华灿LED芯片介绍ppt课件.ppt

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1、资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值华灿华灿LED芯片工艺介绍芯片工艺介绍芯片工艺部芯片工艺部曹歆曹歆资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值一、华灿光电芯片的作用一、华灿光电芯片的作用二、什么叫二、什么叫LED芯片芯片三、认识我们的三、认识我们的LED芯片芯片四、认识我们的原料(外延片)四、认识我们的原料(外延片)五、生产流程简介(前道)五、生产流程简介(前道)六、生产流程简介(后道)六、生产流程简介(后道)七、小结七、小

2、结资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值一、华灿光电芯片的作用一、华灿光电芯片的作用二、什么叫二、什么叫LED芯片芯片三、认识我们的三、认识我们的LED芯片芯片四、认识我们的原料(外延片)四、认识我们的原料(外延片)五、生产流程简介(前道)五、生产流程简介(前道)六、生产流程简介(后道)六、生产流程简介(后道)七、小结七、小结资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值LED户外显示屏户外显示屏资金是运动的价值,资金的价值是随时间

3、变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值LED户内显示屏户内显示屏资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值发光显示器件发光显示器件资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值光谱的组成光谱的组成资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值日用照明灯的分类日用照明灯的分类白炽灯荧光灯LED灯资金是运动的价值,

4、资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值一、华灿光电芯片的作用一、华灿光电芯片的作用二、什么叫二、什么叫LED芯片芯片三、认识我们的三、认识我们的LED芯片芯片四、认识我们的原料(外延片)四、认识我们的原料(外延片)五、生产流程简介(前道)五、生产流程简介(前道)六、生产流程简介(后道)六、生产流程简介(后道)七、小结七、小结资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值 LED(Light Emitting Diode,发光二极管)芯片是一种固态的半

5、导体器件,它可以直接把电转化为光。LED的心脏是一个半导体的晶片,晶片的一端附在一个支架上,一端是负极,另一端连接电源的正极,使整个晶片被环氧树脂封装起来。资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值什么是什么是led芯片芯片也称为led发光芯片,是led灯的核心组件,也就是指的P-N结。其主要功能是:把电能转化为光能,芯片的主要材料为GaN。半导体晶片由两部分组成,一部分是P型半导体,在它里面空穴占主导地位,另一端是N型半导体,在这边主要是电子。但这两种半导体连接起来的时候,它们之间就形成一个P-N结。当电流通过

6、导线作用于这个晶片的时候,电子就会被推向P区,在P区里电子跟空穴复合,然后就会以光子的形式发出能量,这就是LED发光的原理。而光的波长也就是光的颜色,是由形成P-N结的材料决定的。资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值一、华灿光电芯片的作用一、华灿光电芯片的作用二、什么叫二、什么叫LED芯片芯片三、认识我们的三、认识我们的LED芯片芯片四、认识我们的原料(外延片)四、认识我们的原料(外延片)五、生产流程简介(前道)五、生产流程简介(前道)六、生产流程简介(后道)六、生产流程简介(后道)七、小结七、小结资金是运

7、动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值我们的厂区环境我们的厂区环境资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值华灿光电的主要产品:蓝、绿光华灿光电的主要产品:蓝、绿光LED芯片芯片资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值一、华灿光电芯片的作用一、华灿光电芯片的作用二、什么叫二、什么叫LED芯片芯片三、认识我们的三、认识我们的LED芯片芯片四、认识我们的原料

8、(外延片)四、认识我们的原料(外延片)五、生产流程简介(前道)五、生产流程简介(前道)六、生产流程简介(后道)六、生产流程简介(后道)七、小结七、小结资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值外延片的形状与结构外延片的形状与结构资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值LED的波长、亮度、正向电压等主要光电参数基本上取决于外延材料。发光二极管对外延片的技术主要有以下四条:禁带宽度适合。可获得电导率高的P型和N型材料。可获得完整性好的

9、优质晶体。发光复合几率大。资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值外延片的生产设备外延片的生产设备MOCVD资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值一、华灿光电芯片的作用一、华灿光电芯片的作用二、什么叫二、什么叫LED芯片芯片三、认识我们的三、认识我们的LED芯片芯片四、认识我们的原料(外延片)四、认识我们的原料(外延片)五、生产流程简介(前道)五、生产流程简介(前道)六、生产流程简介(后道)六、生产流程简介(后道)七、小结七、

10、小结资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值车间环境车间环境无尘室无尘室无尘服无尘服净化级别:尘埃最大允许数/m3前道车间:百级后道车间:千级资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值前前 道道 车车 间间光刻光刻清洗清洗薄膜薄膜检验检验资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值清洗:使用各种酸、碱及有机溶液实现对产品的去污、去胶及腐蚀作用;常使用的

11、溶液有:硫酸、盐酸、硝酸、KOH、去胶液、丙酮、乙醇等。光刻:实现图形的转移。通过的主要步骤有:匀胶、软烘、曝光、显影、后烘。所有操作均在黄光区内完成。薄膜:沉积各种薄膜,刻蚀薄膜。通常使用的方法有真空蒸发、PECVD沉积及刻蚀。前道各工序的主要作用前道各工序的主要作用资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值清洗主要生产工具清洗主要生产工具提把花篮清洗台超声波清洗器甩干机资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值光刻工艺流程光刻工

12、艺流程资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值光刻生产工具光刻生产工具黄光生产环境手动自动匀胶机曝光机资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值薄膜区生产工具薄膜区生产工具退火炉沉积、刻蚀SiO2刻蚀GaN蒸发台资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值检验生产工具检验生产工具金相显微镜光学显微镜资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时

13、间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值前道工艺流程简介前道工艺流程简介1、外延片清洗 (硫酸+双氧水)清除外延片表面的有机杂质及颗粒。2、ITO蒸镀 (蒸镀一层透明导电薄膜)ITO能导电并有较好的透过率使发出的光引出。ITO蒸镀蒸镀资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值3、N区光刻 (做出N区的图形)4、一次ITO腐蚀(将N区上的ITO腐蚀干净)采用HCL腐蚀5、RIE刻蚀(将N区GaN刻蚀至N型GaN)6、刻蚀后去胶 露出露出N区区资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变

14、化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值7、二次ITO光刻8、二次ITO腐蚀(HCL+HNO3)9、腐蚀后去胶(丙酮去胶)露出露出P区区资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值制作制作N电极电极10、N电极光刻11、N电极蒸发(TiAl)12、N电极剥离去胶(NMP有机溶液去胶)13、N电极退火合金(500度)资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值制作制作P电极电极10、P电极光刻11、

15、P电极蒸发(TiAl)12、P电极剥离去胶(NMP剥离液去胶)资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值制作钝化层制作钝化层13、冲水14、沉积钝化层(SiO2)15、钝化层光刻16、刻蚀SiO217、钝化层去胶(丙酮去胶)18、等离子打胶(300W)前道结束资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值一、华灿光电芯片的作用一、华灿光电芯片的作用二、什么叫二、什么叫LED芯片芯片三、认识我们的三、认识我们的LED芯片芯片四、认识我们的

16、原料(外延片)四、认识我们的原料(外延片)五、生产流程简介(前道)五、生产流程简介(前道)六、生产流程简介(后道)六、生产流程简介(后道)七、小结七、小结资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值后道生产流程后道生产流程资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值减薄生产工具减薄生产工具减薄机研磨盘高度计上蜡减薄研磨下蜡清洗将芯片减薄至85m并清洁干净资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,

17、其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值划裂生产工具划裂生产工具划片机裂片机将整片连在一起的芯片切分成一颗颗的小芯片。资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值划片示意图划片示意图资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值裂片示意图裂片示意图资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值扩晶生产工具扩晶生产工具扩晶环使每一颗小芯片之间有一定的间距,便于分选

18、。资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值测试机测试机需测试每颗芯片的波长与亮度资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值分选机分选机将相同波长与亮度的芯片集中在一个Bin上。资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值成成 品品客客 户户公司公司资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是

19、原有资金的时间价值一、华灿光电芯片的作用一、华灿光电芯片的作用二、什么叫二、什么叫LED芯片芯片三、认识我们的三、认识我们的LED芯片芯片四、认识我们的原料(外延片)四、认识我们的原料(外延片)五、生产流程简介(前道)五、生产流程简介(前道)六、生产流程简介(后道)六、生产流程简介(后道)七、小结七、小结资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值1、LED芯片的作用和结构2、LED芯片的原料(外延片)3、LED芯片的制作流程(前道及后道)4、LED芯片制作过程中用到的主要设备资金是运动的价值,资金的价值是随时间变化而变化的,是时间的函数,随时间的推移而增值,其增值的这部分资金就是原有资金的时间价值Thank You!

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