ESD及其防护课件.ppt

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1、ESD及其防护理论培训课件 Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD制作:华阳多媒体永华事业所ESD小组参考文献:参考文献:静电放电(静电放电(ESD)及其防护技术)及其防护技术 -中国物理学会静电专业委员会出版中国物理学会静电专业委员会出版前言前言 随着我国IT产业的迅速发展和技术水平不断提高,高分子材料、大规模集成电路、微电子器件广泛应用于各领域及其产品,静电放电损伤给企业造成了重大的危害,因此,静电防护技术受到企业的普遍重视。为使企业从业人员系统全面掌握静电知识,掌握ESD防护原理与技术,解决实际ESD问题,熟悉国内外有关静电标准和测试方法,从而在生产中

2、提高产品可靠性,特制作本培训资料。第第1节节 静电产生的三种静电效应静电产生的三种静电效应 第第2节节 生产环境中的静电源生产环境中的静电源第第3节节 静电防护原理静电防护原理Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD第第1 1章:章:静电的产生、危害及防护技术静电的产生、危害及防护技术第第1节节 静电产生与三种静电效应静电产生与三种静电效应通常任何物体所带有的正负电荷是等量的,当与其它物体通常任何物体所带有的正负电荷是等量的,当与其它物体接触、摩擦、并由于机械作用分离时,因两种物体摩擦起电序接触、摩擦、并由于机械作用分离时,因两种物体摩擦起电序列不同,在一种物

3、体上积聚正电荷,另一种物体则积聚负电荷,列不同,在一种物体上积聚正电荷,另一种物体则积聚负电荷,在各物体上产生静电,并在外部形成静电场。在各物体上产生静电,并在外部形成静电场。两种物质互相摩擦是产生静电的一种最常见方式,但不是两种物质互相摩擦是产生静电的一种最常见方式,但不是唯一方式。另外静电产生的方式还有传输、感应、喷涂作业等唯一方式。另外静电产生的方式还有传输、感应、喷涂作业等等。等。Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD静电产生的三种静电效应静电产生的三种静电效应(表表1-1)静电的效应静电的效应产生的影响产生的影响车间实例车间实例静电荷产生的电场力物

4、体产生静电后,在其周围形成静电场。位于静电场中的任何其它带电体都会受到电场力排斥或吸引,特别对重量仅为几毫克或更低的毛发、纸片、尘埃、纤维的吸附作用则非常明显。S导线插入工位静电放电(ESD)当某些电介质、导体带上静电荷后,尽管所带电荷量不多,但由于本身对大地分布电容非常小,使得静电电位较高。当局部电场强度超过空气的击穿场强时,可向空气放电。对于人体静电放电,瞬间的放电电流峰值可以达几安培以上。(冬天梳头和脱衣服)LD劣化静电感应当导体和电介质置于静电场中,在其上感应出正或负静电荷。静电感应电位可达数千伏以上。这样高的静电电压也能够对电子仪器造成不良影响。仪器内设计不同的屏蔽Foryou Mu

5、ltimedia Electronics CO.,LTD第第2节:生产环境中的静电源节:生产环境中的静电源2.1 电子工业生产环境中存在许多产生静电的静电源电子工业生产环境中存在许多产生静电的静电源(见见表表1-2),它们的产生方式和对元器件的损坏有各自特点,其中,它们的产生方式和对元器件的损坏有各自特点,其中以摩擦起电方式影响最大。下面将部分典型静电源产生及如何以摩擦起电方式影响最大。下面将部分典型静电源产生及如何造成元器件失效作一简单介绍。造成元器件失效作一简单介绍。Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD物体或工艺加工物体或工艺加工材料(用品)或活动材料

6、(用品)或活动工作表面工作表面*封脂、涂漆或浸表面封脂、涂漆或浸表面 *工作台工作台*普通树脂或塑料面普通树脂或塑料面 *工作椅工作椅地面地面*塑料地板塑料地板 *打腊抛光木板打腊抛光木板 *普通乙烯树脂或板普通乙烯树脂或板服装服装*普通清洁室工作服普通清洁室工作服 *普通合成面料服装、手套普通合成面料服装、手套*非导电的鞋非导电的鞋 *纯棉纯棉软包装及操作软包装及操作*普通塑料:袋、置、封皮普通塑料:袋、置、封皮*普通泡沫容器、泡沫材料普通泡沫容器、泡沫材料周转容器周转容器*普通塑料托盘、塑料运输斗、瓶、零件盒普通塑料托盘、塑料运输斗、瓶、零件盒装配、清洗、试验修理装配、清洗、试验修理*水雾

7、水雾清除器清除器 *普通塑料焊料吸管普通塑料焊料吸管 *带有不接地焊嘴的烙铁带有不接地焊嘴的烙铁*通过流体或蒸发或吹干通过流体或蒸发或吹干 *温箱温箱 *热喷射和压缩机热喷射和压缩机*喷砂喷砂 *静电复印机静电复印机芯片载体芯片载体*芯片板托、盘型芯片板托、盘型 *工具类工具类物流物流器具(用品)器具(用品)*运转车运转车 *存放柜存放柜高高电压设备电压设备*产生静电感应电压并放电产生静电感应电压并放电典型的静电源典型的静电源(表表1-2)2.2 分述分述:静电源是如何产生静电危害?静电源是如何产生静电危害?1、工作服:工作服:作业人员穿用的普通工作服(化纤和纯棉)与工作台面,作业人员穿用的普

8、通工作服(化纤和纯棉)与工作台面,工作椅摩擦时可产生工作椅摩擦时可产生0.210微库仑的电荷量,在服装表面能微库仑的电荷量,在服装表面能产生产生6000伏以上的静电电压并使人体带电。当作业人员手持集伏以上的静电电压并使人体带电。当作业人员手持集成电路与工作服或工作台面放置的元器件接触时,即可导致放成电路与工作服或工作台面放置的元器件接触时,即可导致放电。因元器件各引出线接触电位不同和芯片电介质极薄绝缘强电。因元器件各引出线接触电位不同和芯片电介质极薄绝缘强度很低等原因,很容易造成器件电介质的击穿。度很低等原因,很容易造成器件电介质的击穿。Foryou Multimedia Electronic

9、s CO.,LTD2、工作鞋:、工作鞋:一般工作鞋(橡胶或塑料鞋底)的绝缘电阻高达一般工作鞋(橡胶或塑料鞋底)的绝缘电阻高达11013欧欧姆以上,当与地面摩擦时产生静电荷使人体带静电。调查表明姆以上,当与地面摩擦时产生静电荷使人体带静电。调查表明工作鞋与地面摩擦所产生静电导致元器件失效的事例并不多。工作鞋与地面摩擦所产生静电导致元器件失效的事例并不多。但因其较高的绝缘电阻使人体所带静电不能很快泄漏从而对元但因其较高的绝缘电阻使人体所带静电不能很快泄漏从而对元器件的生产带来不良影响。器件的生产带来不良影响。Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD3、树脂、浸漆封

10、装表面:、树脂、浸漆封装表面:许多元器件需要用高绝缘树脂、漆封装表面。因运输过程许多元器件需要用高绝缘树脂、漆封装表面。因运输过程的摩擦,在其表面能产生几百伏以上的静电电压,造成器件芯片的摩擦,在其表面能产生几百伏以上的静电电压,造成器件芯片击穿。击穿。4、各种包装和容器:、各种包装和容器:用用PE(聚乙烯)、聚乙烯)、PP(聚丙烯)、聚脂等高分子材料制备聚丙烯)、聚脂等高分子材料制备的包装和元件盒(箱)都可因摩擦、冲击产生静电荷(表面电位的包装和元件盒(箱)都可因摩擦、冲击产生静电荷(表面电位可达数可达数kV)并对所包装器件产生不良影响。并对所包装器件产生不良影响。Foryou Multim

11、edia Electronics CO.,LTD5、终端台、工作台:、终端台、工作台:终端台、工作台表面受到摩擦产生静电时,可对放置其上终端台、工作台表面受到摩擦产生静电时,可对放置其上的电子器件放电。的电子器件放电。6、各种绝缘地面:、各种绝缘地面:打腊抛光地板、橡胶板等都可因摩擦产生静电。另外因其打腊抛光地板、橡胶板等都可因摩擦产生静电。另外因其高绝缘电阻,作业人员带静电后不会短时间将静电荷泄漏。高绝缘电阻,作业人员带静电后不会短时间将静电荷泄漏。7、温箱:、温箱:温箱内热循环空气流动与箱体摩擦产生大量静电荷,对器温箱内热循环空气流动与箱体摩擦产生大量静电荷,对器件热烘处理非常不利。件热烘

12、处理非常不利。Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD8、CO2低温箱:低温箱:在使用在使用CO2的冷却箱内,的冷却箱内,CO2蒸气可以产生大量的静电荷。蒸气可以产生大量的静电荷。9、空气压缩机:、空气压缩机:利用空气压缩机的喷雾、清洗、喷漆、喷砂等设备都可因空利用空气压缩机的喷雾、清洗、喷漆、喷砂等设备都可因空气剧烈流动或介质与喷嘴摩擦产生大量静电荷。带电介质接触到气剧烈流动或介质与喷嘴摩擦产生大量静电荷。带电介质接触到电子器件时可造成损坏。电子器件时可造成损坏。10、某些电子生产设备:、某些电子生产设备:焊烙铁、波峰焊机等某些元器件装配设备内设的高压变压器

13、,焊烙铁、波峰焊机等某些元器件装配设备内设的高压变压器,交直流电路都可在设备上感应出静电电压。如不采取静电接地措交直流电路都可在设备上感应出静电电压。如不采取静电接地措施,也可使元器件在装配过程中失效。施,也可使元器件在装配过程中失效。Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD表表1-3 操作人员工作时产生静电的典型数据对比操作人员工作时产生静电的典型数据对比静电产生方法静电产生方法静电电压(静电电压(V)相对湿度:相对湿度:10%20%相对湿度:相对湿度:65%90%人在人在地毯上行走地毯上行走160001500人在人在乙烯树脂地板上行走乙烯树脂地板上行走12

14、000250人在人在工作台上操作工作台上操作6000100乙烯树脂说明书封面摩擦乙烯树脂说明书封面摩擦7000600聚氨脂聚氨脂泡沫垫子移动泡沫垫子移动180001400Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD1、日本曾对不合格的电子产品进行过解剖分析,发现、日本曾对不合格的电子产品进行过解剖分析,发现45%的不合格器件是由静电放电造成的。美国也在上世纪八十年代的不合格器件是由静电放电造成的。美国也在上世纪八十年代初作过统计,它的电子工业每年由于静电造成的损失高达初作过统计,它的电子工业每年由于静电造成的损失高达100亿亿美元。英国经过数年调查了解到,该国上世

15、纪美元。英国经过数年调查了解到,该国上世纪7080年代,每年代,每年因静电造成的电子产品损失约为年因静电造成的电子产品损失约为20亿英磅。亿英磅。2、北京某航天研究所,在、北京某航天研究所,在1992年初组装调试我国年初组装调试我国“资源卫资源卫星星”上使用的一种仪器时,因人体静电放电导致上使用的一种仪器时,因人体静电放电导致2只价值只价值6000美美元的进口并遭禁运的元的进口并遭禁运的CCD器件(一种器件(一种MOS器件)失效,几乎影器件)失效,几乎影响卫星的发射进度。响卫星的发射进度。2.3 静电对电子工业造成损害的典型事例静电对电子工业造成损害的典型事例Foryou Multimedia

16、 Electronics CO.,LTD3、航天部门北京某厂在生产一种、航天部门北京某厂在生产一种“长征三号火箭长征三号火箭”用仪器用仪器时,因进口时,因进口MOS门电路门电路CT30,用不防静电的塑料包装封装,短用不防静电的塑料包装封装,短短不到两年时间因静电导致器件失效损失达短不到两年时间因静电导致器件失效损失达30万人民币以上。万人民币以上。4、西欧一家著名的电视机制造厂在七十年代每日生产、西欧一家著名的电视机制造厂在七十年代每日生产1000部电视机。在生产制造方面,生产总故障率中部电视机。在生产制造方面,生产总故障率中60%是静电引起是静电引起的,每年要付出近千万美元的赔偿保证金。的,

17、每年要付出近千万美元的赔偿保证金。1979年由一家日本年由一家日本公司接收以后,采取高标准的品质管理和防静电措施,每日生公司接收以后,采取高标准的品质管理和防静电措施,每日生产产2000部电视机,累积故障率中只有部电视机,累积故障率中只有2%是由静电引起的。是由静电引起的。Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD提问问题提问问题1:防尘车间门口都吊有铁链,进入车防尘车间门口都吊有铁链,进入车间时手要先摸一下铁链,为什么间时手要先摸一下铁链,为什么?答案:车间内要求为防静电,吊链都有接地,这样进入车间时手摸铁链可以导走人体的静电,减小静电危害发生第第3节节 静电

18、防护原理静电防护原理方法方法1:静电耗散与接地:静电耗散与接地方法方法2:静电中和静电中和方法方法3:静电屏蔽与接地静电屏蔽与接地方法方法4:增湿:增湿在在很多操作过程中,不产生静电是不可能的,但产生静电并非很多操作过程中,不产生静电是不可能的,但产生静电并非危险所在,危害在于静电积累以及由此产生的静电放电。因此防止危险所在,危害在于静电积累以及由此产生的静电放电。因此防止静电积累显得尤为重要。下面分静电积累显得尤为重要。下面分4种方法介绍:种方法介绍:Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD方法方法1:静电耗散与接地静电耗散与接地静电耗散静电耗散,就是将,就

19、是将ESD防护材料或导体上积防护材料或导体上积累的静电荷用某些导静电方式,将其泄漏到大地累的静电荷用某些导静电方式,将其泄漏到大地或者一个表面积足够大的悬浮接地体上。或者一个表面积足够大的悬浮接地体上。静电接地静电接地适用于导静电材料和静电耗散材料。适用于导静电材料和静电耗散材料。如胶皮接地。如胶皮接地。Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD静电屏蔽材料静电屏蔽材料体积电阻率小体积电阻率小1 102欧欧米米导静电材料导静电材料(导体)(导体)表面电阻、体积电阻表面电阻、体积电阻1106欧姆欧姆静电耗散材料静电耗散材料表面电阻、体积电阻在表面电阻、体积电阻在1

20、 106 1 1010之间之间静电非导体材料静电非导体材料(绝缘体)(绝缘体)表面电阻、体积电阻在表面电阻、体积电阻在1 1011欧以上欧以上材料导电性能等级分类材料导电性能等级分类:Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD静电接地静电接地静电接地电阻值静电接地电阻值R的大小取决与危险静电源的最大起电的大小取决与危险静电源的最大起电率率I和防静电工作区中允许出现的最高静电电位和防静电工作区中允许出现的最高静电电位U:R=U/I对于静电接地电阻,国家标准对于静电接地电阻,国家标准GB12158-90规定;静规定;静电导体(材料)与大地间的总泄漏电阻通常不应大于电

21、导体(材料)与大地间的总泄漏电阻通常不应大于1兆欧,兆欧,每组专设的静电接地装置的接地电阻值,一航不应大于每组专设的静电接地装置的接地电阻值,一航不应大于100欧。在山区等地,其接地电阻值也不应大于欧。在山区等地,其接地电阻值也不应大于1000欧。欧。Foryou Multimedia Electronics CO.,LTDSJ/T10533-1994电子设备制造防静电技术要求电子设备制造防静电技术要求规定规定设备静电接地电阻值不大于设备静电接地电阻值不大于10欧。欧。电子工业静电接地有电子工业静电接地有软接地软接地和和硬接地硬接地之分,之分,软接地软接地是指地是指地线串接阻值较高的电阻器后再

22、与大地相连。软接地的目的在于线串接阻值较高的电阻器后再与大地相连。软接地的目的在于将对地电流限制在人身安全范围之下(通常为将对地电流限制在人身安全范围之下(通常为5毫安)软接地所毫安)软接地所需要的电阻值大小,取决于靠近接地点的人员可能接触到的交、需要的电阻值大小,取决于靠近接地点的人员可能接触到的交、直流电压值,很多标准将软接地电阻值定为直流电压值,很多标准将软接地电阻值定为1兆欧,(兆欧,(实例防静实例防静电手腕)电手腕)。硬接地硬接地是指将地线直接接地或通过一低电阻接地。是指将地线直接接地或通过一低电阻接地。一般情况,硬接地用于静电屏蔽或仪器设备,金属体的接地。一般情况,硬接地用于静电屏

23、蔽或仪器设备,金属体的接地。Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD方法方法2:静电中和静电中和静电中和静电中和是消除静电的重要措施之一,适用于消除静电非是消除静电的重要措施之一,适用于消除静电非导体上的电荷。导体上的电荷。静电中和原理:利用外界因素将空气电离,利用异性电荷静电中和原理:利用外界因素将空气电离,利用异性电荷相吸的原理,异号电荷与静电源上的电荷中和,同号电荷导向大相吸的原理,异号电荷与静电源上的电荷中和,同号电荷导向大地,从而消除静电源上积累的静电。地,从而消除静电源上积累的静电。在某些场合中,当不便使用在某些场合中,当不便使用ESD防护材料时,

24、或工作台或工防护材料时,或工作台或工艺线上必须使用某些高绝缘易产生静电的物品时,为了保证产品艺线上必须使用某些高绝缘易产生静电的物品时,为了保证产品质量就必须对操作环境采取静电中和措施。静电中和是借助离子质量就必须对操作环境采取静电中和措施。静电中和是借助离子静电消除器或感应式静电刷来实现的。静电消除器或感应式静电刷来实现的。Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD方法方法3:静电屏蔽静电屏蔽静电屏蔽静电屏蔽适用于对高压电源的静电屏蔽、某些对静电极敏适用于对高压电源的静电屏蔽、某些对静电极敏感电路的屏蔽,从而避免静电场对感电路的屏蔽,从而避免静电场对ESDS器

25、件和器件和ESDS组件的感组件的感应和静电放电产生的宽频带干扰。应和静电放电产生的宽频带干扰。适用于电路设计、工艺设计等工程。适用于电路设计、工艺设计等工程。Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD提问问题提问问题2:防尘车间内都配有中央空调,但为防尘车间内都配有中央空调,但为什么还要追加加湿机或环保空调?什么还要追加加湿机或环保空调?答案:答案:增加湿度,则非导体材料的表面电导率增加,增加湿度,则非导体材料的表面电导率增加,使物体积蓄的静电荷可以更快泄露。使物体积蓄的静电荷可以更快泄露。方法方法4:增湿增湿湿度增加可以使非导体材料的表面电导率增加,使物体积湿

26、度增加可以使非导体材料的表面电导率增加,使物体积蓄的静电荷可以更快泄露。在静电危险场所,在工艺条件许可蓄的静电荷可以更快泄露。在静电危险场所,在工艺条件许可时,可以安装空调设备、喷雾器以提高空气的相对湿度消除静时,可以安装空调设备、喷雾器以提高空气的相对湿度消除静电。电。为使静电达到最佳的控制效果,必须使湿度保持在为使静电达到最佳的控制效果,必须使湿度保持在60%70%以上。以上。在电子工业,提高湿度这种方法不能广泛使用,因为湿度在电子工业,提高湿度这种方法不能广泛使用,因为湿度过高会使工作人员感觉不舒适。过高会使工作人员感觉不舒适。而且会使设备生锈和材料受到而且会使设备生锈和材料受到损害。损

27、害。Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD第第2章章 企业企业ESD管理体系管理体系第第1节节 防静电体系的构成防静电体系的构成第第2节节 防静电用用品、测量设备介绍防静电用用品、测量设备介绍第第3节节 防静电接地及与其它常用几种接地关系防静电接地及与其它常用几种接地关系Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD第第1节节 防静电系统的构成防静电系统的构成企业内部的企业内部的ESD管理大体分为管理大体分为硬件部分硬件部分和和软件部分软件部分,而且,而且ESD作为专项工作由作为专项工作由ESD小组负责开展各项工作。(详见小组负责

28、开展各项工作。(详见ESD管管理规定)理规定)(一)硬件部份包括:(一)硬件部份包括:1、人体静电防护用品:、人体静电防护用品:防静电工作服、防静电鞋(鞋束)、防静电工作服、防静电鞋(鞋束)、手腕带、手套(指套)、帽子、袜子。手腕带、手套(指套)、帽子、袜子。2、防静电物流传递用品:、防静电物流传递用品:防静电包装(盒、箱、托盘等)、防静电包装(盒、箱、托盘等)、充填材料(泡沫塑料、发泡材料)、运转车、周转器具、存放柜充填材料(泡沫塑料、发泡材料)、运转车、周转器具、存放柜(架)、传输带等。(架)、传输带等。Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD3、防静电地

29、坪:、防静电地坪:地坪可以是多种类型,像地坪可以是多种类型,像PVC地板砖,高地板砖,高架防静电活动地板、环氧树脂类、橡胶(塑)地面、水泥类等。架防静电活动地板、环氧树脂类、橡胶(塑)地面、水泥类等。4、防静电操作系统:、防静电操作系统:工作台、工作椅、工具类(电烙铁、工作台、工作椅、工具类(电烙铁、吸锡器、分路棒、维修工具、吸锡器、分路棒、维修工具、ESD防护夹具)等。防护夹具)等。5、防静电接地:、防静电接地:防静电独立接地系统或其它几种接地共用防静电独立接地系统或其它几种接地共用系统。系统。6、环境控制系统:、环境控制系统:温度和湿度控制设备、环境洁净度控制温度和湿度控制设备、环境洁净度

30、控制系统。系统。Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD7、专用生产装联设备:、专用生产装联设备:采取防静电措施的生产装联设备。采取防静电措施的生产装联设备。8、特殊防静电用具(品):、特殊防静电用具(品):各类静电消除器(离子风静各类静电消除器(离子风静电消除器、静电消除刷等)、防静电剂(喷剂、腊、胶等)。电消除器、静电消除刷等)、防静电剂(喷剂、腊、胶等)。这类用品配置或使用并不是必需的,根据实际需要来确定。这类用品配置或使用并不是必需的,根据实际需要来确定。9、静电测量设备系统:、静电测量设备系统:漏电电压测试仪、表面电阻测试漏电电压测试仪、表面电阻测试

31、仪、人体静电测试仪、静电电荷量测试仪、表面静电位测试仪仪、人体静电测试仪、静电电荷量测试仪、表面静电位测试仪等配套的测试用具和各种电极。等配套的测试用具和各种电极。Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD(二)软件部分二)软件部分1、培训大纲与人员培训;、培训大纲与人员培训;-防静电知识防静电知识看板、入职培训看板、入职培训等等2、防静电工艺和设计文件;、防静电工艺和设计文件;-防静电管理规定防静电管理规定3、有关防静电专业标准;(参考国家标准等)、有关防静电专业标准;(参考国家标准等)4、规章制度和操作规程;、规章制度和操作规程;-防静电管理规定防静电管理规

32、定5、完整质量保证体系;、完整质量保证体系;-ESD小组、工序测定员、小组、工序测定员、ISO9001等等6、各种防静电警示标志;、各种防静电警示标志;-ESD标志、标志、ESD对应、重要工位等对应、重要工位等7、数据管理记录;、数据管理记录;-ESD测量记录表格测量记录表格8、客户要求或者审查问题点对应等、客户要求或者审查问题点对应等Foryou Multimedia Electronics CO.,LTDa:旧的防静电标签:旧的防静电标签b:新的防静电标签:新的防静电标签防静电防护标签(志)防静电防护标签(志)第第2节节 防静电用品、测量设备介绍防静电用品、测量设备介绍2.1 防静电工作区

33、(防静电工作区(EPA)定义定义配备各种防静电设备和器材、能限制静电电位,具有确定边界和配备各种防静电设备和器材、能限制静电电位,具有确定边界和专门标记的适于从事静电防护操作的场所叫防静电工作区。专门标记的适于从事静电防护操作的场所叫防静电工作区。凡是操作或生产静电放电敏感电子产品(元器件)的场所,都应凡是操作或生产静电放电敏感电子产品(元器件)的场所,都应视为防静电工作区。视为防静电工作区。Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD图图3-15 EPA工作区工作区Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD2.2 防静电用品介绍防

34、静电用品介绍1、防静电地坪、防静电地坪防静电工作区地面应具有静电耗散性能所以又叫防静电地坪。种防静电工作区地面应具有静电耗散性能所以又叫防静电地坪。种类有橡胶(塑)、类有橡胶(塑)、PVC地板块、环氧树脂、高架活动地板(铝制、钢地板块、环氧树脂、高架活动地板(铝制、钢质、木质等)和水泥类等。防静电地坪主要作用是耗散人体和防静电质、木质等)和水泥类等。防静电地坪主要作用是耗散人体和防静电装备的静电。地面一般设置接地网络,并和防静电接地系统相连接。装备的静电。地面一般设置接地网络,并和防静电接地系统相连接。静电泄漏电阻小于静电泄漏电阻小于1108欧。欧。2、防静电工作服、防静电工作服防静电工作服采

35、用导电纤维和棉等混纺制成,也有用渗碳或导电防静电工作服采用导电纤维和棉等混纺制成,也有用渗碳或导电合成纤维布制作。当与其它物体摩擦时,产生的静电通过导电纤维与合成纤维布制作。当与其它物体摩擦时,产生的静电通过导电纤维与人体的接触泄露或通过导电纤维间的电晕放电耗散,从而防止服装的人体的接触泄露或通过导电纤维间的电晕放电耗散,从而防止服装的静电积累。静电积累。Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD防静电装备(用品)图示防静电装备(用品)图示防静电防静电PVC材料材料Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD图图3-3防静电活动地板

36、、环氧树脂地坪防静电活动地板、环氧树脂地坪Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD3、防静电鞋、防静电鞋该鞋鞋底是用加入导电材料的合成橡胶(橡塑)制成,用以将该鞋鞋底是用加入导电材料的合成橡胶(橡塑)制成,用以将ESDS器件操作人员所带静电荷泄露大地,防止人体静电积极累。器件操作人员所带静电荷泄露大地,防止人体静电积极累。国家标准国家标准GB4368-95防静电胶底鞋,导电胶鞋安全技术条件防静电胶底鞋,导电胶鞋安全技术条件规定的防静电鞋鞋底电阻值为规定的防静电鞋鞋底电阻值为11051109欧,在穿用过程中,欧,在穿用过程中,鞋底部不得沾有任何绝缘物,并且禁止穿

37、用绝缘性袜子。鞋底部不得沾有任何绝缘物,并且禁止穿用绝缘性袜子。Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD图图3-1防静静电工作服、鞋、帽防静静电工作服、鞋、帽Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD4、防静电腕带和脚带、防静电腕带和脚带操作操作ESDS器件的人都应使用防静电腕带或脚带,器件的人都应使用防静电腕带或脚带,腕带和脚带的作用是防止人体双脚离地时与地绝缘,腕带和脚带的作用是防止人体双脚离地时与地绝缘,迅速将人体静电荷泄露到大地。迅速将人体静电荷泄露到大地。一般的防静电腕带由带扣、带子和接地连接线组一般的防静电腕带由带扣

38、、带子和接地连接线组成。为了保证操作人员安全,通常在腕带的连接线上成。为了保证操作人员安全,通常在腕带的连接线上串有一只串有一只1兆欧电阻,以限制人体触电时流过的电流兆欧电阻,以限制人体触电时流过的电流不大于不大于5毫安。毫安。5、防护指套、防护指套操作操作ESDS的器件的人所使用的指套,是用加入抗静电剂的器件的人所使用的指套,是用加入抗静电剂的乳胶制成,用以预防的乳胶制成,用以预防ESDS器件因不等电位造成损失。指套器件因不等电位造成损失。指套的表面和体积电阻应低于的表面和体积电阻应低于1 109 欧。欧。6、防静电袜子、防静电袜子防静电袜子是在袜底材料中植入导电丝制备而成,用来实防静电袜子

39、是在袜底材料中植入导电丝制备而成,用来实现人体和导电鞋的电气接触。袜底电阻不应大于现人体和导电鞋的电气接触。袜底电阻不应大于1 108欧。欧。7、工作帽、工作帽制作帽子材料和工作服一样,不仅用于防静电,而且具有制作帽子材料和工作服一样,不仅用于防静电,而且具有防止操作人员头部尘埃,毛发掉落防止操作人员头部尘埃,毛发掉落ESDS器件的防尘作用。器件的防尘作用。Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD图图3-2防静电手腕带、手套(指套)防静电手腕带、手套(指套)Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD8、防静电包装(袋、周转箱、托

40、盘、盒、泡沫充填物、发泡、防静电包装(袋、周转箱、托盘、盒、泡沫充填物、发泡材料)材料)防静电包装种类繁多,其大多是用防静电改性的高分子静电耗防静电包装种类繁多,其大多是用防静电改性的高分子静电耗散材料制作,像聚乙烯(散材料制作,像聚乙烯(PE)、)、ABS、玻璃钢、聚丙烯(玻璃钢、聚丙烯(PP)等。等。静电敏感器件的存放、运输必须使用防静电包装。防静电包装静电敏感器件的存放、运输必须使用防静电包装。防静电包装对对ESDS器件提供等电位保护,并对器件提供等电位保护,并对ESDS器件绝缘表面的静电起泄器件绝缘表面的静电起泄漏和耗散作用。静电屏蔽包装材料对静电感应提供屏蔽以保护漏和耗散作用。静电屏

41、蔽包装材料对静电感应提供屏蔽以保护ESDS器件。包装材料的使用应无腐蚀性和毒性并防尘。器件。包装材料的使用应无腐蚀性和毒性并防尘。其表面电阻率应小于其表面电阻率应小于1010欧,欧,1000V100V的衰减时间小于的衰减时间小于2S。Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD图图3-4防静电包装袋(泡沫塑料等)防静电包装袋(泡沫塑料等)Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD图图3-5 防静电周转容器、盒防静电周转容器、盒Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD9、运转车、存放柜(架)、传输带、

42、运转车、存放柜(架)、传输带运转车和存放柜(架)结构为金属架。台面为静电耗散材运转车和存放柜(架)结构为金属架。台面为静电耗散材料制备并和金属架有良好的电气连接。小车车轮和存放柜(架)料制备并和金属架有良好的电气连接。小车车轮和存放柜(架)支脚用导电橡胶制作。传输带采用防静电橡胶制作,并和接地支脚用导电橡胶制作。传输带采用防静电橡胶制作,并和接地装置连接。这些装备用于静电耗散和泄漏。对地电阻应小于装置连接。这些装备用于静电耗散和泄漏。对地电阻应小于1 109欧。欧。10、工作台、工作椅、工作台、工作椅工作台面用静电耗散材料制备并和工作台接地线相连,台工作台面用静电耗散材料制备并和工作台接地线相

43、连,台面摩擦产生静电可从接地线泄漏。工作椅表面为静电耗散材料。面摩擦产生静电可从接地线泄漏。工作椅表面为静电耗散材料。椅的结构为金属,脚轮为防静电脚轮和大地形成静电泄漏通路。椅的结构为金属,脚轮为防静电脚轮和大地形成静电泄漏通路。其静电泄漏电阻小于其静电泄漏电阻小于1108欧。欧。Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD11、防静电工具类、防静电工具类防静电电烙铁;有将烙铁头和壳体与地线连接的和低压防静电电烙铁;有将烙铁头和壳体与地线连接的和低压(DC36V、48V等)恒温的两种。用来防止烙铁头和壳体感应带电等)恒温的两种。用来防止烙铁头和壳体感应带电或漏电损

44、坏或漏电损坏EDSD器件。器件。吸锡器:吸锡头与地线相连防止感应带电。吸锡器:吸锡头与地线相连防止感应带电。维修工具:有钳子、镊子、夹具、剪子、螺丝刀、线夹、分路维修工具:有钳子、镊子、夹具、剪子、螺丝刀、线夹、分路棒等。用非铁磁性的静电耗散材料制作,用于静电耗散和防止静棒等。用非铁磁性的静电耗散材料制作,用于静电耗散和防止静电放电。电放电。Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD12、防静电接地系统、防静电接地系统为使各种防静电措施起到作用,在防静电工作区必为使各种防静电措施起到作用,在防静电工作区必须设置防静电接地系统。一般情况下防静电接地系统应须设置防静

45、电接地系统。一般情况下防静电接地系统应与下列防静电装备(用品)和设备相连接。与下列防静电装备(用品)和设备相连接。13、环境控制系统、环境控制系统在防静电工作区内,应有环境温度和湿度控制设备,在防静电工作区内,应有环境温度和湿度控制设备,使环境温度控制在使环境温度控制在2025左右,湿度左右,湿度RH50%75%左右,以防温度过低和湿度过低使静电明显产生。左右,以防温度过低和湿度过低使静电明显产生。Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD 提问问题提问问题3:为什么作业者只能用黑色椅子,不:为什么作业者只能用黑色椅子,不能能用蓝色椅子?能能用蓝色椅子?Fory

46、ou Multimedia Electronics CO.,LTD黑色椅子加入了碳、石墨等材料,导静电能力强,黑色椅子加入了碳、石墨等材料,导静电能力强,所以防静电材料一般呈黑色;但蓝色椅子不具导静所以防静电材料一般呈黑色;但蓝色椅子不具导静电功能所以禁用,只允许工作人员用。电功能所以禁用,只允许工作人员用。回答:回答:15、静电消除器(电离器)、静电消除器(电离器)在不能进行有效接地的地方,可以使用电离空气来泄放在不能进行有效接地的地方,可以使用电离空气来泄放静电荷,或耗散不能有效接地的绝缘体上的静电荷。电离器静电荷,或耗散不能有效接地的绝缘体上的静电荷。电离器对进行过喷涂工艺之处的电荷耗散

47、也是有用的。对进行过喷涂工艺之处的电荷耗散也是有用的。Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD图图3-6离子静电消除器离子静电消除器图图3-7离子枪离子枪Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD16、防静电剂、防静电剂防静电剂是化学剂,加在绝缘材料的表面或内部,使防静电剂是化学剂,加在绝缘材料的表面或内部,使其产生静电的能力降低。吸水型防静电剂,在低相对湿度其产生静电的能力降低。吸水型防静电剂,在低相对湿度条件下,其效力降低,可以使用其它不随湿度变化的防静条件下,其效力降低,可以使用其它不随湿度变化的防静电剂。防静电剂可能用刷

48、、喷涂、滚轧、浸渍、擦或其它电剂。防静电剂可能用刷、喷涂、滚轧、浸渍、擦或其它方法加在地板、地毯、工作台顶面、零件托盘、零件运载方法加在地板、地毯、工作台顶面、零件托盘、零件运载器、椅子、墙、天花板、工具、纸、塑料和蒙板上,使它器、椅子、墙、天花板、工具、纸、塑料和蒙板上,使它们在不同程度上成为防静电物体。们在不同程度上成为防静电物体。Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD华阳多媒体静电测量设备的介绍华阳多媒体静电测量设备的介绍表面静电位测试仪数字万用表Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD华阳多媒体静电测量设备的介绍华阳

49、多媒体静电测量设备的介绍人体静电位测试仪静电荷测试仪Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD华阳多媒体静电测量设备的介绍华阳多媒体静电测量设备的介绍防静电手腕测试仪防静电工鞋测试仪Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD华阳多媒体静电测量设备的介绍华阳多媒体静电测量设备的介绍表面电阻测试仪(含电极)Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD华阳多媒体静电测量设备的介绍华阳多媒体静电测量设备的介绍漏电电压测试仪Foryou Multimedia Electronics CO.,LTD第第3节节 防

50、静电接地及与其它几种接地的对比防静电接地及与其它几种接地的对比3.1 接地的形式和目的有很多种接地的形式和目的有很多种,一般分为静电一般分为静电接地、保护接地、工作接地、重复接地、防雷接地、保护接地、工作接地、重复接地、防雷接地等等。他们相同点都是安全措施,但又有接地等等。他们相同点都是安全措施,但又有本质区别。见表本质区别。见表3-1几种接地的对比几种接地的对比(表表3-1)接地类型接地类型概念理解概念理解保护接地就是将电气设备不带电的金属外壳部分与接地体连接,防止人触电.工作接地将电力系统中的某一点(通常是中性点)直接或经特殊设备(如消弧线圈、阻抗、电阻等)与大地作金属连接,称为工作接地。

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