ESD静电敏感等级介绍.ppt

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1、防靜電材料物品量測與靜防靜電材料物品量測與靜電敏感等級測試介紹電敏感等級測試介紹ESD培訓系列教材之培訓系列教材之QC2010.082教材大綱教材大綱一、防靜電材料物品時效性檢驗一、防靜電材料物品時效性檢驗一、防靜電材料物品時效性檢驗一、防靜電材料物品時效性檢驗二、靜電敏感等級測試介紹二、靜電敏感等級測試介紹二、靜電敏感等級測試介紹二、靜電敏感等級測試介紹1.1.靜電放電模型靜電放電模型靜電放電模型靜電放電模型2.2.設備的設備的設備的設備的ESDESD實驗實驗實驗實驗3.SSD3.SSD料件的靜電敏感等級測試料件的靜電敏感等級測試料件的靜電敏感等級測試料件的靜電敏感等級測試3防靜電材料物品時

2、效性檢驗防靜電材料物品時效性檢驗防靜電材料物品技術性能與管理檢查項目防靜電材料物品技術性能與管理檢查項目防靜電材料物品技術性能與管理檢查項目防靜電材料物品技術性能與管理檢查項目:4靜電放電模型靜電放電模型一、人體放電模型(一、人體放電模型(一、人體放電模型(一、人體放電模型(HBMHBM,HumanBodyModelHumanBodyModel)1 1)理論介紹:這個測試模型表示放電從人體的指尖傳到器件上的導電管腳,該)理論介紹:這個測試模型表示放電從人體的指尖傳到器件上的導電管腳,該)理論介紹:這個測試模型表示放電從人體的指尖傳到器件上的導電管腳,該)理論介紹:這個測試模型表示放電從人體的指

3、尖傳到器件上的導電管腳,該模型通過一個開關組件,將充了電的模型通過一個開關組件,將充了電的模型通過一個開關組件,將充了電的模型通過一個開關組件,將充了電的100pF100pF電容器,在待測器件和與之相串聯電容器,在待測器件和與之相串聯電容器,在待測器件和與之相串聯電容器,在待測器件和與之相串聯的一個的一個的一個的一個15001500電阻上放電。放電本身是有電阻上放電。放電本身是有電阻上放電。放電本身是有電阻上放電。放電本身是有210ns210ns上升時間,和大約上升時間,和大約上升時間,和大約上升時間,和大約150ns150ns脉衝脉衝脉衝脉衝寬度的雙重指數信號波形。使用寬度的雙重指數信號波形

4、。使用寬度的雙重指數信號波形。使用寬度的雙重指數信號波形。使用15001500串聯電阻,意味著這個模型接近一個電串聯電阻,意味著這個模型接近一個電串聯電阻,意味著這個模型接近一個電串聯電阻,意味著這個模型接近一個電流源。所有的器件都應該視為流源。所有的器件都應該視為流源。所有的器件都應該視為流源。所有的器件都應該視為HBMHBM敏感器件。敏感器件。敏感器件。敏感器件。2 2)電路圖及示意圖:)電路圖及示意圖:)電路圖及示意圖:)電路圖及示意圖:5靜電放電模型靜電放電模型二、機器放電模型(二、機器放電模型(二、機器放電模型(二、機器放電模型(MMMM,MachineModelMachineMod

5、el)1 1)理論介紹:機器模型的損害主要來源,是能量迅速地從一個帶電的導體傳輸)理論介紹:機器模型的損害主要來源,是能量迅速地從一個帶電的導體傳輸)理論介紹:機器模型的損害主要來源,是能量迅速地從一個帶電的導體傳輸)理論介紹:機器模型的損害主要來源,是能量迅速地從一個帶電的導體傳輸到器件的導電管腳。這個放電模型是到器件的導電管腳。這個放電模型是到器件的導電管腳。這個放電模型是到器件的導電管腳。這個放電模型是200pF200pF電容直接對電容直接對電容直接對電容直接對500nH500nH電感放電,沒有電感放電,沒有電感放電,沒有電感放電,沒有串聯電阻。由於缺乏限制電流的串聯電阻器,這個模型接近

6、一個電壓源。在現串聯電阻。由於缺乏限制電流的串聯電阻器,這個模型接近一個電壓源。在現串聯電阻。由於缺乏限制電流的串聯電阻器,這個模型接近一個電壓源。在現串聯電阻。由於缺乏限制電流的串聯電阻器,這個模型接近一個電壓源。在現實中這個模型代表了物體之間的迅速放電,譬如帶電的電路板裝置,帶電的線實中這個模型代表了物體之間的迅速放電,譬如帶電的電路板裝置,帶電的線實中這個模型代表了物體之間的迅速放電,譬如帶電的電路板裝置,帶電的線實中這個模型代表了物體之間的迅速放電,譬如帶電的電路板裝置,帶電的線纜或一個自動測試的傳導手臂。放電本身是具有纜或一個自動測試的傳導手臂。放電本身是具有纜或一個自動測試的傳導手

7、臂。放電本身是具有纜或一個自動測試的傳導手臂。放電本身是具有58ns58ns上升時間和大約上升時間和大約上升時間和大約上升時間和大約80ns80ns周周周周期的正弦衰減波形。期的正弦衰減波形。期的正弦衰減波形。期的正弦衰減波形。2 2)電路圖:)電路圖:)電路圖:)電路圖:6靜電放電模型靜電放電模型三、充電器件模型(三、充電器件模型(三、充電器件模型(三、充電器件模型(CDMCDM,Charged-DeviceModelCharged-DeviceModel)1 1)理論介紹:帶電器件模型損害的主要來源是能量從一個帶電器件迅速的釋放。)理論介紹:帶電器件模型損害的主要來源是能量從一個帶電器件迅

8、速的釋放。)理論介紹:帶電器件模型損害的主要來源是能量從一個帶電器件迅速的釋放。)理論介紹:帶電器件模型損害的主要來源是能量從一個帶電器件迅速的釋放。靜電放電完全與器件相關,但器件零電位面的相對距離,卻能影響實際的失效靜電放電完全與器件相關,但器件零電位面的相對距離,卻能影響實際的失效靜電放電完全與器件相關,但器件零電位面的相對距離,卻能影響實際的失效靜電放電完全與器件相關,但器件零電位面的相對距離,卻能影響實際的失效水平。該模型假定,當帶電器件的導電管腳與具有較低電位的導體平面接觸時,水平。該模型假定,當帶電器件的導電管腳與具有較低電位的導體平面接觸時,水平。該模型假定,當帶電器件的導電管腳

9、與具有較低電位的導體平面接觸時,水平。該模型假定,當帶電器件的導電管腳與具有較低電位的導體平面接觸時,會發生迅速的放電。信號波形的上升時間經常小於會發生迅速的放電。信號波形的上升時間經常小於會發生迅速的放電。信號波形的上升時間經常小於會發生迅速的放電。信號波形的上升時間經常小於200s200s,整個放電過程可能,整個放電過程可能,整個放電過程可能,整個放電過程可能發生在少於發生在少於發生在少於發生在少於2.0ns2.0ns的時間里。的時間里。的時間里。的時間里。2 2)電路圖:)電路圖:)電路圖:)電路圖:7ANSI/ESDSTM5.1-2007介绍介绍美國國家標準美國國家標準美國國家標準美國

10、國家標準ANSI/ESDSTM5.1ANSI/ESDSTM5.1是國際通用的元件是國際通用的元件是國際通用的元件是國際通用的元件HBMHBM模型靜電放電敏感度測試標準。模型靜電放電敏感度測試標準。模型靜電放電敏感度測試標準。模型靜電放電敏感度測試標準。一、一、一、一、HBMHBM模型靜電放電敏感度等級分類:模型靜電放電敏感度等級分類:模型靜電放電敏感度等級分類:模型靜電放電敏感度等級分類:等級等級等級等級閥值電壓閥值電壓閥值電壓閥值電壓(V)(V)0 0250V250V1A1A250,500)250,500)1B1B500,1000)500,1000)1C1C1000,2000)1000,20

11、00)2 22000,4000)2000,4000)3A3A4000,8000)4000,8000)3B3B80008000二、必須的設備二、必須的設備二、必須的設備二、必須的設備1 1)人體模型靜電放電測試器)人體模型靜電放電測試器)人體模型靜電放電測試器)人體模型靜電放電測試器ESDESD測試設備是一個符合標準要求的組合設備。測試設備是一個符合標準要求的組合設備。測試設備是一個符合標準要求的組合設備。測試設備是一個符合標準要求的組合設備。2 2)波形驗證設備)波形驗證設備)波形驗證設備)波形驗證設備設備能夠驗證本標準中脈衝波形,包括:一個示波器、二個評估負載、和一個電流感測器。設備能夠驗證

12、本標準中脈衝波形,包括:一個示波器、二個評估負載、和一個電流感測器。設備能夠驗證本標準中脈衝波形,包括:一個示波器、二個評估負載、和一個電流感測器。設備能夠驗證本標準中脈衝波形,包括:一個示波器、二個評估負載、和一個電流感測器。8ANSI/ESDSTM5.1-2007介绍介绍三、設備和波形要求三、設備和波形要求三、設備和波形要求三、設備和波形要求6.16.1設備校準設備校準設備校準設備校準按照國家標準對全部的測試設備作校準,包括示波器、電流感測器和高壓電阻負載,最大的校準間隔時間為按照國家標準對全部的測試設備作校準,包括示波器、電流感測器和高壓電阻負載,最大的校準間隔時間為按照國家標準對全部的

13、測試設備作校準,包括示波器、電流感測器和高壓電阻負載,最大的校準間隔時間為按照國家標準對全部的測試設備作校準,包括示波器、電流感測器和高壓電阻負載,最大的校準間隔時間為一年。一年。一年。一年。6.26.2測試器審查和再審查測試器審查和再審查測試器審查和再審查測試器審查和再審查HBMESDHBMESD測試器的最初審查,應該按照交貨或第一次使用時的標準進行審查。測試器的最初審查,應該按照交貨或第一次使用時的標準進行審查。測試器的最初審查,應該按照交貨或第一次使用時的標準進行審查。測試器的最初審查,應該按照交貨或第一次使用時的標準進行審查。HBMESDHBMESD測試器的再審查,應該按照製造者的建議

14、執行,再審查測試的最大間隔時間是一年。測試器的再審查,應該按照製造者的建議執行,再審查測試的最大間隔時間是一年。測試器的再審查,應該按照製造者的建議執行,再審查測試的最大間隔時間是一年。測試器的再審查,應該按照製造者的建議執行,再審查測試的最大間隔時間是一年。PSPS:修理或者維護之後可能影響波形:修理或者維護之後可能影響波形:修理或者維護之後可能影響波形:修理或者維護之後可能影響波形,此時需要對測試儀器作校正。此時需要對測試儀器作校正。此時需要對測試儀器作校正。此時需要對測試儀器作校正。6.36.3測試器波形記錄測試器波形記錄測試器波形記錄測試器波形記錄新設備在最初審查時,需要對正、負極性的

15、波形作記錄新設備在最初審查時,需要對正、負極性的波形作記錄新設備在最初審查時,需要對正、負極性的波形作記錄新設備在最初審查時,需要對正、負極性的波形作記錄9ANSI/ESDSTM5.1-2007介绍介绍四、零件敏感等級測試要求和程式四、零件敏感等級測試要求和程式四、零件敏感等級測試要求和程式四、零件敏感等級測試要求和程式1 1)靜電敏感等級測試要求)靜電敏感等級測試要求)靜電敏感等級測試要求)靜電敏感等級測試要求A.A.測試之前、之中、之後始終對測試之前、之中、之後始終對測試之前、之中、之後始終對測試之前、之中、之後始終對DUTDUT採取完全的採取完全的採取完全的採取完全的ESDESD防護措施

16、防護措施防護措施防護措施B.B.使用短路線在使用短路線在使用短路線在使用短路線在1000V1000V或測試電壓下對波形的完整性進行驗證或測試電壓下對波形的完整性進行驗證或測試電壓下對波形的完整性進行驗證或測試電壓下對波形的完整性進行驗證C.C.測試測試測試測試DUTDUT在運轉和非運轉狀態下的電性能參數在運轉和非運轉狀態下的電性能參數在運轉和非運轉狀態下的電性能參數在運轉和非運轉狀態下的電性能參數D.D.確定所有可能的管腳組合,隨確定所有可能的管腳組合,隨確定所有可能的管腳組合,隨確定所有可能的管腳組合,隨DUTDUT不同而不同,取決於同樣名稱的電源管腳的組合。不同而不同,取決於同樣名稱的電源

17、管腳的組合。不同而不同,取決於同樣名稱的電源管腳的組合。不同而不同,取決於同樣名稱的電源管腳的組合。2 2)靜電敏感等級測試程式)靜電敏感等級測試程式)靜電敏感等級測試程式)靜電敏感等級測試程式A.A.最少抽取最少抽取最少抽取最少抽取3 3個測試樣品,測定它們在運轉和非運轉狀態下的電性能參數。個測試樣品,測定它們在運轉和非運轉狀態下的電性能參數。個測試樣品,測定它們在運轉和非運轉狀態下的電性能參數。個測試樣品,測定它們在運轉和非運轉狀態下的電性能參數。B.B.確定測試起始電壓與初始的管腳組合確定測試起始電壓與初始的管腳組合確定測試起始電壓與初始的管腳組合確定測試起始電壓與初始的管腳組合C.C.

18、對元件施加一個正的和負的電流脈衝,脈衝之間允許最小為對元件施加一個正的和負的電流脈衝,脈衝之間允許最小為對元件施加一個正的和負的電流脈衝,脈衝之間允許最小為對元件施加一個正的和負的電流脈衝,脈衝之間允許最小為0.30.3秒的間隔,然後對所有其他的管腳組合重複秒的間隔,然後對所有其他的管腳組合重複秒的間隔,然後對所有其他的管腳組合重複秒的間隔,然後對所有其他的管腳組合重複這一過程。這一過程。這一過程。這一過程。D.D.在室溫下測試元件在運轉與非運轉狀態下的電性能參數,如果在室溫下測試元件在運轉與非運轉狀態下的電性能參數,如果在室溫下測試元件在運轉與非運轉狀態下的電性能參數,如果在室溫下測試元件在

19、運轉與非運轉狀態下的電性能參數,如果3 3個元件的電性能參數均符合規格,則使用個元件的電性能參數均符合規格,則使用個元件的電性能參數均符合規格,則使用個元件的電性能參數均符合規格,則使用靜電敏感等級中更高一級的電壓重複以上測試步驟。靜電敏感等級中更高一級的電壓重複以上測試步驟。靜電敏感等級中更高一級的電壓重複以上測試步驟。靜電敏感等級中更高一級的電壓重複以上測試步驟。E.E.如果有元件失效,則使用如果有元件失效,則使用如果有元件失效,則使用如果有元件失效,則使用3 3個新的元件,使用一個較低的電壓重做敏感度測試。如果此元件仍然失效,再個新的元件,使用一個較低的電壓重做敏感度測試。如果此元件仍然

20、失效,再個新的元件,使用一個較低的電壓重做敏感度測試。如果此元件仍然失效,再個新的元件,使用一個較低的電壓重做敏感度測試。如果此元件仍然失效,再減小測試電壓級別作測試,直到測試電壓為減小測試電壓級別作測試,直到測試電壓為減小測試電壓級別作測試,直到測試電壓為減小測試電壓級別作測試,直到測試電壓為250V250V。10ANSI/ESDSTM5.1-2007介绍介绍五、失效判定標準五、失效判定標準五、失效判定標準五、失效判定標準被測試的元件不符合規定的電性能參數。被測試的元件不符合規定的電性能參數。被測試的元件不符合規定的電性能參數。被測試的元件不符合規定的電性能參數。典型的典型的典型的典型的IC

21、IC零件示意圖:零件示意圖:零件示意圖:零件示意圖:1.1.對任意一個對任意一個對任意一個對任意一個I/OI/O管腳的可能的測試組合:管腳的可能的測試組合:管腳的可能的測試組合:管腳的可能的測試組合:11ANSI/ESDSTM5.1-2007介绍介绍a.PSa.PS-模式模式模式模式:VSS:VSS腳接地,正的腳接地,正的腳接地,正的腳接地,正的ESDESD電壓出現在該電壓出現在該電壓出現在該電壓出現在該I/OI/O腳對腳對腳對腳對VSSVSS腳放電,此時腳放電,此時腳放電,此時腳放電,此時VDDVDD與其他腳皆浮接;與其他腳皆浮接;與其他腳皆浮接;與其他腳皆浮接;b.NSb.NS-模式模式模

22、式模式:VSS:VSS腳接地,負的腳接地,負的腳接地,負的腳接地,負的ESDESD電壓出現在該電壓出現在該電壓出現在該電壓出現在該I/OI/O腳對腳對腳對腳對VSSVSS腳放電,此時腳放電,此時腳放電,此時腳放電,此時VDDVDD與其他腳皆浮接;與其他腳皆浮接;與其他腳皆浮接;與其他腳皆浮接;c.PDc.PD-模式模式模式模式:VDD:VDD腳接地,正的腳接地,正的腳接地,正的腳接地,正的ESDESD電壓出現在該電壓出現在該電壓出現在該電壓出現在該I/OI/O腳對腳對腳對腳對VDDVDD腳放電,此時腳放電,此時腳放電,此時腳放電,此時VSSVSS與其他腳皆浮接;與其他腳皆浮接;與其他腳皆浮接;

23、與其他腳皆浮接;d.NDd.ND-模式模式模式模式:VDD:VDD腳接地,負的腳接地,負的腳接地,負的腳接地,負的ESDESD電壓出現在該電壓出現在該電壓出現在該電壓出現在該I/OI/O腳對腳對腳對腳對VDDVDD腳放電,此時腳放電,此時腳放電,此時腳放電,此時VDDVDD與其他腳浮接。與其他腳浮接。與其他腳浮接。與其他腳浮接。2.pin-to-pin2.pin-to-pin放電可能的測試組合放電可能的測試組合放電可能的測試組合放電可能的測試組合a.Positivea.Positive-模式模式模式模式:正的正的正的正的ESDESD電壓出現在某一電壓出現在某一電壓出現在某一電壓出現在某一I/O

24、I/O腳,腳,腳,腳,此時所有其他此時所有其他此時所有其他此時所有其他I/OI/O腳皆一起接地,但所有的腳皆一起接地,但所有的腳皆一起接地,但所有的腳皆一起接地,但所有的VDDVDD腳腳腳腳 與與與與VSSVSS腳皆浮接;腳皆浮接;腳皆浮接;腳皆浮接;b.b.NegativeNegative-模式模式模式模式:負的負的負的負的ESDESD電壓出現在某一電壓出現在某一電壓出現在某一電壓出現在某一I/OI/O腳,腳,腳,腳,此時所有其他此時所有其他此時所有其他此時所有其他I/OI/O腳皆一起接地,但所有的腳皆一起接地,但所有的腳皆一起接地,但所有的腳皆一起接地,但所有的VDDVDD腳腳腳腳 與與與

25、與VSSVSS腳皆浮接。腳皆浮接。腳皆浮接。腳皆浮接。12ANSI/ESDSTM5.1-2007介绍介绍3.V3.VDDDD-to-V-to-VSSSS的可能放電模式的可能放電模式的可能放電模式的可能放電模式a.Positivea.Positive-模式模式模式模式:正的正的正的正的ESDESD電壓出現在電壓出現在電壓出現在電壓出現在VDDVDD腳,腳,腳,腳,此時此時此時此時VSSVSS腳接地,腳接地,腳接地,腳接地,但所有但所有但所有但所有I/OI/O腳皆浮接;腳皆浮接;腳皆浮接;腳皆浮接;b.Negativeb.Negative-模式模式模式模式:負的負的負的負的ESDESD電壓出現在電

26、壓出現在電壓出現在電壓出現在VDDVDD腳,腳,腳,腳,此時此時此時此時VSSVSS腳接地,腳接地,腳接地,腳接地,但所有但所有但所有但所有I/OI/O腳皆浮接。腳皆浮接。腳皆浮接。腳皆浮接。靜電放電故障判斷靜電放電故障判斷靜電放電故障判斷靜電放電故障判斷 常見的有下述三種方法常見的有下述三種方法常見的有下述三種方法常見的有下述三種方法:絕對漏電流:當絕對漏電流:當絕對漏電流:當絕對漏電流:當ICIC被被被被ESDESD測試後,其測試後,其測試後,其測試後,其I/OI/O腳的腳的腳的腳的 漏電流超過漏電流超過漏電流超過漏電流超過1A(1A(或或或或10A)10A)。漏電流會隨所施加的偏壓大小。

27、漏電流會隨所施加的偏壓大小。漏電流會隨所施加的偏壓大小。漏電流會隨所施加的偏壓大小增加而增加增加而增加增加而增加增加而增加.相對相對相對相對I-VI-V漂移:當漂移:當漂移:當漂移:當ICIC被被被被ESDESD測試後,測試後,測試後,測試後,ICIC內部的內部的內部的內部的I-VI-V特性曲線漂移量在特性曲線漂移量在特性曲線漂移量在特性曲線漂移量在30%30%。功能觀測法功能觀測法功能觀測法功能觀測法:先把功能正常且符合規格之先把功能正常且符合規格之先把功能正常且符合規格之先把功能正常且符合規格之ICIC的每一支管腳依測試組合打上的每一支管腳依測試組合打上的每一支管腳依測試組合打上的每一支管

28、腳依測試組合打上ESDESD測試電壓,再測試電壓,再測試電壓,再測試電壓,再 拿去測試其拿去測試其拿去測試其拿去測試其功能是否仍符合原來的規格。功能是否仍符合原來的規格。功能是否仍符合原來的規格。功能是否仍符合原來的規格。對同一對同一對同一對同一ICIC而言,用不同的故障判定準則,可能會有不同的靜電敏感等級,因此而言,用不同的故障判定準則,可能會有不同的靜電敏感等級,因此而言,用不同的故障判定準則,可能會有不同的靜電敏感等級,因此而言,用不同的故障判定準則,可能會有不同的靜電敏感等級,因此ESDESD敏感等級要在有注明其故敏感等級要在有注明其故敏感等級要在有注明其故敏感等級要在有注明其故障判定

29、準則條件之下,才顯得有意義!障判定準則條件之下,才顯得有意義!障判定準則條件之下,才顯得有意義!障判定準則條件之下,才顯得有意義!13ANSI/ESDSTM5.1-2007介绍介绍測試次數計算:測試次數計算:測試次數計算:測試次數計算:假設一顆假設一顆假設一顆假設一顆40pin40pin的的的的IC(38IC(38支支支支I/OI/O,1 1支支支支VDDVDD,1 1支支支支VSS)VSS),其人體放電模式,其人體放電模式,其人體放電模式,其人體放電模式(HBM)(HBM)自自自自1400V1400V測到測到測到測到2000V2000V,每次每次每次每次ESDESD電壓增加量為電壓增加量為電

30、壓增加量為電壓增加量為100V100V的情形下,所要測試的次數:的情形下,所要測試的次數:的情形下,所要測試的次數:的情形下,所要測試的次數:每一測試腳在變化每一測試腳在變化每一測試腳在變化每一測試腳在變化ESDESD電壓之下的電壓之下的電壓之下的電壓之下的ZapZap次數次數次數次數=(2000-1400)/100+1=7=(2000-1400)/100+1=7次;次;次;次;每一支每一支每一支每一支I/OI/O管腳的測試組合管腳的測試組合管腳的測試組合管腳的測試組合=4=4種,種,種,種,3838支支支支I/OI/O管腳的總測試次數管腳的總測試次數管腳的總測試次數管腳的總測試次數=38=3

31、8支支支支44種種種種77次次次次=1064=1064次;次;次;次;Pin-to-PinPin-to-Pin靜電放電測試之次數靜電放電測試之次數靜電放電測試之次數靜電放電測試之次數=38=38支支支支22種種種種77次次次次=532=532次;次;次;次;VDD-to-VSSVDD-to-VSS靜電放電測試之次數靜電放電測試之次數靜電放電測試之次數靜電放電測試之次數=1=1支支支支22種種種種7=147=14次;次;次;次;故該故該故該故該4040腳位腳位腳位腳位ICIC的的的的ESD(14002000V)ESD(14002000V)總測試次數總測試次數總測試次數總測試次數=1610=161

32、0次。次。次。次。由上述的簡單估算可知,一具有由上述的簡單估算可知,一具有由上述的簡單估算可知,一具有由上述的簡單估算可知,一具有4040腳位的腳位的腳位的腳位的ICIC,只從,只從,只從,只從1400V1400V測到測到測到測到2000V2000V,每一次電壓調,每一次電壓調,每一次電壓調,每一次電壓調升升升升100V100V,則要,則要,則要,則要16101610次的次的次的次的ESDESD放電測試。以上所談的放電測試。以上所談的放電測試。以上所談的放電測試。以上所談的ESDESD測試次數是指測試次數是指測試次數是指測試次數是指HBMHBM測試,測試,測試,測試,若該若該若該若該ICIC也

33、要做也要做也要做也要做MMMM以及以及以及以及CDMCDM的的的的ESDESD測試,則還要再加上測試,則還要再加上測試,則還要再加上測試,則還要再加上MMMM及及及及CDMCDM的的的的ESDESD測試次測試次測試次測試次數。數。數。數。14ANSI/ESDSTM5.1-2007介绍介绍測試結果的判讀:假設下表為某一個測試結果的判讀:假設下表為某一個測試結果的判讀:假設下表為某一個測試結果的判讀:假設下表為某一個ICIC的靜電敏感等級測試數據。的靜電敏感等級測試數據。的靜電敏感等級測試數據。的靜電敏感等級測試數據。管腳組合管腳組合管腳組合管腳組合PDPD模式模式模式模式NDND模式模式模式模式

34、PSPS模式模式模式模式NSNS模式模式模式模式1 120002000-800-800500500OKOK2 225002500-1000-1000500500OKOK3 317501750-500-500500500OKOK4 4VDDVDDVDDVDDVDDVDDVDDVDD5 572507250OKOK70007000OKOK6 670007000OKOK70007000OKOK7 742504250-500-50040004000-5750-57508 850005000-250-25045004500-3000-30009 930003000OKOK45004500-7000-700

35、0101075007500OKOKOKOKOKOK111172507250OKOK72507250OKOK121220002000-1000-1000500500OKOK131322502250-750-750500500OKOK141422502250OKOK750750OKOK151565006500-750-750500500OKOK161615001500OKOK500500OKOK1717VSSVSSVSSVSSVSSVSSVSSVSS15ANSI/ESDSTM5.1-2007介绍介绍測試腳測試腳測試腳測試腳4 4是是是是VDDVDD,測,測,測,測 試腳試腳試腳試腳1717是是是是

36、VSSVSS,其他為,其他為,其他為,其他為輸入輸入輸入輸入或或或或輸出輸出輸出輸出腳。表中腳。表中腳。表中腳。表中“OK”OK”表示其表示其表示其表示其ESDESD耐壓超過耐壓超過耐壓超過耐壓超過8KV8KV以上。對以上。對以上。對以上。對I/OI/O腳有四種測試模式,腳有四種測試模式,腳有四種測試模式,腳有四種測試模式,先先先先看第看第看第看第7 7腳,其腳,其腳,其腳,其ESDESD耐壓分別為耐壓分別為耐壓分別為耐壓分別為4250V(PD-4250V(PD-模式模式模式模式),-500V(ND-500V(ND-模式模式模式模式),4000V(PS-4000V(PS-模式模式模式模式),以

37、及,以及,以及,以及 -5750V(NS-5750V(NS-模式模式模式模式),此第此第此第此第7 7腳的靜電放電故障臨界電壓腳的靜電放電故障臨界電壓腳的靜電放電故障臨界電壓腳的靜電放電故障臨界電壓(ESD failure threshold)(ESD failure threshold)定義為其四種測試模式定義為其四種測試模式定義為其四種測試模式定義為其四種測試模式下的最低值,即此第下的最低值,即此第下的最低值,即此第下的最低值,即此第7 7腳的腳的腳的腳的ESD failureESD failure thresholdthreshold為為為為500V500V。再看第。再看第。再看第。再看

38、第1111腳,其腳,其腳,其腳,其ESDESD耐壓分別為耐壓分別為耐壓分別為耐壓分別為7250(PD-7250(PD-模式模式模式模式),超過,超過,超過,超過8000V(ND-8000V(ND-模式模式模式模式),7250(PS-7250(PS-模式模式模式模式),以及超過,以及超過,以及超過,以及超過8000V(NS-8000V(NS-模式模式模式模式),此第,此第,此第,此第1111腳的腳的腳的腳的ESD failureESD failure thresholdthreshold為為為為7250V7250V。依此類推,每一。依此類推,每一。依此類推,每一。依此類推,每一腳都有其腳都有其腳

39、都有其腳都有其ESD failureESD failure thresholdthreshold。而此顆。而此顆。而此顆。而此顆ICIC的的的的ESD failure thresholdESD failure threshold定義為所有定義為所有定義為所有定義為所有ICIC腳中腳中腳中腳中ESD failure thresholdESD failure threshold最小的那個電壓值,因此,該顆最小的那個電壓值,因此,該顆最小的那個電壓值,因此,該顆最小的那個電壓值,因此,該顆ICIC的的的的ESD failure ESD failure thresholdthreshold僅僅僅僅為為

40、為為500V500V。在一批相同的。在一批相同的。在一批相同的。在一批相同的ICIC中,要隨機取樣一些中,要隨機取樣一些中,要隨機取樣一些中,要隨機取樣一些ICIC做做做做ESDESD耐壓測試,耐壓測試,耐壓測試,耐壓測試,在每樣測試中所挑在每樣測試中所挑在每樣測試中所挑在每樣測試中所挑 選的選的選的選的ICIC數目至少大於數目至少大於數目至少大於數目至少大於3 3顆。在這些顆。在這些顆。在這些顆。在這些ESDESD耐壓測試的耐壓測試的耐壓測試的耐壓測試的ICIC中,每一中,每一中,每一中,每一顆都可找出該顆顆都可找出該顆顆都可找出該顆顆都可找出該顆ICIC的的的的ESD failure thresholdESD failure threshold,可能每一顆之間的,可能每一顆之間的,可能每一顆之間的,可能每一顆之間的ESD failure ESD failure thresholdthreshold都不太相同,這時我們定義其中最低的都不太相同,這時我們定義其中最低的都不太相同,這時我們定義其中最低的都不太相同,這時我們定義其中最低的ESD failure thresholdESD failure threshold為該批為該批為該批為該批ICIC的的的的ESD failure thresholdESD failure threshold。16THE END!

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