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1、E P E电字工业毫用设苗E q u 嘶e n t f o r 啦咖m k P 刚I 腓M 叩山咖 吨趋势与展望微机电系统技术的研究现状和展望产宇寸，牲端摘要：敝机电系统(M E M S)是由微加工枝术制造的微型传感嚣微型执行嚣厦集成电路组成的器件或系统舟绍TM E M S 技术的研究背菁和发展程着重阐迷T 微机电系统的核心枝求和商业应其中特别提到T 堆芯H 系统i 面的前研究最后就M E M S 技术的前景和研究方向进行7 探计和展望美键词：搬扎电舔筑：馘加i 技卡：L 最境：加速度计中图分类号：T N 4 0 9文献标识码：A文章编号：1 0 0 4 4 5 0 7(2 0 1 1)0 4
2、 0 0 0 1 0 9M E M ST e c h n o l o g yR e s e a r c hS t a t u sa n dF u r t h e rR e s e a r c hW o r k sF o r e c a s tY A NY u c a lZ H A N GD i l a nC o l l e g eo f I n f o r m a t i o nE n g i n d n gZ h e j i a n gU n i v e m i t yo f T c c h n o l o g y H a n g z h o u3 1 0 0 2 3C h i n a)A
3、b s t r a c t：M E M Si sam i c r o-c o m p o n e n tO rm i c r o s y s t e mi n t e g r a t e db ym i c r os c n s o r，m i c r oe x e c u t o ra n dI CT h eb a c k g r o u n do ft h er e s e a r c hm a i nM E M Sc o r ct e c h n o l o g ya n dM E M Sa p p l i c a t i o n sw c mi n t r o d u c e dE s
4、 p e c i a l l yt h er e s e a r c hw o r k si nas i n g l e c h i ps y s t e mw c r ci n t r o d u c e dF i n a l l yc o n c l u s i o n sa t-ed r o w na s t o w t oh e mf u t u r eM E M St e c h n o l o g ym a yl e a dK e y w o r d s：M E M S：M i c r o-m a c h i n e df a b r i c a t i o nt e c h n
5、o l o g y；S O C；A c c d e r o m e t e r馓掣化址近儿l 午自然科学和T 程技术发腱领域的个艰罄冉向m】微纳米技术的研究则址喙领域艇聪们巫-1 2 匝。微机电系统(M I-c m-E l e c t r o M e c h a n i c a l S y s t e m s，简称M E M S)是指北微结构的传感器、微耻执行器种佑母处理b榨制电踏j：体，形成同时儿“佑血获取、处理和执_ I：J J 能的钾能微掣器件战微，H 乐缆；微机l n 系统的【。的特征尺目i _=微米数 t 级系统的特机收稿B 期：2 0|0 31 0K 寸a 一癌米数帚缴材料基于硅仳
6、小仪限于硅，区别f 传统的机械。自2 0 世纪8 0 年代起，M E M S 已经走出丁最协的理论研究、器件开发和实验室研究笈艘到一个幅与戚熟的瞬段小仪可以人规模啦P，1 协嘘J 目到很多新必领域。在未来的5 1 0 年蚓I _ 羿弃地小川领域的罩斗研L=作者对M E M S 的研究将延仲至机械、材料、光学、流体、化学、医学、万方数据q=物等学科，技术影响遍及包括各种传感器件、l*疗、生物占片、机器人、通信、能源、武器、航空航天等领域。在垃初的1 0 到l5 年里，除了像喷墨打印机喷头、汽车传感器、数卒微镜器件等少数成功实现产：业化的案例外，M E M S 研究的重点主要致力于微加T：技术、器
7、件设计和M E M S 研究方法的探索，这衅研究 J 作奠定M E M S 进一步研究的基础，外使M E M S 技水延伸到其他领域成为可能。近年来，M E M S 技术逐渐成熟，并成功实现了应用，建立起了M E M S 产业，无疑将有利地促进M E M S 研究和产业的口r 持续发展。n：早 I 目的M E M S 研究发展中，经历过许多重噩的J _ l j 生!#件，甚举是哭乎壮个M E M S 进程的里程碑。F 件。下面摘录了其中一些事件1 9 5 4 年，两储大学的CSS m i t h 教授利用离丌俄薮俄州克利夫陆的度假时间，在儿尔电话实验系发表丁辅芙于测啵锗和硅的压阻系数的论文。返
8、衅删h i：数据为今天压力、位移和麻变传感器研究设计铺，P 了道蹦i”。1 9 5 9 年，R i c h a r dF e y n m a n教授发表了。篇题H 为“底郭宙太量空间”的论文“。它预小着微加1、微器件和微纳米技术新时代的到来。2 0 世纪6 0 年代，谐振栅晶体管、加速度器、硅盛J l c 力传感器和应变传感器的问世为微器件研究奠定了鉴础，圈l 是1 9 7 6 年发明的声表面波脏力传堪器1 6 i。1 9 8 1 年，“传感器技术学报”问世，冀1：固态传感器，执行器和微系统的国际会议第次前蠖围的波士顿召开。1 9 8 2 年KEP e t e r s o n教授发表了篇逝为“
9、硅用作微加I，材料”的论文”，该文章埘微加工技术进行r 介纠。1 9 8 7 年，第一次r M E M S”棚荑的研讨会“微型机器人和远程控制”在盖N 麻省海恩尼斯举行。紧接着若于M E M S 的I I l f 讨会n t 茭国和世界各地如雨后舂笋般纠开，扣开了微加工，微系统，礅加工技术，M E M S研究的夫门。1 9 9 2 年“M E M S 期刊”首次亮相。d 过上的2 0 年，科研研究机构和公司进行了太聃的M E M S 研究工作。其中不乏一些成功产业化的案例：(1 1 心普喷墨打印机的喷墨头(a l 采用的是M E M S 器件。这种喷墨头迅速占领主要的喷墨打印机市场，其利润超过
10、I O 亿美元p】。(2)汽车上嵌入的压力传感器。(3)加速度计0 1 丰陀螺仪i”被虚用到丁模拟器件上。(4)德州仪器发明了数字光处理(D L P)模块。数字光处理(D L P)以数字微镜器件(D M D)为基础i u】。它以一种革命性的古式来显示信息。这项研究始于1 9 7 6 年，研究者花丁近2 0 年才完成定型t并使其商业化。今天，D L P 系统已被用到，世界各地4 0 多家厂家。(5)生物芯片和微流体器件。(6)射频通信、光学通信、导航仪器【l”的通信组件应用到了手机和通信系统中。目I，t i 女*枣g i#l1 微机电系统核心技术M E M S 核心技术涵盖了从基础理论、建模设计
11、、微加工、微传感器、微执行器到封装集成测试等各个领域，近几十年在这些研究领域部取得了不同程度的发展。1 1M E M S 基础理论和设计方法当特征尺寸缩小到定范围时M E M S 器件就会遇到与宏观世界水l 司的物理问题。目前。M E M S 的研究还是依糊经验和反复试探，主要是万方数据E P E。!悬三艘熹j 皇德。趋势与展望I k l 山充梢f h 微观J t，(F J 州沦休系尚术硅t 返严t 地肼rM E M S 技术的进步技聪。此，做埘儿I c r I f JJ 础性州呛1】f 究址褂虻山呕蛆F篮也抒儿膻放成和采|妓心、微流体J Jt、散热山学、微摩擦学，微材料机械特性等，M E M
12、 S 址采用微I Ur 自l 微加1 披术将所仃f n 微器件、啦成电蹄和触系统n 个m 母虑F 吐制造柬的。口前M E M S 蹬汁打划、乜括1 代协曩、经验的加1 测试设“力浊、B o t t o mU p 蛙 程、和T o p D o w【1 垃F lA“、3 种。2 为M E M Sr|顶mr 集成设计流程l 目I。模拟过枉般乜捕峨I 群设i 、1 艺级世 I、器仆衄垃“、彖统绒璇、验l j I：年逃代优化。M E M S 业 f l 楚旭过弹机辅助I，雅4 -0 i(C A E)、算机$lJ 助设计I C A D)、艟计锥机辅助制造(C A M)进i r 吐掇拟目l 仿n 卅助M E
13、 M S C A D 小议能够缩觚吐时M，I l l J【|提nb 申r“制造过州的特确膻。M E M S 的f“1 5 进|也 一t 揣仆、啦J E l U 蝌、系统和N 装等儿个山【f l。1 2M E M S 微加工技术微加。批术址揖制f 1M E M S 器“帕j 主术川址微加l 的1-篮村科，限村：j【札“好的 l 澈仆能州X 适制造微机械构f l，I n J 木溉c 川。1 J泛，川时肌I 技术也似m 常成熟c”。随扑触Ij 点术的敏腱派I-!，景刊技术仆点计1 嵝的M E M S 机械加】技术包括休微加l(B u l kM i m a c h i n i n g)、表I I I
14、微II S u r g l c cM i c r o m a c h i n i n 9 1、键舟I。Z n V a 忙rB o n d i n g)j f|lL I G Al 艺锋I 1。目2M E M s 自m T*呈*n】2】体微加I 枝术体础1 址蛐。1 1 采川的M E M S 机橄川I 土术j【咒键拙术址选择r 化学划蚀洼。IJ j 划蚀液埘I i l 小-d 一u的刘蚀谜半的堆拌蚀划：】昧利J l i：n 勺排分材料，形成所l j 的牡窜结构、膜 月l 宅粒等 J，栅根*剿蚀A 泣、的小-d，体微I 1 T 以分为：I)滩浊剑铷：2)锋；2 i：?离c-g l I O A。怍微斯
15、I【-技术J 竹优点址加I 技术耻成热挑确f!：商，利蚀，“乍呐 掏H、J 人，机桃性能盎从i l l】器仆佑，输，|_【人，埘J+删：I ：缺点址村制浪优较严啊，-，裴J J 兑电路艇存傩小别_ I !。l22 表自撒加I 挂术表i l l l 微加i，技术址采川J 蜓成l U 蹄的川l 土术制作微器什通过泓“、钮l 划济解i。i 诎薄腆栅艘的牺靴J；：仪m 采F的微 I 构，加I 的利料山#仙n，l l r I 怂忖棠、膨成I，m f I I制nl：箍板等。牲l(I l 微帅1。披术优点足o，雄成I U 蹄J 艺掩弈万方数据趋势与展望制较好易于集成，缺点足受微结构的二维布局影响土要用于加工
16、二维微器件”9 I。l2 3L I G A 和准L I G A 技术2 0 世纪8 0 年代，德国开发出L I G A(L i t h o g r a D h i eG a l v a n o f o r m i n gA b o f o r v m t m g，德文缩写)工艺，是一种深X 射线刻蚀电铸成型注横复制技术L I G A 通过对光刻胶照射X 射线，刻蚀出宽度在儿微米数龄级深度在几百微米数最级的高纵横比的光刻腔图形。L I G A 技术有3 种主要工艺深x 光刻蚀、微电铸成形和注模复制。目前，利用L I G A 技术成功制造出微减速斯轮箱、微加速度传感器乖H 红外光谱仪等。L I G
17、 A 技术的优点在于可以加丁高纵横比的三维结构，提高了器件的品质因子：由于囔料模具便于复制微结构，因而降低了成本可进行批量化制作。缺点在于制作设备昂贵使J j 和维护成本高不利于实现产业化。12 4 键台技术键台技术是将各种不同功能的微结构键台组装成微器件。键台技术大致分为三类：热键台、阳极键合和通过中间层的键合，热键合是利用粘台剂将两片表面抛光的基J 通过高温处理产生接价键形成键合口“。静电键合是在静电作用下使紧密接触的界面存高温和强场下形成化学键键合，这种方法适用于玻璃和金属、半导体和金属、玻璃和半导体键合。其制作的界面具有良好的气密性和稳定性因而得到了广泛应用1 2 1。1 3M E M
18、 S 侍感器与执行器技术M E M S 一艺制造出来的微结掏、微器件可以组合成微传感器、微执行器、无源结构和微系统刚。根据物理效应，微传感器感应原理包括压电、压阻、热电偶、谐振等。微执行技术主要是开发与硅微j J f l Z材料和工艺丰|；|兼容的动作形式，并在同一硅片上对动作形式提供能龌井电气控制。现冉的微执行方式包括电磁、超声、压电、形状记忆台金、黼分子凝脞和光执行等。已经成功商H k 化的微执行器包括微电动机、光开戈、射频开关、滤波器、微泵和微阀等i。1 4 微组装、微封装、微集成、微测试控术微组装技术是指把微传感器干u 做执行器组装成一个完整的M E M S。微系统组装研究的重要技术包
19、括特 微位移工作台、装卡工具、多自I h 度操作器等。组装好的系统需要进行封装。日前微封装方法柯多芯片封装、真空封装、硅玻璃的静电封接、阻己控制封装”5 1 等。微系统集成是指熊成微传感器、微执行器与控制电路I。微测试除了要测试M E M S 器件输出电压等电气性能外，迁要测试在各种物理环境下的噪声、压阻、加速度等机械眺能。测试内容包括加工材料机械性能测试、微系统功能测试、工艺参数测试等。2 微机电系统技术的发展趋势和前沿研究M E M S 已经在小间领域获得丁小同程度的突破，随着信息化和工业化地深入发展，M E M S 市场的潜力将是巨；=的，未来5 1 0 年M E M S 的研究羊u发展
20、形势将更加喜人。2 1 研究成果产业化加快人们将研究已经成熟的M E M S 器件和系统逐步推向市场，产生了巨大的经济效益，从而建立起一个能够持续支持M E M S 研究和发展的新兴产业。2 0 1 0 年，夸球M E M S 器件市场约为8 0 亿美元。基于M E M S 技术和基础研究的发展积累，以及M E M S 产业化和经济令球化的影响。M E M S 器件和系统从开发到戍用的I H 问正币断缩短末来M E M S 市场潜力将非常惊人。同时集成电路的迅速笈展和市场对新产品的强烈需求，为M E M S 蓬勃发展提供了个非常好的机会。从某种意义L 说，M E M S 新时代i E 在到来。
21、许多M E M S 新兴产业正处于起步开发阶段，在这些M E M S 新兴产业中微生物M E M S，数字导航M E M S，振荡器M E M S 将是擐有技展前景的领域。虽然我们无法预测M E M S 产业将准确地按照某个曲线，但我们确信M E M S 产性将加速发展步伐”l。圈3 是Y o l e 投资咨询公司2 0 1 0 年6 月做的M E M S 市场研究报卉，新兴M E M S”业将【到总产业的l O 姐示出M E M SI H 场巨太的增长空间。万方数据团虑意础磊瓢臁。愀州M E M S 研究领域的技腱地辨我们归纳J-个E 耍斤向的：芷胜特征：2II 开发出低成表、高技率、适合太
22、规模生产的M E M S 器件M E M S 器件和系统将广泛应用：航卒航天、i“、l：f l,f、1 础化制造业以敏J 消让品巾。图4 灶加速度发腱路线蚓9 i。小难再，M E M S 加速，f “L 被。泛应川f：航审、机器人、汽4 安仝一c囊和常消龇l h圈豳潮E K l“I 秕m n l 31 08542,72 5M E M S l l I i m，m m 0 4 30砧02 702 2“I x t h B【l M f i M S l nJd11 08 8自!1 仆M 眦n 肿1 0 0I(】04 01 6 0f i，&H z2 52 452 451 25巾m g c e f n H
23、61i偏牡；，N o310 505趋势与展望2I2 研究高性能、；功能和高可靠性$统 i J 宄肯正致力r _ =发一崎性能、多功能、粥n f 靠性的成川系统，以满足一活端客户的*求。例如J I艟型盎的J l：F-机自l 笔记丰的M E M S 器件和系统以技对工作王j=境篮求苛刻的航窄航尤、军，J 、K 疗研究等领域。这种趟卦疆求M E M S 的研究心跛结合川架成电蹄啦计、封装、能源管理州软件编租，以尘现尚h 能、多功能、特1：使川和-崎-4 社的微型器件和系统。l 掣5 是凯妍州f!1 5 研地人学，F 笈的无线数捌遥测M E M S 应变传J 出器I 它能实时监控机器八转剥 的信息帮助
24、了解材料的疲劳情况U 提岛系统的稳定性。陵系统来川射频I U 源供I b，无线埋测模块发送衄变f j 息数据。扎核心址个-b 择J I 山忙甚器干M E M S 的接u 芯片。转轴旋转J“生旋转抓矩，进而产生表嘶张力I 乜择脏力传出器检测到此应变信息后将其转变为电寄艟的变化接竹】低噪声接L 1 一卷”转换为电压信息经过A，D 转换后由尢线遥测模块发射士。M 时，接IJ 芯片将射频耦合能转换为卣流稳n 二电源和拎制信吁。媛系统采用简易商可靠的系统封袈吐H 矗被度I 口以逃到8 1 6l V p,s，解析度范为I0 0 0 u 托巾非线性媸麻l I，到52。这种系统的噪J j-特性址1 该系统一口
25、以褂到1 0k H z 带僦戍变传感解析度为5 0n 8【。需爆黑黧iq-if !；-7 s 撼艨“目5*意#m#日目2I3 集成传感嚣和驱动器的单甚H 系境蚓6 址瑞限体披术肼究所 l J f 制的挑J l 占墨圊加(江旃1 9 5 l)、5-黧兰!一”-w墨万方数据。电字工业鲁用设苗E 矗目趋势与展望聃；墨壶盍釜盏曼蔷面日_ jH 多模式化学L 体榆测系统J 它实现了在块C M O S 出I。馕戚4 种传感器包括质罱块传盛器、热化膳器、l b 铎传出器和温度传瞎器。这蝗传感器揶姬过腻j 检测挥发性有机化台物的聚舟J z；尘现舱洲功能的。C M O S 芯片I 一还集成了微I Ur 目l 微
26、化学儿什，这蝇儿件包括控制器、信号放人器、；l 数转换器和芯”接口挖制器负责监控传堪擀 I 作模式f。，放大器H jj 提商忙感器性能，一出 接【】饥贞把数州传输到外存储单兀。2 2 传感器网络与M E M S 回络当M E M S 的竹儿功能成功麻j 后开发M E M S 的大删络系统就成为I u 能。实、成川中仔存很多情况，需要大 币同的功能系统起l。作，例如于一t 物医学研究的行为反应的 测控制系统。也宵些情 兕足街要夫艟类似的功能系统连接n 一起来执行任务，例如托环境研究，需婴覆盖犬轻 的相似系统。啦“这些功能雌兀的M E M S 使数f。甚至J：千个剌似的系统卟丰H 似的系统一起作为
27、个功能州络将l 请多挑战，删如，如f u 为数以r 计的单佗系统挺供l b 源如何使他们能够有效地与其它竹冗系统和指拍；。h 0 通信，这衅都需要n 理论胤理、改汁、技术年软什l：进行研究，图8是个M E M S 组织蚓!的小意H 这个大系统集成了许多功能卟位忙感器年执行撩系统”。驽鬻o 兰竺竺：二0 竺竺1 9 2 3M E M S 新材料和技术除了硅和牛导体材料还冉r l：多材料呵朋 制造M E M S。例如：合金、陶瓷村扎聚合物，l I i 于高温材料(碳化硅，瓤化j)，巨融阻村抖_ I 新丌垃的结t 协手H F 结品村料，以及纳米材料。仕这肚新村料的研究二怍常有价值。例9 足种商分r
28、材#场效成晶体锚”，I。精擞锑擞目7 单g H；*学t*目 目目9 高自十#*a 镕骨万方数据E P E电字工业毫用i 皇毒E q u l n t f o rF c t r o n l eP r b M m 2 4M E M S 跨学科交叉研究和应用的新前沿除了f 统的M E M S，j 吐近J L q ，”辟了许多新的心川。24I 生物研究和疗仪器从D N A、蚩门赝、细胞、器仃、系统生物学研咒，刮事物B、微燃I“、微掣仅挺、生物医药为M E M S 研究提供了J 间的领域。I 目1 0 址示了3 张小l-d 放人僻数的器占I 铺体竹l 剐：a 1 壮个器官品伴符，占片=b)细飚品体管：c)
29、竹一5 州$管。“t 医疗领域帆嗡测和治疗1 1 J 和诊断，治疗仪器到人掣远，-。下术蹬帑、人I 器宵灶植入仪器I，I，M E M S 部漱捧竹极丝乖要的作川。242R F 和光通信除J r 机、H 联州、视频点播系统等戍用外，M E M S 埘J：个射频系统，射 顷开*、滤波器、谰趋势与展望制器帛l 振荡器以歧尢线7 n 赀炎产肼址必小-少的。町对r个光学系统，j 匕 父、光调制器、此建减器、液-铺硅小p 凡、肌审吐并、：联叫蛙旃和柠制系统、【=l 家庭监控、I 业控制和r i 础化畿衢搜系统也足小_ 1 r 缺少的。吲I I 址小数f f q 编枉习f 期分流l U 释m 别力骶I，I
30、埘1 2 址数-一J 编n-射频分流f 也容结构嘲”】。CCC、C C。2 43 环境监删和保护远洋勘探和海水淡化将足M E M S 研究探索的新领域。244 微型能源除r 化学I b 池小掣化的研究外(特 I IH j 为窀术的锉电池)微型燃料l b 池、坎I U 他、馓#山燃机、超级电容手珂、境能洲l 转换器也【In 火热研究中。环境艟 转换器日l 远B。能源供啦披术-能柬自i 者如射频能错、A 能、J i 一波州_ I f i _ a 波能、温坚麓、，E 物燃抖I U 池、生物运动能等锋，这此揶址毗=瓣万方数据有趣又很有价值的研究领域，例如，生物医学家正在研究向人体植入M E M S 系
31、统如果人体热能、机械能、化学能或生物能可咀转换成电能储存起来为植入M E M S 系统供电那么电池的体积难卧缩小、寿命短、需要更换等问题，就可以娅刃而解。2 45 微纳米混合器件和技术纳米技术和高分子材料技术正加速向前推进，携合纳米技术和微米科技将给我们带来越来越多的惊喜，3 结论M E M S 研究在国际上正进入一个黄金时期M E M S 的基础理论研究、加工技术，跨学科交义应用等都是全新的研究领域。本文选择了几个例子来说明M E M S 的发展趋势，在未来1 0 年内M E M S 领域需要更多人做出更大的努力，给人类社会带来更多的惊喜不断提高我们的整个世界的品质。参考文献：I】cSS m
32、 i t hP i e s l s t a n c ee f f e c ti n 口u ma n ds i l lc o n J】P h y s1 9 5 4，9 4(1-4 2 4 9 2】RPF e y n m T h e r e sP l e n t yo f R o o ma t t h eB o t t o mC a l L e c h sE n g i n r i n ga n dS c i e n c e C C a l i f o m i a：C o lt e e h。sE n g i n e e r i n ga n dS c ie|l c e1 9 6 0【3】HCN a
33、 t h a n n，WEN e w e l l，RAW i c k s t r o m，c ta lT h e n“g a t em s i s t o r J lI E E ET 1 t n sE l e c t r a1 9 6 7，1 4(3)：1 17-1 3 3【4 LR o y l a n c e，JA n g d lAm i n o d u r ei n t e g r a t e dc i r c u l ta ce e l 目o m e t e rD i g e s to f1 9 7 8 E E EI n t e r n a t i o n a lS o ll d-S t
34、 a t eC i r c u i t sC o n f a f e l l c e c 11 9 7 8：2 2 0-2 2 l【5 MS u s t e r JG u oNC h a i m a n o n a r l W HK o，DJY o u n gAh i g h-p e r f o m a n c eM E M Sc a p a c i t i v es t r a i n nrm i c m s y s t e m J I E E EM I e c”o m e c hS y s t2 0 0 6，1 5f 5 1 _ 1 0 6 9 一1 0 7 7【6 T h o m a s
35、MR r i e r，D o n a l dEC u l f a nS u r f a c e-A e o u st i c W a v eP m s a n dT m p e m t u w J P m e e d i n g so ft h eI E E E 2 0 0 5 6 4 f 5 l：7 5 4 7 5 6【7】K EP c t e 啊nS i l i c o na sam e c h a n i c a lm a t e r i a l J P r o c I E E E，1 9 8 2，7 0(5)：4 2 0 q 5 7【8】L e eJDAt h e 呻a li n k
36、j e tp r i n t h e o dw i t ham o n o g t h i c Ml yf a b r i c a t e dn o l cp l a t ea n ds e l f-a l i g n e di n kf e e dh o l e【J】M l c c e c h a n c a lS y s t e m s1 9 9 98(：2 2 9-2 3 61 9】C o o l e yP a t r i c k、W a l l a c eD a v i d，A n t o h eB o g d a nA p p l ic a t i o n so f l a k j
37、e tP r i n t i n gT h n o l o g y t oB i o M E M SdM i c r o f l u i d i eS y s t e m s J P 眦e e d i n g so f S P I E-T h et n t e m a t i o n a S 艚i e t yf o rO p t i c a lE n g i n e e n n g2 0 0 1，4 5 6 0：1 7 7-1 8 8 I g】w a hA l b e r t，K i g e nA l b e r t L o wC o s t，H i g hGM i c m 2 d e c t
38、 r o-M e c h a n i c a lS y s I c m s(M E M S)I n e r l i a lM e a s e n I sU n i t(I M U)P”g m m C 1I E E EP L A N S P o s i t i o nL o c a t i o na n dN a v i g o d o nS y m p o s i u m 2 0 0 2：2 9 9 3 0 5【I l】H u iK a iX i eGKF o d d e rAC M O S-M E M SL a t e m la x i sG 珊o P eP r o c2 0 0 0I n
39、tC o n f S a nD i e g o：M o d e l i n ga n dS i m u l a t i o no f M i c r o s y s t e m2 0 0 0【1 2JA n d m w BD i g i t a lM i c m m i 呻rD e v l e e(D M D】h i n g em c m o r yl i f e t i m em l i a f i i g t ym o d e l i n g C 9 0 f aA n n lI n t e m a f i o n a lR e l i a b i l i t yP h y s i c sS
40、 y m p o s i u mD a l l a s：T e x a s：2 0 0 2：1 4【l g T s e n g，CJK i ma n dCMH oAh i【曲-R e s o l u t i o nH。g h-F r e g“n c yo n o l i t h i eT o p-S h o o t i n gM i e m n i a j e c t o rF】钟o fS a t e l l i t eD r o f i s-P a r t I p M c w e l e c l o m e c h a n ic a lS y s t e m s2 0 0 2 1I f 5
41、14 2 7-4 3 6【1 4】常洪尼孽t”T o p-D o w n”的M E M S 饱成计厅沾厦咒键技术研究【D】西空：日北T N k 凡学2 0 0 2(2)1 5】黄严峻牲十孔垃悬臂粱站构的新型J 阻式硅微加速度恃感*研究 D】杭州：浙“学2 0 0 9(9)1 1 6】蜒忐义M E M S 加j 撤术艟其【艺设符【J】电r t破赫2 0 0 3“)：5-l I【1 7】术健M E M S 拉术的发胜b n 用 J】S e m i c o n d u c t o rT e c h n o l o g y，2 0 0 3，(I)：2 9-3 2【1 8】忠感m 娃张存权I C P 划
42、蚀技术 宄【J】厘f 上学学报2 0 0 4：3 6 5 3 6 8【1 9】B e l lTE G e n n i s s e nPTJ，D c m u f l t e rDc ta lP o m u ss i l i c o na sas a c r i f i c i a lm a t e r i a l J M i c r o m e e h2 0 0 06【4)：3 6 1 2 3 6 9【2 0】C a r d i 1 1 D o n a t oA ni n t e g m t o dM E M SI n e n i a iM s u n tU n i t C I E E EP L
43、 A N SP o s i t i o nL o c a t i o na n dN a y i g a t i o nS y m p o s i u m2 0 0 2：3 1 4-3 1 9 2 1 1 李和太，丰晔Rn 片赴旮技术的研究进腰口 传感#世#2 0 0 2 i6-1 0(F 转旃4 6 页)万方数据皇至童旦塑鱼墨型墓鳖团目标进行检测。图像的流畅度也比较好。但与此同时也存在些问题。当出现 经物体时由f 三帧图像问黼一个运动榆测帧。在这种情况下由r 运动检测帧的变化较1 _ l；=。H2 6 4 的压缩算法无法对之进行有般地运动预测和压缩，以至于其大小在千字节左冉。致谢本文得到北京
44、化工大学大学生科拄创新基金项目(N o3 7 1 资助井往北京化工大学信息学院祝海江副教授的指导下完成，对此表示衷心(J：接第8 页)感谢参考文献川术“黄徉林，沈、“-等W 控幕境概述【M】北京：北求林业人学2 0 0 3【2 H2“n 度f i 科 D B O L h l l p：b a i k eb a i d uc o r n v i e w 5 6 3 2 2h n a【3】芒明穆煜城八L i n u x8 8J)l 开发鞍料【M】北京：人比邮电出版社【2 2】G L i a n g T C u iF a b r i c a t i o na n de h a m c t e H z
45、a t i o no f p o l y(3,4 e t h y l e n e d i o x y-1 1 1 i o p h e n e】?e l de f f e c lt r a n s i st o B J S o l i dS t a t eE l e c t r o n2 0 0 4，4 8 】)=8 7-8 9【2 3】E g a w aSN i i n oTH i g a c h iTF i I mm HP l a n a rc 1 I s n I l cs u r f a c e q r i v e 呲m fJ 1M l c mE l e c t r oM e c h a
46、n i c a lS y s l e m sM E M S。9 1，P r e c e d i n g s1 9 9 19 1 4【2 4】N i a w h o sDM a g n e t i cM E M S：K e y1 u e sa n dS o m eA p p l i c a t i o n sS e n s o T sa n dA c t u a t o r【J ：P h y s i c a l2 0 0 31 0 9-2 1：1 6 6 I7 32 5 1D e V 钟D o nLT l l【m M E M Sa n d M】I eS y s t m s J 1I E E ET
47、 m n c t i o n so nC o m p on e n l s a n d P a c k a g i n g T h n o l o g i e 9 2 0 0 2 2 5“l5 7 6-5 8 3【2 6】AB o s s c c hC V BC o t o f a JRM o l l i n g e rM E M SP a c k a g i n g：S t a t eo f t h eA na n df u t u r ct r e n d s J P 咖S P I E1 9 9 83 3 2 8：1 6 6-1 7 3【2 7】KP e l e n e nAN e wA
48、g ef o rM E M S，i n：D i g e s to f l h e1 3 t h【n t e m a l i o n a IC o n f e r e n c e 伽S o l i d S t a t eS c f l s o B【c】A c m m o n dM f o r o s y s t e m s2 0 0 5：1 4【2 8 M i c h a e l WJ u d yE v o l u t i o no f i n t e g r a t e d i n e r t i a lM E M St h n o l o g y C H i l t o nH e a dI
49、s l a n dS o u t hC a ro l i n a U S A：S o l i dS t a t eS e n s。r，A e r a t o ra n dM f o s y st e W o r k s hDo g e s t0-9 6 4 0 0 2 4-5-02 0 0 4：2 7u 3 2【2 9 D a r d nJY o u n g，I n t e r f a c eE l u o n i c s f o r M E M S-B a s e dw 1 R l e S e n s i n gA p p l i c a t i o n s J I E E E2 8 1 8
50、：1 3 0，1 3 3【3 0 CH a g l e i t n e r AH i 口l e m a n n DL a n c eAK u m m e r，NK e m c g$O8 r a mHB a S e sS m a r ts i n g l e t c h i pg a ss c n9”m i c m s y s t c m J】N 咖m2 0 0 I：2 9 3-2 9 6盼l】PK u 珊w s k i AH f o r l e m a n nC h i m ld i s c r i m i n a t i o np e rf o m l a R c eo fam o n o