无尘室的特性和管理课件.ppt

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1、文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。.Clean Room 的特性的特性文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。何謂何謂Clean Room?Clean Room的定義所謂的所謂的 Clean Room是完全沒有灰塵的房間。是完全沒有灰塵的房間。也稱做清淨室。也稱做清淨室。超高密度集積回路就像操作遺傳因子一樣，對於在處理細超高密度集積回路就像操作遺傳因子一樣，對於在處理細胞內很微小的遺傳因子的地方，環境條件的品質有很大的胞內很微小的遺傳因子的地方，環境條件的品質有很大的影響。影響。如此的地方，環境中存有一點的灰塵就會造成問如此

2、的地方，環境中存有一點的灰塵就會造成問題產生，連以肉眼看不到的灰塵都不能存在。題產生，連以肉眼看不到的灰塵都不能存在。為了防止為了防止灰塵進入，從外部開始就要進行隔離，要進入的人員需在灰塵進入，從外部開始就要進行隔離，要進入的人員需在門外將灰塵清除之後才進入，且為了在裡面的人員不要產門外將灰塵清除之後才進入，且為了在裡面的人員不要產生灰塵需要穿上無塵服，以及為了清除灰塵必須設置所需生灰塵需要穿上無塵服，以及為了清除灰塵必須設置所需要的設備。要的設備。文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。Clean Room的六個原則以下是以下是Clean Room的六個原則的

3、六個原則防止防止particle的侵入的侵入Clean Room 的六個原則的六個原則防止防止particle的累積的累積維持所需的維持所需的溫濕度溫濕度及室內壓及室內壓清淨的清淨的空氣送風空氣送風清除清除particle的產物的產物防止防止particle的回收的回收文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。半導體半導體 晶片製造、處理，晶片製造、處理，PHOTOLITHOGRAPHY,製造製造 IC晶片晶片 電子機器電子機器 磁性磁性 tape、SHADOW MASK 精密機械精密機械 火箭零件火箭零件,鐘錶鐘錶,軸承軸承,儀器儀器 光學機械光學機械-lens

4、,直接回路直接回路mask,print板板,film,精密印刷精密印刷 醫學醫學 特殊手術特殊手術,一般手術一般手術,特殊治療特殊治療,恢復室恢復室,新生兒室新生兒室,藥劑室藥劑室 藥品藥品 注射液，無菌動物注射液，無菌動物,普通藥品普通藥品,調藥調藥 process 食品食品 釀造釀造,發酵發酵,乳製品乳製品,食肉加工食肉加工,麵糰麵糰 農林畜產農林畜產 姑類栽培姑類栽培,培養成長培養成長,養殖養殖Clean Room的活用領域Clean Room的活用領域，精密產業以及需要無菌環境的產業。的活用領域，精密產業以及需要無菌環境的產業。文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请

5、联系本人改正。清淨度換氣 回數(回/h)Class 10020600Class 1,0005070Class 10,0003040Class 100,0002030Clean Room的各個 Class標準的 循環風量以下是依據以下是依據Clean Room清淨度的清淨度的 level，以小時為單位，循環換氣的回數，以小時為單位，循環換氣的回數文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。Room壓力 差(mmAq)其他清淨度 Class Clean Room20600Clean Room 與Clean Room 走道,Smock Room5070Clean Room

6、 走道,Smock Room與一般室走道3040Clean Room 與一般室2030Clean Room的各室之間所需的壓力差以下是以下是Clean Room 內部各室之間所需的壓力差內部各室之間所需的壓力差文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。1 feet1 feet1 feet1 cubic feet1 cubic feet有關Clean Room 的用語何謂何謂 Clean Class?1 立方立方feet(1 cubic feet,1 ft3,CFT)的空氣中的空氣中 依據包含依據包含 0.5 以上的以上的 最大容許量的最大容許量的 particle

7、數數所形成的清淨度所形成的清淨度 Level.例如例如)Class 100:1 cubic feet 空氣中空氣中 0.5 以上的以上的particle數數 100個以下的清淨空間個以下的清淨空間文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。1.清淨清淨(clean):沒有灰塵與污染物之乾淨狀態沒有灰塵與污染物之乾淨狀態 2.清淨度清淨度(Cleanness):就就 空間的空氣中包含一定量的灰塵與污染物的程度而言空間的空氣中包含一定量的灰塵與污染物的程度而言 一般指，一般指，標示標示 1ft體積的空氣所包含的灰塵的數量體積的空氣所包含的灰塵的數量3.清淨等級清淨等級(

8、Cleanness Class)為了區別清淨室的清淨度的規定為了區別清淨室的清淨度的規定4.污染污染(Contamination):指所有導致指所有導致 工程、產品機能及信賴性缺陷之物質工程、產品機能及信賴性缺陷之物質 5.灰塵灰塵(Particle):清淨室內所有存在的灰塵清淨室內所有存在的灰塵 6.清淨室清淨室(Clean Room):清除灰塵的管理，維持乾淨的清除灰塵的管理，維持乾淨的Room 7.無塵服無塵服(Smock,Clean Room Garment):為了不讓人員身體上所產生的灰塵在清淨室內掉為了不讓人員身體上所產生的灰塵在清淨室內掉 落所穿的衣服。落所穿的衣服。8.良率良率

9、(Yield):生產完成的產品中良品所佔的比率生產完成的產品中良品所佔的比率9.管理清淨度管理清淨度:清淨室的使用者在清淨室運作中，防止產品與其他物的污染之管理清淨室的使用者在清淨室運作中，防止產品與其他物的污染之管理有關Clean Room 的用語文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。10.清淨室施工完成狀態清淨室施工完成狀態(As-Built Clean Room):清淨室可以正常運轉，無生產設備，也沒有清淨室可以正常運轉，無生產設備，也沒有 作業人員之狀態作業人員之狀態 11.清淨室生產設備完成狀態清淨室生產設備完成狀態(At-Rest Clean Ro

10、om):清淨室設備可以正常運轉，有生產設清淨室設備可以正常運轉，有生產設 備但沒有作業人員之狀態備但沒有作業人員之狀態12.清淨室操作狀態清淨室操作狀態(Operational Clean Room):清淨室設備可以正常運轉，生產設備可以開始清淨室設備可以正常運轉，生產設備可以開始 運作，也有作業人員之狀態運作，也有作業人員之狀態13.清淨度清淨度Monitoring(Cleanness Monitoring):要定期測定要定期測定/評價評價 清淨室內的特定位置或是清淨室內的特定位置或是 特定空間的清淨度特定空間的清淨度14.測定點測定點:評價清淨室內的性能時，所要測定的清淨室的空間位置評價清

11、淨室內的性能時，所要測定的清淨室的空間位置有關Clean Room 的用語文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。Clean Room 事例奈米奈米 pap Clean Room半導體工程半導體工程文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。Clean Room 事例手術房手術房LED 照明用半導體照明用半導體 Clean Room文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。Class 10,000食品公司食品公司Clean Room 事例文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改

12、正。Clean Room的分類Clean Room的種類，按照的種類，按照 室內清淨度、室內清淨度、氣流氣流 pattern、控管對象、控管對象、天花板高度、天花板高度、構造上的特徵與構造上的特徵與 Clean Room的平面規劃的平面規劃 Clean Room的清淨度的清淨度 依照依照Clean Room的規格，有的規格，有 Class 1,10,100,1000,10000,100000等分類等分類氣流氣流pattern 室內氣流，按照層流分類有層流式與亂流式室內氣流，按照層流分類有層流式與亂流式 控管對象控管對象 專門去除空氣中懸浮灰塵的工業用專門去除空氣中懸浮灰塵的工業用 Clean

13、Room,以及專門去除懸浮微生物的生物以及專門去除懸浮微生物的生物 Clean Room，此兩種分類。，此兩種分類。天花板高度天花板高度 天花板高度天花板高度 3m以下的稱為以下的稱為Low Bay,超過超過3m稱為稱為High Bay，此兩種分類。，此兩種分類。Clean Room的平面規劃的平面規劃 建築結構體的送風設備是永久性組合稱為建築結構體的送風設備是永久性組合稱為 Hard Wall式式,以及另一種的以及另一種的 Unit 式，此兩種分類式，此兩種分類。文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。產業用 Clean Room(ICR)有產品品質問題與信賴

14、性問題的工程，需要維持清淨環境的管理有產品品質問題與信賴性問題的工程，需要維持清淨環境的管理電子工業、精密機械工業等電子工業、精密機械工業等 因為尖端產業的發達，生產產因為尖端產業的發達，生產產品時要求精密化、微小化、高品質化與高信賴性。品時要求精密化、微小化、高品質化與高信賴性。電子工廠、電子工廠、film工廠及精密機械工廠，在製造生產中因室工廠及精密機械工廠，在製造生產中因室內的內的 懸浮懸浮particle黏附在產品上，而造成產品不良，成為黏附在產品上，而造成產品不良，成為生產合格產品的阻礙因素，因為對產品的信賴性以及生產生產合格產品的阻礙因素，因為對產品的信賴性以及生產成本有巨大的影響

15、，工廠全部，或是對於重要的作業部分，成本有巨大的影響，工廠全部，或是對於重要的作業部分，需要有維持環境清潔的因應。需要有維持環境清潔的因應。如此目的的清淨空間稱為如此目的的清淨空間稱為 Industrial Clean Room-即非即非常嚴格要求清淨的狀態。常嚴格要求清淨的狀態。文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。產業專用 Clean Room的清淨度以下是依據產品的精密度所需的環境清淨度以下是依據產品的精密度所需的環境清淨度產業清淨度VLSI製造Class 110LSI,IC製造 Class 00LSI,IC組合Class 1,000 10,000Com

16、pact discClass 100 10,000印刷基版製造Class 1,000 10,000磁性 TapeClass 100 10,000磁性discClass 100 100,000精密 gyroClass 100 10,000Laser 測試室Class 100 10,000精密電力儀器Class 100 10,000文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。生物專用 Clean Room(BCR)抑制菌的擴散與滲透所需的空間抑制菌的擴散與滲透所需的空間 Clean Room 製藥工廠、食品工廠、醫院手術房，為了防止產品污染、製藥工廠、食品工廠、醫院手術

17、房，為了防止產品污染、防止變質以及防止患者感染，需要要求幾乎無菌的狀態。防止變質以及防止患者感染，需要要求幾乎無菌的狀態。雖然一般的細菌可以經由高性能的過濾器去除，但是病毒雖然一般的細菌可以經由高性能的過濾器去除，但是病毒 比細菌還小，所以不容易去除。大部分的細菌或是病毒是比細菌還小，所以不容易去除。大部分的細菌或是病毒是附在懸浮的附在懸浮的 particle上，所以藉由去除空氣中的上，所以藉由去除空氣中的 particle，就可以將細菌都清除。可以藉由紫外線或是鹽化鋰去除空就可以將細菌都清除。可以藉由紫外線或是鹽化鋰去除空氣中的細菌，雖然具有殺菌效果，但近來，經由高性能的氣中的細菌，雖然具有

18、殺菌效果，但近來，經由高性能的Filter，就可以淨化空氣，保持幾乎無菌的狀態。，就可以淨化空氣，保持幾乎無菌的狀態。這就是所謂的抑制菌的擴散與滲透的清淨空間這就是所謂的抑制菌的擴散與滲透的清淨空間-Biological Clean Room。文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。生物專用 Clean Room的 清淨度以下是依據產業所需之生物專用以下是依據產業所需之生物專用 Clean Room的的 清淨度分類清淨度分類產業清淨度無菌手術房Class 100Tissue BankClass 100恢復室Class 100一般手術房Class 10,000 1

19、00,000無菌病房Class 10,000 100,000無菌動物飼育室Class 100動物飼育室Class 10,000 100,000微生物實驗室Class 1,000 10,000藥品製造Class 1,000 10,000化妝品製造Class 100乳品製造Class 100 10,000文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。Clean Room的方式Clean RoomClean Room的方式，原則上依照室內的氣流可分成的方式，原則上依照室內的氣流可分成Non laminar air flowNon laminar air flow方式以及方式

20、以及Laminar air Laminar air flowflow方式。方式。依照建築方法，現場施工的設施建築可分成永久性的依照建築方法，現場施工的設施建築可分成永久性的Hard WallHard Wall 型與可移動的型與可移動的unitunit型。型。方式的選定，可藉由方式的選定，可藉由 check check 所需要的所需要的 清淨度清淨度、運轉管理、設備費用等來決定。、運轉管理、設備費用等來決定。最近的趨勢，最近的趨勢，大多採用以上兩種型式能互相搭配的方式。大多採用以上兩種型式能互相搭配的方式。(例如例如 :Clean bench,Clean booth:Clean bench,Cl

21、ean booth等等)所需要的空氣 清淨度Clean Room 方式需要高 清淨度(Class 1,10)垂直層流方式整體需要 Class100垂直/水平 層流方式只有上流層需要 Class 100水平 層流方式一部份需要 Class 100亂流方式(Clean Booth 方式的 並用)需要以上以外的 清淨度亂流方式文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。亂流方式 Clean Room(Turbulent Flow,非單一方向氣流)非層流方式的非層流方式的Clean Room稱作亂流方式，藉由使用空調設備的稱作亂流方式，藉由使用空調設備的 HEPA filt

22、er擁有清淨的空間。擁有清淨的空間。此方式的室內氣流是呈漩渦分散，所以在室內產生的此方式的室內氣流是呈漩渦分散，所以在室內產生的 particle 會漂浮上去稀釋之後排出。會漂浮上去稀釋之後排出。因此，因此，要維持高清淨度是不容易，要維持高清淨度是不容易，此此清淨度清淨度，在美國聯邦，在美國聯邦 209B稱為稱為 Class 10,000-100,000。換氣回數是換氣回數是 20 80 回回/hr,使用使用 HEPA Box或是或是 BFU(Blower Filter Unit)是從空調機是從空調機 Make Up 的空氣取出，讓維持清淨所需的風量循環。此方式的的空氣取出，讓維持清淨所需的風

23、量循環。此方式的 Clean Room 在同一的室內條件裡，在同一的室內條件裡，即使即使換氣回數換氣回數 是是 80回以上回以上(例如，例如，100 回回/hr)也不會增加清淨度的提升效果。也不會增加清淨度的提升效果。文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。特徵特徵 -結構簡單結構簡單,設備費用價廉設備費用價廉-按照室內的結構與設備裝置按照室內的結構與設備裝置，在天花板設置，在天花板設置 Return Box，在室內設置在室內設置 Return 風度，讓風度，讓 空氣循環空氣循環-要擴張要擴張Room 相對容易相對容易(但但,在在AHU 容量範圍之內容量範圍之內

24、)-使用使用 Clean Bench，能形成局部的高，能形成局部的高 清淨度清淨度-容易發生渦流或是氣流的混亂，以及會發生污染的容易發生渦流或是氣流的混亂，以及會發生污染的 particle 在室內循環的情況。在室內循環的情況。亂流方式 Clean Room(Turbulent Flow,非單一方向氣流)文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。層流方式 Clean Room(Laminar Flow,單一方向氣流)垂直層流方式是清淨空氣從天花板所裝置的垂直層流方式是清淨空氣從天花板所裝置的 HEPA filter層開始往地板的格子面垂直流出。以此層開始往地板的格

25、子面垂直流出。以此方式，在室內所產生的方式，在室內所產生的particle會往下流移動會往下流移動，因為在室內排出，所以與非層流方式一樣，因為在室內排出，所以與非層流方式一樣，particle 不會在室內滯留、堆積。不會在室內滯留、堆積。因為有天花板的照明器具以及室內的器具等，因為有天花板的照明器具以及室內的器具等，無法形成完全的層流狀態，但是卻有能將無法形成完全的層流狀態，但是卻有能將particle清除乾淨的方法，那就是清除乾淨的方法，那就是 Class100。從天花板噴出風速是從天花板噴出風速是 0.5m/s，換氣回數是，換氣回數是 200-300回回/H 以上就可以做到。以上就可以做到

26、。因為因為 Return 的空氣一部份回到空調，所以要盡可能讓空氣循的空氣一部份回到空調，所以要盡可能讓空氣循環，如此一來也可以降低建築費用。環，如此一來也可以降低建築費用。垂垂直直層層流流方方式式文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。層流方式 Clean Room(Laminar Flow,單一方向氣流)水平層流方式是從牆壁上所設置的水平層流方式是從牆壁上所設置的 HEPA filter層開始往對面牆方向，將清淨空氣以水平方向流層開始往對面牆方向，將清淨空氣以水平方向流出。水平層流方式的出。水平層流方式的 HEPA filter層的下流作業位置上，層的下流作

27、業位置上，雖能擁有雖能擁有Class100的的 清淨度清淨度，但是越，但是越往下流流動，在上流產生的污染物的影響下，會發生高濃度的情況。往下流流動，在上流產生的污染物的影響下，會發生高濃度的情況。所以在牆壁面噴出的風速所以在牆壁面噴出的風速 0.5m/s 以及換氣回數以及換氣回數 200-300回回/H 以上就可以避免。以上就可以避免。因此，與垂直因此，與垂直層流方式一樣，要常常讓層流方式一樣，要常常讓 Clean Room 內部的空氣循環。內部的空氣循環。水水平平層層流流方方式式文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。Super Clean Room_1/6在

28、在Super Clean Room 採用的方式具有之前說明的各種採用的方式具有之前說明的各種 Clean Room 方式中的基本方式中的基本Vertical Laminar Flow的型態的型態,另外再採用按照空氣的循環型態以及溫濕度的控制方式的幾種另外再採用按照空氣的循環型態以及溫濕度的控制方式的幾種 System。近來，國內外最常採用的近來，國內外最常採用的 Super Clean Room 方式有方式有 Open Bay 方式方式,Fan Filter Unit 方式方式,Clean Tunnel Module方式等。方式等。基本上 All Down Flow 方式的一種循環 Fan(D

29、.F.U)設置在 Return Plenum 內，讓空氣循環,並依照清淨度，適當地配置Filter 與 Blind panel，以維持清淨的空間。在循環 Fan前後需要設置吸音設備以降低噪音及震動。為了抑制內部發熱，要設置Dry coil 來處理。對於導入的外氣，要設置外氣處理用的空調機。控制室內到露點溫、濕度為止之後，讓 Return Plenum 開始運作。1.Open Bay 方式方式-變更Layout有其限制。-對於風量的變更是有限界，所以清淨度的變換有限制。-需要 Fan的吸音設備。-對於間歇性的 Clean Room，要對應運轉時間不容易。-施工容易。-循環 Fan 故障時，整體的

30、風速會降低，導致 清淨度會降低。Open Bay 方式的特徵方式的特徵文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。Super Clean Room_2/6文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。因為Fan Filter Unit採用個別方式的垂直層流型system，所以沒有設置 為了Return Air 的空調機，只有 FFU，進行循環，是一種很經濟的 Clean Room方式。為了抑制內部發熱，要設置Dry coil 來處理。對於導入的外氣，要另外設置外氣處理專用的空調機。控制室內到露點溫、濕度為止之後，讓 Return Plenu

31、m 開始運作。2.FFU(Fan Filter Unit)方式方式-可以自由變更Layout。-可以自由變換清淨度。-Filter 上部的污染源不可以流入 Clean Room裡。-依照中央集中式管理的風速控管與 對數控管，對於維持管理會比較容易。-按照Unit 1，能產生多樣式的氣流。-因為低噪音，所以不需要吸音設備，能減少工程費用。-既有的建築物如有適當的高度的話，就可以裝置設備-施工期間短-從小規模 Clean Room到大規模 Clean Room能有多樣化運用。FFU(Fan Filter Unit)方式特徵方式特徵Super Clean Room_3/6文档仅供参考，不能作为科学依

32、据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。Super Clean Room_4/6文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。空氣循環系統以 Local 循環方式，生產設施的 Layout是以 Bay方式，以這兩種方式的情況下 設置 Fan,Filter 與 Cooling Coi 所組合成的 Tunnel Module，這就是能獲得所要的 清淨度 與溫濕度的方式。空氣循環動力費用與其他方式比較，是最少的，但是 維持清淨度,溫濕度的機能會稍微降低，若設置C.T.M的話，則會對移動有困難，會有 Flexibility的問題。空氣循環方式是以 Local循環的方式，所

33、以在各個 Bay所使用的藥品會影響鄰近的 Bay，而產生 Cross-contamination的問題，因此，最近逐漸以 Super Clean Room 方式形成規格化。3.C.T.M(Clean Tunnel Module)方式方式Super Clean Room_5/6文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。Super Clean Room_6/6文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。SMIF&FIMS SystemSMIF(Standard Mechanical Inter Face)&FIMS(Front-Openin

34、g Interface Mechanical Standard)系統，在 整體 Clean Room當中，要求對露光與蝕刻等裝置之超清淨的環境，藉由一部份空間以 Class 1 以下維持超清淨狀態，如此能夠大大提升整體 Clean Room設備的使用效率。次世代 Clean Room的設備會設置在各各核心的半導體設備上，就是所謂的超小型 Clean Room 裝備(Mini Environment),組成 密閉型晶片容器(Pod/FOUP),密閉型晶片容器開閉裝備(Indexer/Opener),以及移送晶片專用的robot系統 等。SMIF&FIMS System-進行晶片工程，能最小化空間

35、，藉由維持局部的高清淨度，根本性切斷外部環境所產生的污染-改善半導體的收益率與 收益性-減少設備與 Running 的 Cost-維持Chamber內氣流的平均分佈 SMIF&FIMS System的特徵文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。比較各個 Clean Room 方式_1/2項目垂直層流方式水平層流方式亂流方式Clean TubeClean Tunnel清淨度清淨度Class 1100Class 100Class 1,000100,000Class 1Class 1100作業中作業中 清淨度清淨度作業人員作業人員的影響小的影響小上流振動對下上流振動對

36、下流有影響流有影響作業人員作業人員會有影響會有影響作業人員作業人員不會有影響不會有影響作業人員的振作業人員的振動動 影響最小影響最小設備費設備費高高中中低低低低中中運轉運轉費用費用高高中中低低低低中中維修維修容易容易困難困難容易容易困難困難困難困難維持維持管理管理容易容易容易容易容易容易困難困難容易容易擴展性擴展性困難困難困難困難可能性可能性困難困難容易容易精密精密控制控制為了控管整體為了控管整體室內會稍微室內會稍微不均衡不均衡上流振動對下上流振動對下流有影響流有影響有不均衡有不均衡維持高維持高清淨度清淨度比操作有更高比操作有更高的精密度控管的精密度控管文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿

37、；如有不当之处，请联系本人改正。項目垂直層流方式水平層流方式亂流方式Clean TubeClean Tunnel系統比較各個 Clean Room 方式_2/2文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。Clean Room 構造要求事項項目要求部分要求內容天花板牆壁地板耐荷重性耐荷重性O重量材料不能損壞，以大型車輛運行時不能掉落重量材料不能損壞，以大型車輛運行時不能掉落耐震性耐震性OOO地震等的振動時，有其安全構造地震等的振動時，有其安全構造,以及不要失去平衡以及不要失去平衡氣密性氣密性OOO對於內部的壓力要維持其氣密性對於內部的壓力要維持其氣密性,對外部灰塵有防

38、止效對外部灰塵有防止效果的結構果的結構耐壓性耐壓性OOO對一般的壓力，不會變形的結構對一般的壓力，不會變形的結構耐衝擊性耐衝擊性O落下所造成的衝擊，不會發生分裂、分解或脆裂落下所造成的衝擊，不會發生分裂、分解或脆裂 隔熱性隔熱性OOO維持溫濕度，沒有結露問題之隔熱性構造維持溫濕度，沒有結露問題之隔熱性構造遮音性遮音性OOO在內外部所產生的聲音不容易穿透的構造在內外部所產生的聲音不容易穿透的構造防火性防火性OOO依照建築標準法、消防法的構造依照建築標準法、消防法的構造居住性居住性OOO地板不會滑，色調及天花板的高度不會有壓迫感地板不會滑，色調及天花板的高度不會有壓迫感吸音性吸音性OOO所產生的聲

39、音不會有回音的構造所產生的聲音不會有回音的構造文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。33Clean Room 設置裝備_1/5裝備名稱內容Picture Air Shower進入進入Clean Room時，為了防止外部的污染物質流時，為了防止外部的污染物質流入，要設置入，要設置 25m/SEC以上的以上的 清淨空氣機清淨空氣機 阻斷阻斷 微微塵塵/微生物流入微生物流入 Clean Room 的的 CLEAN UP裝置。裝置。Pass Box為了一方面能維持為了一方面能維持 Clean Room內部的內部的 清淨度清淨度，一，一方面能方便從外部搬進與搬出物品的方

40、面能方便從外部搬進與搬出物品的 CLEAN UNIT。PASS BOX是是 Clean Room與非與非 Clean Room的邊的邊界之設施，以防止污染空氣的混入。界之設施，以防止污染空氣的混入。文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。裝備名稱內容Picture HEPA Filter Unit亂流型亂流型 Clean Room 或是或是 CLEAN BOOTH的的 CLEAN UNIT設置。設置。不只有在不只有在 Clean Room的天的天花板設置，花板設置，擴散在四方的擴散在四方的UNIT之間之間 設置，看起來設置，看起來就變小了。就變小了。因為能以小的

41、設置因為能以小的設置COVER 大的面積，所以能夠節大的面積，所以能夠節省空調省空調 DUCT與與 UNIT的設置費用。的設置費用。設置設置FAN，讓室內空氣能自行循環，且能夠訂做，讓室內空氣能自行循環，且能夠訂做 在空調在空調 DUCT設置具有冷暖房的設置具有冷暖房的CLEAN UNIT。Relief Damper經由經由 維持室內的一定壓力，控管空氣的流動方向，維持室內的一定壓力，控管空氣的流動方向，控制室內外以及與鄰近房間的壓力差的機器，可以控制室內外以及與鄰近房間的壓力差的機器，可以防止室外污染空氣防止室外污染空氣污染污染 Clean Room。Clean Room 設置裝備_2/5文

42、档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。35裝備名稱內容Picture Clean Locker(Smock Room)在要求高清淨度的在要求高清淨度的 Clean Room，因為衣服的污染，因為衣服的污染是是particle與與 bacteria 的起源，所以需要維持保管場所的的起源，所以需要維持保管場所的 清淨清淨度度。以以 更衣室為中心，適當配置更衣室為中心，適當配置 廁所廁所,作業鞋作業鞋,殺菌盒殺菌盒,AIR Shower等的等的 Clean Locker是是 Clean Room裡最能夠抑制裡最能夠抑制 particle 之重要設備。之重要設備。Cle

43、an UnitCLEAN UNIT是是 HEPA Filter與與 Fan的的 送風部分，送風部分，是以是以 Package型所製造的空氣清淨機。型所製造的空氣清淨機。可以維持可以維持 Class 1000，適合實驗室、手術室、無菌室使用。，適合實驗室、手術室、無菌室使用。考慮到考慮到 Room Space，能夠以最淺的深度製作，能夠以最淺的深度製作，最能善用室內的活用空間。最能善用室內的活用空間。Clean Room 設置裝備_3/5文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。36裝備名稱內容Picture Clean Booth在在Clean Room裡部分要求

44、高裡部分要求高 清淨度清淨度(CLASS10-1,000)的區域使用，有天花板固定式與移動式兩種。的區域使用，有天花板固定式與移動式兩種。Air Control Unit裝置高性能裝置高性能 Filter，傑出的集塵效果與控制溫濕度，傑出的集塵效果與控制溫濕度，是是 Clean Room 專用的專用的 恆溫恆濕機。恆溫恆濕機。Clean Room 設置裝備_4/5文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。裝備名稱內容Picture Clean Bench在局部的空間在局部的空間 Class 100以下的空氣是以以下的空氣是以 0.5m/s風速流動，維持作業空間風速

45、流動，維持作業空間 Class 100以下的無塵無以下的無塵無菌的狀態。菌的狀態。氣流水平型氣流水平型 從作業空間上方的氣流從作業空間上方的氣流 向作業人員向作業人員的正面水平方向的正面水平方向Flow。氣流垂直型氣流垂直型 氣流從作業面上方垂直氣流從作業面上方垂直 Flow，設置，設置正面的正面的Slide Door，以維持內部經常性壓力，以維持內部經常性壓力，也，也可以防止污染的空氣流入。可以防止污染的空氣流入。氣流循環型氣流循環型 已經已經Clean的空氣的空氣，作業時藉由持，作業時藉由持續在下方循環的續在下方循環的Type HEPA Filter的壽命會延長。的壽命會延長。作業時使用，

46、可以防止灰塵產生，但是作業時內部作業時使用，可以防止灰塵產生，但是作業時內部的溫濕度可能會上升。的溫濕度可能會上升。Clean Room 設置裝備_5/5文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。Clean Room 規格以以ICR(工業用工業用Clean Room)的規格，的規格，1963年制定年制定 美國聯邦規格美國聯邦規格 209B(Federal Standard 209B)。除了除了 清淨度清淨度以外，依據壓力、氣流速度、溫度、濕度、照度以外，依據壓力、氣流速度、溫度、濕度、照度 制定規格。制定規格。FS209是是1988年的年的 209D 與與1992

47、年的年的 209E數次變更而成。數次變更而成。其他國家參考其他國家參考 FS209，採用自訂的規格。在日本，採用自訂的規格。在日本，1的空氣中包含粒子徑的空氣中包含粒子徑 0.1以上的粒子以上的粒子數以數以 10的平方的平方 來標示指數來標示指數(10N/的的 N)Class。關於關於1999年發表清淨度的國際規格年發表清淨度的國際規格 ISO14644，是邁向統一世界規格的一步。，是邁向統一世界規格的一步。參考美國聯邦規格參考美國聯邦規格 FED 209E，採用自訂的規格，採用自訂的規格，1999年年 所發表所發表的的 ISO 14644 制定為世界規格制定為世界規格 文档仅供参考，不能作为

48、科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。按照清淨度 等級的規格_美國聯邦規格依據GSA(General Services Administration)所制定的美國聯邦規格，從209開始到最新的 209E，已經有做修訂。1963年 12月發表 F.S 209,1966年 8月發表 209A,1973年 4月發表 209B,1987年 10月發表 209C,1988年 6月發表 209D,1992年發表 209E。以下是聯邦規格裡所規定的 Class Limit的 定義。(NA:Not Application)Class測定粒徑()0.10.20.30.551357.531NA1035

49、0753010NA100NA750300100NA1,000NANANA1,000710,000NANANA10,00070100,000NANANA100,000700(粒子數:/ft3)文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。清淨度測定規格標準單位 單位換算ISO 規格m31m31000美國聯邦規格ft31ft328.3 1 m3 35.31 ft3依環境使用攜帶型或是多功能依環境使用攜帶型或是多功能 Particle Counter測定測定文档仅供参考，不能作为科学依据，请勿模仿；如有不当之处，请联系本人改正。Clean Room 設計時注意事項_1/3項

50、目注意事項氣流方式氣流方式(Patterns of Air Flow)有層流式有層流式(垂直垂直,水平水平),亂流式亂流式,混流式混流式,tunnel式式,各自有其特色，從考各自有其特色，從考慮使用目的來選擇慮使用目的來選擇清淨度清淨度(Cleanness Level)Clean Room的的 清淨度是依據對產品要求的程度來決定。清淨度是依據對產品要求的程度來決定。清淨度清淨度 level是藉由充分地檢討氣流方式、換氣回數、室內壓力等來達成。是藉由充分地檢討氣流方式、換氣回數、室內壓力等來達成。計畫計畫(Lay-Out)考慮到作業性以及要滿足考慮到作業性以及要滿足 清淨度清淨度，需要制定，需要