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1、页 次文件名称:ESD-20G 智能型静电放电发生器操作规程A-0文件编号MT-QIC3096生效日期2012-6-1第1页,共 7 页版本核准:审核:拟稿:1.目的规定本仪器的操作方法,保证测试结果的准确精度,确保使用人员能正确、安全操作,避免误操作造成不必要的事故;2.适用范围采用微电子器件组装的产品或电子器件;3.使用条件 3.1 电压:220V10%;50-60Hz 3.2 温度:15-35 3.3 相对湿度:30%-60%3.4 大气压力:68-106KPa4.操作步骤4.1 通过后面板上的“POWER IN”插座将仪器与外部电源相连(如图 2);4.2 将放电松插入“HV.OUTP
2、UT”插口,注意插入时放电枪插口凹槽在正上方方向。然后将连接套顺时针方向旋紧(如图 1);4.3 将“POWER ON”开关选择在“I”状态(如图 2、3);4.4 选择放电模式,如果要做接触放电试验,选 用尖锥形的放电电极,用 UP 和 DOWN 按键把光标调整到“放电模式”行,用“SELECT”按键选择“接触放电”;如果要做气隙放电试验,选用球形的放电电极,同样把光标调整至“放电模式”行,用“SELECT”按键选择“气隙放电”;注意,换放电电极及插入电松必湎在断电情况下进行,以免遭到电击(如图 4、5);4.5 将光标调整到“极性切换”行,用“SELECT”按键选择“正压”或者“负压”来选
3、择试验极性(在极性切换之前需要将“高压早电”选择“否”,否则无法极性切换),(如图 6);4.6 将光标调整至“四种模式”行,用“SELECT”按键选择“单次放电”、“设定放电”、“连续放电”或“自动放电”来选择放电模式。连续放电即 20pps 模式;自动放电就是按“RUN/PAUSE”按键后无需扣枪即可自行放电(如图 7、8、9);4.7 光标调至“高压上电”行,用 SELECT 按键选择参数为“是”(如图 10);4.8 将光标移动到“电压设定”行,用“ADD”“REDUSE”按键设定电压值;(注:最高电压只能设到“20KV”),(如图 11);页 次文件名称:ESD-20G 智能型静电放
4、电发生器操作规程A-0文件编号MT-QIC3096生效日期2012-6-1第2页,共 7 页版本4.9 将光标移到“放电次数”行,用“ADD”“REDUSE”按键对放电次数的值进行设定。其最高次数可设定为 9999 次(如图 12);4.10 将光标移动到“时间间隔”行,通过“ADD”“REDUSE”按键对放电时间进行设置。最大可设为“99.9S”(如图 13);4.11 按“RUN/PAUSE”按键,屏幕右下方的“停止”变成运行,即可按下枪机放电。用右手握枪,或者用支架(附件)固定枪,将放电枪垂直于试品表面,并按下枪机进行放电(如图 14);4.12 如果是接触放电,要使放电枪确实与被试品接
5、触,并保持放电姿势不动。如果是气隙放电,用手扣住枪机将放电枪接近试品(注意:不能接触),直到放电发生为止,然后移开枪身开枪机,按试验要求的时间间隔,再重新扣住枪机将放电枪向试品靠近,直到另一次放电发生为止。针对上述气隙放电的操作特点,气隙放电采用手动的单次放电进行放电;4.13 试验全部结束后,先按下“RUN/PAUSE”按键(屏幕右下方的“运行”变为“停止”),通过“UP”“DOWN”键将光标移动到“电压设定”行,将电压设为“0”,同时把“高压上电”设定成“否”,然后将“POWER”开关选择在“O”状态,最后逆时针方向卸下放电枪(如图 15);5.注意事项5.1 不要在湿度高的场合中使用本仪
6、器;5.2 仪器的 F.G.端子要良好接地;5.3 仪器通电后,请不要用手去触摸放电枪的电极,以防电击;5.4 关机时必须先将“电压设定”设为 0KV,“高压上电”选择“否”,然后再切断主机的工作电源 POWER,否则关机瞬间电压的突变可能会损坏高压电源;5.5 为了测试结果的可比性,测试时静电放电发生器不能和被试品同时放在测试平台进行测试,发生器另行放置;5.6 圆锥体的放电电极的尖端要轻拿轻放,不能损坏电极尖端;6.维护与保养 6.1 定期校验对本机进行定期校验,校验周期为一年,校验合格后将合格证粘贴在本机机身上;6.2 日常点检本机在使用前需对仪器进行日常点检,点检项目分为三部份,第一部份为电气性能包括供电、显示、按键是否正常等;第二部份为机械结构及配件包括本机是否有缺失、松脱,少配件,配件不能使用等;第三部份为 5S 包括本机外壳是干净、擦拭灰尘、外壳有无严重变形等;