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1、1/1 1微机电陀螺主要分为哪几种？答案：单梁谐振器，平衡谐振器，圆柱壳谐振器 2微机电陀螺的特点是什么？答案：体积小，重量轻，可以大规模集成化生产，成本低廉，但技术复杂，目前 产品精度较低。3解释 MEMS 的概念。答案：二十世纪八十年代后期国际上兴起了一项高技术学科，该高技术学科就是 目前非常热门的 MEMS（MicroElectromechanicalSystem,微机电系统）技术，它 是多项学科交叉的前沿研究领域，它涉及电子、机械、材料、物理学、化学等 多种学科与技术。完整的 MEMS 是由微机械传感器、微执行器、信号处理和控 制电路、通讯接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统。其
2、目标是把信 息的获取、处理和执行集成在一起，组成具有多功能的微型系统，从而大幅度 地提高整机电子系统的自动化、智能化和可靠性水平，如微喷墨打印头、微型 惯性器件、环境检测微系统、MEMS 微型电池、微型 MEMS 致冷器、微型药物 释放系统等。4论述 MEMS 技术对航空航天仪表发展的作用，并以实例说明。MEMS（MicroElectromechanicalSystem,微机电系统）技术在飞行器的电子 设备、导航惯性器件、飞行器设计及微小卫星等技术方面都有重要作用。其 中，集合 MEMS 陀螺仪、MEMS 加速度计及其信号处理单元便可构成微小型惯 性测量单元,其体积和质量比常规惯性导航系统至少下降 23 个数量级,这种 微小型惯性测量单元在未来航空飞行器及航天器的姿态控制、测量及导航领域 具有重要的应用价值。