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1、泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告渭南关于成立金属靶材公司渭南关于成立金属靶材公司可行性报告可行性报告xxxxxx 集团有限公司集团有限公司泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告目录目录第一章第一章 拟组建公司基本信息拟组建公司基本信息.9一、公司名称.9二、注册资本.9三、注册地址.9四、主要经营范围.9五、主要股东.9公司合并资产负债表主要数据.10公司合并利润表主要数据.10公司合并资产负债表主要数据.12公司合并利润表主要数据.12六、项目概况.12第二章第二章 公司筹建方案公司筹建方案.16一、公司经营宗旨.16二、公司的目标、主要职责.16三、公司组建方式.17四、
2、公司管理体制.17五、部门职责及权限.18六、核心人员介绍.22七、财务会计制度.24第三章第三章 市场预测市场预测.28泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告一、应用趋势：下游技术革新，溅射靶材逐步向大尺寸、多品种、高纯度化发展.28二、金属靶材为薄膜沉积核心材料，广泛用于平板显示器、半导体、光伏电池、记录媒体等领域.31三、金属靶材薄膜制备核心材料，磁溅技术发展带动需求提升.32第四章第四章 项目背景及必要性项目背景及必要性.34一、国产替代+技术革新，高端靶材需求强劲.34二、突出工业倍增再造新动能.36三、营造最优环境再强新支撑.37四、项目实施的必要性.38第五章第五章 发展规
3、划分析发展规划分析.40一、公司发展规划.40二、保障措施.46第六章第六章 法人治理法人治理.48一、股东权利及义务.48二、董事.51三、高级管理人员.55四、监事.57第七章第七章 选址可行性分析选址可行性分析.60一、项目选址原则.60二、建设区基本情况.60三、融入国家战略再作新贡献.62泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告四、项目选址综合评价.62第八章第八章 环保方案分析环保方案分析.63一、编制依据.63二、环境影响合理性分析.63三、建设期大气环境影响分析.63四、建设期水环境影响分析.64五、建设期固体废弃物环境影响分析.65六、建设期声环境影响分析.66七、建设期
4、生态环境影响分析.67八、清洁生产.68九、环境管理分析.69十、环境影响结论.71十一、环境影响建议.71第九章第九章 项目风险分析项目风险分析.72一、项目风险分析.72二、项目风险对策.75第十章第十章 项目经济效益评价项目经济效益评价.77一、基本假设及基础参数选取.77二、经济评价财务测算.77营业收入、税金及附加和增值税估算表.77综合总成本费用估算表.79利润及利润分配表.81泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告三、项目盈利能力分析.82项目投资现金流量表.83四、财务生存能力分析.85五、偿债能力分析.85借款还本付息计划表.86六、经济评价结论.87第十一章第十一章
5、项目投资计划项目投资计划.88一、投资估算的依据和说明.88二、建设投资估算.89建设投资估算表.93三、建设期利息.93建设期利息估算表.93固定资产投资估算表.95四、流动资金.95流动资金估算表.96五、项目总投资.97总投资及构成一览表.97六、资金筹措与投资计划.98项目投资计划与资金筹措一览表.98第十二章第十二章 项目规划进度项目规划进度.100一、项目进度安排.100项目实施进度计划一览表.100二、项目实施保障措施.101泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告第十三章第十三章 总结评价说明总结评价说明.102第十四章第十四章 补充表格补充表格.104主要经济指标一览表.
6、104建设投资估算表.105建设期利息估算表.106固定资产投资估算表.107流动资金估算表.108总投资及构成一览表.109项目投资计划与资金筹措一览表.110营业收入、税金及附加和增值税估算表.111综合总成本费用估算表.111固定资产折旧费估算表.112无形资产和其他资产摊销估算表.113利润及利润分配表.114项目投资现金流量表.115借款还本付息计划表.116建筑工程投资一览表.117项目实施进度计划一览表.118主要设备购置一览表.119能耗分析一览表.119报告说明报告说明泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告靶材主要用于平板显示器、半导体、光伏电池、记录媒体等领域。从需求
7、来，靶材是制备功能薄膜的核心原材料，主要用于面板、半导体、光伏和磁记录媒体等领域，实现导电或阻挡等功能。2020 年全球靶材市场规模约 188 亿美元，我国靶材市场规模为 46 亿美元。从供给来看，四家日美巨头占据 80%靶材市场，国内溅射靶材主要应用于中低端产品，国产替代需求强烈。xxx 集团有限公司主要由 xx 集团有限公司和 xxx 有限责任公司共同出资成立。其中：xx 集团有限公司出资 1134.00 万元，占 xxx 集团有限公司 90%股份；xxx 有限责任公司出资 126 万元，占 xxx 集团有限公司 10%股份。根据谨慎财务估算，项目总投资 24399.87 万元，其中：建设
8、投资18625.66 万元，占项目总投资的 76.34%；建设期利息 241.86 万元，占项目总投资的 0.99%；流动资金 5532.35 万元，占项目总投资的22.67%。项目正常运营每年营业收入 54200.00 万元，综合总成本费用46658.00 万元，净利润 5491.16 万元，财务内部收益率 13.93%，财务净现值 947.79 万元，全部投资回收期 6.64 年。本期项目具有较强的财务盈利能力，其财务净现值良好，投资回收期合理。泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告该项目工艺技术方案先进合理，原材料国内市场供应充足，生产规模适宜，产品质量可靠，产品价格具有较强的竞争
9、能力。该项目经济效益、社会效益显著，抗风险能力强，盈利能力强。综上所述，本项目是可行的。泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告第一章第一章 拟组建公司基本信息拟组建公司基本信息一、公司名称公司名称xxx 集团有限公司（以工商登记信息为准）二、注册资本注册资本1260 万元三、注册地址注册地址渭南 xxx四、主要经营范围主要经营范围经营范围：从事金属靶材相关业务（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）五、主要股东主要股东xxx 集团有限公司主要由 xx 集团有限公司和 xxx
10、有限责任公司发起成立。（一）（一）xxxx 集团有限公司基本情况集团有限公司基本情况1、公司简介泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告公司秉承“诚实、信用、谨慎、有效”的信托理念，将“诚信为本、合规经营”作为企业的核心理念，不断提升公司资产管理能力和风险控制能力。展望未来，公司将围绕企业发展目标的实现，在“梦想、责任、忠诚、一流”核心价值观的指引下，围绕业务体系、管控体系和人才队伍体系重塑，推动体制机制改革和管理及业务模式的创新，加强团队能力建设，提升核心竞争力，努力把公司打造成为国内一流的供应链管理平台。2、主要财务数据公司合并资产负债表主要数据公司合并资产负债表主要数据项目项目202
11、02020 年年 1212 月月20192019 年年 1212 月月20182018 年年 1212 月月资产总额9348.207478.567011.15负债总额4539.423631.543404.57股东权益合计4808.783847.023606.59公司合并利润表主要数据公司合并利润表主要数据项目项目20202020 年度年度20192019 年度年度20182018 年度年度营业收入35290.1028232.0826467.57泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告营业利润5630.254504.204222.69利润总额5102.214081.773826.66净利润3
12、826.662984.792755.20归属于母公司所有者的净利润3826.662984.792755.20（二）（二）xxxxxx 有限责任公司基本情况有限责任公司基本情况1、公司简介公司将依法合规作为新形势下实现高质量发展的基本保障，坚持合规是底线、合规高于经济利益的理念，确立了合规管理的战略定位，进一步明确了全面合规管理责任。公司不断强化重大决策、重大事项的合规论证审查，加强合规风险防控，确保依法管理、合规经营。严格贯彻落实国家法律法规和政府监管要求，重点领域合规管理不断强化，各部门分工负责、齐抓共管、协同联动的大合规管理格局逐步建立，广大员工合规意识普遍增强，合规文化氛围更加浓厚。公司
13、依据公司法等法律法规、规范性文件及公司章程的有关规定，制定并由股东大会审议通过了董事会议事规则，董事会议事规则对董事会的职权、召集、提案、出席、议事、表决、决议及会议记录等进行了规范。泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告2、主要财务数据公司合并资产负债表主要数据公司合并资产负债表主要数据项目项目20202020 年年 1212 月月20192019 年年 1212 月月20182018 年年 1212 月月资产总额9348.207478.567011.15负债总额4539.423631.543404.57股东权益合计4808.783847.023606.59公司合并利润表主要数据公司合
14、并利润表主要数据项目项目20202020 年度年度20192019 年度年度20182018 年度年度营业收入35290.1028232.0826467.57营业利润5630.254504.204222.69利润总额5102.214081.773826.66净利润3826.662984.792755.20归属于母公司所有者的净利润3826.662984.792755.20六、项目概况项目概况（一）投资路径（一）投资路径泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告xxx 集团有限公司主要从事关于成立金属靶材公司的投资建设与运营管理。（二）项目提出的理由（二）项目提出的理由国内溅射靶材主要应用于中
15、低端产品，但部分靶材生产企业已经逐渐突破关键技术门槛，国产铝、铜、钼等靶材逐渐崭露头角。我国溅射靶材产业起步较晚，目前具备规模化生产能力和较强研发实力的企业较少，溅射靶材主要应用于中低端产品。但近年来随着国家政策的鼓励与资金的支持，部分企业已经突破了关键技术门槛，国产铝、铜、钼等靶材逐渐崭露头角。我国溅射靶材行业主要上市公司有江丰电子、有研新材、阿石创、隆华科技。创新转型实现新突破。渭南(西安)创新创业孵化器建成运行，成功打造“西安研发渭南制造”产业新模式。市级以上众创空间、星创天地分别达到 21 家和 23 家，高新技术企业达到 88 家，全市战略性新兴产业增加值年均保持 10%以上，服务业
16、增加值年均增长 5.7%，高于GDP 增速 0.7 个百分点。（三）项目选址（三）项目选址项目选址位于 xx（以最终选址方案为准），占地面积约 65.00亩。项目拟定建设区域地理位置优越，交通便利，规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备，非常适宜本期项目建设。泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告（四）生产规模（四）生产规模项目建成后，形成年产 xxx 吨金属靶材的生产能力。（五）建设规模（五）建设规模项目建筑面积 71531.57，其中：生产工程 44616.36，仓储工程 11156.60，行政办公及生活服务设施 8972.66，公共工程6785.95。（六）项目投资（六）项目投资
17、根据谨慎财务估算，项目总投资 24399.87 万元，其中：建设投资18625.66 万元，占项目总投资的 76.34%；建设期利息 241.86 万元，占项目总投资的 0.99%；流动资金 5532.35 万元，占项目总投资的22.67%。（七）经济效益（正常经营年份）（七）经济效益（正常经营年份）1、营业收入（SP）：54200.00 万元。2、综合总成本费用（TC）：46658.00 万元。3、净利润（NP）：5491.16 万元。4、全部投资回收期（Pt）：6.64 年。5、财务内部收益率：13.93%。6、财务净现值：947.79 万元。泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告（
18、八）项目进度规划（八）项目进度规划项目建设期限规划 12 个月。（九）项目综合评价（九）项目综合评价该项目符合国家有关政策，建设有着较好的社会效益，建设单位为此做了大量工作，建议各有关部门给予大力支持，使其早日建成发挥效益。泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告第二章第二章 公司筹建方案公司筹建方案一、公司经营宗旨公司经营宗旨自主创新，诚实守信，让世界分享中国创造的魅力。二、公司的目标、主要职责公司的目标、主要职责（一）目标（一）目标近期目标：深化企业改革，加快结构调整，优化资源配置，加强企业管理，建立现代企业制度；精干主业，分离辅业，增强企业市场竞争力，加快发展；提高企业经济效益，完善
19、管理制度及运营网络。远期目标：探索模式创新、制度创新、管理创新的产业发展新思路。坚持发展自主品牌，提升企业核心竞争力。此外，面向国际、国内两个市场，优化资源配置，实施多元化战略，向产业集团化发展，力争利用 3-5 年的时间把公司建设成具有先进管理水平和较强市场竞争实力的大型企业集团。（二）主要职责（二）主要职责1、执行国家法律、法规和产业政策，在国家宏观调控和行业监管下，以市场需求为导向，依法自主经营。泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告2、根据国家和地方产业政策、金属靶材行业发展规划和市场需求，制定并组织实施公司的发展战略、中长期发展规划、年度计划和重大经营决策。3、深化企业改革，加
20、快结构调整，转换企业经营机制，建立现代企业制度，强化内部管理，促进企业可持续发展。4、指导和加强企业思想政治工作和精神文明建设，统一管理公司的名称、商标、商誉等无形资产，搞好公司企业文化建设。5、在保证股东企业合法权益和自身发展需要的前提下，公司可依照公司法等有关规定，集中资产收益，用于再投入和结构调整。三、公司组建方式公司组建方式xxx 集团有限公司主要由 xx 集团有限公司和 xxx 有限责任公司共同出资成立。其中：xx 集团有限公司出资 1134.00 万元，占 xxx 集团有限公司90%股份；xxx 有限责任公司出资 126 万元，占 xxx 集团有限公司 10%股份。四、公司管理体制
21、公司管理体制xxx 集团有限公司实行董事会领导下的总经理负责制，各部门按其规定的职能范围，履行各自的管理服务职能，而且直接对总经理负责；公司建立完善的营销、供应、生产和品质管理体系，确立各部门泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告相应的经济责任目标，加强产品质量和定额目标管理，确保公司生产经营正常、有效、稳定、安全、持续运行，有力促进企业的高效、健康、快速发展。总经理的主要职责如下：1、全面领导企业的日常工作；对企业的产品质量负责；向本公司职工传达满足顾客和法律法规要求的重要性；2、制定并正式批准颁布本公司的质量方针和质量目标，采取有效措施，保证各级人员理解质量方针并坚持贯彻执行；3、负
22、责策划、建立本公司的质量管理体系，批准发布本公司的质量手册；4、明确所有与质量有关的职能部门和人员的职责权限和相互关系；5、确保质量管理体系运行所必要的资源配备；6、任命管理者代表，并为其有效开展工作提供支持；7、定期组织并主持对质量管理体系的管理评审，以确保其持续的适宜性、充分性和有效性。五、部门职责及权限部门职责及权限（一）综合管理部（一）综合管理部泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告1、协助管理者代表组织建立文件化质量体系，并使其有效运行和持续改进。2、协助管理者代表，组织内部质量管理体系审核。3、负责本公司文件（包括记录）的管理和控制。4、负责本公司员工培训的管理，制订并实施员
23、工培训计划。5、参与识别并确定为实现产品符合性所需的工作环境，并对工作环境中与产品符合性有关的条件加以管理。（二）财务部（二）财务部1、参与制定本公司财务制度及相应的实施细则。2、参与本公司的工程项目可信性研究和项目评估中的财务分析工作。3、负责董事会及总经理所需的财务数据资料的整理编报。4、负责对财务工作有关的外部及政府部门，如税务局、财政局、银行、会计事务所等联络、沟通工作。5、负责资金管理、调度。编制月、季、年度财务情况说明分析，向公司领导报告公司经营情况。泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告6、负责销售统计、复核工作，每月负责编制销售应收款报表，并督促销售部及时催交楼款。负责销
24、售楼款的收款工作，并及时送交银行。7、负责每月转账凭证的编制，汇总所有的记账凭证。8、负责公司总长及所有明细分类账的记账、结账、核对，每月 5日前完成会计报表的编制，并及时清理应收、应付款项。9、协助出纳做好楼款的收款工作，并配合销售部门做好销售分析工作。10、负责公司全年的会计报表、帐薄装订及会计资料保管工作。11、负责银行财务管理，负责支票等有关结算凭证的购买、领用及保管，办理银行收付业务。12、负责先进管理，审核收付原始凭证。13、负责编制银行收付凭证、现金收付凭证，登记银行存款及现金日记账，月末与银行对账单和对银行存款余额，并编制余额调节表。14、负责公司员工工资的发放工作，现金收付工
25、作。（三）投资发展部（三）投资发展部1、调查、搜集、整理有关市场信息，并提出投资建议。泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告2、拟定公司年度投资计划及中长期投资计划。3、负责投资项目的储备、筛选、投资项目的可行性研究工作。4、负责经董事会批准的投资项目的筹建工作。5、按照国家产业政策，负责公司产业结构、投资结构的调整。6、及时完成领导交办的其他事项。（四）销售部（四）销售部1、协助总经理制定和分解年度销售目标和销售成本控制指标，并负责具体落实。2、依据公司年度销售指标，明确营销策略，制定营销计划和拓展销售网络，并对任务进行分解，策划组织实施销售工作，确保实现预期目标。3、负责收集市场信息
26、，分析市场动向、销售动态、市场竞争发展状况等，并定期将信息报送商务发展部。4、负责按产品销售合同规定收款和催收，并将相关收款情况报送商务发展部。5、定期不定期走访客户，整理和归纳客户资料，掌握客户情况，进行有效的客户管理。泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告6、制定并组织填写各类销售统计报表，并将相关数据及时报送商务发展部总经理。7、负责市场物资信息的收集和调查预测，建立起牢固可靠的物资供应网络，不断开辟和优化物资供应渠道。8、负责收集产品供应商信息，并对供应商进行质量、技术和供就能力进行评估，根据公司需求计划，编制与之相配套的采购计划，并进行采购谈判和产品采购，保证产品供应及时，确保
27、产品价格合理、质量符合要求。9、建立发运流程，设计最佳运输路线、运输工具，选择合格的运输商，严格按公司下达的发运成本预算进行有效管理，定期分析费用开支，查找超支、节支原因并实施控制。10、负责对部门员工进行业务素质、产品知识培训和考核等工作，不断培养、挖掘、引进销售人才，建设高素质的销售队伍。六、核心人员介绍核心人员介绍1、钟 xx，中国国籍，无永久境外居留权，1970 年出生，硕士研究生学历。2012 年 4 月至今任 xxx 有限公司监事。2018 年 8 月至今任公司独立董事。泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告2、邓 xx，中国国籍，1978 年出生，本科学历，中国注册会计师。
28、2015 年 9 月至今任 xxx 有限公司董事、2015 年 9 月至今任 xxx 有限公司董事。2019 年 1 月至今任公司独立董事。3、贺 xx，中国国籍，无永久境外居留权，1961 年出生，本科学历，高级工程师。2002 年 11 月至今任 xxx 总经理。2017 年 8 月至今任公司独立董事。4、徐 xx，1957 年出生，大专学历。1994 年 5 月至 2002 年 6 月就职于 xxx 有限公司；2002 年 6 月至 2011 年 4 月任 xxx 有限责任公司董事。2018 年 3 月至今任公司董事。5、叶 xx，中国国籍，无永久境外居留权，1971 年出生，本科学历，
29、中级会计师职称。2002 年 6 月至 2011 年 4 月任 xxx 有限责任公司董事。2003 年 11 月至 2011 年 3 月任 xxx 有限责任公司财务经理。2017 年 3 月至今任公司董事、副总经理、财务总监。6、严 xx，1974 年出生，研究生学历。2002 年 6 月至 2006 年 8 月就职于 xxx 有限责任公司；2006 年 8 月至 2011 年 3 月，任 xxx 有限责任公司销售部副经理。2011 年 3 月至今历任公司监事、销售部副部长、部长；2019 年 8 月至今任公司监事会主席。7、龙 xx，中国国籍，无永久境外居留权，1958 年出生，本科学历，高
30、级经济师职称。1994 年 6 月至 2002 年 6 月任 xxx 有限公司董事泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告长；2002 年 6 月至 2011 年 4 月任 xxx 有限责任公司董事长；2016 年11 月至今任 xxx 有限公司董事、经理；2019 年 3 月至今任公司董事。8、覃 xx，中国国籍，无永久境外居留权，1959 年出生，大专学历，高级工程师职称。2003 年 2 月至 2004 年 7 月在 xxx 股份有限公司兼任技术顾问；2004 年 8 月至 2011 年 3 月任 xxx 有限责任公司总工程师。2018 年 3 月至今任公司董事、副总经理、总工程师。
31、七、财务会计制度财务会计制度（一）财务会计制度1、公司依照法律、行政法规和国家有关部门的规定，制定公司的财务会计制度。2、公司年度财务会计报告、半年度财务会计报告和季度财务会计报告按照有关法律、行政法规及部门规章的规定进行编制。3、公司除法定的会计账簿外，将不另立会计账簿。公司的资产，不以任何个人名义开立账户存储。4、公司分配当年税后利润时，提取利润的 10%列入公司法定公积金。公司法定公积金累计额为公司注册资本的 50%以上的，可以不再提取。公司的法定公积金不足以弥补以前年度亏损的，在依照前款规定提取法定公积金之前，应当先用当年利润弥补亏损。泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告公司从
32、税后利润中提取法定公积金后，经股东大会决议，还可以从税后利润中提取任意公积金。公司弥补亏损和提取公积金后所余税后利润，按照股东持有的股份比例分配，但本章程规定不按持股比例分配的除外。股东大会违反前款规定，在公司弥补亏损和提取法定公积金之前向股东分配利润的，股东必须将违反规定分配的利润退还公司。公司持有的本公司股份不参与分配利润。5、公司的公积金用于弥补公司的亏损、扩大公司生产经营或者转为增加公司资本。但是，资本公积金将不用于弥补公司的亏损。法定公积金转为资本时，所留存的该项公积金将不少于转增前公司注册资本的 25%。6、公司股东大会对利润分配方案作出决议后，公司董事会须在股东大会召开后 2 个
33、月内完成股利（或股份）的派发事项。7、公司可以采取现金方式分配股利。公司将实行持续、稳定的利润分配办法，并遵守下列规定：（1）公司的利润分配应重视对投资者的合理投资回报；在有条件的情况下，公司可以进行中期现金分红；（2）原则上公司最近三年以现金方式累计分配的利润不少于最近3 年实现的年均可分配利润的 30%；但具体的年度利润分配方案仍需由泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告董事会根据公司经营状况拟订合适的现金分配比例，报公司股东大会审议；（3）存在股东违规占用公司资金情况的，公司应当扣减该股东所分配的现金红利，以偿还其占用的资金。（二）内部审计1、公司实行内部审计制度，配备专职审计人员
34、，对公司财务收支和经济活动进行内部审计监督。2、公司内部审计制度和审计人员的职责，应当经董事会批准后实施。审计负责人向董事会负责并报告工作。第三节会计师事务所的聘任3、公司聘用会计师事务所必须由股东大会决定，董事会不得在股东大会决定前委任会计师事务所。4、公司保证向聘用的会计师事务所提供真实、完整的会计凭证、会计账簿、财务会计报告及其他会计资料，不得拒绝、隐匿、谎报。5、会计师事务所的审计费用由股东大会决定。6、公司解聘或者不再续聘会计师事务所时，提前 30 天事先通知会计师事务所，公司股东大会就解聘会计师事务所进行表决时，允许会计师事务所陈述意见。泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告
35、会计师事务所提出辞聘的，应当向股东大会说明公司有无不当情形。泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告第三章第三章 市场预测市场预测一、应用趋势：下游技术革新，溅射靶材逐步向大尺寸、多品种、应用趋势：下游技术革新，溅射靶材逐步向大尺寸、多品种、高纯度化发展高纯度化发展芯片制程工艺已经从 130nm 提升至 7nm，晶圆尺寸也已实现了 8 英寸到 12 英寸的转变,，对溅射靶材性能要求大幅提升。溅射靶材的技术发展趋势与下游应用领域的技术革新息息相关，随着应用市场在薄膜产品或元件上的技术进步，溅射靶材也需要随之变化，随着半导体技术的不断发展，集成电路中的晶体管和线宽的尺寸越来越小。芯片制程工艺已
36、经从 130nm 提升至 7nm，与之对应的晶圆尺寸也已实现了 8英寸到 12 英寸的转变，此外台积电、三星等企业也正在加速推进更高端的芯片制程工艺研发与生产。为了满足现代芯片高精度、小尺寸的需求，对电极和连接器件的布线金属薄膜的性能要求越来越高，这就对溅射靶材的性能提出了更高的要求。推动溅射靶材逐步向大尺寸、多品种、高纯度化发展。1、趋势 1：大尺寸大尺寸是靶材的重要发展方向，但随尺寸增加，靶材在晶粒晶向控制难度呈指数级增加，对技术要求就越高。晶圆尺寸越大，可利用效率越高。.12 英寸晶圆拥有较大的晶方使用面积，得以达到效率最佳泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告化，相对于 8 英寸
37、晶圆而言，12 英寸的可使用面积超过两倍。大尺寸晶圆要求靶材也朝着大尺寸方向发展。2、趋势 2：多品种半导体芯片行业常用的金属溅射靶材主要种类包括：铜、钽、铝、钛、钴和钨等高纯溅射靶材，以及镍铂、钨钛等合金类的溅射靶材，其中铝与铜为两大主流导线工艺。目前芯片生产所使用的主流工艺中同时存在铝和铜两种导线工艺，一般来说 110nm 晶圆技术节点以上使用铝导线，110nm 晶圆技术节点以下使用铜导线。钛靶和铝靶通常配合起来使用，常作为铝导线的阻挡层的薄膜材料，钽靶则配合铜靶使用，作为铜导线的阻挡层的薄膜材料。随着晶圆制造朝着更小的制程方向发展，铜导线工艺的应用量在逐步增大，因此，铜和钽靶材的需求将有
38、望持续增长。在晶圆制程选择上，从全球晶圆厂产能建设情况来看，12 寸晶圆厂是目前主流建设方向。随着晶圆制造朝着更小的制程方向发展，铜导线由于具有更低的电迁移效应，及更低的电阻，有降低功耗、提高运算速度等作用，应用量在逐步增大。据 SEMI 数据显示，如今 12 英寸晶圆约占 64%，8英寸晶圆占比达 26%，其他尺寸晶圆占比 10%。12 英寸晶圆已经成为市场的主流。但传统的铝靶由于在可靠性和抗干扰性等方面的性能依然较为突出，也仍然具有巨大的市场空间。如汽车电子领域的芯片大量泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告使用铝钛材料的 110nm 以上工艺以确保可靠性。因此，芯片制程工艺的进步并
39、不意味着原有制程工艺及其材料被淘汰，因可靠性、抗干扰性、低成本等优势，110nm 以上技术节点的芯片产品也具有巨大的市场空间。3、趋势 3：高纯化高纯度甚至超高纯度靶材是高端集成电路半导体芯片的必备材料，通常半导体靶材纯度要求通常达 99.9995%（5N5）甚至 99.9999%（6N）以上。在下游应用领域中，半导体产业对溅射靶材和溅射薄膜的品质要求最高，随着更大尺寸的硅晶圆片制造出来，相应地要求溅射靶材也朝着大尺寸方向发展，同时也对溅射靶材的晶粒晶向控制提出了更高的要求。溅射薄膜的纯度与溅射靶材的纯度密切相关，为了满足半导体更高精度、更细小微米工艺的需求，所需要的溅射靶材纯度不断攀升，通常
40、半导体靶材纯度要求通常达 99.9995%（5N5）甚至99.9999%（6N）以上。目前国内溅射靶材的高纯金属原料多数依靠日美进口。但部分企业在部分金属提纯方面已取得了重大突破。全球范围内，美、日等国凭借着先发优势和技术专利壁垒，依托先进的提纯技术在产业链中居于十分有利的地位，议价能力强，国内溅射靶材的高纯金属原料多数泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告也依靠日美进口。但经过多年的靶材技术开发，近年来部分企业已在部分金属提纯方面已取得了重大突破，已开始逐步实现国产替代。二、金属靶材为薄膜沉积核心材料，广泛用于平板显示器、半导体、金属靶材为薄膜沉积核心材料，广泛用于平板显示器、半导体、
41、光伏电池、记录媒体等领域光伏电池、记录媒体等领域靶材按应用可分为半导体靶材、平板显示靶材、太阳能电池靶材、信息存储靶材。靶材制备位于产业链的中游，从产业链来看，靶材上游原材料材质主要包括纯金属、合金以及陶瓷化合物三类。下游应用市场则较为广泛，但整体来看主要集中在平板显示、信息存储、太阳能电池、半导体四个领域，四大板块约合占比 97%。此外根据其形状、材质不同，溅射靶材也有多种分类方式：1）按形状分类：可分为长靶、方靶、圆靶和管靶。其中常见的靶材多为方靶、圆靶，均为实心靶材。近年来，空心圆管型溅射靶材由于具有较高的回收利用率，也在国内外得到了一定推广。据立坤钛业官网相关信息介绍，在镀膜作业中，圆
42、环形的永磁体在靶材的表面产生的磁场为环形，会发生不均匀冲蚀现象，溅射的薄膜厚度均匀性不佳，靶材的使用效率大约只有 20%30%。目前，为了提高靶材的利用率，国内外都在推广可围绕固定的条状磁铁组件旋转的空心圆管型溅射靶材，此种靶材由于靶面 360都可被均匀刻蚀，因而利用率可由通常的 20%30%提高到 75%80%。2）按材质，可分为金属靶材（纯金属铝、泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告钛、铜、钽等）、合金靶材（镍铬合金、镍钴合金等）、陶瓷化合物靶材（氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等）。三、金属靶材金属靶材薄膜制备核心材料，磁溅技术发展带动需求提升薄膜制备核心材料，磁溅技术发展带动需求
43、提升溅射靶材是溅射法制备薄膜的主要材料之一。溅射工艺是制备电子薄膜的主要技术之一，它利用离子源产生的离子，在高真空中经过加速聚集而形成高速离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面。被轰击的固体是用溅射法沉积薄膜的原材料，称为溅射靶材。从结构上看，靶材主要由“靶坯”和“背板”两部分构成。其中靶坯是高速离子束流轰击的目标材料，属于溅射靶材的核心部分，涉及高纯金属、晶粒取向调控。背板起到主要起到固定溅射靶材的作用，涉及焊接工艺。由于高纯度金属强度较低，因此溅射靶材需要在专用的机台内完成溅射过程。机台内部为高电压、高真空环境，因此背板也需要具备良
44、好的导电、导热性能。磁控溅射技术优势突出，推动溅射靶材需求不断提升，溅射靶材已成为目前市场应用量最大的 PVD 镀膜材料。目前行业内主流镀膜工艺为物理气相沉积（PVD）和化学气相沉积（CVD）两种，其中 PVD 方法具体来看包括溅射和蒸镀两类，CVD 方法则包括化学气相沉积和原子层沉积两类。溅射镀膜工艺则凭借着其可重复性好、膜厚可控制，可泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告在大面积基板材料上获得厚度均匀的薄膜，所制备的薄膜具有纯度高、致密性好、与基板材料的结合力强等优点发展迅速，已成为制备薄膜材料的主要技术之一，各种类型的溅射薄膜材料已得到广泛的应用，因此，对溅射靶材这一具有高附加值的
45、功能材料需求逐年增加，溅射靶材亦已成为目前市场应用量最大的 PVD 镀膜材料。泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告第四章第四章 项目背景及必要性项目背景及必要性一、国产替代国产替代+技术革新，高端靶材需求强劲技术革新，高端靶材需求强劲靶材主要用于平板显示器、半导体、光伏电池、记录媒体等领域。从需求来，靶材是制备功能薄膜的核心原材料，主要用于面板、半导体、光伏和磁记录媒体等领域，实现导电或阻挡等功能。2020 年全球靶材市场规模约 188 亿美元，我国靶材市场规模为 46 亿美元。从供给来看，四家日美巨头占据 80%靶材市场，国内溅射靶材主要应用于中低端产品，国产替代需求强烈。产业转移加
46、速靶材国产替代，技术革新推动铜钽需求提升。半导体芯片行业是对靶材的成分、组织和性能要求最高的领域，纯度要求通常达 5N5 甚至 6N 以上。随着半导体产业加速向国内转移，预计 25年我国半导体靶材市场规模将达到约 6.7 亿美元，21-25 年我国靶材需求增速或达 9.2%。同时随着下游芯片技术革新，溅射靶材逐步向大尺寸、多品种、高纯度化发展，其中铜、钽靶材需求增长前景较好。供给方面，日美厂商约占 90%份额，但有研等企业已在国产铜、铝等靶材取得突破，同时产能也在不断扩张，预计未来 2-3 年我国半导体靶材将新增 10 万块以上产能。泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告国产替代+产品迭
47、代，我国显示面板靶材需求有望持续高速。FDP靶材根据工艺，可分为溅射用靶材和蒸镀用靶材。其中溅射靶材主要为 Cu、Al、Mo 和 IGZO 等，纯度和技术要求仅次于半导体，一般在 4N甚至 5N 以上，但对靶材的焊接结合率、平整度等提出了更高要求。受益显示面板需求上涨和我国显示面板国产替代提升，预计 25 年我国FDP 靶材市场规模将达 50 亿美元，21-25 年 CAGR 为 18.9%。此外预计OLED 用钼靶与低电阻铜靶成长空间广阔。供给来看，我国显示面板靶材高度依赖进口，日企在国内市场仍然占据主导地位，国内以隆华科技、江丰电子、阿石创、先导稀材、有研新材为主，国产替代正逐渐加速。Hi
48、t 量产元年开启，靶材或迎成长机遇期。光伏靶材的使用主要是薄膜电池和 HIT 光伏电池，纯度一般在 4N 以上。随着 HIT 电池和薄膜电池的发展，预计 25 年我国市场规模将接近 38 亿美元，21-25 年CAGR 为 56.1%。供给方面，由于国内薄膜电池及 HIT 电池市场规模尚小，相关靶材企业也较少，多处起步阶段，其中先导稀材、江丰电子等产能相对较大，此外隆华科技也已开始布局相关产业龙头。趋势难逆，磁记录靶材预计将逐步转向存储芯片靶材。磁记录靶材则多以溅射法制作，常用材料为钴（3N）/镍/铁合金/铬/碲、硒（4N）/稀土-迁移金属（3N）等，主要包括铬靶、镍靶、钴靶。我国泓域咨询/渭
49、南关于成立金属靶材公司可行性报告磁记录靶材市场以海外供应为主，中国生产磁记录靶材企业数量和产能非常有限。由于我国机械硬盘国产化水平极低，且记录媒体研发重心主要在半导体存储，预计传统机械键盘成长空间有限，磁记录靶材预计将逐步转向存储芯片靶材。3DNAND 领域用钨、钛、铜、钽靶材需求增量较大。二、突出工业倍增再造新动能突出工业倍增再造新动能“十四五”期间，工业倍增计划实施项目 305 个、总投资 3316 亿元，聚力建设全省现代工业集聚区。今年实施项目 165 个，完成投资362.5 亿元。切实做好要素保障。坚持工业强市，推动优质资源向“打粮食”的好产业倾斜。加大资金投入，坚决落实 2 亿元工业
50、发展资金、除工业用地外经营性土地出让价款的 10%纳入市级发展基金等保障措施。强化支持引导，对主板上市、产值达到一定比例等突破性企业，分别给予 1001000 万元奖励。加强用地保障，落实“不低于 3 个 30%”要求，优先保障工业项目用地，全力推进工业倍增高点起步。加快新旧动能转换。加速能源、冶金等传统产业转型升级，支持潼关县中深部探矿、白水县北部煤田开发，确保金桥煤矿、山阳煤矿竣工验收，西卓子煤矿完成技改矿建。启动中国长城智能制造基地建设，加快龙钢、金钼等重点企业提档扩能，推动达刚路机等 50 个项目泓域咨询/渭南关于成立金属靶材公司可行性报告竣工投产。支持澄城卷烟厂优结构、扩产能。抓好中