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1、2011年12月9日电容位移传感器目 录v1.工作原理v2.简介v3.使用方法v4.注意事项1.工作原理A平板电容为:A 极板面积d 极板间距 0 真空介电常数r 极板介质的相对介电常数当被测物理量能使式中的发生变化，则电容器的电容C就会改变。如果保持其中两个参数不变，就可把的单一变化转换成电容量的变化，再通过配套的测量电路，将电容的变化转换为电量信号输出。（如图为双极性电容传感器的工作示意图）双极性电容传感器工作示意图2.简介电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器，具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨和无惰性特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳
2、定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。在国内研究所，高等院校、工厂和军工部门得到广泛应用，成为科研、教学和生产中一种不可缺少的测试仪器。目前主要类型为ZCS1100型、ZNXsensor型、FWS-C型、FW-C1型。ZNXsensor超精密电容位移传感器ZCS1100精密电容位移传感器应用领域：压电微位移、振动台，电子显微镜微调，天文望远镜镜片微调，精密微位移测量等。主要参数：量 程：初始间隙0与传感器电极板d0 分辨率：0.01nm 零磁滞 非线性：0.25%FSO 频带可调：505000Hz 灵敏度可调：5125m/V 输出信号：05.0V 零 漂：0.25%FSO 电 源：15V 体 积：19cm12cm8cm