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1、电镜仪器第1页/共14页扫描探测和椭圆光度显微镜法（扫描探测和椭圆光度显微镜法（SPEMSPEM）SPEM是一台把扫描探测显微镜方法(SPM)和影像椭圆光度法两种方法结合在一起的分析仪器。第2页/共14页场发射透射电子显微镜场发射透射电子显微镜 1.点分辨率：0.19nm2.线分辨率：0.14nm3.加速电压：80,100,120,160,200kV4.倾斜角：255.STEM分辨率：0.20nmJEM-2100F第3页/共14页扫描电子显微镜扫描电子显微镜 JSM-6360LV1.高真空模式：3.0nm低真空模式：4.0nm2.低真空度1to270Pa，高、低真空切换3.样品台X:80mmY
2、:40mmT:-10to+90degreeR:360degree4.加速电压0.5kVto30Kv束流1pA1uA5.真空系统马达驱动台能谱分析接口稳压电源循环水箱用于各种材料的形貌组织观察、金属材料断口分析和失效分析。第4页/共14页1.既保证高电压下的高分辨率，也可提供低电压下高质量的图像。2.全自动电子枪3.高灵敏度半导体背散射探头4.超级圆锥形物镜，高精度的变焦聚光镜系统5.大样品室，全对中的样品台，大视野观察范围可观测到2厘米见方的样品 主要特点 第5页/共14页KYKY-2800BKYKY-2800B型扫描电子显微镜型扫描电子显微镜 1.分辨本领：4.5nm2.放大倍数：15X25
3、0,000X3.加速电压：0.1kV30kV4.试样尺寸：60mm（最大）第6页/共14页1、分辨率6.0nm(钨丝阴极)2、放大倍数15倍250000倍3、电子光学系统电子枪：发叉式钨丝阴极加速电压：030KV透镜系统：三级电磁透镜物镜光阑：三个可在真空外选择调节KYKY-EM3200KYKY-EM3200型数字化扫描电子显微镜型数字化扫描电子显微镜 第7页/共14页CSPM 3000CSPM 3000系列扫描探针显微镜系列扫描探针显微镜广泛的应用范围广泛的应用范围物理学化学生物和生命科学材料科学微电子科学和技术表面科学纳米科学和技术第8页/共14页CSPM3000CSPM3000系列多模式
4、扫描探针显微镜系列多模式扫描探针显微镜 性能指标分辨率：扫描探针显微镜(STM)：横向0.13nm垂直0.01nm（以石墨定标）原子力显微镜(AFM)：横向0.26nm垂直0.1nm（以云母定标）探针激励信号：振幅为02V频率为DC1000kHz（32-bit分辨率）第9页/共14页AP-990AP-990原子力显微镜原子力显微镜 A Atomic tomic F Force orce M Microscopes icroscopes 观察抛光固本表面、薄膜表面的表面形貌,价键状态；观察集成电路芯片的光刻质量,掺杂后的电场分布,用于观察信息存贮材料表面磁场分布磁畴等.可用于微电子集成电路器件的
5、失效分析.第10页/共14页扫描探针显微镜扫描探针显微镜 ScannerX,Yscansize:200200micronX,Yresolution:1nmZrange:15micronZresolution:1.5mmOperationMode:AC,DC,LFM,MFM.Optionalmode:STM,ConductiveAFM.Imaging:Topography,Phase,LateralForce.ObjectiveType:BrightField.Focallength:95mm.Magnification:15X.第11页/共14页AJ-AJ-型扫描隧道显微镜（型扫描隧道显微镜（
6、STM)STM)1.STM探头2.悬吊式抗震架3.AJ-型扫描隧道显微镜控制箱4.控制软件及离线软件5.测试样品及常用备品备件主要特点主要特点 第12页/共14页1.样品尺寸：10mm2.扫描范围：方向3m3mmm3.分辨率：XY方向：0.1nm,Z方向：0.01nm能够常规得到高序石墨（HOPG）表面原子图像4.针尖逼近行程及精度：行程10nm，精度0.1m,纳米级步进马达自动保护驱近;5.扫描模式：恒流模式、恒高模式,I-V曲线、-Z曲线;6.扫描方式：连续扫描，可任意改变扫描方向;采样数：256点/线7.悬吊式抗震装置;8.扫描速度：.120Hz;标准串行接口（可以接手提电脑）;技术参数第13页/共14页感谢您的观看！第14页/共14页