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1、廠務系統概述莊士正整廠系統1.1.廠務系統功能廠務系統功能1.1 1.1 水系統在製程中的功能水系統在製程中的功能PCW製程冷卻水製程機台冷卻UPW/DIW超純水補水/清洗/稀釋Chill Water冰水冷卻用冷源/空調用冰水RW回收水DI回收/冷凝回收/再生使用CW自來水原水/一般用水1.2 1.2 氣體系統在製程中的功能氣體系統在製程中的功能CDA壓縮乾燥空氣搬運器/儀器之氣壓缸/一般沖吹GN2一般氮氣Purge/CDA Backup/潔淨沖吹PN2純化氮氣Purge/空間填充/超潔淨沖吹其他B-GAS大宗氣體製程需求/Purge/空間填充/超潔淨沖吹S-GAS特殊氣體製程Chamber填
2、充需求/乾蝕刻製程需求1.3 1.3 化學系統在製程中的功能化學系統在製程中的功能Chemical化學藥品清潔清洗/濕式蝕刻製程需求1.4 1.4 真空系統在製程中的功能真空系統在製程中的功能PV製程真空基板吸引般移HV清潔真空塵屑吸引清潔/真空吸筆Pump Line製程高真空Chamber製程轉換之高真空建立Exhaust排氣系統Chamber製程轉換之廢氣排除Drain排水系統機台製程使用之廢DI/Chemical排放1.5 1.5 排氣排氣/排水系統在製程中的功能排水系統在製程中的功能2.2.廠務系統使用材質廠務系統使用材質2.1 2.1 水系統使用材質水系統使用材質PCW製程冷卻水SU
3、S 304禁油處理/高壓軟管UPW/DIW超純水CPVC/PVDF/PFA TubeChill Water冰水SUS 304RW回收水SUS 304CW自來水SUS 304CDA壓縮乾燥空氣SUS 304L AP/BA/316L BAGN2一般氮氣SUS 316L BA/EPPN2純化氮氣SUS 316L EP其他B-GAS大宗氣體SUS 316L EP/PH2有時用雙套管(EP/AP)S-GAS特殊氣體SUS 316L EP/雙套管/加熱套2.2 2.2 氣體系統使用材質氣體系統使用材質-(除特氣外機台端都可能用Teflon軟管)2.3 2.3 化學系統使用材質化學系統使用材質有機類化學藥品
4、例如溶劑類SUS 316 BA一般酸鹼化學藥品例如H2SO4/NaOHPVC/CPVC其他化學藥品CPVC/PFA/PVDF/PTFE2.4 2.4 真空系統使用材質真空系統使用材質PV製程真空PVC SCH80/SUS 304HV清潔真空PVC SCH80/SUS 304Pump Line製程高真空SUS 316 BA/EPGEX一般排氣鍍鋅螺旋風管2.5 2.5 排氣系統使用材質排氣系統使用材質Solvent有機排氣SUS 304全焊式不銹鋼風管Acid/Ak酸鹼排氣不銹鋼Teflon Coating風管(Tefpass)2.6 2.6 排水系統使用材質排水系統使用材質Drain一般排水P
5、VC/PVC SCH80Solvent有機排氣水SUS 304不銹鋼管Acid/Ak酸鹼排氣水PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA3.3.廠務系統流程廠務系統流程3.1 3.1 製程冷卻水系統簡略流程製程冷卻水系統簡略流程原水補水膨脹水箱冰水出冰水進板 熱製程管線機台冷卻進水回水3.2 3.2 冰水系統簡略流程冰水系統簡略流程冷卻水塔MAU冰水出冰水回大 氣冰水主機冷媒循環RCUAHU其他空調箱DCC板 熱冷卻水3.3 3.3 純水系統簡略流程純水系統簡略流程City Water自來水自來水DM Filter去除鈣鎂去除鈣鎂Decarbonator去除去除CO2WA Tower去除碳
6、酸鈣去除碳酸鈣SA Tower去除碳酸鈣去除碳酸鈣RO TankRO進水槽進水槽Heat Exchange熱交換器熱交換器UV Sterilizer紫外線殺菌紫外線殺菌Safety Filter過濾器過濾器RO Unit逆滲透膜逆滲透膜PermeatePit逆滲透底槽逆滲透底槽Mixed Bed去除去除SiO2MembraneDegasifier去除去除O2UPW Tank純水儲槽純水儲槽Cooler冷卻器冷卻器UV Oxidizer破壞有機鏈破壞有機鏈UF Unit超限過濾膜超限過濾膜H2 UPW Tank純水儲槽純水儲槽H2 CoolerH2冷卻器冷卻器H2 M.D.H2去除膜去除膜H2
7、DesolveMembraneH2除溶膜除溶膜H2W UF Unit超限過濾膜超限過濾膜P.O.U使用點使用點回水回水回水回水3.4 3.4 自來水自來水/回收水系統簡略流程回收水系統簡略流程自來水外管水表/隔離閥供應管線使用點自來水自來水空氣中水份冷盤/空調箱回收管線回收水槽回收水回收水使用點3.5 CDA/GN2/PN23.5 CDA/GN2/PN2系統簡略流程系統簡略流程CDACDAGN2/PN2GN2/PN2大氣大氣空壓機空壓機蓄壓槽蓄壓槽初級初級過濾器過濾器冷凍式冷凍式乾燥機乾燥機吸附式吸附式乾燥機乾燥機精密精密過濾器過濾器大氣大氣氮氣氮氣產生器產生器液氮槽液氮槽蒸發器蒸發器減壓站減
8、壓站過濾器過濾器純化器純化器使用點使用點一一/二次管二次管二次盤二次盤CQC使用點使用點一一/二次管二次管二次盤二次盤CQC3.6 3.6 其他大宗氣體其他大宗氣體/特氣系統簡略流程特氣系統簡略流程O2O2Specialty GasSpecialty Gas鋼瓶鋼瓶Cabinet氣瓶櫃氣瓶櫃VMB/P閥箱閥箱管線管線使用點使用點液氧儲槽液氧儲槽減壓站減壓站過濾器過濾器純化器純化器CQCHe/Ar/Kr/H2He/Ar/Kr/H2鋼瓶鋼瓶/BundleTrunker減壓站減壓站過濾器過濾器一一/二次管二次管二次盤二次盤使用點使用點蒸發器蒸發器使用點使用點一一/二次管二次管二次盤二次盤純化器純化器
9、CQC管線管線3.7 3.7 高真空高真空/排氣系統簡略流程排氣系統簡略流程Pumping LinePumping LineOthers ExhaustOthers Exhaust機台製程機台製程ChamberVacuumPump高真空高真空管路管路ScrubberGEXGEX機台出口機台出口Damper風管風管風機風機高真空高真空管路管路大氣大氣Exhaust風管風管機台出口機台出口Damper風管風管風機風機Scrubber大氣大氣3.8 3.8 真空系統簡略流程真空系統簡略流程PVPV製程機台製程機台使用點使用點真空管路真空管路真空儲槽真空儲槽真空真空PumpHVHV一一/二次管二次管二
10、次盤二次盤配置需求配置需求使用點使用點真空管路真空管路真空真空清潔儲槽清潔儲槽真空真空Pump開關盒開關盒3.9 3.9 化學系統簡略流程化學系統簡略流程ChemicalChemical化學品化學品供應槽車供應槽車傳送系統傳送系統供應槽供應槽分配系統分配系統化學品化學品儲槽儲槽VMB/P化學管路化學管路使用點使用點回收管線回收管線廢液廢液回收槽回收槽3.10 3.10 廢水收集系統簡略流程廢水收集系統簡略流程Drain PipeDrain Pipe機台機台排放點排放點廢水廢水處理廠處理廠收集收集管線管線3.11 3.11 廢水處理系統簡略流程廢水處理系統簡略流程Waste Water TreatmentWaste Water Treatment廢水廢水收集槽收集槽曝氣槽曝氣槽生物生物接觸槽接觸槽PH反應槽反應槽PH調整槽調整槽澄清槽澄清槽膠羽膠羽凝結槽凝結槽沉澱槽沉澱槽污泥污泥收集槽收集槽污泥污泥脫水機脫水機污泥餅污泥餅儲槽儲槽運棄運棄Polymer