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1、会计学1软化学合成方法化学气相沉积法软化学合成方法化学气相沉积法第一页，编辑于星期二：九点 五十三分。第1页/共77页第二页，编辑于星期二：九点 五十三分。化学气相沉积化学气相沉积n n 化学气相沉积(CVD)是把含有构成薄膜元素的化合物或单质气体通入反应室内，利用气相物质在工件表面的化学反应形成固态薄膜的工艺法。n n它是一种适应性强、用途广泛的技术。可以制备几乎所有固体材料的涂层、粉末、纤维和成形元器件。第2页/共77页第三页，编辑于星期二：九点 五十三分。n n按激发方式分，有热CVD、等离了体CVD、光激发CVD、激光(诱导)CVD等；n n按反应室压力分，有常压CVD、低压CVD等；
2、n n按反应温度分，有高温CVD、中温CVD、低温CVD等；n n按源物质类型分，有金属有机化合物CVD、氯化物CVD、氢化物CVD等；n n按主要特征分，有热激发CVD、低压CVD、等离子体CVD、激光(诱导)CVD、金属有机化合物CVD等。n n也有将常压CVD称为“常规CVD”，而把低压CVD、等离子体CVD、激光CVD等归入“非常规CVD”的分类方法，第3页/共77页第四页，编辑于星期二：九点 五十三分。化学气相沉积的过程化学气相沉积的过程n n化学气相沉积包括：n n反应气体到达基材表面，n n反应气体分子被基材表面吸附，n n在基材表面发生化学反应、形核，n n生成物从基材表面脱离
3、，生成物在基材表面扩散等过程。第4页/共77页第五页，编辑于星期二：九点 五十三分。化学气相沉积的基本条件化学气相沉积的基本条件n n反应物的蒸气压：在沉积温度下，反应物必须有足够高的蒸汽压。n n反应生成物的状态：除了需要得到的固态沉积物外，化学反应的生成物都必须是气态。n n沉积物的蒸汽压：沉积物本身的饱和蒸气压应足够低，以保证它在整个反应、沉积过程中都一直保持在加热的基体上。第5页/共77页第六页，编辑于星期二：九点 五十三分。化学反应的类型化学反应的类型第6页/共77页第七页，编辑于星期二：九点 五十三分。第7页/共77页第八页，编辑于星期二：九点 五十三分。第8页/共77页第九页，编
4、辑于星期二：九点 五十三分。n n化学气相沉积的源物质可以足气态、液态和固态。n n制备装置一般由反应室、气体输送和控制系统、蒸发器、排气处理系统等构成。n n采用合适的方式加热基材，使其保持一定的温度，并且要高于环境气体温度。第9页/共77页第十页，编辑于星期二：九点 五十三分。第10页/共77页第十一页，编辑于星期二：九点 五十三分。第11页/共77页第十二页，编辑于星期二：九点 五十三分。第12页/共77页第十三页，编辑于星期二：九点 五十三分。第13页/共77页第十四页，编辑于星期二：九点 五十三分。影响化学气相沉积制备材料质量的因影响化学气相沉积制备材料质量的因素素n n反应混合物的
5、供应n n淀积温度n n衬底材料n n系统内总压和气体总流速n n反应系统装置因素n n原材料的纯度第14页/共77页第十五页，编辑于星期二：九点 五十三分。第15页/共77页第十六页，编辑于星期二：九点 五十三分。第16页/共77页第十七页，编辑于星期二：九点 五十三分。第17页/共77页第十八页，编辑于星期二：九点 五十三分。第18页/共77页第十九页，编辑于星期二：九点 五十三分。第19页/共77页第二十页，编辑于星期二：九点 五十三分。第20页/共77页第二十一页，编辑于星期二：九点 五十三分。第21页/共77页第二十二页，编辑于星期二：九点 五十三分。第22页/共77页第二十三页，编
6、辑于星期二：九点 五十三分。第23页/共77页第二十四页，编辑于星期二：九点 五十三分。第24页/共77页第二十五页，编辑于星期二：九点 五十三分。化学气相沉积的特点化学气相沉积的特点第25页/共77页第二十六页，编辑于星期二：九点 五十三分。第26页/共77页第二十七页，编辑于星期二：九点 五十三分。第27页/共77页第二十八页，编辑于星期二：九点 五十三分。化学气相沉积前驱体化学气相沉积前驱体第28页/共77页第二十九页，编辑于星期二：九点 五十三分。第29页/共77页第三十页，编辑于星期二：九点 五十三分。第30页/共77页第三十一页，编辑于星期二：九点 五十三分。第31页/共77页第三
7、十二页，编辑于星期二：九点 五十三分。第32页/共77页第三十三页，编辑于星期二：九点 五十三分。第33页/共77页第三十四页，编辑于星期二：九点 五十三分。第34页/共77页第三十五页，编辑于星期二：九点 五十三分。第35页/共77页第三十六页，编辑于星期二：九点 五十三分。第36页/共77页第三十七页，编辑于星期二：九点 五十三分。第37页/共77页第三十八页，编辑于星期二：九点 五十三分。第38页/共77页第三十九页，编辑于星期二：九点 五十三分。第39页/共77页第四十页，编辑于星期二：九点 五十三分。第40页/共77页第四十一页，编辑于星期二：九点 五十三分。第41页/共77页第四十
8、二页，编辑于星期二：九点 五十三分。第42页/共77页第四十三页，编辑于星期二：九点 五十三分。第43页/共77页第四十四页，编辑于星期二：九点 五十三分。第44页/共77页第四十五页，编辑于星期二：九点 五十三分。第45页/共77页第四十六页，编辑于星期二：九点 五十三分。第46页/共77页第四十七页，编辑于星期二：九点 五十三分。第47页/共77页第四十八页，编辑于星期二：九点 五十三分。第48页/共77页第四十九页，编辑于星期二：九点 五十三分。第49页/共77页第五十页，编辑于星期二：九点 五十三分。第50页/共77页第五十一页，编辑于星期二：九点 五十三分。第51页/共77页第五十二
9、页，编辑于星期二：九点 五十三分。第52页/共77页第五十三页，编辑于星期二：九点 五十三分。第53页/共77页第五十四页，编辑于星期二：九点 五十三分。第54页/共77页第五十五页，编辑于星期二：九点 五十三分。第55页/共77页第五十六页，编辑于星期二：九点 五十三分。第56页/共77页第五十七页，编辑于星期二：九点 五十三分。第57页/共77页第五十八页，编辑于星期二：九点 五十三分。第58页/共77页第五十九页，编辑于星期二：九点 五十三分。第59页/共77页第六十页，编辑于星期二：九点 五十三分。第60页/共77页第六十一页，编辑于星期二：九点 五十三分。第61页/共77页第六十二页
10、，编辑于星期二：九点 五十三分。第62页/共77页第六十三页，编辑于星期二：九点 五十三分。第63页/共77页第六十四页，编辑于星期二：九点 五十三分。第64页/共77页第六十五页，编辑于星期二：九点 五十三分。第65页/共77页第六十六页，编辑于星期二：九点 五十三分。第66页/共77页第六十七页，编辑于星期二：九点 五十三分。第67页/共77页第六十八页，编辑于星期二：九点 五十三分。第68页/共77页第六十九页，编辑于星期二：九点 五十三分。第69页/共77页第七十页，编辑于星期二：九点 五十三分。第70页/共77页第七十一页，编辑于星期二：九点 五十三分。第71页/共77页第七十二页，编辑于星期二：九点 五十三分。第72页/共77页第七十三页，编辑于星期二：九点 五十三分。第73页/共77页第七十四页，编辑于星期二：九点 五十三分。第74页/共77页第七十五页，编辑于星期二：九点 五十三分。第75页/共77页第七十六页，编辑于星期二：九点 五十三分。第76页/共77页第七十七页，编辑于星期二：九点 五十三分。