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1、第四章光电发射器件第一页，本课件共有51页光电阴极材料 1.单碱与多碱锑化物光阴极 锑铯(Cs3Sb)光电阴极是最常用的，量子效率很高的光电阴极。长波限约为650nm，对红外不灵敏。锑铯阴极的峰值量子效率较高，一般高达20%30%，比银氧铯光电阴极高30多倍。两种或三种碱金属与锑化合形成多碱锑化物光阴极。其量子效率峰值可高达30%。第二页，本课件共有51页2.银氧铯与铋银氧铯光阴极银氧铯(Ag-O-Cs)阴极是最早使用的高效光阴极。它的特点是对近红外辐射灵敏。制作过程是先在真空玻璃壳壁上涂上一层银膜再通入氧气，通过辉光放电使银表面氧化，对于半透明银膜由于基层电阻太高，不能用放电方法而用射频加热
2、法形成氧化银膜，再引入铯蒸汽进行敏化处理，形成Ag-O-Cs薄膜。银氧铯光电阴极的相对光谱响应曲线画从图5-1中可以看出，它有两个峰值，一个在350nm处，一个在800nm处。光谱范围在300nm到1200nm之间。量子效率不高，峰值处约0.5%1%左右。银氧铯使用温度可达100，但暗电流较大，且随温度变化较快。第三页，本课件共有51页 光电发射阴极的主要参数光电发射阴极的主要参数 光电发射阴极的主要特性参数为灵敏度、量子效率、光谱响应和暗电流等。1.灵敏度光电发射阴极的灵敏度应包括光谱灵敏度与积分灵敏度两种。11)光谱灵敏度 定义在单色（单一波长）辐射作用于光电阴极时，光电阴极输出电流Ik与
3、单色辐射通量e,之比为光电阴极的光谱灵敏度Se,。即Se,=IK/e,，其量纲为A/W或A/W。第四页，本课件共有51页2)积分灵敏度定义在某波长范围内的积分辐射作用于光电阴极时，光电阴极输出电流Ik与入射辐射通量e之比为光电阴极的积分灵敏度Se。即 ，量纲为mA/W或A/W。在可见光波长范围内的“白光”作用于光电阴极时，光电阴极电流Ik与入射光通量v之比为光电阴极的白光灵敏度Sv。即Sv=，量纲为mA/lm。第五页，本课件共有51页v2.量子效率 定义在单色辐射作用于光电阴极时，光电阴极发射单位时间发射出去的光电子数Ne,与入射的光子数之比为光电阴极的量子效率（或称量子产额）。即 。量子效率
4、和光谱灵敏度是一个物理量的两种表示方法。它们之间的关系为（5-1）第六页，本课件共有51页v3.光谱响应 光电发射阴极的光谱响应特性用光谱响应特性曲线描述。光电发射阴极的光谱灵敏度或量子效率与入射辐射波长的关系曲线称为光谱响应。4.暗电流 光电发射阴极中少数处于较高能级的电子在室温下获得了热能产生热电子发射，形成暗电流。光电发射阴极的暗电流与材料的光电发射阈值有关。一般光电发射阴极的暗电流极低，其强度相当于10-1610-18Acm-2的电流密度。第七页，本课件共有51页4.1 真空光电管与光电倍增管的工作原理 v4.1.1 真空光电管的原理真空光电管的原理 真空光电管主要由光电阴极和阳极两部
5、分组成，因管内常被抽成真空而称为真空光电管。然而，有时为了使某种性能提高，在管壳内也充入某些低气压惰性气体形成充气型的光电管。无论真空型还是充气型均属于光电发射型器件，称为真空光电管或简称为光电管。其工作原理电路如图5-2所示，在阴极和阳极之间加有一定的电压，且阳极为正极，阴极为负极。第八页，本课件共有51页1、真空型光电管的工作原理 当入射光透过真空型光电管的入射窗照射到光电阴极面上时，光电子就从阴极发射出去，在阴极和阳极之间形成的电场作用下，光电子在极间作加速运动，被高电位的阳极收集，其光电流的大小主要由阴极灵敏度和入射辐射的强度决定。第九页，本课件共有51页2、充气型光电管的工作原理 充
6、气光电管（又称离子光电管）由封装于充气管内的光阴极和阳极构成。它不同于真空光电管的是，光电子在电场作用下向阳极运动时与管中气体原子碰撞而发生电离现象。由电离产生的电子和光电子一起都被阳极接收，正离子却反向运动被阴极接收。因此在阳极电路内形成数倍于真空光电管的光电流。充气光电管最大缺点是在工作过程中灵敏度衰退很快，其原因是正离子轰击阴极而使发射层的结构破坏。充气光电管按管内充气不同可分为单纯气体型和混合气体型。单纯气体型：这种类型的光电管多数充氩气，优点是氩原子量小，电离电位低，管子的工作电压不高。有些管内充纯氦或纯氖，要求工作电压提高。混合气体型：这种类型的管子常选氩氖混合气体，其中氩占10左
7、右。由于氩原子的存在使处于亚稳态的氖原子碰撞后即能恢复常态，因此减少惰性 。第十页，本课件共有51页v4.1.2 4.1.2 光电倍增管的原理光电倍增管的原理 光电倍增管（Photo-multipletube简称为PMT）是一种真空光电发射器件，它主要由光入射窗、光电阴极、电子光学系统、倍增极和阳极等部分组成。如图5-3所示为光电倍增管原理示意图。第十一页，本课件共有51页v4.1.3 4.1.3 光电倍增管的结构光电倍增管的结构 1.PMT的入射窗结构 端窗型（Head-on）(如a、b、c）和侧窗型（Side-on）（如d）结构的光电倍增管都有一个光阴极。侧窗型的光电倍增管，从玻璃壳的侧面
8、接收入射光，而端窗型光电倍增管是从玻璃壳的顶部端面接收入射光。通常情况下，侧窗型光电倍增管价格较便宜，大部分的侧窗型光电倍增管使用了不透明光阴极（反射式光阴极）和环形聚焦型电子倍增极结构，这使其在较低的工作电压下具有较高的灵敏度。2.倍增极结构 1 1）倍增极材料）倍增极材料 锑化铯（CsSb）材料具有很好的二次电子发射功能，它可以在较低的电压下产生较高的发射系数，电压高于400V时的值可高达10倍。氧化的银镁合金材料也具有二次电子发射功能，它与锑化铯相比二次电子发射能力稍差些，但它可以工作在较强电流和较高的温度（150）。第十二页，本课件共有51页铜-铍合金（铍的含量为2%）材料也具有二次电
9、子发射功能，不过它的发射系数比银镁合金更低些。新发展起来的负电子亲和势材料GaPCs，具有更高的二次电子发射功能，在电压为1000V时，倍增系数可大于50或高达200。（2）倍增极结构倍增极结构 光电倍增管按倍增极结构可分为聚焦型与非聚焦型两种。非聚焦型光电倍增管有百叶窗型（图5-4（a）与盒栅式（图5-4（b）两种结构；聚焦型有瓦片静电聚焦型（图5-4（c）和圆形鼠笼式（图5-4（d）两种结构。第十三页，本课件共有51页(a)百叶窗型结构因倍增极可以较大而被用于大阴极的光电倍增管中，其一致性较好，可以有大的脉冲输出电流。这种结构多用于不太要求时间响应的场合。(b)这种结构包括了一系列的四分之
10、一圆柱形的倍增极，并因其相对简单的倍增极结构和一致性的改良而被广泛地应用于端窗型光电倍增管，但在一些应用中，其时间响应可能略显缓慢。(c)直线聚焦型因其极快的时间响应而被广泛地应用于要求时间分辨和线性脉冲研究用的端窗型光电倍增管中。(d)主要特点为紧凑的结构和快速时间响应特性 第十四页，本课件共有51页4.2 光电倍增管的基本特性 v4.2.1 灵敏度 1 1、阴极灵敏度、阴极灵敏度 定义光电倍增管阴极电流定义光电倍增管阴极电流Ik与入射光谱辐射通量之比为与入射光谱辐射通量之比为阴极的光谱灵敏度，并记为阴极的光谱灵敏度，并记为(5-2)若入射辐射为白光，则以阴极积分灵敏度，若入射辐射为白光，则
11、以阴极积分灵敏度，IK与光谱辐与光谱辐射通量的积分之比，记为射通量的积分之比，记为Sk(5-3)第十五页，本课件共有51页 2、阳极灵敏度 定义光电倍增管阳极输出电流定义光电倍增管阳极输出电流I Ia a与入射光谱辐射通量之比为与入射光谱辐射通量之比为阳极的光谱灵敏度，并记为阳极的光谱灵敏度，并记为 若入射辐射为白光，则定义为阳极积分灵敏度，记为若入射辐射为白光，则定义为阳极积分灵敏度，记为Sa(5-4)(5-5)第十六页，本课件共有51页v4.2.2 4.2.2 电流放大倍数（增益）电流放大倍数（增益）电流放大倍数表征了光电倍增管的内增益特性，它不但与倍增极材料的二次电子发射系数有关，而且与
12、光电倍增管的级数N有关。理想光电倍增管的增益G与电子发射系数的关系为 G=n（5-6）当考虑到光电阴极发射出的电子被第1倍增极所收集，其收集系数为1，且每个倍增极都存在收集系数i，因此，增益G应修正为(5-7)第十七页，本课件共有51页 对于非聚焦型光电倍增管的1近似为90%，i要高于1，但小于1；对于聚焦型的，尤其是在阴极与第1倍增极之间具有电子限束电极F的倍增管，其1i 1，可以用式（5-6）计算增益G。倍增极的二次电子发射系数可用经验公式计算，对于锑化铯（Cs3Sb）倍增极材料有经验公式（5-8）对于氧化的银镁合金（AgMgOCs）材料有经验公式=0.025UDD(5-9)显然，上述两种
13、倍增材料的电流增益G与极间电压UDD的关系式由式（5-6），（5-7）和（5-8）得到：第十八页，本课件共有51页对于锑化铯倍增极材料（5-10）对银镁合金材料（5-11）光电倍增管在电源电压确定后，电流放大倍数可以从定义出发，通过测量阳极电流Ia与阴极电流Ik确定。（5-12）第十九页，本课件共有51页v4.2.3 暗电流 光电倍增管在无辐射作用下的阳极输出电流称为暗电流，记为ID。光电倍增管的暗电流值在正常应用的情况下是很小的，一般为10-1610-10A，是所有光电探测器件中暗电流最低的器件。影响暗电流的主要因素：1.欧姆漏电 欧姆漏电主要指光电倍增管的电极之间玻璃漏电、管座漏电和灰尘漏
14、电等。欧姆漏电通常比较稳定，对噪声的贡献小。在低电压工作时，欧姆漏电成为暗电流的主要部分。第二十页，本课件共有51页2.热发射 由于光电阴极材料的光电发射阈值较低，容易产生热电子发射，即使在室温下也会有一定的热电子发射，并被电子倍增系统倍增。（5-13）降低光电倍增管的温度是减小热发射暗电流的有效方法。3.残余气体放电 光电倍增管中高速运动的电子会使管中的残余气体电离，产生正离子和光子，它们也将被倍增，形成暗电流。这种效应在工作电压高时特别严重，使倍增管工作不稳定。第二十一页，本课件共有51页4.场致发射 光电倍增管的工作电压高时还会引起管内电极尖端或棱角的场强太高产生的场致发射暗电流。显然降
15、低工作电压，场致发射暗电流也将下降。5.玻璃壳放电和玻璃荧光 当光电倍增管负高压使用时，金属屏蔽层与玻璃壳之间的电场很强，尤其是金属屏蔽层与处于负高压的阴极电场最强。在强电场下玻璃壳可能产生放电现象或出现玻璃荧光，放电和荧光都要引起暗电流，而且还将严重破坏信号。因此，在阴极为负高压应用时屏蔽壳与玻璃管壁之间的距离至少为1020mm。第二十二页，本课件共有51页v4.2.4 噪声 光电倍增管的噪声主要由散粒噪声和负载电阻的热噪声组成。负载电阻的热噪声为（5-14）散粒噪声主要由阴极暗电流Id，背景辐射电流Ib以及信号电流Is的散粒效应所引起的。阴极散粒噪声电流为（5-15）散粒噪声电流将被逐级放
16、大，并在每一级都产生自身的散粒噪声。如第1级输出的散粒噪声电流为（5-16）第二十三页，本课件共有51页第2级输出的散粒噪声电流为第n级倍增极输出的散粒噪声电流为为简化问题，设各倍增极的发射系数都等于（各倍增极的电压相等时发射系数相差很小）时，则倍增管末倍增极输出的散粒噪声电流为（5-19）第二十四页，本课件共有51页通常在36之间，接近于1，并且，越大，越接近于1。光电倍增管输出的散粒噪声电流简化为（5-20）总噪声电流为（5-21）在设计光电倍增管电路时，总是力图使负载电阻的热噪声远小于散粒噪声（5-21）第二十五页，本课件共有51页设光电倍增管的增益G=104，阴极暗电流Idk=10-1
17、4A，在室温300K情况下，只要阳极负载电阻Ra满足（5-23）当然，提高光电倍增管的增益（增高电源电压）G，降低阴极暗电流Idk都会减少对阳极电阻Ra的要求，提高光电倍增管的时间响应。第二十六页，本课件共有51页v4.2.5 伏安特性 1.阴极伏安特性当入射光电倍增管阴极面上的光通量一定时，阴极电流Ik与阴极和第一倍增极之间电压(简称为阴极电压Uk)的关系曲线称为阴极伏安特性，图5-6为不同光通量下测得的阴极伏安特性。从图中可见，当阴极电压较小时阴极电流Ik随Uk的增大而增加，直到Uk大于一定值(几十伏特)后，阴极电流Ik才趋向饱和，且与入射光通量成线性关系。第二十七页，本课件共有51页v2
18、.阳极伏安特性 当入射到光电倍增管阴极面上的光通量一定时，阳极电流Ia与阳极和末级倍增极之间电压(简称为阳极电压Ua)的关系曲线称为阳极伏安特性，图5-7为3组不同强度的光通量的伏安特性。当阳极电压增大到一定程当阳极电压增大到一定程度后，被增大的电子流已经能够度后，被增大的电子流已经能够完全被阳极所收集，阳极电流完全被阳极所收集，阳极电流I Ia a与入射到阴极面上的光通量与入射到阴极面上的光通量成线性关系而与阳极电压的变成线性关系而与阳极电压的变化无关。化无关。（5-24）第二十八页，本课件共有51页v4.2.6 线性 光电倍增管的线性一般由它的阳极伏安特性表示，光电倍增管的线性一般由它的阳
19、极伏安特性表示，它是光电测量系统中的一个重要指标。线性不仅与光电它是光电测量系统中的一个重要指标。线性不仅与光电倍增管的内部结构有关，还与供电电路及信号输出电路倍增管的内部结构有关，还与供电电路及信号输出电路等因素有关。等因素有关。(1)内因，内因，即空间电荷、光电阴极的电阻率、聚焦或收集效率等的变化，(2)外因，外因，光电倍增管输出信号电流在负载电阻上的压降对末级倍增极电压产生负反馈和电压的再分配都可能破坏输出信号的线性。第二十九页，本课件共有51页v4.2.7 疲劳与衰老 光电阴极材料和倍增极材料中一般都含有铯金属。当电子束较强时，电子束的碰撞会使倍增极和阴极板温度升高，铯金属蒸发，影响阴
20、极和倍增极的电子发射能力，使灵敏度下降。甚至使光电倍增管的灵敏度完全丧失。因此，必须限制入射的光通量使光电倍增管的输出电流不得超过极限值IaM。为防止意外情况发生，应对光电倍增管进行过电流保护，阳极电流一旦超过设定值便自动关断供电电源。第三十页，本课件共有51页4.3 光电倍增管的供电电路 v4.3.1 电阻链分压型供电电路电阻链分压型供电电路 光电倍增管具有极高的灵敏度和快速响应等特点，使它在光谱探测和极微弱快速光信息的探测等方面成为首选的光电探测器。光电倍增管的供电电路种类很多，可以根据应用的情况设计出各具特色的供电电路。本节介绍最常用的电阻分压式供电电路。第三十一页，本课件共有51页如图
21、5-8所示为典型光电倍增管的电阻分压式供电电路。电路由11个电阻构成电阻链分压器，分别向10级倍增极提供电压UDD。1、电阻链的设计第三十二页，本课件共有51页考虑到光电倍增管各倍增极的电子倍增效应，各级的电子流考虑到光电倍增管各倍增极的电子倍增效应，各级的电子流按放大倍率分布，其中，阳极电流按放大倍率分布，其中，阳极电流Ia最大。因此，电阻链分压器最大。因此，电阻链分压器中流过每级电阻的电流并不相等，但是，当流过分压电阻的电中流过每级电阻的电流并不相等，但是，当流过分压电阻的电流流IR远远大于远远大于Ia时，即时，即IRIa时，流过各分压电阻时，流过各分压电阻Ri的电流的电流近似相等。工程上
22、常设计近似相等。工程上常设计IR大于等于大于等于10倍的倍的Ia电流。电流。IR10Ia（5-25）选择的太大将使分压电阻功率损耗加大，倍增管温度升高导致性能的降低，以至于温升太高而无法工作。选定电流后，可以计算出电阻链分压器的总阻值R 第三十三页，本课件共有51页R=Ubb/IR（5-26）各分压电阻Ri为(5-28)而R1应为R1=1.5Ri2、电源电压、电源电压极间供电电压UDD直接影响着二次电子发射系数，或管子的增益G。因此，根据增益G的要求可以设计出极间供电电压UDD与电源电压Ubb。由可以计算出UDD与Ubb。第三十四页，本课件共有51页v3.末极的并联电容 当入射辐射信号为高速的
23、迅变信号或脉冲时，末3级倍增极电流变化会引起较大UDD的变化，引起光电倍增管增益的起伏，将破坏信息的变换。在末3极并联3个电容C1、C2与C3，通过电容的充放电过程使末3级电压稳定。电容C1、C2与C3的计算公式为 式中N为倍增极数，Iam为阳极峰值电流，为脉冲的持续时间，UDD为极间电压，L为增益稳定度的百分数。第三十五页，本课件共有51页v4.3.2 电源电压的稳定度 对式（5-8）与式（5-9）进行微分，并用增量形式表示，可得到光电倍增管的电流增益稳定度与极间电压稳定度的关系,对锑化铯倍增极对银镁合金倍增极 由于光电倍增管的输出信号Uo=GSkvRL，因此，输出信号的稳定度与增益的稳定度
24、有关第三十六页，本课件共有51页 在实际应用中常常对电源电压稳定度的要求简单地认为高于输出电压稳定度一个数量级。例如，当要求输出电压稳定度为1%时，则要求电源电压稳定度应高于0.1%。例例5-1设入射到PMT上的最大光通量为v=1210-6lm左右，当采用GDB-235型倍增管为光电探测器，已知它的倍增级数为8级，阴极为SbCs材料，倍增极也为SbCs材料，阳极电阻Ra=82k，SK=40A/lm，若要求入射光通量在0.610-6lm时的输出电压幅度不低于0.2V，试设计该PMT的变换电路。若供电电压的稳定度只能做到0.01%，试问该PMT变换电路输出信号的稳定度最高能达到多少？解解 (1)首
25、先计算供电电源的电压第三十七页，本课件共有51页 Iamin=UO/Ra=0.2V/82k=2.439A入射光通量为0.610-6lm时的阴极电流为IK=SKv=4010-60.610-6=2410-6A此时，PMT的增益G应为由于N=8，因此，每一级的增益=4.227，另外，SbCs倍增极材料的增益与极间电压UDD有，可以计算出=4.227时的极间电压UDD总电源电压Ubb为Ubb=（N+1.5）UDD=741V第三十八页，本课件共有51页(2)计算偏置电路电阻链的阻值偏置电路采用如图5-8所示的供电电路，设流过电阻链的电流为IRi，流过阳极电阻Ra的最大电流为Iam=GSKvm=1.021
26、054010-61210-6=48.96A取IRi10 Iam，则 IRi=500A因此，电阻链的阻值Ri=UDD/IRi=156k 取Ri=120 k，R1=1.5Ri=180 k。(3)计算偏置根据式（4-35）输出信号电压的稳定度最高为第三十九页，本课件共有51页例例5-2如果GDB-235的阳极最大输出电流为2mA，试问阴极面上的入射光通量不能超过多少lm？解解由于Iam=G SKVm故阴极面上的入射光通量不能超过第四十页，本课件共有51页4.4 光电倍增管的典型应用 5.5.1 光谱探测领域的应用 光电倍增管不但具有极高的光电灵敏度、极快的响应速度、极低的暗电流低和噪声，还能够在很大
27、范围内调整内增益。因此，它在微光探测、快速光子计数和微光时域分析等领域得到广泛的应用。1、发射光谱 发射光谱分析仪的基本原理如图5-9所示第四十一页，本课件共有51页v2 2吸收光谱吸收光谱 吸收光谱仪是光谱分析中的另一种重要的仪器。吸收光谱仪的原理图如图5-10所示，它与发射光谱仪的主要差别是光源。发射光谱仪的光源为被测光源，而吸收光谱仪的光源为已知光谱分布的光源。吸收光谱仪与发射光谱仪相比，它比发射光谱仪多一个承载被测物的样品池。第四十二页，本课件共有51页v4.4.2 4.4.2 时间分辨荧光免疫分析中的应用时间分辨荧光免疫分析中的应用 1983年，由Pettersson和Eskola等
28、提出了用时间分辨荧光免疫分析（time-resolvedfluoroimmunoassay，TRFIA）法测定人绒毛膜促性腺激素和胰磷脂酶在临床医学研究中的应用，在10多年中，获得迅速发展。成为最有发展前途的一种全新的非同位素免疫分析技术。1.时间分辨荧光免疫分析法TRFIA的原理 时间分辨荧光免疫分析法是用镧系元素为标记物，标记抗原或抗体，用时间分辨技术测量荧光，同时利用波长和时间两种分辨，极其有效地排除了非特异荧光的干扰，大大地提高了分析灵敏度。第四十三页，本课件共有51页 图5-11所示为镧系元素螯合物与典型配位体-NTA的吸收光谱与发光光谱图。图中曲线1为镧系元素螯合物与配位体-NTA
29、的吸收光谱。由曲线1可以看出螯合物与配位体-NTA对320360nm的紫外光具有很高的吸收，因此，常用含有320360nm光的脉冲氙灯或氮激光器为激发光源使装载配位体的螯合物激发荧光。Eu3+-NTA螯合物在激发光源的作用下将发出如图中曲线2与3所示的荧光光谱。曲线3光谱载荷着配位体-NTA的信息。图5-11为双坐标曲线图，其中re,r为螯合物的相对吸收系数，Iv为螯合物激发出的荧光光强。第四十四页，本课件共有51页 图5-12所示为载荷配位体-NTA的螯合物荧光时间特性。图中，激发光刚刚结束的时刻为初始时刻t=0，在最初的很短时间内，短寿命荧光很快结束，长寿命荧光在400ns时间内也会消失或
30、降低到很低的程度，而有用的荧光出现在400ns800ns时间段内（图中斜线所标注的时间段）。在800ns1000ns时间内有用的荧光将衰减到零。1000ns后开始新的循环。第四十五页，本课件共有51页v2.TRFIA的测量原理 第四十六页，本课件共有51页4.1.1 4.1.1 光电发射阴极的主要参数光电发射阴极的主要参数 光电发射阴极的主要特性参数为灵敏度、量子效率、光谱响应和暗电流等。1.灵敏度光电发射阴极的灵敏度应包括光谱灵敏度与积分灵敏度两种。11)光谱灵敏度 定义在单色（单一波长）辐射作用于光电阴极时，光电阴极输出电流Ik与单色辐射通量e,之比为光电阴极的光谱灵敏度Se,。即Se,=
31、IK/e,，其量纲为A/W或A/W。第四十七页，本课件共有51页2)积分灵敏度定义在某波长范围内的积分辐射作用于光电阴极时，光电阴极输出电流Ik与入射辐射通量e之比为光电阴极的积分灵敏度Se。即 ，量纲为mA/W或A/W。在可见光波长范围内的“白光”作用于光电阴极时，光电阴极电流Ik与入射光通量v之比为光电阴极的白光灵敏度Sv。即Sv=，量纲为mA/lm。第四十八页，本课件共有51页v2.量子效率 定义在单色辐射作用于光电阴极时，光电阴极发射单位时间发射出去的光电子数Ne,与入射的光子数之比为光电阴极的量子效率（或称量子产额）。即 。量子效率和光谱灵敏度是一个物理量的两种表示方法。它们之间的关
32、系为（5-1）第四十九页，本课件共有51页v3.光谱响应 光电发射阴极的光谱响应特性用光谱响应特性曲线描述。光电发射阴极的光谱灵敏度或量子效率与入射辐射波长的关系曲线称为光谱响应。4.暗电流 光电发射阴极中少数处于较高能级的电子在室温下获得了热能产生热电子发射，形成暗电流。光电发射阴极的暗电流与材料的光电发射阈值有关。一般光电发射阴极的暗电流极低，其强度相当于10-1610-18Acm-2的电流密度。第五十页，本课件共有51页2.银氧铯与铋银氧铯光阴极银氧铯(Ag-O-Cs)阴极是最早使用的高效光阴极。它的特点是对近红外辐射灵敏。制作过程是先在真空玻璃壳壁上涂上一层银膜再通入氧气，通过辉光放电使银表面氧化，对于半透明银膜由于基层电阻太高，不能用放电方法而用射频加热法形成氧化银膜，再引入铯蒸汽进行敏化处理，形成Ag-O-Cs薄膜。银氧铯光电阴极的相对光谱响应曲线画从图5-1中可以看出，它有两个峰值，一个在350nm处，一个在800nm处。光谱范围在300nm到1200nm之间。量子效率不高，峰值处约0.5%1%左右。银氧铯使用温度可达100，但暗电流较大，且随温度变化较快。第五十一页，本课件共有51页