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1、会计学1椭偏测薄膜厚椭偏测薄膜厚第一页，共28页。【实验【实验(shyn)原理】原理】n n有一束自然光通过起偏器后，变成了线偏振光，再经有一束自然光通过起偏器后，变成了线偏振光，再经过一个波片，变成了椭圆偏振光。这样的椭圆偏振光过一个波片，变成了椭圆偏振光。这样的椭圆偏振光入射到待测的薄膜表面上时入射到待测的薄膜表面上时(shnsh)(shnsh)，反射光的，反射光的偏振状态发生了变化。我们测量这种变化，就可以计偏振状态发生了变化。我们测量这种变化，就可以计算出待测薄膜的厚度。算出待测薄膜的厚度。n n（1 1）椭偏方程与薄膜折射率和厚度的测量）椭偏方程与薄膜折射率和厚度的测量n n图图8.
2、18.1所示为一光学均匀和各向同性的单层介质所示为一光学均匀和各向同性的单层介质膜，它有两个平行的界面。通常，上部是折射率为膜，它有两个平行的界面。通常，上部是折射率为n1n1的空气的空气(或真空或真空)中间是一层厚度为中间是一层厚度为d d折射率为折射率为n2n2的的介质薄膜，下层是折射率为介质薄膜，下层是折射率为n3n3的衬底，介质薄膜均匀的衬底，介质薄膜均匀地附在衬底上，当一束光射到膜面上时地附在衬底上，当一束光射到膜面上时(shnsh)(shnsh)，在界面，在界面1 1和界面和界面2 2上形成多次反射和折射，并且各反上形成多次反射和折射，并且各反射光和折射光分别产生多光束干涉其干涉结
3、果反映射光和折射光分别产生多光束干涉其干涉结果反映了膜的光学特性。了膜的光学特性。第2页/共28页第二页，共28页。n n 图图8.18.1第3页/共28页第三页，共28页。n n设设表示光的入射角，和分别为在界面表示光的入射角，和分别为在界面1 1和和2 2上的折射角上的折射角根据根据(gnj)(gnj)折射定律有折射定律有n n（8.18.1）n n光波的电矢量可以分解成在入射面内振动的光波的电矢量可以分解成在入射面内振动的p p分量和垂直分量和垂直于入射面振动的于入射面振动的s s分量若用分量若用EipEip和和EisEis分别代表入射光的分别代表入射光的p p和和s s分量，用分量，用
4、ErpErp及及ErsErs分别代表各束反射光分别代表各束反射光K0K0，K1K1，K2K2，中电矢量的中电矢量的p p分量之和及分量之和及s s分量之和，则膜对两个分分量之和，则膜对两个分量的总反射系数量的总反射系数RpRp和和RsRs定义为定义为n n（8.28.2）第4页/共28页第四页，共28页。n n经计算可得经计算可得n n（8.38.3）n n式中，式中，r1pr1p或或r1sr1s和和r2pr2p或或r2sr2s分别为分别为p p或或s s分量在界面分量在界面1 1和界面和界面2 2上一次反射的反射系数。为任意相邻两束上一次反射的反射系数。为任意相邻两束反射光之间的位相差。根据
5、电磁场的麦克斯韦反射光之间的位相差。根据电磁场的麦克斯韦(mikswi)(mikswi)方程和边界条件，可以证明方程和边界条件，可以证明n n（8.48.4）第5页/共28页第五页，共28页。n n式（式（8.48.4）即著名的菲涅尔（）即著名的菲涅尔（FresnelFresnel）反射系数公式。由）反射系数公式。由相邻两反射光束间的光程差，不难算出相邻两反射光束间的光程差，不难算出n n（8.58.5）n n式中，为真空中的波长，式中，为真空中的波长，d d和和n2n2为介质膜的厚度和折射率为介质膜的厚度和折射率n n在椭圆偏振法测量中，为了简便，通常在椭圆偏振法测量中，为了简便，通常(tn
6、gchng)(tngchng)引入另外两个物理量和来描述反射光偏振引入另外两个物理量和来描述反射光偏振态的变化它们与总反射系数的关系定义为态的变化它们与总反射系数的关系定义为第6页/共28页第六页，共28页。n n上式简称为椭偏方程，其中上式简称为椭偏方程，其中(qzhng)(qzhng)的和称为椭的和称为椭偏参数（由于具有角度量纲也称椭偏角）偏参数（由于具有角度量纲也称椭偏角）n n由式（由式（8.18.1）、（）、（8.48.4）、（）、（8.58.5）和上式可以看出，）和上式可以看出，参数和是参数和是n1,n2,n3,n1,n2,n3,和和d d的函数其中的函数其中(qzhng)n1,n
7、2,(qzhng)n1,n2,和可以是已知量，如果能从实和可以是已知量，如果能从实验中测出和的值，原则上就可以算出薄膜的折射率验中测出和的值，原则上就可以算出薄膜的折射率n2n2和厚度和厚度d d这就是椭圆偏振法测量的基本原理这就是椭圆偏振法测量的基本原理n n实际上，究竟和的具体物理意义是什么，如何实际上，究竟和的具体物理意义是什么，如何测出它们，以及测出后又如何得到测出它们，以及测出后又如何得到n2n2和和d d，均须作进，均须作进一步的讨论。一步的讨论。n n和的物理意义和的物理意义 n n用复数形式表示入射光和反射光的用复数形式表示入射光和反射光的p p和和s s分量分量第7页/共28
8、页第七页，共28页。n n（8.68.6）n n式中各绝对值为相应电矢量的振幅，各值为相应界式中各绝对值为相应电矢量的振幅，各值为相应界面处的位相由式（面处的位相由式（8.68.6）、（）、（8.68.6）可以）可以(ky)(ky)得到式（得到式（8.78.7）n n（8.78.7）n n n n比较等式两端即可得比较等式两端即可得n n（8.88.8）n n（8.98.9）第8页/共28页第八页，共28页。n n式（式（8.88.8）表明，参量与反射前后）表明，参量与反射前后p p和和s s分量的振幅比有分量的振幅比有关关(yugun)(yugun)而（而（8.98.9）式表明，参量与反射前
9、后）式表明，参量与反射前后p p和和s s分量的位相差有关分量的位相差有关(yugun)(yugun)可见，和直接反可见，和直接反映了光在反射前后偏振态的变化一般规定，和的变映了光在反射前后偏振态的变化一般规定，和的变化范围分别为化范围分别为和和。n n 当入射光为椭圆偏振光时，反射后一般为偏振态（指当入射光为椭圆偏振光时，反射后一般为偏振态（指椭圆的形状和方位）发生了变化的椭圆偏振光（除开椭圆的形状和方位）发生了变化的椭圆偏振光（除开且且的情况）为了能直接测得和，的情况）为了能直接测得和，须将实验条件作某些限制以使问题简化也就是要求须将实验条件作某些限制以使问题简化也就是要求入射光和反射光满
10、足以下两个条件：入射光和反射光满足以下两个条件：n n（1 1）要求入射在膜面上的光为等幅椭圆偏振光（即）要求入射在膜面上的光为等幅椭圆偏振光（即p p和和s s二分量的振幅相等）这时，二分量的振幅相等）这时，第9页/共28页第九页，共28页。n n式（式（8.88.8）则简化为）则简化为n n（8.108.10）n n（2 2）要求反射光为一线偏振光也就是要求（或），式）要求反射光为一线偏振光也就是要求（或），式（8.98.9）则简化为）则简化为n n（8.118.11）n n满足后一条件满足后一条件(tiojin)(tiojin)并不困难因为对某一特定的膜，并不困难因为对某一特定的膜，总反
11、射系数比总反射系数比是一定值式（是一定值式（8.68.6）决定了也是某一定）决定了也是某一定n n值根据（值根据（8.98.9）式可知，只要改变入射光二分量的位相差）式可知，只要改变入射光二分量的位相差，直到其大小为一适当值（具体方法见后面的叙述），就可，直到其大小为一适当值（具体方法见后面的叙述），就可以使以使（或（或），），第10页/共28页第十页，共28页。n n从而使反射光变成一线偏振光利用一检偏器可以检验此条件从而使反射光变成一线偏振光利用一检偏器可以检验此条件是否已满足是否已满足n n 以上两条件都得到满足时，式（以上两条件都得到满足时，式（8.108.10）表明，）表明，恰好是反
12、射恰好是反射光的光的p p和和s s分量的幅值比，分量的幅值比，是反射光线偏振方向与是反射光线偏振方向与s s方向间的夹方向间的夹角角(jijio)(jijio)，如图，如图8.28.2所示式（所示式（8.118.11）则表明，恰好是在膜面）则表明，恰好是在膜面上的入射光中上的入射光中s s和和s s分量间的位相差分量间的位相差 n n（3 3）和和的测量的测量n n实现椭圆偏振法测量的仪器称为椭圆偏振仪（简称椭偏仪）实现椭圆偏振法测量的仪器称为椭圆偏振仪（简称椭偏仪）它的光路原理如图它的光路原理如图8.38.3所示氦氖激光管发出的波长为所示氦氖激光管发出的波长为632.8nm632.8nm的
13、自然光，先后通过起偏器的自然光，先后通过起偏器Q Q，波片，波片C C入射在待测薄膜入射在待测薄膜F F上，反上，反射光通过检偏器射光通过检偏器R R射入光电接收器射入光电接收器T T如前所述，如前所述，p p和和s s分别代表分别代表平行和垂直于入射面的二个方向快轴方向平行和垂直于入射面的二个方向快轴方向f f，对于负是指平行，对于负是指平行于光轴的方向，对于正晶体是指垂直于光轴的方向于光轴的方向，对于正晶体是指垂直于光轴的方向t t代表代表Q Q的的偏振方向，偏振方向，f f代表代表C C的快轴方向，的快轴方向，trtr代表代表R R的偏振方向慢轴方向的偏振方向慢轴方向l l，对于负晶体是
14、指垂直于光轴方向，对于正晶体是指平等于光，对于负晶体是指垂直于光轴方向，对于正晶体是指平等于光轴方向无论起偏器的方位如何，轴方向无论起偏器的方位如何，第11页/共28页第十一页，共28页。n n经过它获得的线偏振光再经过经过它获得的线偏振光再经过波片后一般成为椭圆偏波片后一般成为椭圆偏振光为了在膜面上获得振光为了在膜面上获得p p和和s s二分量等幅的椭圆偏振光，只二分量等幅的椭圆偏振光，只须转动须转动波片，使其快轴方向波片，使其快轴方向f f与与s s方向的夹角方向的夹角即即可为了进一步使反射光变成为一线偏振光可为了进一步使反射光变成为一线偏振光E E，可转动起偏，可转动起偏器，使它的偏振方
15、向器，使它的偏振方向t t与与s s方向间的夹角方向间的夹角p1p1为某些特定值这为某些特定值这时，如果转动检偏器时，如果转动检偏器R R使它的偏振方向使它的偏振方向tr tr与与ErEr垂直垂直(chuzh)(chuzh)，则仪器处于消光状态，光电接收器，则仪器处于消光状态，光电接收器T T接收到的接收到的光强最小，检流计的示值也最小本实验中所使用的椭偏仪，光强最小，检流计的示值也最小本实验中所使用的椭偏仪，可以直接测出消光状态下的起偏角可以直接测出消光状态下的起偏角p1p1和检偏方位角和检偏方位角从式从式（8.118.11）可见，要求出）可见，要求出，还必须求出，还必须求出p1p1与与的的
16、关系。关系。第12页/共28页第十二页，共28页。n n n n图8.2 图8.3 从Q,C和R用虚线引下的三个插图(cht)都是迎光线看去的 第13页/共28页第十三页，共28页。n n下面就上述的等幅椭圆偏振光的获得及下面就上述的等幅椭圆偏振光的获得及P1P1与与的关系作的关系作进一步的说明如图进一步的说明如图8.48.4所示，设已将所示，设已将波片置于其快波片置于其快轴方向轴方向f f与与s s方向间夹角为方向间夹角为的方位的方位E0E0为通过起偏器为通过起偏器后的电矢量，后的电矢量，P1P1为为E0E0与与s s方向间的夹角（以下简称起偏角）方向间的夹角（以下简称起偏角）令令表示椭圆的
17、开口角（即两对角线间的夹角）由表示椭圆的开口角（即两对角线间的夹角）由晶体晶体(jngt)(jngt)光学可知，通过光学可知，通过波片后，波片后，E0E0沿快轴沿快轴的分量的分量EfEf与沿慢轴的分量与沿慢轴的分量ElEl比较，位相上超前比较，位相上超前。用。用数学式可以表达成数学式可以表达成n n（8.128.12）n n（8.138.13）n n从它们在从它们在p p和和s s两个方向的投影可得到两个方向的投影可得到p p和和s s的电矢量分别为：的电矢量分别为：第14页/共28页第十四页，共28页。n n图图8.48.4n n（8.148.14）第15页/共28页第十五页，共28页。n
18、n（8.158.15）n n由式（由式（8.148.14）和式（）和式（8.158.15）看出，当）看出，当波片放置在波片放置在角位置角位置(wizhi)(wizhi)时，的确在时，的确在p p和和s s二方向上得到了幅值均二方向上得到了幅值均为为的椭圆偏振入射光的椭圆偏振入射光p p和和s s的位相差为的位相差为n n（8.168.16）n n另一方面，从图另一方面，从图8.48.4上的几何关系可以得出，开口角上的几何关系可以得出，开口角与与起偏角起偏角p1p1的关系为的关系为，即，即n n（8.178.17）n n则（则（8.168.16）式变为）式变为n n（8.188.18）第16页/
19、共28页第十六页，共28页。n n由式（由式（8.158.15）可得）可得n n（8.198.19）n n至于检偏方位角至于检偏方位角，可以，可以(ky)(ky)在消光状态下直接读出在消光状态下直接读出n n在测量中，为了提高测量的准确性，常常不是只测一次消光状在测量中，为了提高测量的准确性，常常不是只测一次消光状态所对应的态所对应的p1p1和和值，而是将四种（或二种）消光位置所对值，而是将四种（或二种）消光位置所对应的四组（应的四组（p1,p1,）,（p2,p2,），），（p3,p3,n n）和（）和（p4,p4,）值测出，经处理后再算出）值测出，经处理后再算出和和 值其中，值其中，(p1,
20、)(p1,)和（和（p2,p2,）所对应的是）所对应的是波片快轴相对于波片快轴相对于S S方向置方向置时的两个消光位置（反射后时的两个消光位置（反射后p p和和s s光的位相差为光的位相差为0 0或为或为时均能时均能合成线偏振光）而（合成线偏振光）而（p3,p3,n n）和（）和（p4,p4,）对应的是）对应的是波片快轴相对于波片快轴相对于s s方向置方向置n n的两个消光位置另外，还可以的两个消光位置另外，还可以(ky)(ky)证明下列关系证明下列关系成立：成立：，。第17页/共28页第十七页，共28页。n n（a a）计算）计算值将值将p1,p2,p3p1,p2,p3和和p4p4中大于中大
21、于的减去的减去，不大，不大于于的保持原值，并分别记为的保持原值，并分别记为,，和和，然后分别求平均计算中，令，然后分别求平均计算中，令n n和和（8.208.20）n n而椭圆开口角而椭圆开口角与与和和的关系的关系(gunx)(gunx)为为n n（8.218.21）n n由式（由式（8.228.22）算得）算得后，再按表后，再按表8.18.1求得求得值利用类似于值利用类似于图图8.48.4的作图方法，分别画出起偏角的作图方法，分别画出起偏角p1p1在表在表8.18.1所指范围内的所指范围内的椭圆偏振光图，由图上的几何关系椭圆偏振光图，由图上的几何关系(gunx)(gunx)求出与公式求出与公
22、式（8.188.18）类似的）类似的 与与P1P1的关系的关系(gunx)(gunx)式，再利用式式，再利用式（8.208.20）就可以得出表）就可以得出表8.18.1中全部中全部与与的对应关系的对应关系(gun(gunx)x)第18页/共28页第十八页，共28页。n n表表8.1p18.1p1与与的对应关系的对应关系n n（b b）计算）计算值：应按公式（值：应按公式（15.2215.22）进行计算）进行计算n n（8.228.22）n n（4 4）折射率）折射率n2n2和膜厚和膜厚d d的计算的计算n n尽管在原则上由尽管在原则上由 和和能算出能算出n2n2和和d d，但实际上要直接，但实
23、际上要直接解出（解出（n2,dn2,d）和（）和（，）的函数关系式是很困难的）的函数关系式是很困难的一般在一般在n1n1和和n2n2均为实数（即为透明介质的），并且已知均为实数（即为透明介质的），并且已知衬底折射率衬底折射率n3n3（可以为复数（可以为复数(fsh)(fsh)）的情况下，将）的情况下，将（n2,dn2,d）和（）和（，）的关系制成数值表或列线图而求得）的关系制成数值表或列线图而求得n2n2和和d d值编制数值表的工作通常由计算机来完成制作值编制数值表的工作通常由计算机来完成制作第19页/共28页第十九页，共28页。n n的方法是，先测量（或已知）衬底的折射率的方法是，先测量（或
24、已知）衬底的折射率n2n2，取定一，取定一个入射角个入射角，设一个，设一个n2n2的初始值，令的初始值，令 从从0 0变到变到180180（变（变化步长可取化步长可取，等），利用式（等），利用式（8.48.4）、（）、（8.58.5）和（和（8.68.6），便可分别算出），便可分别算出d,d,和和值然后将值然后将n2n2增加一增加一个小量进行类似计算如此继续下去便可得到（个小量进行类似计算如此继续下去便可得到（n2,dn2,d）（，）的数值表为了使用方便，常将数值表绘）的数值表为了使用方便，常将数值表绘制成列线图用这种查表（或查图）求制成列线图用这种查表（或查图）求n2n2和和d d的方法，虽
25、的方法，虽然比较简单方便，但误差较大，故目前日益广泛地采用然比较简单方便，但误差较大，故目前日益广泛地采用计算机直接处理数据。计算机直接处理数据。n n另外，求厚度另外，求厚度(hud)d(hud)d时还需要说明一点：当时还需要说明一点：当n1n1和和n2n2为实数时，式（为实数时，式（8.48.4）中的）中的为实数，两相邻反射光为实数，两相邻反射光线间的位相差线间的位相差“亦为实数，其周期为亦为实数，其周期为。可能随着可能随着d d的的变化而处于不同的周期中若令变化而处于不同的周期中若令时对应的膜层时对应的膜层厚度厚度(hud)(hud)为第一个周期厚度为第一个周期厚度(hud)d0(hud
26、)d0，由，由（8.48.4）式可以得到）式可以得到 第20页/共28页第二十页，共28页。n n（8.238.23）n n由数值表，列线图或计算机算出的由数值表，列线图或计算机算出的d d值均是第一周期内值均是第一周期内的数值若膜厚大于的数值若膜厚大于d0d0，可用其它方法（如干涉法），可用其它方法（如干涉法）确定所在的周期数确定所在的周期数j j，则总膜厚是，则总膜厚是n n（8.248.24）n n（5 5）金属复折射率的测量）金属复折射率的测量n n以上讨论的主要是透明介质膜光学参数的测量，以上讨论的主要是透明介质膜光学参数的测量，膜对光的吸收可以忽略不计，因而膜对光的吸收可以忽略不计
27、，因而(ynr)(ynr)折射率为折射率为实数。金属是导电媒质，电磁波在导电媒质中传播要实数。金属是导电媒质，电磁波在导电媒质中传播要衰减，故各种导电媒质中都存在不同程度的吸收理衰减，故各种导电媒质中都存在不同程度的吸收理论表明，金属的介电常数是复数，其折射率也是复数论表明，金属的介电常数是复数，其折射率也是复数现表示为现表示为n n（8.258.25）第21页/共28页第二十一页，共28页。n n式中的实部式中的实部n2n2并不相当于透明介质的折射率换句话说，并不相当于透明介质的折射率换句话说，n2n2的物理意义不对应于光在真空中速度的物理意义不对应于光在真空中速度(sd)(sd)与介质中速
28、度与介质中速度(sd)(sd)的比值，所以也不能从它导出折射定律式中的比值，所以也不能从它导出折射定律式中 称称为吸收系数。为吸收系数。n n这里有必要说明的是，当这里有必要说明的是，当为复数时，一般为复数时，一般和和n n也为复数折射定律在形式上仍然成立，前述的菲涅尔反射也为复数折射定律在形式上仍然成立，前述的菲涅尔反射系数公式和椭偏方程也成立这时仍然可以通过椭偏法求得系数公式和椭偏方程也成立这时仍然可以通过椭偏法求得参量参量d,n2d,n2和和k k，但计算过程却要繁复得多。，但计算过程却要繁复得多。n n本实验仅测厚金属铝的复折射率，为使计算简化，将本实验仅测厚金属铝的复折射率，为使计算
29、简化，将式（式（8.258.25）改写成以下形式）改写成以下形式n n由于待测厚金属铝的厚度由于待测厚金属铝的厚度d d与光的穿透深度相比大得多，在与光的穿透深度相比大得多，在膜层第二个界面上的反射光可以忽略不计，因而可以直接引膜层第二个界面上的反射光可以忽略不计，因而可以直接引用单界面反射的菲涅尔反射系数公式用单界面反射的菲涅尔反射系数公式第22页/共28页第二十二页，共28页。n n（8.48.4）经推算后得）经推算后得n n，n n公式中的公式中的n1,n1,和和k k的意义均与透明介质情况下相同。的意义均与透明介质情况下相同。n n【实验仪器】【实验仪器】n n椭圆偏振仪分为椭圆偏振仪
30、分为(fnwi)(fnwi)光源、接收器、主机光源、接收器、主机三大部分。三大部分。n n实验仪器结构图实验仪器结构图第23页/共28页第二十三页，共28页。n n氦氖激光氦氖激光(jgung)(jgung)器，起偏器，器，起偏器，波片，入射光管，样品台，波片，入射光管，样品台，反射管，检偏器，硅光电池，直流放大器及激光反射管，检偏器，硅光电池，直流放大器及激光(jgung)(jgung)电电源。源。n n光源：采用波长为光源：采用波长为632.8nm632.8nm氦氖激光氦氖激光(jgung)(jgung)光源，其光源，其特点是光强大、能量集中、单色性好、相干性好。特点是光强大、能量集中、单
31、色性好、相干性好。n n接收器：采用硅光电池，把光信号变为电信号，经直流放接收器：采用硅光电池，把光信号变为电信号，经直流放大器输出至指示表。大器输出至指示表。n n主机部分：除以上提到的光源与接收器外，还有起偏器、主机部分：除以上提到的光源与接收器外，还有起偏器、波片、入射光管、样品台、反射管和检偏器等。波片、入射光管、样品台、反射管和检偏器等。n n【实验内容】【实验内容】n n（1 1）接通激光）接通激光(jgung)(jgung)电源和硅光电池电源，在样品电源和硅光电池电源，在样品台上放好被测样品，将手轮转至台上放好被测样品，将手轮转至“目视目视”位置，从观察窗看光位置，从观察窗看光束
32、，调节平台高度调节钮，使观察窗中的光点最亮最圆。束，调节平台高度调节钮，使观察窗中的光点最亮最圆。第24页/共28页第二十四页，共28页。n n（2 2）调节好样品态后，转动起偏器刻度盘手轮，）调节好样品态后，转动起偏器刻度盘手轮，目测目测(mc)(mc)光强变化，当光强最小时，起偏器位置保光强变化，当光强最小时，起偏器位置保持不动。持不动。n n（3 3）转动检偏器刻度盘手轮，目测）转动检偏器刻度盘手轮，目测(mc)(mc)光强光强变化，当光强最小时，检偏器位置保持不动。变化，当光强最小时，检偏器位置保持不动。n n（4 4）此时将观察窗盖严，然后将转镜手轮转到光）此时将观察窗盖严，然后将转
33、镜手轮转到光电接收位置，观察放大器指示表（电接收位置，观察放大器指示表（10-1110-11），反复交替），反复交替微调起偏器、检偏器手轮，使表的示值最小（对应消微调起偏器、检偏器手轮，使表的示值最小（对应消光）。光）。n n（5 5）从起偏器刻度盘及游标盘上读出起偏器方位）从起偏器刻度盘及游标盘上读出起偏器方位角角P P，从检偏器刻度盘及游标盘上读出检偏方位角，从检偏器刻度盘及游标盘上读出检偏方位角A A。n n（6 6）重复以上）重复以上3,4,53,4,5步骤，测出另一组消光位置步骤，测出另一组消光位置的方位角读数。的方位角读数。n n【数据处理】【数据处理】n n将两组（将两组（P,A
34、P,A）换算，求平均值，方法如下：）换算，求平均值，方法如下：n n（1 1）区分（）区分（P1,A1P1,A1）和（）和（P2,A2P2,A2），当其中一组），当其中一组的的A A符合符合条件，这一组被认定为（条件，这一组被认定为（P1,A1P1,A1），），第25页/共28页第二十五页，共28页。n n另一组则为（另一组则为（P2,A2P2,A2）。）。n n（2 2）把（）把（P2,A2P2,A2）根据下式换算成（）根据下式换算成（），），n n（3 3）把（）把（P1,A1P1,A1）与（）与（）求平均值，即）求平均值，即n n，n n（4 4）利用配套软件，填入（）利用配套软件，填入
35、（）值，得到待测薄膜的）值，得到待测薄膜的厚度。厚度。n n【注意事项】【注意事项】n n（1 1）不允许用强激光或其他光照射硅光电池，必须）不允许用强激光或其他光照射硅光电池，必须(bx)(bx)先用目视法充分消光后，才能进行测量；先用目视法充分消光后，才能进行测量；n n（2 2）由于样品表面的反射，在光屏上有时可能出现两）由于样品表面的反射，在光屏上有时可能出现两个光点，调节消光时，有明暗变化的应为主光点，个光点，调节消光时，有明暗变化的应为主光点，第26页/共28页第二十六页，共28页。n n副光点可以不管。副光点可以不管。n n（3 3）波片一般情况下不允许转动，以免造成测量误差。波
36、片一般情况下不允许转动，以免造成测量误差。n n【附【附1 1】软件的使用方法】软件的使用方法n n1 1在参数设置栏中对已存在各项的默认值调整为当前测在参数设置栏中对已存在各项的默认值调整为当前测试样品及所用参数的正确值。试样品及所用参数的正确值。n n2 2用（用（）值填入右侧相应位置（）值填入右侧相应位置（会自动算出），会自动算出），单击查表按键，即可在其上方的表格中显示单击查表按键，即可在其上方的表格中显示(xinsh)(xinsh)出与真出与真值偏差值在值偏差值在（此处的（此处的为厚度的均方差）范围内的厚度值表，为厚度的均方差）范围内的厚度值表，选取表内选取表内最小值对应的厚度值最小值对应的厚度值d d作为测得的厚度。作为测得的厚度。第27页/共28页第二十七页，共28页。感谢您的观看感谢您的观看(gunkn)！第28页/共28页第二十八页，共28页。