任务一传感器技术基础优秀课件.ppt

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1、任任务一一 传感器技感器技术基基础第1页，本讲稿共38页任任务要求要求掌握传感器的作用、组掌握传感器的作用、组 成、分类方法成、分类方法熟悉传感器的特性与性能指标熟悉传感器的特性与性能指标第2页，本讲稿共38页 情境一情境一情境一情境一 传感器概述传感器概述传感器概述传感器概述1 1 情境二情境二 传感器现状和国内外传感器发展趋势传感器现状和国内外传感器发展趋势2 2 情境三情境三 传感器的分类传感器的分类3 3 情境四情境四 传感器的特性与技术指标传感器的特性与技术指标4 4任务一传感器技术基础第3页，本讲稿共38页情境一情境一 传感器概述传感器概述人们在利用信息的过程中，首先要获取信息，而

2、传感器是获取信息的人们在利用信息的过程中，首先要获取信息，而传感器是获取信息的主要手段和途径。在工业生产中，工业生产过程现代化面临的第一个主要手段和途径。在工业生产中，工业生产过程现代化面临的第一个问题是必须采用各种传感器来检测、监视和控制各种静、动态参数，问题是必须采用各种传感器来检测、监视和控制各种静、动态参数，使设备或系统能正常运行并处于最佳使设备或系统能正常运行并处于最佳 新技术革命的到来，世界已经开始进入信息时代。传感器是新技术革命的到来，世界已经开始进入信息时代。传感器是构成现代信息技术的三大支柱（传感器技术、通信技术、计构成现代信息技术的三大支柱（传感器技术、通信技术、计算机技术

3、）之一，相当与人类的算机技术）之一，相当与人类的“感官感官”。第4页，本讲稿共38页人们在利用信息的过程中，首先要获取信息，而传感器人们在利用信息的过程中，首先要获取信息，而传感器是获取信息的主要手段和途径。在工业生产中，工业生是获取信息的主要手段和途径。在工业生产中，工业生产过程现代化面临的第一个问题是必须采用各种传感器产过程现代化面临的第一个问题是必须采用各种传感器来检测、监视和控制各种静、动态参数，使设备或系统来检测、监视和控制各种静、动态参数，使设备或系统能正常运行并处于最佳能正常运行并处于最佳状态，从而保证生产的高效率、状态，从而保证生产的高效率、高质量。如果没有传感器对原始参数进行

4、准确、可高质量。如果没有传感器对原始参数进行准确、可靠、在线、实时的测量，那么无论信息分析处理和靠、在线、实时的测量，那么无论信息分析处理和传输的功能多么强大，都没有任何实际的意义。因传输的功能多么强大，都没有任何实际的意义。因此进行信息采集的传感器技术是重要的基础，此后此进行信息采集的传感器技术是重要的基础，此后才有后期的信息分析、处理、加工和控制等技术问才有后期的信息分析、处理、加工和控制等技术问题。题。第5页，本讲稿共38页 目前传感器涉及的领域广泛，早已渗透到诸如现代大工业生产、基础学科研究、宇宙开发、海洋探测、军事国防、环境保护、资源调查、医学诊断、智能建筑、汽车、家用电器、生物工程

5、、商检质检、公共安全、甚至文物保护等等极其广泛的领域。图图1-1 不同用途的传感器不同用途的传感器 第6页，本讲稿共38页 例一：粮仓温度、湿度检测无论是金属粮仓还是土仓，为防止霉例一：粮仓温度、湿度检测无论是金属粮仓还是土仓，为防止霉变，粮食都是分层存放，仓内温度和湿度不能过高，为此，需在各层安变，粮食都是分层存放，仓内温度和湿度不能过高，为此，需在各层安放温湿传感器进行检测。装有温湿度探头的粮仓示意图如下。将各层探放温湿传感器进行检测。装有温湿度探头的粮仓示意图如下。将各层探头输出接至温湿度巡检仪上，通过巡检仪监视器监视各点温湿度情况。头输出接至温湿度巡检仪上，通过巡检仪监视器监视各点温湿

6、度情况。通过通风口保持温湿度在要求范围内。通过通风口保持温湿度在要求范围内。探头 通风口 通风口 通风口 图图1-2粮仓温度、湿度检测系统粮仓温度、湿度检测系统第7页，本讲稿共38页 例二：日常生活中的电冰箱、洗衣机、电饭煲、音像设备、电动自行车、空调器、照相机、电热水器、报警器等家用电器都安装了传感器；图图1-3 装有传感器的家电产品装有传感器的家电产品 第8页，本讲稿共38页 例三：感温、例三：感温、感烟火灾报警器该报警检测系统是在每一房感烟火灾报警器该报警检测系统是在每一房间安放一对感温、感烟探头（智能传感器），它们输出温度、浓间安放一对感温、感烟探头（智能传感器），它们输出温度、浓度信

7、号通过串行通讯线送入由微机组成的检测系统（集控器）；度信号通过串行通讯线送入由微机组成的检测系统（集控器）；集控器负责信号汇总，汇总各房间的温度和浓度信号，并监控各集控器负责信号汇总，汇总各房间的温度和浓度信号，并监控各房间温度、烟浓度是否异常，如异常，声光报警并打开喷淋设备房间温度、烟浓度是否异常，如异常，声光报警并打开喷淋设备灭火，一层一台。各层集控器通过灭火，一层一台。各层集控器通过CANCAN总线、总线、M-BUSM-BUS总线等现场总线等现场总线将温度、浓度等信号送入中央监控计算机。值班人员在电脑总线将温度、浓度等信号送入中央监控计算机。值班人员在电脑屏幕上直观监视各房间情况（温度、

8、烟雾浓度）。房间、楼道装屏幕上直观监视各房间情况（温度、烟雾浓度）。房间、楼道装配摄像头，还可通过电视屏幕查看房间、楼道情况。配摄像头，还可通过电视屏幕查看房间、楼道情况。可以看出没有感温、感烟传感器，就像人缺少感官，系统无法可以看出没有感温、感烟传感器，就像人缺少感官，系统无法工作。工作。第9页，本讲稿共38页集控器1中央监控探头11探头12探头1N图图1-4 感温、感温、感烟火灾报警系统感烟火灾报警系统 第10页，本讲稿共38页一一一一一一、传感器的定义、传感器的定义、传感器的定义、传感器的定义、传感器的定义、传感器的定义 根据中华人民共和国国家标准（根据中华人民共和国国家标准（GB766

9、5-87GB7665-87）传感器是一种能感）传感器是一种能感受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件和装置。受规定的被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件和装置。传感器的定义涵盖以下内容：传感器的定义涵盖以下内容：1 1传感器是测量装置，能完成检测。传感器是测量装置，能完成检测。2 2传感器的输入量是被测的某一物理量。（主要为非电量）传感器的输入量是被测的某一物理量。（主要为非电量）3 3传感器的输出量应便于传输、转换、处理、显示（主要为电量）。传感器的输出量应便于传输、转换、处理、显示（主要为电量）。因此，我们也可以将传感器理解为是换能器的一种，特指将非电量转换为电量

10、。第11页，本讲稿共38页二二二二 、传感器的组成、传感器的组成、传感器的组成、传感器的组成 传感器一般由敏感元件、转换元件、基本电路三部分组成如图1-5所示 图图1-5 传感器结构图传感器结构图第12页，本讲稿共38页 完成非电量到电量的变换过程中，并非所有的非电量参数都能一次完成非电量到电量的变换过程中，并非所有的非电量参数都能一次直接变换为电量，往往是先变换成一种易于变换成电量的非电量（如位直接变换为电量，往往是先变换成一种易于变换成电量的非电量（如位移、应变等），然后，再通过适当的方法变换成电量。所以，把能够完移、应变等），然后，再通过适当的方法变换成电量。所以，把能够完成预变换的器件

11、称为敏感元件。敏感元件直接感受被测量，并输出与被成预变换的器件称为敏感元件。敏感元件直接感受被测量，并输出与被测量成确定关系的物理量。例如建立在力学结构分析上的各种型的弹性测量成确定关系的物理量。例如建立在力学结构分析上的各种型的弹性敏感元件（如梁、板等）。而转换元件是能将感觉到的被测非电量参数敏感元件（如梁、板等）。而转换元件是能将感觉到的被测非电量参数转换为电量的器件，敏感元件的输出就是它的输入。转换元件是传感器转换为电量的器件，敏感元件的输出就是它的输入。转换元件是传感器的核心部分，是利用各种物理、化学、生物效应等原理制成的。新的物的核心部分，是利用各种物理、化学、生物效应等原理制成的。

12、新的物理、化学、生物效应的发现，常用到新型传感器上，使其品种与功能日理、化学、生物效应的发现，常用到新型传感器上，使其品种与功能日益增多，应用领域更加广阔。应该指出的是，并不是所有的传感器都包益增多，应用领域更加广阔。应该指出的是，并不是所有的传感器都包括敏感元件与转换元件，有一部分传感器不需要起预变换作用的敏感元括敏感元件与转换元件，有一部分传感器不需要起预变换作用的敏感元件，如热敏电阻、光电器件等。件，如热敏电阻、光电器件等。第13页，本讲稿共38页三三三三 、传感器的作用、传感器的作用、传感器的作用、传感器的作用 传感器是控制系统中的第一个环节，它感受物理量的变化，以完成传感器是控制系统

13、中的第一个环节，它感受物理量的变化，以完成对被测信号的拾取、检测。检测是实现控制的第一步，没有精确的检测对被测信号的拾取、检测。检测是实现控制的第一步，没有精确的检测就没有精确的控制。就没有精确的控制。采用传感器对非电量进行电测还具有如下的特点：采用传感器对非电量进行电测还具有如下的特点：1 1 可进行微量检测，精度高、速度快；可进行微量检测，精度高、速度快；2 2 可实现远距离遥测及遥控；可实现远距离遥测及遥控；3 3 可实现无损检测；可实现无损检测；4 4 可采用计算机技术对测量数据进行运算、存储和处理，并根据处理结可采用计算机技术对测量数据进行运算、存储和处理，并根据处理结果对被测对象进

14、行控制；果对被测对象进行控制；5 5 测量安全可靠。测量安全可靠。第14页，本讲稿共38页情境二情境二 传感器现状和国内外传感器发展趋势传感器现状和国内外传感器发展趋势一一一一 、传感器现状、传感器现状、传感器现状、传感器现状 我国的传感器技术及产业在国家“大力加强传感器的开发和在国民经济中的普遍应用”等一系列政策导向和资金的支持下，近年来也取得了较快发展。随然起步较晚，但成绩斐然。中国在航空、航天领域所取得的成果也揭示着我国的传感器技术在世界的领先地位。目前我国有近2000家传感器研发机构，产品种类广泛，其中约12产品销往国外。第15页，本讲稿共38页 传感器技术的发展大体可分三代：传感器技

15、术的发展大体可分三代：第一代是结构型传感器，它利用结构参量变化来感受第一代是结构型传感器，它利用结构参量变化来感受和转化信号。和转化信号。第二代是上世纪第二代是上世纪7070年代发展起来的固体型传感器，这年代发展起来的固体型传感器，这种传感器由别制成热电偶传感器、霍尔传感器、光敏种传感器由别制成热电偶传感器、霍尔传感器、光敏传感器。传感器。第三代传感器是在第二代基础上刚刚发展起来的智能型传第三代传感器是在第二代基础上刚刚发展起来的智能型传感器，是微型计算机技术与检测技术相结合的产感器，是微型计算机技术与检测技术相结合的产物，传感器具有一定的人工智能。物，传感器具有一定的人工智能。传感器材料是传

16、感器技术发展的重要基础，随着材料科学传感器材料是传感器技术发展的重要基础，随着材料科学的进步，人们可制造出各种新型传感器。例如用的进步，人们可制造出各种新型传感器。例如用高分子聚合物薄膜制成温度传感器，光导纤维能制成高分子聚合物薄膜制成温度传感器，光导纤维能制成压力、流量、温度、位移等多种传感器，用陶瓷制成压力、流量、温度、位移等多种传感器，用陶瓷制成压力传感器。压力传感器。第16页，本讲稿共38页二二 传感器的发展方向传感器的发展方向 1.向高精度发展：随着自动化生产程度的不断提高，对传感器的要求也在不断提高，必须研制出具有灵敏度高、精确度高、响应速度快、互换性好的新型传感器以确保生产自动化

17、的可靠性。目前能生产精度在万分之一以上的传感器的厂家为数很少，其产量也远远不能满足要求。2.向高可靠性、宽温度范围发展：传感器的可靠性直接影响到电子设备的抗干扰等性能，研制高可靠性、宽温度范围的传感器将是永久性的方向。提高温度范围历来是大课题，大部分传感器其工作范围都在-2070，在军用系统中要求工作第17页，本讲稿共38页温度在-40C85C范围，而汽车锅炉等场合要求传感器工作在-20C 120C，在冶炼、焦化等方面对传感器的温度要求更高，因此发展新兴材料（如陶瓷）的传感器将很有前途。3.向微型化发展：各种控制仪器设备的功能越来越大，要求各个部件体积能占位置越小越好，因而传感器本身体积也是越

18、小越好，这就要求发展新的材料及加工技术，目前利用硅材料制作的传感器体积已经很小。如传统的加速度传感器是由重力块和弹簧等制成的，体积较大、稳定性差、寿命也短，而利用激光等各种微细加工技术制成的硅加速度传感器体积非常小、互换性可靠性都较好。第18页，本讲稿共38页 4.向微功耗及无源化发展：传感器一般都是非电量向电量的转化，工作时离不开电源，在野外现场或远离电网的地方，往往是用电池供电或用太阳能等供电，开发微功耗的传感器及无源传感器是必然的发展方向，这样既可以节省能源又可以提高系统寿命。目前，低功耗损的芯片发展很快，如TI2702运算放大器，静态功耗只有1.5mW，而工作电压只需25V。5.向智能

19、化数字化发展：随着现代化的发展，传感器的功能已突破传统的功能，其输出不再是一个单一的模拟信号（如010mV），而是经过微电脑处理好后的数字信号，有的甚至带有控制功能，这就是所说的数字传感器。如电子血压计，智能水、电、煤气、热量表。它们的特点是传感器与微型计算机有机结合，构成智能传感器。系统功能最大程度地用软件实现。第19页，本讲稿共38页 传感器的工作机理是基于各种效应、反应和物理现象的。重新认识如压电效应、热释电现象、磁阻效应等已发现的物理现象以及各种化学反应和生物效应，并充分利用这些现象与效应设计制造各种用途的传感器，是传感器技术领域的重要工作。同时还要开展基础研究，以求发现新的物理现象、

20、化学反应和生物效应。各种新现象、反应和效应的发现可极大地扩大传感器的检测极限和应用领域。第20页，本讲稿共38页 随着物理学和材料科学的发展，人们已经在很大程度上能够根据对材料功能的要求来设计材料并通过对生产过程的控制，制造出各种所需材料。目前最为成熟、先进的材料技术是以硅加工为主的半导体制造技术。例如，人们利用该项技术设计制造的多功能精密陶瓷气敏传感器有很高的工作温度，弥补了硅（或锗）半导体传感器温度上限低的缺点，可用于汽车发动机空燃比控制系统，大大地扩展了传统陶瓷传感器的使用范围。有机材料、光导纤维等材料在传感器上的应用，也已成为传感器材料领域的重大突破，引起国内外学者的极大关注。第21页

21、，本讲稿共38页情境三情境三 传感器的分类传感器的分类 为了更好的学习研究和应用传感器，对传感器进行科学的分类是必须的。但由于传感器知识技术密集、涉及诸多学科且应用领域广泛，种类繁多。新技术、新材料的应用新型传感器也在发展、变化。所以，国内外到目前尚没有形成完整统一的分类方法。第22页，本讲稿共38页经典传感器常用的分类方法如下：经典传感器常用的分类方法如下：一一 按传感器工作原理分类按传感器工作原理分类 可分为电阻应变式、电感式、压电式、电容式、涡流式、光电式、电磁式、热电式等。这种分类的优点：比较明确地表达了传感器的用途，便于使用者根据其用途选用。缺点：没有区分每种传感器在转换机理上有何共

22、性和差异，不便于使用者掌握其基本原理及分析方法。第23页，本讲稿共38页二二、按传感器检测的物理量分类、按传感器检测的物理量分类 可分为加速度传感器、速度传感器、位移传感器、可分为加速度传感器、速度传感器、位移传感器、压力传感器、负荷传感器、扭矩传感器、温度传感器、成分传感压力传感器、负荷传感器、扭矩传感器、温度传感器、成分传感器等。这种分类的优点：是对传感器的工作原理表达的比较清楚，器等。这种分类的优点：是对传感器的工作原理表达的比较清楚，而且类别少，有利于传感器专业工作者对传感器进行深入的研究而且类别少，有利于传感器专业工作者对传感器进行深入的研究分析。分析。缺点：是不便于使用者根据用途选

23、用。三、按传感器的输出信号性质分类三、按传感器的输出信号性质分类可分为模拟式传感器、数字式传感器。第24页，本讲稿共38页四、按能量的传递方式分类四、按能量的传递方式分类 从能量的观点看，所有传感器可分类为有源传感器与无源传感器两大类。这两大类传感器又称为发电型传感器和参量型传感器。第25页，本讲稿共38页情境四情境四 传感器的特性与技术指标传感器的特性与技术指标 传感器一般要变换各种信息量为电量，描述这种变换的输入与输出关系表达了传感器的基本特性。对不同的输入信号，输出特性是不同的，对快变信号与慢变信号，由于受传感器内部储能元件（电感、电容、质量块、弹簧等）的影响，反应大不相同。快变信号要考

24、虑输出的动态特性，即随时间变化的特性；慢变信号要研究静态特性，即不随时间变化的特性。第26页，本讲稿共38页一一 传感器静态特性传感器静态特性 当输入量（X）为静态（常量）或变化缓慢的信号时（如温度、压力），传感器的静输入输出关系称静态特性。通过静态测得n个数据对，利用有关方法拟合而成的曲线，称为传感器的静态特性曲线。图1-6为传感器典型静态特性曲线xyxyxx（a）（b）（c）（d）1-61-6传感器典型静态特性曲线传感器典型静态特性曲线传感器典型静态特性曲线传感器典型静态特性曲线第27页，本讲稿共38页1.线性度 理想的传感器我们希望它们具有单值、线性的输入输出关系，由于实际传感器输入总有

25、非线性（高次项）存在，X-Y总是非线性关系。在小范围内用割线、切线近似代表实际曲线使输入输出线性化。近似后的直线与实际曲线之间存在的最大偏差称传感器的非线性误差线性度，通常用相对误差表示：图图1-7线性度线性度第28页，本讲稿共38页 （1-1）式中：Lmax为最大非线行绝对误差,YFS 为满量程输出，为线性度。为线性度。2 2灵敏度灵敏度灵敏度灵敏度在稳定条件下，输出微小增量与输入微小增量的比值。（1-2）对线性传感器灵敏度就是直线的斜率，对非线性传感器灵敏度为一变量 第29页，本讲稿共38页3 3迟滞迟滞 传感器在正、反行程期间，输入、输出曲线不重合的现象称迟滞。产生这种现象的原因是由敏感

26、元件材料的物理性质缺陷造成，如；弹性元件的滞后，铁磁体、铁电体在外加磁场、电场也有这种现象。迟滞误差一般由满量程输出的百分数表示：（1-3）为正、反行程输出值间的最大差值。（1-4）第30页，本讲稿共38页 图图1-8迟滞性迟滞性4 4不重复性不重复性不重复性不重复性 （1-5）图图1-9 不重复性不重复性 第31页，本讲稿共38页 不重复性主要由传感器的机械部分的磨损、间隙、松动、部件的内摩擦、积尘、电路老化、工作点漂移等原因产生。多次测试的曲线越重合，其重复性越好。误差越小。5 5漂移漂移外界的干扰下，输出量发生与输入量无关的不需要的外界的干扰下，输出量发生与输入量无关的不需要的变化。变化

27、。时间漂移时间漂移-指在规定的条件下，零点或灵敏度随时间指在规定的条件下，零点或灵敏度随时间的缓慢变化的缓慢变化第32页，本讲稿共38页二二 传感器动态特性传感器动态特性 传感器的动态特性是指传感器的输出对随时间变化的输入量的响应特性。反映输出值真实再现变化着的输入量的能力。通常要求传感器不仅能精确地显示被测量的大小，而且还能复现被测量随时间变化的规律，这也是传感器的重要特性之一。但是，除了理想情况外，实际传感器的输出信号与输入信号之间会出现误差。研究传感器的动态特性主要是从测量误差角度分析产生动态误差的原因以及改善措施。第33页，本讲稿共38页 由于传感器在实际工作中随时间变化的输入信号是千

28、由于传感器在实际工作中随时间变化的输入信号是千变万化的，而且由于随机因素的影响，往往事先无法知道其特性，变万化的，而且由于随机因素的影响，往往事先无法知道其特性，所以，具体研究传感器的动态特性时，最常用的是通过几种特殊所以，具体研究传感器的动态特性时，最常用的是通过几种特殊的输入时间函数，并据此确定若干评定动态特性的指标。例如用的输入时间函数，并据此确定若干评定动态特性的指标。例如用阶跃函数作为输入来研究其动态特性，这种方法称为阶跃响应法。阶跃函数作为输入来研究其动态特性，这种方法称为阶跃响应法。给传感器的输入端加入如图1-10 所示的单位阶跃信号 （1-6）图图图图1-10 1-10 单位阶

29、跃信号单位阶跃信号单位阶跃信号单位阶跃信号 第34页，本讲稿共38页 在传感器的输出端得到输出随时间变化的特性在传感器的输出端得到输出随时间变化的特性如图如图1-111-11所示所示 表征阶跃响应特性的主要技术指标有：时间常数、延表征阶跃响应特性的主要技术指标有：时间常数、延迟时间、上升时间、峰值时间、最大超调量、响应时间等。迟时间、上升时间、峰值时间、最大超调量、响应时间等。图图1-11 输出特性输出特性 第35页，本讲稿共38页各指标定义各指标定义如下：各指标定义各指标定义如下：1 1上升时间上升时间trtr：输出由稳态值的输出由稳态值的10%10%变化到稳态值变化到稳态值的的90%90%

30、所用的时间。所用的时间。2 2响应时间响应时间tsts：系统从阶跃输入开始到输出值进系统从阶跃输入开始到输出值进入稳态值所规定的范围内所需要的时间。入稳态值所规定的范围内所需要的时间。3.3.峰值时间峰值时间tptp：阶跃响应曲线达到第一个峰值所阶跃响应曲线达到第一个峰值所需时间。需时间。4.4.超调量超调量 ：传感器输出超过稳态值的最大值传感器输出超过稳态值的最大值AA，常用相对于稳态值的百分比，常用相对于稳态值的百分比表示。表示。第36页，本讲稿共38页要点回顾要点回顾要点回顾要点回顾：“能感受（或响应）规定的被测量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置”称为传感器。传感器由敏感元件、转换元件、转换电路、电源组成。传感器的分类方法包括按被测物理量分类和按传感器工作原理分类等。传感器的静态特性指标包括：线性度、迟滞、重复性、灵敏度、稳定性。传感器的动态特性参数有：上升时间tr、响应时间ts、峰值时间tp、超调量。第37页，本讲稿共38页习题习题习题习题1 11-1 试述传感器的组成和其在检测中的作用。1-2 传感器的分类有哪几种？各有什么优缺点？1-3 传感器的静态性能指标有哪些？其含义是什么？1-4 传感器的动态特性主要从哪两方面来描述？采用什么样的激励信号？其含义是什么？第38页，本讲稿共38页