产生的发产生的结果，比如视觉刺激，或者是自发性产生的结果，比如癫痫活动。把握这些活动部位的精确位置结果，比如癫痫活动。把握这些活动部位的精确位置对于各种临床诊断，脑外科手术前的手术
35、计划制定，对于各种临床诊断，脑外科手术前的手术计划制定，以及脑的基础研究都具有十分重要的意义。以及脑的基础研究都具有十分重要的意义。第四十五页，本课件共有68页46MEG/EEGMEG/EEG信号的发生原理信号的发生原理 脑磁图主要用于正切磁脑磁图主要用于正切磁场的测量，而脑电图则用场的测量，而脑电图则用于径向磁场的测量。于径向磁场的测量。脑磁图是测量细胞内脑磁图是测量细胞内的电流，而脑电图则是测的电流，而脑电图则是测量细胞外的电流。量细胞外的电流。脑磁图为脑功能图像化脑磁图为脑功能图像化提供了最为精确的测量系提供了最为精确的测量系统统。第四十六页，本课件共有68页47脑电图信号的失真脑电图信
36、号的失真1 1）由于头部各组织的导电率各不相）由于头部各组织的导电率各不相同的效应，使得脑电图信号在同的效应，使得脑电图信号在到达头皮表面时会产生失真，到达头皮表面时会产生失真，从而使得信号源的精确定位很从而使得信号源的精确定位很困难或根本不可能。困难或根本不可能。2 2）而脑磁场信号和各种脑组织的导）而脑磁场信号和各种脑组织的导电率无关，因此脑磁图信号在电率无关，因此脑磁图信号在穿透头皮后不会产生任何失真。穿透头皮后不会产生任何失真。脑磁图可用于脑内信号源的精脑磁图可用于脑内信号源的精确定位，而且事先没有必要知确定位，而且事先没有必要知道头皮，颅骨和脑组织的精确道头皮，颅骨和脑组织的精确的导
37、电率值。的导电率值。第四十七页，本课件共有68页48MEGMEG信号检测信号检测 对正常人听觉刺激的数据分析：对正常人听觉刺激的数据分析：上图显示了均匀分布在整个头部上图显示了均匀分布在整个头部的的143143个脑磁图传感器所测到的个脑磁图传感器所测到的脑磁场变化曲线。所示曲线为脑磁场变化曲线。所示曲线为100100次数据采样的平均值，所示时间次数据采样的平均值，所示时间范围约范围约600600毫秒。毫秒。下图显示了在同一时间坐标下图显示了在同一时间坐标轴上所有信道的脑磁场变化曲线轴上所有信道的脑磁场变化曲线的重迭。从此例可以清楚地看出，的重迭。从此例可以清楚地看出，磁场强度的最大值（磁场强度
38、的最大值（100100毫微特斯毫微特斯拉）发生在听到刺激声音之后的拉）发生在听到刺激声音之后的9797毫秒，用红线表示。毫秒，用红线表示。第四十八页，本课件共有68页494.4.开发新型传感器的途径开发新型传感器的途径 2 2）采用新材料）采用新材料 由于材料科学的巨大进步，新的功能材由于材料科学的巨大进步，新的功能材料的开发将导致新型传感器的出现。料的开发将导致新型传感器的出现。半导体材料研究的进步，促进了半导体半导体材料研究的进步，促进了半导体传感器的迅速发展；传感器的迅速发展；压电半导体材料为压电传感器集成化提压电半导体材料为压电传感器集成化提供了方便；供了方便；高分子压电薄膜的研制成功
39、，将使机器高分子压电薄膜的研制成功，将使机器人的触觉系统更接近人的触觉系统人的触觉系统更接近人的触觉系统皮肤。皮肤。第四十九页，本课件共有68页504.4.开发新型传感器的途径开发新型传感器的途径l精细陶瓷、形状记忆合金等是很有希望的传感器材料，精细陶瓷、形状记忆合金等是很有希望的传感器材料，尤其是记忆合金，当它复原时会产生相当大的力，可作尤其是记忆合金，当它复原时会产生相当大的力，可作力敏感元件和执行元件的结合体。力敏感元件和执行元件的结合体。l在功能材料方面，把酶或活体组织的一部分作为敏感在功能材料方面，把酶或活体组织的一部分作为敏感元件，它对特定的化学物质具有高度的选择性。不仅元件，它对
40、特定的化学物质具有高度的选择性。不仅可测量各种分于量和结构的化学物质，而且有可能测可测量各种分于量和结构的化学物质，而且有可能测量食品的新鲜度。量食品的新鲜度。l随着材料科学技术的发展，适用于敏感元件的材料随着材料科学技术的发展，适用于敏感元件的材料会大量增加，新型传感器将不断地出现。会大量增加，新型传感器将不断地出现。第五十页，本课件共有68页514.4.开发新型传感器的途径开发新型传感器的途径 3 3）采用新的加工技术与工艺）采用新的加工技术与工艺 采用新的加工技术可以制造出新型传感器，如采用新的加工技术可以制造出新型传感器，如采用光刻、扩散等方法，可以制造出微型化和集采用光刻、扩散等方法
41、，可以制造出微型化和集成化传感器，现在已经制造出能装在注射针上的成化传感器，现在已经制造出能装在注射针上的压力传感器和成分传感器。压力传感器和成分传感器。MEMS技术技术，采用半导体集成电路制造技术在同一采用半导体集成电路制造技术在同一个芯片上同时制造几个传感器或传感器阵列，而且这个芯片上同时制造几个传感器或传感器阵列，而且这些传感器输出信号的放大、运算等处理电路也集成在些传感器输出信号的放大、运算等处理电路也集成在这个芯片上，从而可构成多功能传感器、分布式传感这个芯片上，从而可构成多功能传感器、分布式传感器。器。第五十一页，本课件共有68页MEMS制造工艺制造工艺1.体微加工技术体微加工技术
42、（蚀刻：干法蚀刻和湿法蚀刻）2.表面微加工技术表面微加工技术（光刻）3.键合键合(bonding)技术技术（硅熔融键合和静电键合）4.L IGA技术技术（Lithograpie(光刻)、Galvanoformung(电铸)Abformung(塑铸)）第五十二页，本课件共有68页体加工技术体加工技术Bare Silicon WaferDeposit Sacrificial Film(serving as a mask)Bulk MicromachiningFabrication CyclePattern Sacrificial FilmPattern Bulk Material(Si)Remov
43、e Sacrificial Film(serving as a mask)第五十三页，本课件共有68页表面加工技术表面加工技术Bare Silicon WaferDeposit Mechanical FilmPattern Mechanical FilmDeposit Sacrificial FilmPattern Sacrificial FilmDeposit Mechanical FilmPattern Mechanical FilmRelease StructureSurface MicromachiningFabrication Cycle第五十四页，本课件共有68页体加工体加工&表面
44、加工表面加工Surface MicromachiningBulk MicromachiningTrenchBridgeCantileversWafer SurfaceCavityNozzleMembrane第五十五页，本课件共有68页体加工体加工&表面加工表面加工膜越厚，腐蚀膜越厚，腐蚀 次数越少。次数越少。去除下层材料，去除下层材料，释放机械结构释放机械结构 采用特殊的检测和划片采用特殊的检测和划片工艺保护释放出来的机械结工艺保护释放出来的机械结构构封装时暴露部分零封装时暴露部分零件件机、电系统机、电系统全面测试全面测试DEPOSITION OF MATERIALPATTERN TRANSF
45、ERREMOVAL OF MATERIAL 多次循环多次循环 PROBE TESTINGSECTIONINGINDIVIDUAL DIEASSEMBLY INTO PACKAGEPACKAGE SEALFINAL TEST成膜成膜光刻光刻腐蚀腐蚀第五十六页，本课件共有68页574.4.开发新型传感器的途径开发新型传感器的途径 纳米技术：纳米技术：用单个原子、分子制造物质的科学技用单个原子、分子制造物质的科学技术，即在单个原子、分子层次上对物质存术，即在单个原子、分子层次上对物质存在的种类、数量和结构形态等进行精确的在的种类、数量和结构形态等进行精确的观测、识别与控制技术的研究与应用。观测、识别
46、与控制技术的研究与应用。它将对它将对2121世纪的信息技术、生命科学、世纪的信息技术、生命科学、分子生物学、新材料等具有重大意义。分子生物学、新材料等具有重大意义。第五十七页，本课件共有68页584.4.开发新型传感器的途径开发新型传感器的途径 纳米技术在医学、生物工程中的应用：纳米技术在医学、生物工程中的应用：尺寸小于尺寸小于1010纳米的超细微粒可以在血管纳米的超细微粒可以在血管中自由移动，可以建造多种功能的微型机中自由移动，可以建造多种功能的微型机器人注入人体血管内，进行全身健康检查器人注入人体血管内，进行全身健康检查和治疗，包括疏通脑血管中的血栓，清除和治疗，包括疏通脑血管中的血栓，清
47、除心脏动脉脂肪沉积物等，还可以吞噬病毒，心脏动脉脂肪沉积物等，还可以吞噬病毒，杀死癌细胞。杀死癌细胞。第五十八页，本课件共有68页594.4.开发新型传感器的途径开发新型传感器的途径 美国已造出了少量的纳米管，纳米管的强度比钢高美国已造出了少量的纳米管，纳米管的强度比钢高100100倍，重量只有其倍，重量只有其1/61/6，纳米管很细很细，纳米管很细很细，5 5万个纳万个纳米管排列起来才只有一根头发丝那么粗。预计它米管排列起来才只有一根头发丝那么粗。预计它是理想的导体，它的导电性很可能远远超过铜，是理想的导体，它的导电性很可能远远超过铜，纳米管最终可以用于纳米级的电子线路。纳米管最终可以用于纳
48、米级的电子线路。日本丰田公司用微型部件组装了一辆一粒米那日本丰田公司用微型部件组装了一辆一粒米那么大的能开动的微型汽车。东京大学自动化工程么大的能开动的微型汽车。东京大学自动化工程师创造了硅微型昆虫，能飞行几厘米。师创造了硅微型昆虫，能飞行几厘米。第五十九页，本课件共有68页604.4.开发新型传感器的途径开发新型传感器的途径 德国美因兹微技术研究所制造了一架只德国美因兹微技术研究所制造了一架只有黄蜂那么大的直升飞机，重量不到有黄蜂那么大的直升飞机，重量不到0.50.5克，克，能升空能升空130130毫米，它的目的是要证实制造高毫米，它的目的是要证实制造高性能的一伏微型发动机是可能的。性能的一
49、伏微型发动机是可能的。这种发动机只有削尖了的铅笔尖那么大，这种发动机只有削尖了的铅笔尖那么大，但转速可达每分钟但转速可达每分钟1010万次，最终可用作电子万次，最终可用作电子显示器和激光扫描器的驱动器，也许最早的显示器和激光扫描器的驱动器，也许最早的应用将是在微型外科器械方面。应用将是在微型外科器械方面。第六十页，本课件共有68页61第六十一页，本课件共有68页62第六十二页，本课件共有68页63第六十三页，本课件共有68页64第六十四页，本课件共有68页65第六十五页，本课件共有68页66第六十六页，本课件共有68页67第六十七页，本课件共有68页感感谢谢大大家家观观看看第六十八页，本课件共有68页