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1、Laser measurements are Optodyne businessPolarcheck分析分析(圆形轨迹误差分析圆形轨迹误差分析)美国光动公司美国光动公司(OPTODYNE,INC)Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光2软件英文界面改中文软件英文界面改中文-1打开：打开：Polarcheck软件软件点击：点击：SettingsLaser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光3软件英文界面改中文软件英文界面改
2、中文-2点击：点击：LanguageLaser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光4软件英文界面改中文软件英文界面改中文-3选择：选择：简体中文简体中文Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光5软件英文界面改中文软件英文界面改中文-4点击：点击：确认确认Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光6Polarcheck分析中文界面分析中文
3、界面Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光7Polarcheck分析分析-1Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光8Polarcheck分析分析-排列排列(P)Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光9Polarcheck分析分析-全部全部Laser measurements are Optodyne business201
4、1-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光10Polarcheck分析分析-比例比例(S)Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光11Polarcheck分析分析-伺服伺服(E)Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光12Polarcheck分析分析-垂直度垂直度(Q)Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光13Polarch
5、eck分析分析-爬行爬行(K)Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光14Polarcheck分析分析-直线度直线度(T)Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光15Polarcheck分析分析-振动振动(V)Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光16Polarcheck分析分析-反向峰反向峰(X)Laser measurem
6、ents are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光17Polarcheck分析分析-背隙背隙(B)Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光18Polarcheck分析分析-圆度圆度(I)Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光19Polarcheck分析分析-循环周期循环周期(Y)Laser measurements are Optodyne business201
7、1-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光20Polarcheck分析分析-ISOLaser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光21Polarcheck分析分析-横向游动横向游动(L)Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光22Polarcheck分析分析-原始测量图原始测量图(极坐标极坐标)Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光
8、23Polarcheck分析分析-原始测量图原始测量图(线性坐标线性坐标)Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光24Axis Spike 轴尖角轴尖角轴尖角轴尖角在一个轴在做反向运在一个轴在做反向运动时，短暂的停顿，动时，短暂的停顿，然后迅速朝着交变的然后迅速朝着交变的方向移动。方向移动。尖角的大小依据伺服尖角的大小依据伺服的刚性、进给率的大的刚性、进给率的大小及圆轨迹的半径。小及圆轨迹的半径。Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(
9、上海)有限公司步海光25Backlash Error 背隙误差背隙误差背隙误差以两种不同的模背隙误差以两种不同的模式在平面图上出现，分别式在平面图上出现，分别为正和负的背隙误差。为正和负的背隙误差。当移到被定义的测量方向当移到被定义的测量方向时，正背隙在平面图上各时，正背隙在平面图上各轴的开始位置上出现向外轴的开始位置上出现向外的一格阶梯响应误差。的一格阶梯响应误差。负背隙则是在轴的开始位负背隙则是在轴的开始位置上出现一个向内的阶梯置上出现一个向内的阶梯响应误差图形。响应误差图形。Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海
10、)有限公司步海光26Centre Offset 中心偏移中心偏移通过中心点所产生通过中心点所产生的偏差值及对相称的偏差值及对相称性所产生的图形。性所产生的图形。这是一个典型的圆这是一个典型的圆轨迹测量误差图，轨迹测量误差图，通常是因为输入的通常是因为输入的中心值误差所造成。中心值误差所造成。Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光27Circularity真圆度真圆度真圆度的图示提供了真圆度的图示提供了被测量的机械，其整被测量的机械，其整体误差状况的总和。体误差状况的总和。此一平面图在叙述所此一平面图在叙
11、述所有误差所造成的影响，有误差所造成的影响，但其个别的误差原因但其个别的误差原因及误差产生的来源并及误差产生的来源并不会在此提出个别说不会在此提出个别说明原因。明原因。Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光28Incorrect Feed Rate进给率错误进给率错误该图显示说明，该图显示说明，在进给率错误的在进给率错误的状况下反向尖角状况下反向尖角出现在错误的位出现在错误的位置（如在四分之置（如在四分之一象限没有被以一象限没有被以90度的区间隔度的区间隔开）开）。Laser measurements
12、are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光29Pitch Error Compensation螺距误差补偿螺距误差补偿在一个轴上，在一个轴上，所产生等间距所产生等间距且相对称的阶且相对称的阶梯状误差梯状误差Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光30Lateral Play 岔位岔位岔位误差的产生通常岔位误差的产生通常是在机器滑轨的正切是在机器滑轨的正切线产生偏差值。如因线产生偏差值。如因机床的滑轨偏移而造机床的滑轨偏移而造成其主结构的正交函成其主结构的正
13、交函数偏位，则从它轴方数偏位，则从它轴方向观察时，依照着测向观察时，依照着测量误差的结果于图示，量误差的结果于图示，会显示在画面一个内会显示在画面一个内圆及外圆上。圆及外圆上。Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光31Radial Dviation径向偏差径向偏差在整个测量轨迹上，在整个测量轨迹上，一搁固定的半径偏一搁固定的半径偏差，而所显示的图差，而所显示的图形表示被测量数值形表示被测量数值的半径，与圆轨迹的半径，与圆轨迹测量系统所设定半测量系统所设定半径的数值不相符。径的数值不相符。Laser me
14、asurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光32Random Vibration随意震动随意震动此平面图显示因振动此平面图显示因振动所造成的随意振动图所造成的随意振动图形，经常是因为测量形，经常是因为测量环境中的背景振动所环境中的背景振动所造成的。振动产生的造成的。振动产生的原因可能通过机床本原因可能通过机床本身晃动，零件润滑不身晃动，零件润滑不足或导轨在运动过程足或导轨在运动过程中因轨道干涉、通风中因轨道干涉、通风机运动等，都有可能机运动等，都有可能产生此一情形。产生此一情形。Laser measurements are
15、Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光33Scale Mismatch比例失调比例失调此平面图显示因振动此平面图显示因振动所造成的随意振动图所造成的随意振动图形，经常是因为测量形，经常是因为测量环境中的背景振动所环境中的背景振动所造成的。振动产生的造成的。振动产生的原因可能通过机床本原因可能通过机床本身晃动，零件润滑不身晃动，零件润滑不足或导轨在运动过程足或导轨在运动过程中因轨道干涉、通风中因轨道干涉、通风机运动等，都有可能机运动等，都有可能产生此一情形。产生此一情形。Laser measurements are Optodyne business
16、2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光34Straightness Error直线度误差直线度误差直线度的误差通直线度的误差通常发生在机械生常发生在机械生产过程中，加工产过程中，加工不准确或装配过不准确或装配过程发生错误所产程发生错误所产生。此误差的表生。此误差的表现，为一抛物线现，为一抛物线状且对称于该轴状且对称于该轴的误差图形。的误差图形。Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光35Stick Slip黏滞爬行黏滞爬行如左图所示，如左图所示，当当Y轴在正、反轴在正、反转接近反向点转接近反向
17、点时，所产生的时，所产生的摩擦抖动现象摩擦抖动现象而造成黏滞爬而造成黏滞爬行的图形。行的图形。Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光36Squareness Error垂直度误差垂直度误差垂直度误差现象出现在测垂直度误差现象出现在测量轴量轴-45度方向（负垂直度度方向（负垂直度误差）或者误差）或者+45度方向度方向（正垂直度误差）之倾斜（正垂直度误差）之倾斜现象，且正现象，且正/反转方向为重反转方向为重叠在一起。所显示的图形叠在一起。所显示的图形为一个重叠的对角线椭圆为一个重叠的对角线椭圆形。虽因轴的角
18、度倾斜而形。虽因轴的角度倾斜而引发此一图形，但其误差引发此一图形，但其误差的大小并不因进给率不同的大小并不因进给率不同而有所影响。而有所影响。Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光37Servo Response伺服匹配失调伺服匹配失调当机床的两轴位置当机床的两轴位置控制回路增益不匹控制回路增益不匹配时，则对操作者配时，则对操作者所输入的指令作圆所输入的指令作圆周插补运动时，如周插补运动时，如果测量用的球杆仪果测量用的球杆仪长度已经被校验，长度已经被校验，则在实际测量上就则在实际测量上就会表现在此一测量
19、会表现在此一测量误差图上。误差图上。Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光38Directional Vibration指向振动指向振动通常是某些特殊的通常是某些特殊的原因会造成指向振原因会造成指向振动误差，如果测量动误差，如果测量机床的位置或环境机床的位置或环境的背景震动及来自的背景震动及来自于被测量机床的共于被测量机床的共振，都有可能会造振，都有可能会造成这样的这振动误成这样的这振动误差图形差图形Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术
20、咨询(上海)有限公司步海光39Deviation Caused by Ballbar cabe信号线干涉信号线干涉此为在测量轨迹上一此为在测量轨迹上一个特别的位置所出现个特别的位置所出现的一搁半径误差图形，的一搁半径误差图形，而此一图形可能造成而此一图形可能造成的因素为连接球杆仪的因素为连接球杆仪的信号线长度或根舍的信号线长度或根舍问题而影响球杆仪的问题而影响球杆仪的测量动作运行而造成测量动作运行而造成一个不正常的误差。一个不正常的误差。Laser measurements are Optodyne business2011-3-7科望技术咨询(上海)有限公司步海光40Cyclic Error循环误差循环误差循环误差的出现，在循环误差的出现，在圆周图形上有一条有圆周图形上有一条有重复性的正弦曲线，重复性的正弦曲线，通常其误差来自于滚通常其误差来自于滚珠丝杆安装不良或者珠丝杆安装不良或者安装于进给轴的其他安装于进给轴的其他有重复性旋转零件如有重复性旋转零件如联轴器、伺服电机等联轴器、伺服电机等之同心度不良所引起之同心度不良所引起的。的。