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1、第十五章第十五章 X射线光谱与电射线光谱与电子能谱分析法子能谱分析法一、概述一、概述generalization二、二、X射线与射线与X射线谱射线谱X-ray and X-ray spectrum三三、X射线的吸收、散射和射线的吸收、散射和衍射衍射absorption,diffuse and diffraction of X-ray第一节 X射线和X射线光谱分析X-ray spectrometry and electron spectroscopyX-ray and X-ray spectrum analysis2023/1/17一、概述一、概述 generalization X-射线：波长0
2、.00150nm；X-射线的能量与原子轨道能级差的数量级相同；X-射线光谱X-射线荧光分析X-射线吸收光谱X-射线衍射分析 X-X-射线荧光分析射线荧光分析 利用元素内层电子跃迁产生的荧光光谱，应用于元素的定性、定量分析；固体表面薄层成分分析；2023/1/17 电子能谱分析电子能谱分析电子能谱分析紫外光电子能谱X-射线光电子能谱Auger电子能谱 利用元素受激发射的内层电子或价电子的能量分布进行元素的定性、定量分析；固体表面薄层成分分析；2023/1/17 共同点共同点(1)(1)属原子发射光谱的范畴；属原子发射光谱的范畴；(2)(2)涉及到元素内层电子；涉及到元素内层电子；(3)(3)以以
3、X-X-射线为激发源；射线为激发源；(4)(4)可用于固体表层或薄层分析可用于固体表层或薄层分析 2023/1/17二、二、X射线与射线与X射线光谱射线光谱 X-ray and X-ray spectrum1.1.初级初级X X射线的产生射线的产生 X-射线：波长0.00150nm的电磁波；0.0124 nm；(超铀K系谱线)(锂K系谱线)高速电子撞击阳极(Cu、Cr等重金属)：热能(99%)+X射线(1%)高速电子撞击使阳极元素的内层电子激发；产生X射线辐射；2023/1/172.2.X X射线光谱射线光谱（1 1）连续连续X X射线光谱射线光谱 电子靶原子，产生连续的电磁辐射，连续的X射线
4、光谱；成因：成因：大量电子的能量转换是一个随机过程，多次碰撞；阴极发射电子方向差异，能量损失随机；2023/1/17（2 2）X X射线特征光谱射线特征光谱特征光谱产生：特征光谱产生：碰撞跃迁(高)空穴跃迁(低)特征谱线的频率：特征谱线的频率：R=1.097107 m-1,Rydberg常数；核外电子对核电荷的屏蔽常数；n电子壳层数；c c光速；Z原子序数；不同元素具有自己的特征谱线不同元素具有自己的特征谱线定性基础定性基础 。2023/1/17跃迁定则：跃迁定则：(1)主量子数 n0(2)角量子数 L=1(3)内量子数 J=1，0J为L与磁量子数矢量和S；n=1,2,3，线系,线系,线系；L
5、K层K；K1、K2 MK层K；K1、K2 NK层K；K 1、K 2M L 层L；L1、L2NL层L ；L 1、L 2 NM层M；M1、M2 2023/1/17特征光谱特征光谱定性依据定性依据LK层；K 线系；n1=2，n2=1；不同元素具有自己的特征谱线不同元素具有自己的特征谱线 定性基础定性基础；谱线强度谱线强度定量定量；2023/1/17三、三、X X射线的吸收、散射与衍射射线的吸收、散射与衍射 absorption,diffuse and diffraction of X-ray1.X射线的吸收射线的吸收 dI0=-I0 l dl l：线性衰减系数；dI0=-I0 m dm m：质量衰减
6、系数；dI0=-I0 n dn n：原子衰减系数；衰减系数的物理意义：单位路程(cm)、单位质量(g)、单位截面(cm2)遇到一个原子时，强度的相对变化（衰减）；符合光吸收定律：I=I0 exp(-l l)固体试样时，采用 m=l/（：密度）；2023/1/17X X射线的吸收射线的吸收 X射线的强度衰减：吸收+散射；总的质量衰减系数m：m=m+mm：质量吸收系数；m：质量散射系数；NA：Avogadro常数；Ar：相对原子质量；k：随吸收限改变的常数；Z：吸收元素的原子序数；：波长；X射线的射线的 ；Z，越易吸收；，越易吸收；，穿透力越强；，穿透力越强；2023/1/17元素的元素的X X射
7、线吸收光谱射线吸收光谱 吸收限吸收限(吸收边吸收边)：一个特征X射线谱系的临界激发波长；在元素的X射线吸收光谱中，质量吸收系数发生突突变变；呈现非连续性非连续性；上一个谱系的吸收结束，下一个谱系的吸收开始处；能级能级(MK),吸收限吸收限(波长波长)，激发需要的能量激发需要的能量。2023/1/172.X射线的散射射线的散射 X射线的强度衰减：吸收+散射；X射线的射线的 ；Z，越易吸收，越易吸收，吸收吸收散射散射；吸收为主；吸收为主；，Z；穿透力越强；穿透力越强；对轻元素N,C,O，散射为主；(1)相干散射相干散射(Rayleigh散射，弹性散射散射，弹性散射)E 较小、较长的X射线 碰撞(原
8、子中束缚较紧、Z较大电子)新振动波源群（原子中的电子）；与X射线的周期、频率相同，方向不同。实验可观察到该现象；测量晶体结构的物理基础；X射线碰撞新振动波源群相干散射2023/1/17（2 2）非相干散射）非相干散射Comptom 散射、非弹性散射；散射、非弹性散射；Comptom-吴有训效应；吴有训效应；X射线非弹性碰撞，方向，变反冲电子波长、周相不同，波长、周相不同，无相干无相干 =-=K(1-cos)K 与散射体和入射线波长有关的常数；Z，非相干散射，非相干散射；衍射图上出现连续背景。2023/1/173 3.X射线的衍射射线的衍射 相干散射线的干涉现象；相等，相位差固定，方向同，n 中
9、n不同，产生干涉。X X射线的衍射线：射线的衍射线：大量原子散射波的叠加、干涉而产生最大程度加强的光束；Bragg衍射方程：DB=BF=d sin n=2d sin 光程差为 的整数倍时相互加强；2023/1/17BraggBragg衍射方程及其作用衍射方程及其作用 n =2d sin|sin|1；当当n=1 时，时，n/2d=|sin|1，即即 2d；只有当入射只有当入射X X射线的波长射线的波长 2倍晶面间距时，才能产生衍射倍晶面间距时，才能产生衍射BraggBragg衍射方程重要作用：衍射方程重要作用：(1)已知，测角，计算d；(2)已知d 的晶体，测角，得到特征辐射波长，确定元素，X射
10、线荧光分析的基础。2023/1/17内容选择内容选择第一节第一节 X射线与射线与X射线光谱分析射线光谱分析X-ray and X-ray spectrometry第二节第二节 X射线荧光分析射线荧光分析X-ray fluorescence spectrometry第三节第三节 X射线衍射分析射线衍射分析X-ray diffraction analysis第四节第四节 X射线光电子能谱射线光电子能谱X-ray electron spectroscopy结束结束2023/1/17第十五章 X射线光谱与电子能谱分析法一、一、X-射线荧光的产生射线荧光的产生creation of X-ray fluo
11、rescence二、二、X-射线荧光光谱仪射线荧光光谱仪X-ray fluorescence spectrometer三、应用三、应用 applications第二节 x-射线荧光分析X-ray spectrometry and electron spectroscopyX-ray fluorescence spectrometry2023/1/17一、X-射线荧光的产生 creation of X-ray fluorescence特征特征X X射线荧光射线荧光-特征特征X X射线光谱射线光谱碰撞内层电子跃迁H空穴外层电子跃迁LX射线荧光射线荧光X射线荧光 次级X射线(能量小)(能量大)激发过
12、程能量稍许损失；依据发射的X射线荧光 ，确定待测元素定性定性 X射线荧光强度定量定量2023/1/17Auger 效应Auger电子：次级光电子电子：次级光电子各元素的各元素的Auger电子能量固定；（电子能量固定；（电子能谱分析法电子能谱分析法的基础的基础）碰撞内层电子跃迁H空穴外层电子跃迁L原子内吸收原子内吸收另一电子激发Auger效应荧光辐射竞争竞争几率几率电电子子能能谱分析谱分析自由电子Z0.0X%)；2023/1/17内容选择：第一节第一节 X X射线与射线与X X射线光谱分析射线光谱分析X-ray and X-ray spectrometry第二节第二节 X 射线荧光分析射线荧光分
13、析X-ray fluorescence spectrometry第三节第三节 X 射线衍射分析射线衍射分析X-ray diffraction analysis第四节第四节 X 射线光电子能谱射线光电子能谱X-ray electron spectroscopy结束结束2023/1/17第十五章第十五章 X射线光谱与电射线光谱与电子能谱分析法子能谱分析法第三节第三节 X射线衍射分析射线衍射分析一、晶体特性一、晶体特性property of crystalproperty of crystal 二、多晶粉末衍射分析法二、多晶粉末衍射分析法multiple crystal powder diffrac
14、tion analysis三、单晶衍射分析法三、单晶衍射分析法single crystal diffraction analysisX-ray spectrometry and electron spectroscopyX-ray diffraction analysis2023/1/17一、一、晶体特性晶体特性 property of crystal 晶晶体体：原子、离子、分子在空间周期性排列而构成的固态物，三维空间点阵结构；点阵+结构基元；晶胞晶胞：晶体中空间点阵的单位，晶体结构的最小单位；晶胞参数晶胞参数：三个向量a、b、c，及夹角、；r,s,t；1/r,1/s,1/t：晶面在三个晶轴上
15、的截数截数和倒易截数倒易截数1/r1/s1/t=hkl；晶面(110)与C 轴平行；2023/1/17二、多晶粉末衍射分析二、多晶粉末衍射分析 multiple crystal powder diffraction analysis 在入射X光的作用下，原子中的电子构成多个X辐射源，以球面波向空间发射形成干涉光；强度与原子类型、晶胞内原子位置有关；衍射图：晶体化合物的“指纹”；多晶粉末衍射法：测定立方晶系的晶体结构；单色单色X射线源射线源样品台样品台检测器检测器2023/1/171.仪器特点仪器特点 X射线衍射仪与射线衍射仪与X射线荧光仪相似；主要区别：射线荧光仪相似；主要区别：(1)单色X射
16、线源;(2)不需要分光晶体;试样本身为衍射晶体，试样平面旋转；光源以不同 角对试样进行扫描；2023/1/172.应用应用 Bugger 方程：方程：2d sin =n 将晶面间距将晶面间距d和晶胞参数和晶胞参数a的关系带入：的关系带入：由测定试样晶体的衍射线出现情况，可确定晶体结构类型；由测定试样晶体的衍射线出现情况，可确定晶体结构类型；例：求例：求Al的晶胞参数，用的晶胞参数，用Cu(K 1)射线（射线（=1.5405埃埃）照射）照射样品，选取样品，选取 =81.17 的衍射线的衍射线(3 3 3)，则：，则：2023/1/17三、单晶衍射分析三、单晶衍射分析 single crystal
17、 diffraction analysis仪器：仪器：计算机化 单晶X射线四圆衍射仪四圆：四圆：、2 圆圆：围绕安置晶体的轴旋转的圆；圆圆：安装测角头的垂直圆，测角头可在此圆上运动；圆圆：使垂直圆绕垂直轴转动的圆即晶体绕垂直轴转动的圆；2023/1/17应用应用 能提供晶体内部三维空间的电子云密度分布，晶体中分子的立体构型、构像、化学键类型，键长、键角、分子间距离，配合物配位等。2023/1/17内容选择：内容选择：第一节第一节 X射线与射线与X射线光谱分析射线光谱分析X-ray and X-ray spectrometry第二第二节节 X射线荧光分析射线荧光分析X-ray fluoresce
18、nce spectrometry第三节第三节 X射线衍射分析射线衍射分析X-ray diffraction analysis第四节第四节 X射线光电子能谱射线光电子能谱X-ray electron spectroscopy结束结束2023/1/17第十五章第十五章 X射线光谱与电射线光谱与电子能谱分析法子能谱分析法第四节第四节 X射线电子能谱分析法射线电子能谱分析法一、基本原理一、基本原理principles二、二、X射线光电子能谱分析射线光电子能谱分析X-ray photoelectron spectroscopy 三、紫外光电子能谱分析三、紫外光电子能谱分析ultraviolet phot
19、oelectron spectroscopy四、四、Auger电子能谱电子能谱Auger photoelectron spectroscopy五、电子能谱仪五、电子能谱仪 electron spectroscopyX-ray spectrometry and electron spectroscopyX-ray electron spectroscopy 2023/1/17一、基本原理一、基本原理 principles 电子能谱法：光致电离；A +h A+*+eh紫外(真空)光电子能谱hX射线光电子能谱hAuger电子能谱 单色X射线也可激发多种核内电子或不同能级上的电子，产生由一系列峰组成的
20、电子能谱图，每个峰对应于一个原子能级（s、p、d、f）；2023/1/17光电离几率和电子逃逸深度光电离几率和电子逃逸深度 自由电子产生过程的能量关系：h=Eb+Ek+Er Eb+EkEb：电子电离能(结合能)；Ek：电子的动能；Er：反冲动能 光电离几率(光电离截面)：一定能量的光子在与原子作用时，从某个能级激发出一个电子的几率；与电子壳层平均半径，入射光子能量，原子序数有关；轻原子：1s/2 s 20 重原子：同壳层 随原子序数的增加而增大；电子逃逸深度：逸出电子的非弹性散射平均自由程；：金属0.52nm；氧化物1.54nm；有机和高分子410nm；通常：取样深度 d=3；表面无损分析技术
21、；2023/1/17电子结合能电子结合能 原子在光电离前后状态的能量差：Eb=E2 E1 气态试样：Eb=真空能级 电子能级差 固态试样：(选Fermi能级为参比能级)Eb=h sa Ek h sp Ek Fermi能级：能级：0K固体能带中充满电子的最高能级；功函数：功函数：电子由Fermi能级自由能级的能量；每台仪器的sp固定，与试样无关，约3 4eV；Ek可由实验测出，故计算出Eb 后确定试样元素，定性基础定性基础。2023/1/172023/1/17电子结合能电子结合能2023/1/17二、二、X射线光电子能谱分析法射线光电子能谱分析法 X-ray photoelectron spec
22、troscopy 光光电电子子的的能能量量分分布布曲曲线线：采用特定元素某一X光谱线作为入射光，实验测定的待测元素激发出一系列具有不同结合能的电子能谱图，即元素的特征谱峰群；谱谱峰峰：不同轨道上电子的结合能或电子动能；伴伴峰峰：X射线特征峰、Auger峰、多重态分裂峰。2023/1/171.1.谱峰出现规律谱峰出现规律(1)主量子数n小的峰比n大的峰强；(2)n相同，角量子数L大的峰比L小的峰强；(3)内量子数J大的峰比L小的峰强；(J=LS；自旋裂分峰)2023/1/172.谱峰的物理位移和化学位移谱峰的物理位移和化学位移物理位移物理位移：固体的热效应与表面荷电的作用引起的谱峰位移化学位移化
23、学位移：原子所处化学环境的变化引起的谱峰位移产生原因产生原因：(1)价价态态改改变变：内层电子受核电荷的库仑力和荷外其他电子的屏蔽作用；电子结合能位移Eb；结合能随氧化态增高而增加，化学位移增大；为什么？(2)电电负负性性：三氟乙酸乙酯中碳元素的2023/1/173.3.电负性对化学位移的影响电负性对化学位移的影响三氟乙酸乙酯电负性：FOCH4个碳元素所处化学环境不同；2023/1/174.X射线光电子能谱分析法的应用射线光电子能谱分析法的应用(1)(1)元素定性分析元素定性分析 各元素的电子结合能有固定值，一次扫描后，查对谱峰，确定所含元素(H、He除外)；(2)(2)元素定量分析元素定量分
24、析 一定条件下，峰强度与含量成正比，精密度1-2%；产物有氧化现象2023/1/17特殊样品的元素分析特殊样品的元素分析2023/1/17可从可从B B1212中中180180个不同原子中，检测出其中的一个个不同原子中，检测出其中的一个CoCo原子原子2023/1/17(3)(3)固体化合物表面分析固体化合物表面分析取样深度 d=3；金属0.52nm；氧化物1.54nm；有机和高分子410nm；表面无损分析技术；钯催化剂在含氮有机化合物体系中失活前后谱图变化对比。2023/1/17固体化合物表面分析固体化合物表面分析 三三种种铑铑催催化化剂剂X X射射线线电电子子能能谱对比分析；谱对比分析；2
25、023/1/17(4)化学结构分析化学结构分析 依据依据：原子的化学环境与化原子的化学环境与化学位移之间的关系；学位移之间的关系；例：化合物中有两种碳原子，例：化合物中有两种碳原子，两个峰；两个峰；苯环上碳与羰基上的碳；苯环上碳与羰基上的碳；羰基碳上电子云密度小，羰基碳上电子云密度小，1s电电子结合能大（动能小）；子结合能大（动能小）；峰强度比符合碳数比峰强度比符合碳数比。2023/1/17三、紫外光电子能谱分析法三、紫外光电子能谱分析法ultraviolet photoelectron spectroscopy1.1.原理原理 紫外光 外层价电子自由光电子（激发态分子离子）入射光能量h=I+
26、Ek+Ev+Er I 外层价电子电离能；Ev分子振动能；Er 分子转动能。紫外光源：He I(21.2eV)；He II(40.8eV)I Er；高分辨率紫外光电子能谱仪可测得振动精细结构；高分辨率紫外光电子能谱仪可测得振动精细结构；2023/1/17为什么电子能谱不能获得振动精细结构为什么电子能谱不能获得振动精细结构内层电子结合能振动能；X射线的自然宽度比紫外大；He I 线宽：0.003eV；Mg K 0.68eV；振动能级间隔：0.1eV；2023/1/17精细结构精细结构2023/1/17紫外光电子能谱：紫外光电子能谱：AB(X)：基态中性分子；AB+(X)：分子离子；AB(X)AB+
27、(X)(最高轨道电离跃迁)AB(X)AB+(A)(次高轨道电离跃迁)成键电子电离跃迁AB(X)AB+(B)反键电子电离跃迁第一谱带第一谱带I1：对应于第一电离能；分子基态(0)离子基态(0)裂分 峰：位于振动基态的分子，光电离时，跃迁到分子离子的不同振动能级；第二谱带第二谱带I2：第二电离能；非键电子；2023/1/17谱带形状与轨道的键合性质谱带形状与轨道的键合性质I：非键或弱键轨道电子电离跃迁II、III：成键或反键轨道电子电离跃迁；IV：非常强的成键或反键轨道电子电离跃迁；V：振动谱叠加在离子的连续谱上；VI：组合谱带；2023/1/17紫外光电子能谱图紫外光电子能谱图 两两种种结结构构
28、相相似似有有机机硫硫化化物物紫紫外外电电子能谱对比分析子能谱对比分析2023/1/17 M+*M+h (荧光X射线)M+*M+e (Auger电子)两个过程竞争；双电离态；三(或两)个能级参与；标记：K LI LII；L MI MII 等；H、He不能发射Auger电子；四、四、Auger电子能谱分析法电子能谱分析法 Auger photoelectron spectroscopy 1.原理Auger电子X射线激发电子2023/1/172.2.Auger电子能量电子能量(1)Auger电子动能与所在能级和仪器功函数有关；(2)二次激发，故与X射线的能量无关；(3)双重电离，增加有效核电荷的补偿
29、数 (=1/21/3)；通式：通式：Ew(Z)-EX(Z)：x轨道电子跃迁到w轨道空穴给出的能量；Ey(Z+)：y轨道电子电离的电离能；2023/1/173.3.Auger电子产额电子产额 用几率来衡量两个竞争过程，发射X射线荧光的几率PKX；发射K系 Auger电子的几率PKX，则K层X射线荧光产额：K层Auger电子几率产额：KA=1-KXZ90%;由图可见，Auger电子能谱更适合轻元素分析,Z32。2023/1/174.4.Auger峰强度峰强度 Auger峰强度峰强度：IA Qi PA Qi 电离截面；Auger电子发射几率；电离截面Qi与束缚电子的能量(Ei)和入射电子束的能量(E
30、p)有关；Ep Ei 电离不能发生，则电离不能发生，则Auger产额为零；产额为零；Ep /Ei 3 ，可获得较大，可获得较大Auger峰强度。峰强度。2023/1/175.5.Auger电子能谱图电子能谱图 Auger电子能量与元素序数和产生的能级有关，具有特征电子能量与元素序数和产生的能级有关，具有特征性；性；对于 3 14 的元素，Auger峰类型为：KLL 型；对于14 40的元素，Auger峰类型为：LMM 型；如图，按X射线能谱 记 录 的 曲 线 上，Auger谱峰淹没在本底中，采用微分曲线，则Auger谱峰明显；2023/1/17Auger电子能谱图电子能谱图锰的价态与形态分析
31、。2023/1/17五、电子能谱分析仪（多功能）五、电子能谱分析仪（多功能）electron spectroscopy激发源试样装置电子能量分析器检测器计算机2023/1/171.1.激发源激发源X射线电子能谱：X射线管；紫外电子能谱：He、Kr的共振线；Auger电子能谱：强度较大的电子枪(5-10 keV)；2023/1/172.2.电子能量分析器电子能量分析器(1)半球型电子能量分析器半球型电子能量分析器 改变两球面间的电位差，不同能量的电子依次通过分析器；分辨率高；(2)筒镜式电子能量分析器筒镜式电子能量分析器 （CMA)同轴圆筒，外筒接负压、内筒接地，两筒之间形成静电场；灵敏度高、分
32、辨率低；二级串联；2023/1/173.3.检测器检测器 产生的光电流：10-310-9；电子倍增器作为检测器；单通道电子倍增器；多通道电子倍增器；4.4.真空系统真空系统 光源、样品室、电子能量分析器、检测器都必须在高真空条件下工作；真空度：1.3310-6 Pa。2023/1/17内容选择：内容选择：第一第一节节 X 射线与射线与X射线光谱分析射线光谱分析X-ray and X-ray spectrometry第二节第二节 X 射线荧光分析射线荧光分析X-ray fluorescence spectrometry第三节第三节 X 射线衍射分析射线衍射分析X-ray diffraction analysis第四节第四节 X 射线光电子能谱射线光电子能谱X-ray electron spectroscopy结束结束2023/1/17