《大学宁波“五位一体”校区教育发展中心采购仪器设备项目招标文件.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《大学宁波“五位一体”校区教育发展中心采购仪器设备项目招标文件.docx（82页珍藏版）》请在taowenge.com淘文阁网|工程机械CAD图纸|机械工程制图|CAD装配图下载|SolidWorks_CaTia_CAD_UG_PROE_设计图分享下载上搜索。
1、公开招标采购文件项目名称：大学宁波“五位一体”校区教育发展中心采购仪器设备项目目 录第一章公开招标采购公告2第二章招标需求8第三章投标人须知30第四章评标办法及评分标准 422技术性能参数要求2. 1基本参数2. 1. 1镀膜室极限真空：5XW5Pa；2. 1.2抽气时间:从大气抽到工作真空(5X10-4 Pa)时间少于35分钟；2. 1.3系统漏率：2*10 7 Pa. 1/S (以氮质谱检漏仪测试指标考核)；2. 1.4系统保压:系统抽至高真空后停泵关机保压12小时后真空度小于10 Pa；2. 1.5真空室尺寸：900mniX 600mmX 380mm,真空室采用不锈钢加工而成， 配玻璃观
2、察窗，侧门可开启；2. 1.6靶尺寸.、数量：3只75X450mni永磁靶。靶材尺寸：75 X 450 X 6mm；2. 1. 7靶基距可调(60 120mm)；2. 1.8样品台：可放置300X400mm尺寸样品，带加热功能，最图可加热至300度，精度：1。C,基片旋转速度：525rpm连续可调；2. 1.9主机尺寸：不超过长2000niniX宽UOOmmX高1600mm；2. 1. 10气体种类：工作气体Ar+反应气体；2. 1. 112路MFC质量流量计控制气体流量(100SCCM)；2. 1. 12升压率：优于6X10“ Pa/h；2. 1. 13沉积速度(铜)：300 nm/min；
3、2. 1. 14膜厚不均匀性：优于3%；2. 1. 15配备缺水保护及完善的逻辑互锁系统；2. 1. 16各腔体采用独立抽真空及测量系统，腔体间采用门阀隔离；2. 1. 17工件架采用卧式布局，水平运动，两侧带导向轮。底座部分与真 空室壁上的导轨固定连接；夹持架用于样品安装，可方便拆卸； 每次可安装300X400尺寸片样品一件；传动采用带槽滚轮+齿轮 与链条组合的传递系统；2.2进样真空室2.2. 1腔体尺寸500*600*300 mm,腔体外壁设有冷却水线。配备在线等 离子体清洗装置，可实现在样品表面等离子体清洗，腔体配备 300W射频电源，工作气路配备1路200SCCM流量计进入腔体。上
4、下电极可覆盖300*400mm区域。腔体内侧设有红外加热装置，可 对样品进行预加热，最高可加热至150度，温度PID控制，可控 可调。抽气系统:配备机械干泵+分子泵组成高真空抽气系统及自动恒压 装置。2.3镀膜室2. 3. 1镀膜室为立式方形结构。腔体尺寸不超过2200*600*350mni,腔体 上部安装有矩形溅射靶3只；在样品后侧配有铠装加热丝加热， 在溅射靶一侧装有红外加热灯管，用于样品辅助加热；在真空室 后部开有抽气接口，工艺气体接口 2路，通过阀门控制分别输送 至三个溅射靶位，侧壁磁流体传动接口。2. 3.2镀膜室采用双分子泵+机械干泵组合进行抽气，分子泵与腔体间采 用手电一体可调开
5、启度插板阀隔离，插板阀驱动电机与本腔体配 备薄膜规及上位机系统形成闭环，实现镀膜腔体内部压力自动控 制。工作状态具有声、光、电同步提醒。2. 3.3腔体侧壁各预留拓展接口。插板阀密封面采用镜面抛光处理。腔 体表面设有水线，表面温度不高于30 （环境温度不高于24）o2.4出样真空室2. 4. 1腔体尺寸不超过500X600X 300mm,抽气系统配备一台机械干泵。内部设有水冷盘管，便于镀膜后样品在腔体内冷却。2.5控制系统2. 5. 1系统控制部分采用PLC自动控制，实现系统自动化。系统设有互 锁、异常断电自动记忆、自动工艺编程校验等安全保护措施，使 非恶意的人为操作失误不会导致系统硬、软件损
6、坏。系统支持通 讯故障等情况下的自动报警。2. 5.2采用PLC和工控机、电气元件组成控制系统，上位机采用人机界 面，简单，全面，易操作。可进行自动化镀膜，自动记录工艺流 程数据。界面分多层布局，总控界面、进样清洗界面、溅射镀膜 工艺界面、数据保存、调用界面等。系统采用自动控制及手动辅 助控制结合。2. 5.3各分系统按照预设工艺完成后，有不意灯和语音同步提示，方可 进行下一步操作。2. 5.4各互锁及保护功能主要指真空保护（避免泵、阀损坏），镀膜过 程保护。二、商务要求1安装、调试与培训1. 1供应商负责设备安装、调试、试运行，培训买方人员的现场操作 使用及基本维护；1.2仪器到货后，在接到
7、用户通知后10个工作日内，供应商的安装调试等人员应自带专用工具等到用户现场进行安装调试；1.3供应商提供专业人员的设备应用技术培训天数不少于5天；2验收2. 1验收标准：调试和验收应根据投标文件中的技术规格响应进行；2.2验收程序：实现系统成套联调并达到技术要求，包括试运行、样 品测试、演示，验收合格后双方签字生效；2.3验收要求：乙方发货时附带本项目技术要求表中带参数的 第三方检测报告。甲方将委托第三方检测机构对带参数进 行复检，如检测结果符合招标要求，甲方支付检测费用。如检测 结果不符合招标要求，视为乙方虚假响应，甲方有权拒绝收货， 乙方支付检测费用并承担相关法律责任。3保修3. 1保修期
8、为安装验收合格之日起1年；3.2在保修期外软硬件出现的问题,接到用户电话通知后24小时内给 予答复，5个工作日内给与解决方案并到达用户现场解决问题。 重大问题或其它无法立刻解决的问题应在2周内解决或提出明确 的解决方案；3.3供应商提供终身维修，在中国大陆有备件仓库和维修中心，保证 保修期满后零配件及消耗品的供应；3.4软件升级：在硬件支持的前提下，免费提供软件升级；4包装及运输方式4. 1包装要求：供应商应提供货物运至合同规定的最终目的地所需要 的包装，以防止货物在转运过程中损坏或变质。此类包装应采取 防潮、防晒、防锈、腐蚀、防震动及防止其它损坏的必要措施， 从而保护货物能够经受多次搬运、装
9、卸及远洋和内陆的长途运输。 卖方应承担由于其包装或防护措施不妥而引起的货物锈蚀、损坏 和丢失的任何损失的责任或费用；4.2运输方式：进口设备采用空运，国产设备采用陆运。5付款方式：合同生效以及具备实施条件后7个工作日内凭成交人提交的问 等金额预付款保函支付，支付合同金额的40%作为预付款，成交 人于合同签订前书面承诺放弃预付款或降低预付款支付比例的， 可不适用本条款。设备验收合格后7个工作日内支付余款。备注：采购人支付前，供应商须提供正规税务发票，否则采购人 有权不予支付。6交货期：合同签订生效之日起80个工作日内货到采购人指定地 点，安装调试完成并通过验收合格。序号技术参数响应情况一、技术要
10、求1适用范围1. 1中试线太阳光模拟器用于300X400 mm钙钛矿组件的IV测试，设 备需要配置有光源控制系统、电源控制系统、测试系统、红外测 温探头、参考标准电池、计算机、显示器等。 1.2光源采用3A级稳态光源，兼容稳态及脉冲测试,光强为200 -1150 W/ni?可调。1.3光源质量（光谱匹配度、辐照不均匀性、辐照不稳定度）：900 X600 mm光照范围内A级，300X400光照范围内A+级。1.4系统具备温度修正和光强修正功能，以及对光源工作状态的监控 功能。1.5承重需求W500 kg/m%2技术性能参数要求2. 1产品规格及技术指标2. 1. 1太阳光模拟器为3A级稳态光源，
11、兼容稳态及脉冲测试；2. 1.2测试样品面积：，300 nunX400 mm；2. 1.3光谱匹配度：AM1.5, A+级；2. 1.4光谱范围:350 nm-1100 nm；2. 1.5辐照不均匀度：A+级；2. 1.6辐照不稳定度：A+级；2. 1. 7辐照强度：200-1150 W/M内可调，间隔200 W/n?进行光强设置 (200/400/600/800/1000/1150 W/m2)；2. 1.8光源寿命：40000h,衰减W10%；2. 1.9最大测试电压：2 100 V,最大测试电流：2 3 A；2. 1. 10硬件监测功能：系统具备对光源工作状态的监测功能及辐照度监 控功能；
12、标项三：IV测试设备（不接受进口产品）数量：1套2.2测试要求2. 2. 1测试时长：电子负载的测试时长10ms-10000ms内可调；2. 2.2温度测试精度：0.5；2. 2. 3电压档位：2. 5V/5V/10V/15V/120V；2. 2.4电流档位:0. 5A/1A/5A/7. 5A/12. 5A；2. 2.5测试数据处理：具备温度修正和光强修正功能；2. 2. 6可测量参数：-V曲线，P-V曲线，辐照度线，短路电流，开路电 压，峰值功率，峰值功率点电压、电流，定电压点电流，填充因 子，转换效率，串联电阻，并联电阻等；2. 2.7设备配置:光源系统+电源系统+测试系统+测温探头+计算
13、机+液晶 显示器；2.3测试软件2. 3. 1测量软件具有自动IV测量功能，可测量Eff/ Voc/FF/ Isc/ Jsc/ Rs/Rsh/Pmax / Vmax/Imax等参数,同时显示I-V曲线和 P-V曲线；2. 3.2测试软件支持自动正、反向扫描测试；支持最大功率点(MPPT) 测试，支持扫电压、电流模式切换；2. 3.3测试数据自动备份,支持数据存储与导出，导出文件格式为Excel 格式；2. 3.4开始扫描的起始时间可自行设置，即，可提前开启光源进行预光 照，预光照时间到达设定值后，开始自动启动IV测试；2.4电子负载(数字源表)2. 4. 1测试电压范围：-P120V；2. 4
14、.2测试电流范围：012.5A；2. 4.3电流测试精度：0.2%；2. 4.4电压测试精度:0. 2%；2. 4.5电压测试分辨率：0. 003%；2. 4.6电流测试分辨率：0. 003%；2. 4.7IV测试分辨率：0. 01%；二、商务要求1安装、调试与培训1. 1供应商负责设备安装、调试、试运行，培训买方人员的现场操作 使用及基本维护；1.2仪器到货后，在接到用户通知后10个工作日内，供应商的安装调试等人员应自带专用工具等到用户现场进行安装调试；1.3供应商提供专业人员的设备应用技术培训天数不少于5天；2验收2. 1验收标准：调试和验收应根据投标文件中的技术规格响应进行；2.2验收程
15、序：实现系统成套联调并达到技术要求，包括试运行、样 品测试、演示，验收合格后双方签字生效；2.3验收要求：乙方发货时附带本项目技术要求表中带参数的 第三方检测报告。甲方将委托第三方检测机构对带参数进 行复检，如检测结果符合招标要求，甲方支付检测费用。如检测 结果不符合招标要求，视为乙方虚假响应，甲方有权拒绝收货， 乙方支付检测费用并承担相关法律责任。3保修3. 1保修期为安装验收合格之日起1年；3.2在保修期外软硬件出现的问题,接到用户电话通知后24小时内给 予答复，5个工作日内给与解决方案并到达用户现场解决问题。 重大问题或其它无法立刻解决的问题应在2周内解决或提出明确 的解决方案；3.3供
16、应商提供终身维修，在中国大陆有备件仓库和维修中心，保证 保修期满后零配件及消耗品的供应；3.4软件升级：在硬件支持的前提下，免费提供软件升级；4包装及运输方式4. 1包装要求：供应商应提供货物运至合同规定的最终目的地所需要 的包装，以防止货物在转运过程中损坏或变质。此类包装应采取 防潮、防晒、防锈、腐蚀、防震动及防止其它损坏的必要措施， 从而保护货物能够经受多次搬运、装卸及远洋和内陆的长途运输。 卖方应承担由于其包装或防护措施不妥而引起的货物锈蚀、损坏 和丢失的任何损失的责任或费用；4.2运输方式：进口设备采用空运，国产设备采用陆运。5付款方式：合同生效以及具备实施条件后7个工作日内凭成交人提
17、交的同 等金额预付款保函支付，支付合同金额的40%作为预付款，成交 人于合同签订前书面承诺放弃预付款或降低预付款支付比例的， 可不适用本条款。设备验收合格后7个工作日内支付余款。备注：采购人支付前，供应商须提供正规税务发票，否则采购人 有权不予支付。6交货期：合同签订生效之日起40个工作日内货到采购人指定地 点，安装调试完成并通过验收合格。序号技术参数响应情况一、技术要求1适用范围1. 1系统包括设备两台，主要用于预研线10*10 cm钙钛矿光伏组件 的制备过程中，真空状态下蒸发/磁控溅射沉积薄膜，可沉积有 机、金属、金属氧化物等薄膜，主要用于半导体光电器件中各功 能层以及电极的制备。1.2蒸
18、镀设备主要包括真空及测量系统、蒸发腔体系统、膜厚测试系 统、电控系统、冷却系统等；控溅射主要包括磁控室、真空获得 系统、真空测量系统、工作台、电控部分组成。2技术性能参数要求2.1真空蒸镀2. 1. 1极限真空：优于4*10-5 Pa；2. 1.2漏 率：6. 7*10-8 Pa L/S；2. 1. 3工作真空:5*10一4 Pa,从大气到工作真空时间小于30分钟；2. 1.4系统保压：系统抽到极限后，停泵关机12小时后，系统真空度保持状态2 Pa；2. 1. 5基片尺寸：100 X 100mm；2. 1. 6样品托尺寸：2106X 116mm；2. 1. 7样品架与阻蒸源表面距离：W340m
19、m；2. 1.8蒸发源：热阻蒸发（金属蒸发*4+有机蒸发*2）、电子束蒸发1套（4珀蜗）；2. 1.9样品台升降距离：无升降；2. 1. 10样品台加热：可从室温加热到150；2. 1. 11真空室开腔形式：手动前后大开门结构，可连接手套箱；2. 1. 12膜厚监控：石英晶振膜厚仪1套，4探头，安装在蒸发源上方（有标项四：真空设备（不接受进口产品）数量：1套机源共用1,金属源两两共用1,电子枪用1）,使用品牌膜厚探 头；2. 1. 13插板阀：使用超高真空电动调节插板阀，非气动操作；2. 1. 14装片方式：侧插方式；2.2其他要求2. 2. 1蒸发室（1套）：2. 2. 1. 1蒸发设备由单
20、真空腔体构成，腔体材质为不锈钢SUS304,前后 开门结构。2. 2. 1.2真空室尺寸为450 X 450 X 600mm。2. 2. 1.3前开门嵌套在手套箱内，隐藏式侧滑门结构。后开门是折页开门 结构，便于设备维护。.2. 2. 1.4真空室底板安装金属蒸发源和有机蒸发源，侧板安装带防污分子 泵抽气口，真空室顶板安装样品架和总挡板。2. 2. 1.5真空室底部安装蒸发源电动挡板，侧壁上方安装膜厚探头法兰， 规管法兰，备用法兰等。2. 2. 1.6前开门为合金铝材料，氟胶圈密封方式。2. 2. 1. 7安装上卜两套观察窗。2. 2. 1.8分别观察样品架和蒸发台。2. 2. 1.9真空室内
21、壁及前门，安装有不锈钢屏蔽板，方便拆卸清洗。2. 2.2蒸发屏蔽板（1套）：2. 2. 2. 1真空室侧壁，底板，上板，可以方便拆卸，清洗。2. 2.3DN90观察窗（2套）：2. 2. 3. 1尺寸为DN90mll1。材质为石英玻璃。一套内门，一套外门。2. 2.4DN190X100 观察窗（1 套）：2. 2. 4. 1尺寸为DN190X100。胶圈密封观察窗。2. 2.5手动观察窗挡板（3套）：2. 2. 5. 1胶圈密封运动结构。手动开关。用于遮挡相应的观察窗。2. 2.6样品架（1套）：2. 2. 6. 1样品架无升降。2. 2. 6. 2阻蒸蒸发源和样品距离为340 mmo2. 2
22、. 6. 3在升降架侧安装有寸方5标尺。2. 2. 6. 4样品架可旋转，转速手动可调整。2. 2. 6. 5电动旋转030转/分。2. 2. 6. 6每次可安装100mmX 100mm样品1片，样品架加热室温150。2. 2.7样品架挡板（1套）：2. 2. 7. 1气动/磁力耦合原理。安装在真空室侧壁，在真空室外有位置限 制。2. 2.8金属源及挡板（4套）：2. 2. 8. 1金属源直接安装在真空室底板上。2. 2. 8. 2水冷结构，可以用舟蒸发金属类材料。2. 2. 8. 3两只电极间距为70mm,兼容蒸发舟、螺旋蒸发丝形式蒸发。2. 2. 8.4配有四套气动升降磁力耦合挡板，安装于
23、真空室底板。2. 2. 8. 5金属区域上面有独立的e35的盖板。2. 2.9有机源及挡板（2套）：2. 2. 9. 1石英用烟容量3cc,加热丝裸露，新型结构，局口石英生烟，降温 速度快。配有独立挡板。2. 2. 10电子枪（1套）：2.2. 10. 1电子枪功率6KWo2.2. 10.2电子束偏转角270 o2. 2. 10.3阳极电压有6KV和8KV两挡，面板切换。2.2. 10.4束流在0-750mA范围内可调。2.2. 10.5偏转电源：X方向扫描频率0-20Hz可调，Y方向扫描频率0-20Hz 可调。2.2. 10.6启动真空度需高于:6. 7X10-3Pao2.2. 10.7珀烟
24、为四穴水冷铜珀烟，生烟为无氧铜材料，每个用烟的尺寸为：10ml o2.2. 10.8可以电动换位。2. 2. 11电子枪均烟挡板（1套）：2.2. 11. 1为了保证镀膜的工艺性（预蒸发、多层膜、掺杂膜、防止交叉污 染和干扰等），电子枪用期配备挡板。2.2. 11.2安装在真空室底板，气动旋转结构。2. 2. 12膜厚探头（4套）：2.2. 12. 1高质量探头，用于测量蒸发速率。2.2. 12.2安装在真空室侧壁上，标配4只，用于测量膜厚和蒸发速率，测 量精度0.01 Ao2. 2. 13四芯电极（1套）：2.2. 13. 1用于电流的馈入。2. 2. 14烘烤灯组件（1套）：第五章合同主要
25、条款472. 2. 14. 1烘烤与照明灯分开。2. 2. 14. 2两只烘烤灯，一只照明灯。2.2. 14.3便于迅速除去水汽，提高真空度。2.3真空获得系统（1套）2. 3. 1腔室配有独立真空抽气系统，由机械干泵和涡轮分子泵组成。配置分子泵1台，卧式安装。配置机械干泵1台。2. 3.4配置超图真空电动插板阀一套。2. 3. 5配置电动角阀1只。配置波纹管管路1.5m, 3只。2. 3. 7配置放气阀1支。2. 3.8配置电磁压差阀1支。2. 3.9配置电动角阀1支。2.4电控部分2. 4. 1工作台（1套）2. 4. 1. 1工作台是该设备的骨架，安装着支撑部件。2. 4. 1.2方管焊
26、成结构。2. 4. 1.3台面铺有不锈钢装饰板。2. 4. 1.4表面静电喷涂处理。2. 4. 1.5四周有方便拆卸的围板。2. 4. 1.6工作台内部安装设备真空控制单元，室烘烤照明电源,分子泵电 源,有机源电源，金属蒸发电源、膜厚仪、电子枪扫描仪、真空 计等。2. 4.2真空控制单元（1套）2. 4. 2. 1PLC+触摸屏控制：机械干泵运行，前级阀运行，样品架的升降， 旋转。2. 4. 2. 2和掩膜板的升降。2. 4. 2. 3触摸屏固定安装在工作台上。2. 4.3室烘烤照明电源（1套）2. 4. 3. 1控制真空室内一只照明灯，两只烘烤灯的供电。2. 4.4分子泵电源（1套）2. 4
27、. 4. 1控制分子泵。2. 4.5金属蒸发电源（2套）第六章投标文件格式61第一章公开招标采购公告项目概况（浙江大学宁波“五位一体”校区教育发展中心采购仪器设备项目）招标项目的潜在投标人 应在政府采购云平台（）获取（下载）招标文件，并于2022年12月28日14点00分（北京时 间）前递交（上传）投标文件。一、项目基本情况项目编号：CBNB-20221810G项目名称：浙江大学宁波“五位一体”校区教育发展中心采购仪器设备项目预算金额（元）：5, 600, 000. 00最高限价（元）：标项一 650,000. 00、标项二1,850, 000.00、标项三950, 000. 00、标项四 1
28、,200, 000. 00 标项五 950, 000. 002.4. 5. 1开关电源。2.4. 5. 2总功率2KWo2.4. 5.36V/300A. 一带二输出方式，二台。2. 4.6有机蒸发电源（1套）2. 4. 6. 1国产电源口加热500度。2. 4. 6. 2箱双输出方式，市“方式。2.4. 6.3PID自动控制。（不采用切换方式。）2. 4.7复合真空计（1套）2.4. 7. 1一低一高。2.4. 7.2一路连接电阻规，,路连接金属电离规。2.4. 7.3复合模式，量程自动切换。2. 4.8膜厚仪（1套）2.4.8. 1实时显示膜厚以及沉积速率。2. 4.9频率计转化器（4套）2
29、.4. 9. 1频率转换启振稳定。2. 4. 9. 2通用接口。2. 4. 10电子枪控制系统（1套）2. 4. 10. 1含有枪高压系统一套。2. 4. 10.2电子枪灯丝束流显示控制电源一套。2. 4. 10.3可编程偏转扫描电源一套。2. 4. 10.4并带有手动操作盒。2. 4. 10.5生烟转位控制电源一套，灯丝变压器一套。2. 4. 11冷水机（1台）2. 4. 11. 1自带水箱风冷冷水机，和设备共用。2. 4. 11.2制冷量3PO2. 4. 12.电控部分包含安全故障报警系统2.5三靶磁控溅射设备2. 5. 1设备功能2. 5. 1. 1各种金属薄膜、化合物薄膜、绝缘膜、介质
30、膜、半导体膜等单层 /多层膜及铁磁材料膜的制备；（SnO,金属）2. 5. 1.2通过反应溅射方式用于制备氮化物和氧化物等化合物薄膜；（NiO 采用Ni+02方式）2. 5. 1.3通过共溅射沉积合金薄膜以及进行薄膜发掺杂等（制备合金）；2. 5.2主要技术参数2.5.2. 1极限真空：优于4Xl（）Tpa （新设备）；2. 5. 2. 2漏率：6. 7X10-8Pa L/S；2. 5. 2. 3工作真空：5X10-4Pa,从大气到工作真空时间小于30分钟（新 设备冷态下，充干燥岫）；系统保压：系统抽到极限后，停泵关机12小时后，系统真空度保持状态2 Pa；2. 5. 2. 5样品尺寸：100
31、X 100mm；2. 5. 2. 6样品托尺寸：N106X 116mm；样品架与磁控靶表面距离：150250nliri；磁控靶：3寸靶义3只，其中一只为铁磁靶；2. 5. 2. 9样品架：电动旋转；2. 5. 2. 10样品加热：室温150；2. 5. 2. 11样品架偏压：装有偏压功能；2. 5. 2. 12真空室开腔形式：手动前后大开门结构；2. 5. 2. 13膜厚探头：水冷2只，安装在样品架下方；2. 5. 2. 14装片方式：侧插方式；2. 5. 2. 15过滤器：机械干泵尾气安装过滤器；2. 5. 2. 16质量流量计：4只，其中3只靶内进气，1只匀气环；2. 5.3详细配置要求2
32、. 5. 3. 1溅射室部分：溅射室由磁控溅射靶、样品架、挡板、观察窗等组 成。2. 5. 3. 1. 1溅射室（1套）2. 5. 3. 1. 1. 1方形结构，内尺寸约450X450X600mm,内外表面喷丸处理，外 表电解处理。2. 5. 3. 1. 1. 2内外开门结构，外门折页方式，内门隐藏式侧滑导轨方式。2. 5. 3. 1. 1. 3外门下方为DN90nini的胶圈石英观察窗，上方为DN190X 100的胶 圈观察窗。2. 5. 3. 1. 1.4上下观察窗都安装有手动挡板。2. 5. 3. 1. 1. 5内门下方有一个DN90的胶圈密封观察窗，观察窗有手动挡板。2. 5. 3.
33、1. 1.6真空室侧板开孔，安装分子泵系统。2.5. 3. 1. 1. 7底板上安装磁控溅射靶。2. 5. 3. 1. 1. 8真空室顶部安装样品架。2. 5. 3. 1. 2DN90观察窗（2套）2. 5. 3. 1. 2. 1尺寸为DN90mmo材质为石英玻璃。2. 5. 3. 1. 2. 3一套内门，一套外门。2. 5. 3. 1. 3DN190X100观察窗（1套）2. 5. 3. 1. 3. 1尺寸为 DN190X100。2. 5. 3. 1. 3. 2胶圈密封观察窗。2. 5. 3. 1. 4手动观察窗挡板（3套）2. 5. 3. 1.4. 1胶圈密封运动结构。2. 5. 3. 1
34、. 4. 2手动开关。2. 5. 3. 1. 4. 3用于遮挡相应的观察窗。2. 5. 3. 1. 5样品匀气环（1套）2. 5. 3. 1. 5. 1安装在真空室侧壁，出气孔直对样品表面。2. 5. 3. 1. 5. 2用于样品表面通入反应气体。2. 5. 3. 1. 5. 3专用于反应溅射。2. 5. 3. 1. 5. 4可以有效防止靶中毒。2. 5. 3. 1. 6磁控靶（3套）2. 5. 3. 1. 6. 1靶面尺寸都是75mrn,射频和直流兼容，都可沿轴向离线移动， 移动距离范围（相对于衬底）靶到基片的间距150-250mm可调， 每只靶安装有独立的气动挡板。靶头内部水磁分离结构，靶
35、背板为无氧铜材质，冷却效果好。2. 5. 3. 1. 6. 3在真空室内部，可以手动调整摆头，摆头角度015度。磁控靶之间有隔板隔开，防止交叉污染。2. 5. 3. 1. 6. 5其中一只为强磁性靶，可以溅射铁磁性材料（Fe, NiFe, CoFe, Ni 等）。2. 5. 3. 1. 7磁控靶气动挡板（3套）2. 5. 3. 1. 7. 1气动旋转挡板，可以在触摸屏上操作。2. 5. 3.1. 8样品架与挡板（1套）2. 5. 3. 1.8. 1样品架为电动旋转方式，转速030转/分连续可调。安装尺寸100 X 100mm精度高。2. 5. 3. 1. 8. 3加热温度室温”150。含偏压功
36、能部件。2. 5. 3. 1. 9流量控制器（4台）2. 5. 3. 1. 9. 1100SCCM, Ar气标定3只、。2标定1只。2. 5. 3. 1.10气体管路（1套）2. 5. 3. 1. 10. 1内表面酸洗管道焊接而成。2. 5. 3. 1. 10.26管道，VCR密封方式。2. 5. 3. 1.11工作台（1套）2. 5. 3. 1. 11. 1碳钢工作台，表面静电喷涂处理，两侧安装有围板。2. 5. 3. 1. 11.2用于放置真空室。2. 5. 3. 1. 11.3内部安装分子泵系统和电器控制系统。2. 5. 3. 2真空获得系统2. 5. 3. 2. 1涡轮分子泵（1套）：
37、配置分子泵一台。2. 5. 3. 2. 2机械干泵（1套）：配置8.3L机械干泵一台。电磁压差阀（1套）：安装在机械干泵口，停泵时自动关闭。气动截止阀（1套）：女装在分子泵排气口，用于保护分子泵。2. 5. 3. 2. 5前级阀门三通组件（1套）：安装于分子泵与机械干泵之间。2. 5. 3. 2. 6液压波纹管路（3套）：一路连接分子泵，一路连接机械干泵， 一路连接预抽角阀。电动插板阀（1套）：电动插板阀。电动操作。气动角阀（1套）：气动角阀。手动操作。手动放气阀（2套）：通径10所。用于真空室放气，手动操作。一套外门，外面上的放气阀可以直接接气瓶，一套内门。（自动 充气方式）2. 5. 3.
38、 3电控与测量系统2. 5. 3. 3. 1电器控制柜（1套）2. 5. 3. 3. 1. 1电控柜与工作台一体。2. 5. 3. 3. 1.2上面安装着电控拉箱。2. 5. 3. 3. 1. 3由真空计、中央控制单元、膜厚仪（薄膜规）、金属加热电源、 有机蒸发电源、分子泵电源、总电源等部分组成。2. 5. 3. 3. 2PLC+触摸屏（1套）2. 5. 3. 3. 2. 1由PLC+10寸彩屏组成。2. 5. 3. 3. 2.2并安装控制软件。2. 5. 3. 3. 2. 3手动控制时要注意操作顺序。2. 5. 3. 3. 2. 4触摸屏固定在工作台上。2. 5. 3. 3. 2. 5控制内
39、容：预抽，前级，机械干泵，分子泵运行。样品台旋转控制，按钮控制。2. 5. 3. 3. 2. 7设备报警与急停。2. 5. 3. 3. 3分子泵电源（1套）：控制分子泵的启停。2. 5. 3. 3. 4直流溅射电源（2套）：功率20.5KW。2. 5. 3. 3. 5射频溅射电源（1套）：功率20.5KW。2. 5. 3. 3. 6薄膜规（1 套）：0. OlTORRo2. 5. 3. 3. 7数显复合真空计（1套）：真空计用于显示整个系统的真空度。2. 5. 3. 3. 8样品架加热电源（1套）：2. 5. 3.3.8. 1温度：常温150可调。2. 5. 3. 3. 8. 2控温精度0.5
40、。2. 5. 3. 3. 8. 3PID自整定迅速可靠。2. 5. 3. 3.9偏压电源（1套）：2001000V连续可调。二、商务要求1安装、调试与培训1. 1供应商负责设备安装、调试、试运行，培训买方人员的现场操作 使用及基本维护；1.2仪器到货后，在接到用户通知后10个工作日内，供应商的安装 调试等人员应自带专用工具等到用户现场进行安装调试；1.3供应商提供专业人员的设备应用技术培训天数不少于5天；2验收2. 1验收标准：调试和验收应根据投标文件中的技术规格响应进行；2.2验收程序：实现系统成套联调并达到技术要求，包括试运行、样 品测试、演示，验收合格后双方签字生效；2.3验收要求：乙方
41、发货时附带本项目技术要求表中带“”参数的 第三方检测报告。甲方将委托第三方检测机构对带参数进 行复检，如检测结果符合招标要求，甲方支付检测费用。如检测 结果不符合招标要求，视为乙方虚假响应，甲方有权拒绝收货， 乙方支付检测费用并承担相关法律责任。3保修3. 1保修期为安装验收合格之日起1年；3.2在保修期外软硬件出现的问题，接到用户电话通知后24小时内 给予答复，5个工作日内给与解决方案并到达用户现场解决问题。 重大问题或其它无法立刻解决的问题应在2周内解决或提出明确 的解决方案；3. 3供应商提供终身维修，在中国大陆有备件仓库和维修中心，保证保修期满后零配件及消耗品的供应；3.4软件升级：在
42、硬件支持的前提下，免费提供软件升级；4包装及运输方式1.4. 1包装要求：供应商应提供货物运至合同规定的最终口的地所需要 的包装，以防止货物在转运过程中损坏或变质。此类包装应采取 防潮、防晒、防锈、腐蚀、防震动及防止其它损坏的必要措施， 从而保护货物能够经受多次搬运、装卸及远洋和内陆的长途运 输。卖方应承担由于其包装或防护措施不妥而引起的货物锈蚀、 损坏和丢失的任何损失的责任或费用；运输方式：进口设备采用空运，国产设备采用陆运。5付款方式：合同生效以及具备实施条件后7个工作日内凭成交人提交的同 等金额预付款保函支付，支付合同金额的40%作为预付款，成交 人于合同签订前书面承诺放弃预付款或降低预付款支付比例的， 可不适用本条款。设备验收合格后7个工作日内支付余款。备注：采购人支付前，供应商须提供正规税务