扫描电子显微镜.pdf

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1、2021-072021-07 招标设备清单招标设备清单序号序号123设备名称设备名称扫描电子显微镜透射电子显微镜冷冻超薄切片机数量数量111技术参数技术参数见附件见附件见附件备注备注进口进口进口附件:附件:1 1、扫描电子显微镜进口、扫描电子显微镜进口场发射扫描电子显微镜主要用于材料外表的微观形貌的高分辨观察,可配备 X 射线能谱仪等附件,可同时进行微区的成分分析,应具有配备 X 射线能谱仪系统等的相应安装接口。技术参数1、分辨率:二次电子图像:1.0nm(15kV),1.4nm(1kV)背散射电子像:3.0nm(15kV)2、加速电压:0.1-30KV 连续可调3、束流范围:1pA2nA 连

2、续可调4、放大倍率 25X 1,000,000X;5、真空度:电子枪室高真空 10-7Pa样品室真空10-4Pa6、泵系统:磁悬浮分子泵、离子泵和机械泵7、电子光学系统电子枪:高稳定性场发射电子源,能自动合轴调整聚光镜:电磁透镜会聚系统,束流强度可连续可调;光阑角度控制透镜控制束斑尺寸物镜光阑:X/Y 方向精细可调对中电图像位移:5m,可通过控制电子束移动实现8、样品室和样品台样品台:5 轴马达驱动全对中样品台,示意图在监视器上显示样品台尺寸可装直径不小于 150mm 的样品行程:X70mm,Y=50mm,Z=1.5-25mm倾斜-5-+70旋转360样品更换:快速气锁更换样品(直径最大 15

3、0mm)9、附件接口:样品室提供包括二次电子探测器、背散射电子探测器。10、探测器及成像系统高位和低位二次电子探测器:二次电子像背散射电子探测器:纯成份像和形貌像成像模式:同时得到二次电子像、背散射电子像二次电子和背散射电子混合信号图像,且其相对含量连续可调11、扫描电镜计算机系统操作系统 Windows XP Professional显示器19 英寸 LCD12、自动离子溅射仪 进口1 套工作压力:好于 20Pa溅射电流:10,20,30,40mA溅射靶:白金样品台:直径 64mm真空室:120mm(直径)x100mm(高)13、配件拉伸台一套其它需要的附件、备件、特殊工具和消耗品提供二年以

4、上备品备件,提供备用场发射电子枪一支2 2、透射电子显微镜进口、透射电子显微镜进口本系统主要用于材料的高分辨形貌观察和微区的晶体结构、成分分析,系统由电子光学系统、高压系统、真空系统等局部组成1、电子枪:六硼化镧(LaB6)灯丝2、分辨率:点分辨率:nm;线分辨率:0.14nm3、加速电压:200kV4、物镜电流稳定度:1ppm/min(peak to peak)5、物镜焦距:球差系数:色差系数:6、最小束斑尺寸TEM 模式:20nm 以下放大倍率:MAG 模式:x2,000-x1,500,000;LOW MAG 模式:x50-x6,000SA MAG 模式:x8,000 x800,000;7

5、、样品更换:气锁方式,自动2 段抽气样品防污染液氮冷阱:标准样品台重复精度:优于 2m8、EDS 分析几何条件固体角:0.13 str.以上30mm2活区面积检测器取出角:25 以上 30mm2活区面积检测器,9、真空系统:高真空泵:电子枪和样品室离子泵,150 l/s,一个观察室和照相室扩散泵,420 l/s,一个低真空泵:机械泵,100 l/min,一个真空度:优于 210-5Pa10、图像观察窗大荧光屏:直径 160mm 以上小荧光屏:标准双眼目镜:标准10、X 射线能谱分析仪(EDS)进口该设备作为分析电子显微镜的主要附件之一,通过测量在电子束的照射下产生的X 射线的能量来确定材料的成

6、份,特别适于测量重元素的成份,对轻元素也可进行定性分析。是材料科学研究中不可缺乏的研究手段之一探测器:Si(Li)半导体探测器能量分辨率:优于 138eV有效检测面积:30mm2以上元素分析范围:B5-U92液氮罐容量:9 升探测器制冷方式:液氮冷却应用软件:定性分析、定量分析、彩色面分析等11、CCD 相机技术要求CCD 相机是用来对电子衍射斑点及高分辨像进行实时数字化的设备,并有进行图像处理的功能,因此要求含有先进的软件分辨率:4K x 2.7K 像素以上(SIS)每个像素尺寸:18m x 18m应用软件:图像采集、处理软件包耦合方式:光纤耦合安装部位:底装式3 3、冷冻超薄切片机进口、冷

7、冻超薄切片机进口1.独立的彩色触摸屏控制单元,操作简便。控制器支持热插拔。可控制切片机和冷冻室。彩色触摸屏可以控制切片机和冷冻室,控制方式更方便,简洁2.重力切片动力系统,无震动,切片精度高,带有自动保护装置,不会损坏刀片和刀架。3.切片厚度:半薄切片厚度:0.5 m5m 增量,连续可调,超薄切片厚度:1 nm1m,增量,连续可调4.切片速度:切片速度-100mm/s5.马达驱动刀台:马达驱动刀台步进:10mm 的 N-S 移动马达驱动刀台步进:25mm 的 E-W 移动6.切片记数器和进样累加器,切片速度和厚度数值设定的记忆系统57.全方位体视显微镜,观察角度可面向操作者倾斜,中心位置可移动。非常方便操作者观察。8.有冷冻功能,温度范围-15C-185C;烘干温度:110 C,能够完全除湿,切片机不会生锈。-15 度的工作温度,可以温暖聚合物切片。9.液氮地上放置,波纹管连接,震动小、噪音低。冷冻室连接在切片机主机机架上,可以减小外来震动。冷冻室外壁加热去冰雪,操作舒适。冷冻箱和样品臂采用动态隔热专利技术,不易结冰,不易震动。自动快速冷冻功能。10.制刀机:平衡断裂法11.低温*35 度钻石刀一把12、消耗品及附件厚玻璃条 60条 mm水槽 500个 多功能加热板一个

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