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1、编号：时间：2021年x月x日书山有路勤为径，学海无涯苦作舟页码：第5页 共5页曝光机操作规程修订日期修订单号修订内容摘要页次版次修订审核批准2011/03/30/系统文件新制定4A/0/批准：审核：编制：曝光机操作规程1 目的正确指导员工操作，提高工作效率，提高产品品质，规范生产管理2 范围生产部曝光工序全体员工3职责生产部曝光工序人员负责设备操作4相关文件4.1SYQC04曝光工序工艺规程5曝光机操作规程5.1检查冷却水循环是否正常；5.2开启电源；5.3按下启动开关（Start）按LCD显示屏，选择中文操作系统；5.4按下主画面上之“启动开关”，启动主系统；52.5按下“灯源系统”进行点
2、灯动作；5.6将“曝光方式”设定在手动“框架前进”设定在自动，并开启黄灯；5.7按曝光尺设定和调整曝光能量；5.8清洁台面后将待曝光板置于玻璃与MYLAR中 5.9按吸真空开关，并用手轻压MYLAR关紧框架；5.10按框架前进按钮，使框架进入曝光室进行曝光；5.11当上框架进行曝光时，可在下框架放置待曝光板，重复第1.81.10之步骤，上、下框架交替使用；5.12操作完毕按主画面之“关机开关”选择“是”，关闭电源，关闭冷却水循环。6相关记录表格6.1设备日常维护记录设备日常维护记录部门：工序： 序号：设备名称型号设备编号年 月 日 项目 日期安全装置调节器油、水、气通道过滤器传动部位滑动部位防锈处理卫生清理其它签名12345678910111213141516171819202122232425262728293031注：无此项，请从横格的左下角至右上角画一条斜线“/”，已做项目，请打“”，未有的保养项目请在其它里面填写。第 5 页 共 5 页