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1、 Gongchuang PV Confidential 1动力系统架构介绍动力部-袁学申2011.8.25时间：14:00-15:30 Gongchuang PV Confidential 2前言 动力部-欧美、台资企业习惯称为Facility Department，随着半导体行业的在大陆的发展，受欧美、台资企业的影响，人们习惯将为FAB提供水、电、气、及其他动力供应的部门为厂务部，简称FAC 国内企业习惯将同种职能部门称呼为动力部门或设施部门，为尊重公司的企业文化和大家习惯，在此称之为动力部，厂务和动力即为同一个部门。Gongchuang PV Confidential 3课程目的：课程目的
2、：了解动力部门的基本职能和作用熟悉动力设备分布及主要系统构成了解动力设备与生产的相关及重要性 Gongchuang PV Confidential 4动力部门的职能：动力部门的职能：为生产制造部门提供安全的、连续稳定、高品质的动力、水、电、气供应；同时提供清洁、安全的生产环境。保证动力设施安全稳定运行同时，持续开展节能工作、降低能源消耗是厂务部门的一个重要工作目标。Gongchuang PV Confidential 5动力系统架构图 Gongchuang PV Confidential 6动力系统组成动力系统组成u电力供应系统u暖通、动力及排气系统u气化系统u给排水系统 Gongchuang
3、 PV Confidential 7NF3DEZ房特气房柴油发电机房氢气站危险化学品仓库硅烷站配电室锅炉房空压机房冷冻水站纯水站PCW系统冷却水塔厂务系统分布图厂务系统分布图废水处理系统消防&生产水池 Gongchuang PV Confidential 8动力系统之电力系统高低压配电NE紧急柴油发电机组GEUPS电源电力系统电力系统：主要由市电配送系统、紧急柴油发电机、UPS不间断电源三部分构成。Gongchuang PV Confidential 9共创电力基本架构图变压器10KV进线主开高压配电开关102厂房工艺设备用电102厂房工艺设备用电102厂房工艺设备用电102厂房动力设备应急负
4、荷办公楼宿舍用电变压器变压器变压器柴油发电机变压器 Gongchuang PV Confidential 10共创电力基本架构图工艺配电柜工艺配电柜空调通风设备动力配电柜动力站3台冷水机组消防及排烟风机电梯车间紧急照明102 2F辅房及办公区域照明102 1F周边辅房及办公照明特气系统水系统事故排风及特气设备特气系统 Gongchuang PV Confidential 11动力之空调.暖通.空压系统一、空调送排风系统:功能：为了维持车间温度，湿度，洁净度及正压要求，同时将车间设备产生的有毒有害气体排出室内。组成：主要设备包括送排风系统(MAU、AHU)，排气（VEX,DUX,GEX,SEX）
5、系统。Gongchuang PV Confidential 12一、空调送排风系统 Gongchuang PV Confidential 13二、空调水系统 空调水系统包括冰水系统（7）、锅炉热水系统（80）、冷却塔水系统（32）、空调加湿补水（二级RO水）系统四部分组成，为空调提供冷源、热源并保证空气的湿度，同时将冷水机组从车间获得的热量转移到大气中。保证无尘车间及办公区域的温度、湿度要求。Gongchuang PV Confidential 14 空调水系统流程图MAU或者或者AHU工艺冷却工艺冷却水系统水系统 Gongchuang PV Confidential 15三、空压系统（CDA
6、）原原 理：理：通过螺杆旋转作用，将吸入的外界空气不断压缩，获得一定压力的气体，使空气成为动力的载体，通过管道将动力传送至设备使用点，作为设备气动元件的动力来源。Gongchuang PV Confidential 16CDA工艺流程图 Gongchuang PV Confidential 17厂务之气化系统一、大宗气体系统UPW(N2)ABT(O2)、TCO（N2）特气系统PECVD(Ar N2)低温槽车 低温储罐空浴式气化 器气体使用点调压、过滤装置大宗气体系统包括:液态氮气、液态氧气、液态氩气三种气体位置：102厂房北侧气罐区危害：低温 窒息 Gongchuang PV Confiden
7、tial 18二、特气系统 Y-气瓶 GC-气体控制柜 VMB-现场气体分流箱 车间机台GAS-BOX特气系统包括：SIH4 NF3 B2H6(2%)PH3(0.5)CO2 TMB CH4性质危害：SIH4 自燃易爆 NF3 腐蚀性，有毒 B2H6（2%）易燃剧毒 PH3（0.5%）自燃、剧毒 TMB（2%）自燃、有毒vPECVD(CO2 SIH4、TMB PH3 NF3 CH4)TCO(B2H6)ABT Gongchuang PV Confidential 19三、化学品系统-DEZ（二乙基锌）DEZ tank DEZ控制柜 现场DEZ分流箱 蒸发器GAS BOX位置：102厂房DEZ房危害
8、：遇到空气自燃，与水发生剧烈反应。输送过程中分解成ZnO，同时释放热量 Gongchuang PV Confidential 20四、气体管理-侦测系统GMS-GDS系统功能：为防止 BSGS、VMB、TOOLS 在运行中出现危险气体泄漏对人员和设备造成的危害。当 BSGS、VMB、TOOLS 出现气体泄漏时，GMS 能通过气体侦测器的侦测结果来产生相应的联动，关闭相应的气体供应设备。保证 BSGS、VMB、TOOLS的安全运行。原理：PLC根据模拟量转换计算出气体浓度值与所设定之报警值进行比较，再产生相应的联动动作（GC、VMB的 RST，LAU Beacon的 Red和Buzzer）。取样
9、点分布：取样点为 BSGS、VMB、TOOLS GAS PANEL、环境，安装在 Exhaust的阀门与机台风管三通之间。Gongchuang PV Confidential 21GDS组成：1、BSGS DetectorBSGS Detector控制系统控制系统控制系统控制系统 GMS 系统提供 BSGS 的 Detector 连锁控制功能。当 BSGS 发生气体泄漏时通过连锁功能，PLC可以通过 BSGS提供的 Relay接点对 BSGS作 Remote Shutdown。2 2、VMB Detector VMB Detector控制系统控制系统控制系统控制系统 GMS系统提VMB的 De
10、tector连锁控制功能。当 VMB发生气体泄漏时通过连锁功能，PLC可以通过 VMB提供的 Relay接点对 VMB作 Remote Shutdown，同时对 GC作 Remote Shutdown。3 3、Tools DetectorTools Detector控制系统控制系统控制系统控制系统 GMS系统提供 Tools Detector监控功能。当 TOOLS发生气体泄漏时通过连锁功能，PLC可以通过 VMB提供的 Relay接点对 VMB作 Remote Shutdown。4 4、环境、环境、环境、环境 DetectorDetector系统系统系统系统 GMS系统提供了 TOOLS、G
11、AS ROOM环境监控功能。当 TOOLS、GAS ROOM发生气体泄漏时，根据开放空间气体泄漏流程处理，图控会产生报警信号并在现场区域 LAU产生声光报警。Gongchuang PV Confidential 22 GDS基本架构图LAU声光报警灯 Gongchuang PV Confidential 23动力系统之给排水系统1 1、原理与作用：、原理与作用：通过去除自来水中离子、颗粒物、金属、细菌等杂质、获得电阻率大于18M超纯水，用于玻璃板清洗，TCO 反应原料，PECVD chamber清洗。一级RO水（10us.cm-1）用于ABT尾气处理。2 2、水中污染物组成：、水中污染物组成：
12、l悬浮固体悬浮固体(SS)(SS)：如泥土、砂石及金属氧化物等;l溶溶解气体解气体：CO2,O2,N2等;l可可溶解固体溶解固体(TDS)(TDS)：如Ca.Mg.Na.K.Fe.HCO3.NO3.SO4.SiO2等;l有有机物机物(TOC)(TOC)：油脂、污水、溶劑、等;l微微生物生物：各种细菌,藻类,病素等;一、纯水系统 Gongchuang PV Confidential 243.工艺设备工艺设备 盘式过滤器盘式过滤器:去除水中较大的颗粒杂质、悬浮物、胶体絮凝、有机颗粒团，降低浊度（需要逆洗）；超滤超滤:去除水中较小的颗粒杂质、悬浮物、胶体絮凝、有机颗粒团，降低浊度（需要逆洗）；EDI
13、:通过离子交换和电渗析结合的技术去除水中的阴阳离子，整个工艺无酸碱废水产生（需要消耗电能）；Filter:去除水中的Particle等；RO(Reverse Osmosis)逆渗透技术逆渗透技术:利用压力差为动力的膜分离过滤技术，将源水中的水分子与无机盐、重金属离子、有机物、胶体、细菌、病毒等杂质分离出来UV:在波长254nm的紫外灯辐射下，对细菌DNA分子结构可造成不可逆的破坏，从而达到杀灭和抑制细菌的繁殖的目的。Gongchuang PV Confidential 25纯水系统工艺流程图 Gongchuang PV Confidential 26二、工艺冷却水系统（PCW）Gongchua
14、ng PV Confidential 27三、工业废水处理系统说明：工业废水由车间HF废水收集管道收集后进入HF总管，经过废水站处理，满足国家三级废水排放标准后达标排放。三级排放标准：COD 400ppm PH:69 F：20ppm Zn：5ppm SS:400ppm Gongchuang PV Confidential 28四、厂区排水系统厂区排水系统：采用清污分流，污废分流原则，雨水直接由厂区雨水管网收集，然后通过市政雨水管网进入湘江，工业废水经过厂区废水站处理达到国家三级排放标准后，与污水汇合排入市政污水管网，经过园区污水处理厂处理达标后排入湘江。Gongchuang PV Confidential 29结语 作为整个制造设备的动力、部分原料的供应来源，动力系统设备稳定性、安全性直接影响到整个工厂的生产运营，与制造设备故障特性不同在于：动力设备故障后影响范围广,产能损失巨大，严重时将导致整个生产线的停产。高品质，高稳定性且连续的动力供应标准，对负责动力系统的运行、维护、管理的人员提出了非常严格的要求，除正常的24小时设备巡检外，完善的系统保养制度建立及执行将是整个动力部门工作中的主要任务。Gongchuang PV Confidential 30Thanks for your attention Q&A？THE END