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1、 1.真空基础知识真空基础知识林越展 2006-05-29 真空：低于一个大气压的气体状态。1643年，意大利物理学家托里拆利(E.Torricelli)首创著名的大气压实验，获得真空。自然真空：气压随海拔高度增加而减小，存在于宇 宙空间。人为真空：用真空泵抽掉容器中的气体。1.1 真空基础知识2真空量度单位真空量度单位n1标准大气压=760mmHg=760(Torr)n1标准大气压=1.013x105 Pan1Torr=133.3Pan1mbar=100Pa1.1 真空基础知识3真空区域的划分真空区域的划分 目前尚无统一规定，常见的划分为：粗真空 低真空 高真空 超高真空 极高真空 1.1
2、真空基础知识4真空技术的应用真空技术的应用 电子技术、航空航天技术、加速器、表面物理、微电子、材料科学、医学、化工、工农业生产、日常生活等各个领域。1.1 真空基础知识51.2 真空泵基本原理介绍n1654年，德国物理学家葛利克发明了抽气泵，做了著名的马德堡半球试验。原理：原理：当泵工作后，形成压差，p1 p2，实现了抽气。6真空泵的分类气体传输泵气体传输泵:是一种能将气体不断地吸入并排出泵外 以达到抽气目的的真空泵，例如旋片 机械泵、罗茨泵、油扩散泵、涡轮分子泵。气体捕集泵气体捕集泵:是一种使气体分子短期或永久吸附、凝 结在泵内表面的真空泵，例如分子筛 吸附泵、鈦升华泵、溅射离子泵、低温 泵
3、和吸气剂泵。1.2 真空泵基本原理介绍7真空泵的主要参数n抽气速率抽气速率:定义为在泵的进气口任意给定压强下，单位时间内流入泵内的气体体积 或表示为：其中，Q为单位时间内流入泵的气体量。泵的抽气速率S并不是常数，随P而变。1.2 真空泵基本原理介绍8n极限压强极限压强 (极限真空)n最高工作压强最高工作压强n工作压强范围工作压强范围（）泵能正常工作的压强范围n几种常用真空泵的工作压强范围 旋片机械泵 萝茨泵 扩散泵 涡轮分子泵 溅射离子泵 低温泵真空泵的主要参数1.2 真空泵基本原理介绍气体传输泵气体捕获泵9n工作过程是：吸气压缩排气。n定子浸在油中起润滑，密封和堵塞缝隙的作用。n主要参量是：
4、抽速和极限压强。n由于极限压强较高，常用做前级泵(预抽泵)。1.2 真空泵基本原理介绍1.旋片机械泵几种常用真空泵的工作原理10旋片式机械泵1.2 真空泵基本原理介绍111.2 真空泵基本原理介绍2.罗茨泵实物图萝茨泵主要腔室模型121.2 真空泵基本原理介绍2.罗茨泵工作原理图131.2 真空泵基本原理介绍1 大齿轮2 轴承3 密封圈4 抽气口5 转子6 油密封圈7 注油壶8 连接器9 马达10驱动轴11圆形离心润滑器12出气口13 导油管14 起重机眼14n罗茨泵极限压力为5*10-3mbar，n正常工作压力范围为5*10-2mbar，n它的进气口压力为10mbar。1.2 真空泵基本原理
5、介绍153.油扩散泵n是：油蒸发喷射凝结，重复循环n由于射流具有工作过程高流速(约200米/秒)、高密度、高分子量(300500)，故能有效地带走气体分子。n扩散泵不能单独使用，一般采用机械泵为前级泵，以满足出口压强(最大40Pa)，如果出口压强高于规定值，抽气作用就会停止。1.水冷套；2.喷油嘴；3.导流管；2.4.泵壳；5.加热器1.2 真空泵基本原理介绍161.3 真空保养1.真空检漏没有一种真空设备能够完全密封，做不到也没有必要完全密封；造成的漏点包括：焊接、法兰、盖板、工艺气体管道等；只要达到而且能够保持达到我们所需的真空工艺，就能满足生产需要。171.3 真空保养2.检漏步骤n开机n对各接头法郎快速粗喷He气；n找到最大漏处，用袋子加100%He气，调节测量范围，读出漏率；n对怀疑处逐点喷气56秒，并隔离检查注意:进行检漏前，必须先关闭所有的放气阀等进气部件He气:氦气为无色无味，不可燃气体，空气中的含量约为百万分之5.2.http:/ 真空保养3.泵浦保养真空油根据实际情况定期更换排气过滤器检查更换转子叶片检查并更换油水热交换器系统检查气震过滤器检查或更换进气过滤器检查或更换排气叶片等“8”字型转子表面是否清洁；监视轴承箱油位情况；轴承箱室密封圈的漏油情况；齿轮箱内的油位情况。DP喷射塔清洗喷射口检查调整DP加热器检查更换DP冷却系统检查1920