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1、自感式传感器变压器式传感器涡流式传感器压磁式传感器 X L+L 0002l 2SWL变间隙自感式传感器原理图=1+2000 L=L=2(0)0002l 2SWL螺线管自感式传感器原理图=0=0+0=011+0 1=011+0 1=00+00211+0LoL0L0LL0L=0+x=0+y=0=0+0=011+0 1=011+0 1=00+00211+0LoL0L0LL0LK=00=2002021=00+00203+04 2=00+002+03+04+=1 21=00+00203+04 2=00+002+03+04+=1 2=20020031+02+04+=1 2=20020031+02+04+=
2、00+00211+0K=00=2020固有电感匝间电容交流电桥的两种实用形式=21+2+=+212=2=2=2+()2=+22+()2=+=2=2+()2=+22+()2=22+()2+()22+()22=2(1+12)(12+)品质因数=2（当值很高时）=11+2 12=+212=2LLfLCLCf 2)(412/3 =12 LC=+2=+12=+2=相角-相角=2tan1=+12=+2=相角-相角=2tan1LLR/L1R/L22两个传感器不对称（几何尺寸、电气参数、磁路参数）；存在寄生参数；电源存在高次谐波；磁路存在非线性；工频干扰。LG-2LG-10LG-40LG-100量程mm152
3、050线 性 度%0.50.50.10.1单位示值um/字0.52.51025LGLG系列差动电感式位移传感器的型号与性能系列差动电感式位移传感器的型号与性能LVDT（linear variable differential transformer）2121截面型差动变压器螺管差动变压器=2=22=0 2=22 0，输出反相2=12=12=22=1()=12=121=2=11=2=21=1=110=10=10=假设：2=1211+11+122=12111+122=121011+12UiW2/W10KW2/W100.5 mm2=12101+11+122=121011+12=12110101=12
4、110、3.2.3 3.2.3 一、相敏检测电路一、相敏检测电路二、差动整流电路二、差动整流电路三、基于三、基于DSPDSP的信号处理电路的信号处理电路四、基于集成信号调理芯片的处理电路四、基于集成信号调理芯片的处理电路=sin=sin=sin差动整流电路V电流输出型用在连接低阻抗负载的场合电压输出型用在连接高阻抗负载的场合123456780=2468LVDT-1LVDT-5LVDT-30LVDT-200量程mm1530200线性度%0.50.811分辨率um122030灵敏度mv/mm60060027050输出v0.63810a UIMjILjIR21111012222IMjILjIR=1+
5、22222+222+j 1 22222+222=1+22222+222+j 1 22222+2220=12()谐振：0=12 LC=晶振 失谐：晶振0=12 0=12 0=12（）非磁性材料012f0f1 f20=12 0=12（+）软磁材料012f0 f1 f20=12 0=12（+）0=12（）软磁材料非磁性材料磁性材料非磁性材料5030rhf5030rhf5030rhfd大小涡流贯穿深度5030rhf=3.3.4 3.3.4 =60N结构磁性及非磁性材料的温度特性NCDT100EDS系列系列测量测量范围范围0.5/1/2/3/6/15 mm100/160/250/300/400/630 mm线性线性0.5%FS0.2%FS分辨率分辨率0.01%FS0.02%FS响应响应频率频率10khz150khz温度温度范围范围-50150-4085Micro-epsilon messtechnik 涡流传感器部分技术指标实例1实例55无损检测是以不损坏被检测物体内部结构为前提，应用物理的方法，检测物体内部或表面是否存在不连续性（即缺陷），从而判断被检测物体是否合格。焊件的主要缺陷裂纹：熔焊冷却时因热应力产生。未焊透：熔焊金属与基体材料未熔合。气孔：空气停留在金属内部。夹渣：熔焊形成的氧化物停留在焊缝内部。油管检测