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1、建筑设计计洁净厂厂房设计计规范GGBJ773884第一章 总总则主编部部门：中中华人民民共和国国电子工工业部批准准部门：中华人人民共和和国国家家计划委委员会施行行日期：19885年6月1日关关于发布布洁净净厂房设设计规范范的通通知计标1988424883号根根据原国国家建委委（78）建发发设字第第562号文的的要求，由由电子工工业部会会同有关关部门共共同编制制的洁洁净厂房房设计规规范，已已经有关关部门会会审。现现批准洁洁净厂房房设计规规范GBJJ7384为国家家标准，自自一九八八五年六六月一日日起施行行。本规范范由电子子工业部部管理，其具体解释等工作，由电子工业部第十设计研究院负责。国家计划委
2、员会一九八四年十二月一日编制说明本规范是根据原国家基本建设委员会（78）建发设字第562号文的要求，由我部负责主编的。具体由我部第十设计研究院会同机械工业部第十一设计研究院、航空工业部第四规划设计研究院、电子工业部第十一设计研究院、兵器工业部第五设计研究院、中国船舶工业总公司第九设计研究院、航天工业部第七设计研究院、化工部第六设计院、中国有色金属总公司北京有色冶金设计研究总院、中国建筑科学研究院和哈尔滨建筑工程学院等单位共同编制而成。在编制过程中，规范编制组进行了广泛的调查研究，认真总结了我国洁净厂房建设和使用的实践经验，组织有关单位开展了必要的科学试验研究工作，并广泛地征求了全国有关单位的意
3、见。最后，由我部会同有关部门审查定稿。本规范共分八章和七个附录，主要的内容有：总则、空气洁净度等级、总体设计、建筑、空气净化、给水排水、工业气体管道、电气等。鉴于本规范系初次编制，执行过程中，希各单位结合工程实践和科学研究，认真总结经验，如发现需要修改和充实之处，请将意见和有关资料寄交我部第十设计研究院，以供今后修订时参考。电子工业部一九八四年八月二十七日第一章 总则第1.0.1条 洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量，符合节约能源和环境保护的要求。第1.0.2条 本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计，但不适用于以细菌为控制对象的生物洁净
4、室。本规范有关防火和疏散、消防设施章节的规定，不适用于建筑高度超过24米的高层洁净厂房和地下洁净厂房的设计。第1.0.3条 在利用原有建筑进行洁净技术改造时,洁净厂房设计必须根据生产工艺要求，因地制宜、区别对待,充分利用已有的技术设施。第1.0.4条 洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、检修测试和安全运行创造必要的条件。第1.0.5条 洁净厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的国家标准、规范的有关要求。第二章 空气洁净度等级第2.0.1条 空气洁净度应按表2.0.1规定划分为四个等级。空气洁净度等级表2.0.1 等级每立方米（每每升）空空气中0.5微米尘尘粒数每立方米（每每升）空空气中5微
5、米尘尘粒数100级351100（3.5）1000级级35110000（35）250（0.225）100000级351100000（350）25000（2.5）1000000级3511000000（35000）250000（25）注：对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计数，应进行多次采样，当其多次出现时，方可认为该测试数值是可靠的。第2.0.2条 洁净室空气洁净度等级的检验，应以动态条件下测试的尘粒数为依据。洁净室空气洁净度的测试，应符合附录二规定。第三章 总体设计第一节 洁净厂房位置选择和总平面布置第3.1.1条 洁净厂房位置的选择，应根据下列要求并经技术经济方案比较后确定
6、：一、应在大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域；二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。如不能远离严重空气污染源时，则应位于其最大频率风向上风侧，或全年最小频率风向下风侧；三、应布置在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越的地段。第3.1.2条 对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表允许环境振动值进行分析比较。第3.1.3条 洁净厂房最大频率风向上风侧有烟囱时，洁净厂房与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍。第3.1.4条 洁净厂房与交通干道
7、之间的距离不宜小于50米。第3.1.5条 洁净厂房周围宜设置环形消防车道（可利用交通道路），如有困难时，可沿厂房的两个长边设置消防车道。第3.1.6条 洁净厂房周围的道路面层，应选用整体性好、发尘少的材料。第3.1.7条 洁净厂房周围应进行绿化.可铺植草坪、种植对大气含尘浓度不产生有害影响的树木,并形成绿化小区。但不得妨碍消防操作。第二节 工工艺布置置和设计计综合协协调第3.22.1条 工艺布布置应符符合下列列要求：一一、工艺艺布置合合理、紧紧凑。洁洁净室或或洁净区区内只布布置必要要的工艺艺设备以以及有空空气洁净净度等级级要求的的工序和和工作室室；二、在在满足生生产工艺艺要求的的前提下下，空气
8、气洁净度度高的洁洁净室或或洁净区区宜靠近近空气调调节机房房，空气气洁净度度等级相相同的工工序和工工作室宜宜集中布布置，靠靠近洁净净区入口口处宜布布置空气气洁净度度等级较较低的工工作室；三三、洁净净室内要要求空气气洁净度度高的工工序应布布置在上上风侧，易易产生污污染的工工艺设备备应布置置在靠近近回风口口位置；四四、应考考虑大型型设备安安装和维维修的运运输路线线，并预预留设备备安装口口和检修修口；五、应应设置单单独的物物料入口口，物料料传递路路线应最最短，物物料进入入洁净区区之前必必须进行行清洁处处理。第3.22.2条 洁净厂厂房内宜宜少设隔隔间，但但在下列列情况下下可予以以分隔：一一、按生生产的
9、火火灾危险险性分类类，甲、乙乙类与非非甲、乙乙类相邻邻的生产产区段之之间，或或有防火火分隔要要求者；二二、生产产过程中中产生较较强噪声声或散发发较多热热量、尘尘粒和有有害气体体，且不不能采取取局部措措施加以以控制者者；三、生生产联系系少，并并经常不不同时使使用的两两个生产产区段之之间。第3.22.3条 洁净厂厂房的平平面和空空间设计计，宜将将洁净区区、人员员净化、物物料净化化和其他他辅助用用房进行行分区布布置。同同时应考考虑生产产操作、工工艺设备备安装和和维修、气气流组织织型式、管管线布置置以及净净化空气气调节系系统等各各种技术术设施的的综合协协调效果果。第3.22.4条 洁净厂厂房设计计必须
10、合合理确定定各种管管线的平平面位置置和竖向向标高。第3.2.5条 洁净厂房内各种固定技术设施（如送风口、照明器、回风口、各种管线等）的布置，宜首先考虑净化空气调节系统的要求。第三节 噪噪声控制制第3.33.1条 洁净室室内的噪噪声级，应应符合下下列要求求：一、动动态测试试时，洁洁净室内内的噪声声级不应应超过70分贝A。二二、空态态测试时时，乱流流洁净室室的噪声声级不宜宜大于60分贝A；层层流洁净净室的噪噪声级不不应大于于65分贝A。注注：由于技技术经济济条件限限制，或或噪声大大于70分贝A对生产产无影响响时，噪噪声级可可适当放放宽，但但不宜大大于75分贝A；上述噪噪声级是是指在室室内每一一个工
11、作作点人耳耳位置（人人离开）的的测量值值。对于于变动噪噪声，则则取相同同位置处处在一个个正常工工作日内内的等效效连续声声压级。第3.3.2条 洁净室的噪声频谱限制，应采用倍频程声压级；各频带声压级值不宜大于表3.3.2的规定。噪声频谱限制值表3.3.2 631252505001000200040008000空态乱流7970635855525040层流8374686360575554动态8778726865626059第3.3.33条 洁净厂厂房的平平、剖面面布置，应应考虑噪噪声控制制的要求求，其围围护结构构应有良良好的隔隔声性能能，并宜宜使各部部分隔声声量相接接近。第3.33.4条 洁净室室内
12、的各各种设备备均应选选用低噪噪声产品品。对于于辐射噪噪声超过过洁净室室允许值值的设备备，应设设置专用用隔声设设施（如如隔声间间、隔声声罩等）。第3.3.5条 净化空气调节系统噪声超过允许值时，应采取隔声、消声、隔振等控制措施。除事故排风外，应对洁净室内的排风系统进行减噪设计。第3.3.6条 净化空气调节系统，根据室内噪声级的要求，风管内风速宜按下列规定选用：一、总风管为610米/秒；二、无送、回风口的支风管为68米1秒；三、有送、回风口的支风管为36米/秒。第3.3.7条 洁净厂房的噪声控制设计必须考虑生产环境的空气洁净度要求，不得因控制噪声而影响洁净室的净化条件。第四节 微微振控制制第3.4
13、4.1条 洁净厂厂房和周周围辅助助性站房房内有强强烈振动动的设备备（包括括水泵等等）及其其通往洁洁净室的的管道，应应采取积积极隔振振措施。第3.4.2条 对洁净厂房内外各类振源，应测定其对洁净厂房的综合振动影响。如受条件限制，也可根据经验对综合振动影响进行评价。并应与精密设备、精密仪器仪表的允许环境振动值进行比较，以确定对其采取必要的隔振措施。第3.4.3条 精密设备、精密仪器仪表的隔振措施，应考虑减少发尘量、保持洁净室内合理的气流组织等要求。当采用空气弹簧隔振台座时，应对气源进行处理，使其达到洁净室的空气洁净度等级。第四章 建筑第一节节 一般规规定第4.11.1条 洁净厂厂房的建建筑平面面和
14、空间间布局，应应具有适适当的灵灵活性。洁洁净区的的主体结结构不宜宜采用内内墙承重重。第4.11.2条 洁净室室的高度度应以净净高控制制，净高高应以100毫米为为基本模模数。第4.11.3条 洁净厂厂房主体体结构的的耐久性性与室内内装备和和装修水水平相协协调，并并应具有有防火、控控制温度度变形和和不均匀匀沉陷性性能（地地震区应应符合抗抗震设计计规定）。厂厂房变形形缝应避避免穿过过洁净区区。第4.11.4条 送、回回风管和和其他管管线需暗暗敷时，应应设置技技术夹层层、技术术夹道或或地沟等等；穿越越楼层的的竖向管管线需暗暗敷时，宜宜设置技技术竖井井。第4.11.5条 对兼有有一般生生产和洁洁净生产产
15、的综合合性厂房房，其方方案设计计和构造造的处理理，应避避免在人人流与物物流运输输以及防防火方面面对洁净净生产带带来不利利影响。第二节 人员净净化和物物料净化化设施第4.22.1条 洁净厂厂房内应应设置人人员净化化、物料料净化用用室和设设施，并并应根据据需要设设置生活活用室和和其他用用室。第4.22.2条 人员净净化用室室，宜包包括雨具具存放间间、管理理室、换换鞋室、存存外衣室室、盥洗洗室、洁洁净工作作服室和和空气吹吹淋室等等。厕所、淋淋浴室、休休息室等等生活用用室以及及工作服服清洗间间和干燥燥间等其其他用室室，可根根据需要要设置。第4.2.3条 人员净化用室和生活用室的设计，应符合下列要求：一
16、、人员净化用室的入口处，应设净鞋器。二、存外衣室和洁净工作服室应分别设置。外衣存衣柜和洁净工作服柜应按设计人数每人设一柜。三、盥洗室应设洗手和烘干设备。水龙头应按最大班人数每10人设一个。四、洁净区不得设厕所。人员净化用室内的厕所应设前室。五、空气吹淋室应设在洁净区人员入口处,并应与洁净工作服室相邻。单人空气吹淋室按最大班人数每30人设一台。当仅为100级垂直层流洁净室时，可改设气闸室。洁净区工作人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设旁通门。第4.2.4条 人流路线应避免往复交叉。人员净化用室和生活用室的布置，一般按图4.2.4的人员净化程序进行布置。第4.2.5条 根据不同的空气洁净度等级和工作
17、人员数量，洁净厂房内人员净化用室和生活用室的建筑面积应合理确定。一般可按洁净区设计人数平均每人46平方米计算。第4.2.6条 洁净工作服室内，对空气净化应有一定的要求。第4.2.7条 洁净室的设备和物料出入口，应根据设备和物料的性质、形状等特征设置物料净化用室及其设施。物料净化用室的布置，应防止净化后物料在传递过程中被污染。第三节 防火和和疏散第4.33.1条 洁净厂厂房的耐耐火等级级不应低低于二级级。吊顶顶材料应应为非燃燃烧体，其其耐火极极限不宜宜小于0.225小时。第4.33.2条 洁净厂厂房内一一般的生生产工作作间的火火灾危险险性，可可按附录录三进行行分类。第4.3.3条 甲、乙类生产的
18、洁净厂房，宜采用单层厂房，其防火墙间最大允许占地面积，单层厂房应为3，000平方米，多层厂房应为2，000平方米。第4.3.4条 甲、乙类生产或设置在甲、乙类生产环境中的装配式洁净室，其顶棚和壁板（包括内部填充物）应为非燃烧体。第4.3.5条 在一个防火区内的综合性厂房，其洁净生产与一般生产区域之间应设置非燃烧体隔墙封闭到顶。隔墙及其相应顶板的耐火极限不应低于1小时，隔墙上的门窗耐火极限不应低于0.6小时。穿过隔墙或顶板的管线周围空隙应采用非燃烧材料紧密填塞。第4.3.6条 技术竖井井壁应为非燃烧体，其耐火极限不应低于1小时。井壁上检查门的耐火极限不应低于0.6小时；竖井内在各层或间隔一层楼板
19、处，应采用相当于楼板耐火极限的非燃烧体作水平防火分隔；穿过水平防火分隔的管线周围空隙，应采用非燃烧材料紧密填塞。第4.3.7条 洁净厂房每一生产层、每一防火分区或每一洁净区的安全出口的数量，均不应少于两个。但符合下列要求者，可设置一个安全出口：一、甲、乙类生产厂房每层的总建筑面积不超过50平方米，且同一时间内的生产人员总数不超过5人；二、丙、丁、戊类生产厂房，符合国家现行的建筑设计防火规范的规定者。安全出口应分散均匀布置，从生产地点至安全出口不得经过曲折的人员净化路线。第4.3.8条 洁净区与非洁净区和洁净区与室外相通的安全疏散门应向疏散方向开启。安全疏散门不得采用吊门、转门、侧拉门以及电控自
20、动门。第4.3.9条 当洁净厂房同层外墙上可供消防人员通往厂房洁净区的门窗，其洞口间距大于80米时，则应在该段外墙的适当部位设置专用消防口。专用消防口的宽度不应小于750毫米，高度不应小于1800毫米，并应有明显标志。楼层的专用消防口应附设阳台，并从二层起向上设爬梯。注：专用消防口是消防人员为灭火而进入建筑物的专用入口，平时封闭，使用时由消防人员从室外打开。洁净厂房外墙上的吊门、电控自动门以及宽度小于750毫米，高度小于1800毫米或装有铁栅栏的窗,均不得作为火灾发生时能供消防人员进入的洞口。第四节 室内装装修第4.44.1条 洁净厂房房的建筑筑围护结结构和室室内装修修，应选选用气密密性良好好
21、，且在在温度和和湿度等等变化作作用下变变形小的的材料。墙墙面内装装修当需需附加构构造骨架架和保温温层时，应应采用非非燃烧体体或难燃燃烧体。第4.4.2条 洁净室内墙壁和顶棚的表面，应符合平整、光滑、不起灰、避免眩光、便于除尘等要求；应减少凹凸面，阴阳角做成圆角。室内装修宜采用干操作，如为抹灰时，应采用高级抹灰标准。第4.4.3条 洁净室的地面，应符合平整、耐磨、易除尘清洗、不易积聚静电、避免眩光、并有舒适感等要求。第4.4.4条 洁净厂房技术夹层的墙面、顶棚宜抹灰。如需在技术夹层内更换高效空气过滤器时，宜增刷涂料饰面。地面、回风地沟和位于地下的技术夹层，应采用防水或防潮、防霉措施。建筑风道和回
22、风地沟的内表面装修标准，应与整个送、回风系统相适应，并应易于除尘。第4.4.5条 洁净室和人员净化用室设置的外窗，应采用双层玻璃金属窗，并应有良好的气密性。第4.4.6条 洁净室内的密闭门宜朝空气洁净度较高的房间开启。无窗洁净室的密闭门上宜设观察窗。第4.4.7条 洁净室门窗、墙壁、顶棚、地（楼）面的构造和施工缝隙，均应采取可靠的密封措施。第4.4.8条 洁净室内的色彩宜淡雅柔和。室内各表面材料的光反射系数，顶棚和墙面宜为0.60.8；地面宜为0.150.35。第五节 装配式式洁净室室第4.55.1条 在新建建或改建建的洁净净厂房设设计中，对对于面积积不大、层层高较低低、要求求空气洁洁净度较较
23、高的生生产环境境可采用用装配式式洁净室室。第4.55.2条 装配式式洁净室室所在的的房间应应有空气气净化要要求，并并应与装装配式洁洁净室的的空气洁洁净度等等级相适适应。外外围建筑筑的耐火火等级不不得低于于二级。第4.5.3条 装配式洁净室顶棚可由装配式洁净室本身的壁板或支柱支承，也可固定在外围建筑上。回风地沟或回风地坑宜设在外围建筑的地面以下。第4.5.4条 装配式洁净室设计应满足在该室室内安装壁板的要求。装配式洁净室的构配件应做到：连接构造的整体性强、气密性好，并便于组装、拆卸、包装和运输。第4.5.5条 装配式洁净室的四周壁板中，宜有一面或两面紧贴或靠近外围建筑的墙壁。紧贴时，壁板与墙壁之
24、间的安装缝隙应封闭；靠近时，应留有清扫距离。当装配式洁净室壁板外侧设有技术夹道时，壁板与外围建筑内墙面之间净宽不宜小于600毫米。第五章 空空气净化化第第一节 一般规规定第5.11.1条 洁净厂厂房内各各洁净室室的空气气洁净度度等级的的确定，应应符合下下列要求求：一、洁洁净室内内有多种种工序时时，应根根据各工工序的不不同要求求，采用用不同的的空气洁洁净度等等级。二、在在满足生生产工艺艺要求的的前提下下，洁净净室的气气流组织织，宜采采用局部部工作区区空气净净化和全全室空气气净化相相结合的的形式。第5.1.2条 层流洁净室和乱流洁净室以及运行班次和使用时间不同的洁净室，其净化空气调节系统均宜分开设
25、置。第5.1.3条 洁净室内的计算温、湿度，应符合下列规定：一、满足生产工艺要求；二、生产工艺无温、湿度要求时，洁净室温度为2026，湿度小于70%；三、人员净化用室和生活用室温度为1628。第5.1.4条 洁净室内应保证一定的新鲜空气量，其数值应取下列风量中的最大值：一、乱流洁净室总送风量的1030%，层流洁净室总送风量的24%；二、补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量；三、保证室内每人每小时的新鲜空气量不小于40立方米。第5.1.5条 洁净区的清扫，宜采用移动式高效真空吸尘器或设置集中式真空吸尘系统。洁净室内集中式真空吸尘系统的管道，应暗敷。第5.1.6条 在净化空气调节系统设计中
26、，对施工和维护管理要求，可按附录四和附录五的规定。第二节 洁洁净室正正压控制制第5.22.1条 洁净室室必须维维持一定定的正压压。不同同等级的的洁净室室以及洁洁净区与与非洁净净区之间间的静压压差,应不小小于0.5毫米水水柱，洁洁净区与与室外的的静压差差，不应应小于1.0毫米水水柱。第5.22.2条 洁净室室维持不不同的正正压值所所需的正正压风量量，宜按按下式计计算：Qa（qL）（5.22.2）式式中Q维持洁洁净室正正压值所所需的正正压风量量（/时）；a根据围围护结构构气密性性确定的的安全系系数，可可取1.11.2；q当洁净净室为某某一正压压值时，其其围护结结构单位位长度缝缝隙的渗渗漏风量量（/
27、时米）；L围护结结构的缝缝隙长度度（米）。围护结构单位长度缝隙的渗漏风量表5.2.3 非密闭门密闭门单层固定密密闭木窗窗单层固定密密闭钢窗窗单层开启式式密闭钢钢窗传递窗壁板0.51741.00.73.52.00.31.02461.51.04.53.00.61.53082.01.36.04.00.82.03692.51.57.05.01.02.540102.81.78.05.51.23.044113.01.98.56.01.43.548123.52.19.07.01.54.052133.82.310.07.51.74.555154.02.510.58.01.95.060164.42.611.59
28、.02.0第5.2.33条 围护结结构单位位长度缝缝隙的渗渗漏风量量，可按按表5.22.3采用。第5.22.4条 送风、回回风和排排风系统统的启闭闭应联锁锁。系统统开启时时，联锁锁程序应应为先启启动送风风机，再再启动回回风机和和排风机机；系统统关闭时时，则联联锁程序序应相反反。第5.22.5条 非连续续运行的的洁净室室，可根根据生产产工艺要要求设置置值班风风机，并并应对新新风进行行处理。第三节 气气流组织织和送风风量第5.33.1条 气流组组织的选选择，应应符合下下列要求求：一、洁洁净工作作区的气气流速度度，应满满足空气气洁净度度和人体体健康的的要求，并并应使洁洁净工作作区气流流流向单单一；二
29、、回回风口宜宜均匀布布置在洁洁净室下下部；三、余余压阀宜宜设在洁洁净室气气流的下下风侧，不不宜设在在洁净工工作区高高度范围围内。第5.33.2条 洁净室室的气流流组织和和送风量量，宜按按表5.33.2选用。第5.33.3条 乱流洁洁净室的的送风量量，应取取下列规规定的最最大值：一一、为控控制室内内空气洁洁净度所所需要的的送风量量；二、按按表5.33.2规定的的送风量量；三、根根据热、湿湿负荷计计算和稀稀释有害害气体所所需的送送风量；四四、按空空气平衡衡所需要要的送风风量。第5.33.4条 当生产产工艺仅仅要求在在洁净室室内局部部工作区区达到更更高的空空气洁净净度时，其其气流组组织设计计应使洁洁
30、净气流流首先流流经该工工作区，或或在洁净净室的不不同区域域形成不不同气流流流型和和空气洁洁净度等等级的洁洁净工作作区，其其型式可可分别按按图5.33.41、图5.33.42选用。气流流组织和和送风量量表表5.33.2 空气洁净度度等级100级1000级级气流组织型型式气流流型垂直层流水平层流乱流送风主要方方式1、顶棚满满布高效效空气过过滤器送送风（高高效空气气过滤器器占顶棚棚面积不不小于60%）2、侧布布高效空空气过滤滤器，顶顶棚设阻阻尼层送送风3、全孔孔板顶棚棚送风1、送风墙墙满布高高效空气气过滤器器水平送送风2、送风墙墙局部布布置高效效空气过过滤器水水平送风风（高效效空气过过滤器占占送风墙
31、墙面积不不小于40%）1、孔板顶顶棚送风风2、条形形布置高高效空气气过滤器器顶棚送送风3、间隔隔布置带带扩散板板高效空空气过滤滤器顶棚棚送风回风主要方方式1、格栅地地面回风风（1）满布布（2）均匀匀局部布布置2、相对对两侧墙墙下部均均匀布置置回风口口1、回风墙墙满布回回风口22、回风风墙局部部布置回回风口1、相对两两侧墙下下部均匀匀布置回回风口22、洁净净室面积积较大时时，可采采取地面面均匀布布置回风风口送风量气流流经室室内断面面风速（米/秒）不小于0.25不小于0.35换气次数（次/时）不小于500送风口风速速（米/秒）孔板孔口335孔板孔口335回风口风速速（米/秒）不大于2不大于1.51
32、、洁净室室内回风风口不大大于22、走廊廊内回风风口不大大于4注：垂直层层流洁净净室采用用相对两两侧墙下下部均匀匀布置回回风口方方式，仅仅适用于于两对侧侧墙间距距不大于于5米。乱流洁洁净室送送风量的的确定，宜宜考虑室室内含尘尘浓度不不均匀扩扩散的因因素。续续表5.33.2 空气洁净度度等级10，0000级100，0000级气流组织型型式气流流型乱流乱流送风主要方方式1、局部孔孔板顶棚棚送风22、带扩扩散板高高效空气气过滤器器顶棚送送风3、上侧侧墙送风风1、带扩散散板高效效空气过过滤器顶顶棚送风风2、上测测墙送风风回风主要方方式1、单侧墙墙下部布布置回风风口2、当采采用走廊廊回风时时，在走走廊内均
33、均匀布置置回风口口或在走走廊端部部集中设设备回风风口1、单侧墙墙下部布布置回风风口2、当采采用走廊廊回风时时，在走走廊内均均匀布置置回风口口或在走走廊端部部集中设设备回风风口送风量气流流经室室内的断断面风速速（米/秒）换气次数（次/时）不小于255不小于155送风口风速速（米/秒）1、孔板孔孔口352、侧送送风口（1）贴附附射流25（2）非贴贴附射流流同侧墙墙下部回回风1.52.5，对侧侧墙下部部回风1.01.55侧送风口（1）贴附附射流25（2）非贴贴附射流流同侧墙墙下部回回风1.52.5，对侧侧墙下部部回风1.01.55回风口风速速（米/秒）1、洁净室室内回风风口不大大于22、走廊廊内回风
34、风口不大大于41、洁净室室内回风风口不大大于22、走廊廊内回风风口不大大于4第5.33.5条 层流洁洁净室内内不宜设设置洁净净工作台台；乱流流洁净室室内可设设置洁净净工作台台，但其其位置应应远离回回风口。第5.3.6条 洁净室内有局部排风装置时，其位置应设在工作区气流的下风侧。第四节 空空气净化化处理第5.4.1条 各等级级空气洁洁净度的的空气净净化处理理，均应应采用初初效、中中效、高高效空气气过滤器器三级过过滤。注：100，000级空气气净化处处理，可可采用亚亚高效空空气过滤滤器代替替高效空空气过滤滤器。第5.44.2条 确定集集中式或或分散式式净化空空气调节节系统时时，应综综合考虑虑生产工
35、工艺特点点和洁净净室空气气洁净度度等级、面面积、位位置等因因素。凡凡生产工工艺连续续、洁净净室面积积较大、位位置集中中以及噪噪声控制制和振动动控制要要求严格格的洁净净室，宜宜采用集集中式净净化空气气调节系系统。第5.44.3条 净化空空气调节节系统设设计应合合理利用用回风，凡凡工艺过过程产生生大量有有害物质质且局部部处理不不能满足足卫生要要求，或或对其他他工序有有危害时时，则不不应利用用回风。第5.4.4条 净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外，应采取防止室外污染空气通过新风口渗入洁净室内的防倒灌措施。第5.4.5条 空气过滤器的选用、布置和安装方式，应符合下列要求：一、初效空气
36、过滤器不应选用浸油式过滤器：二、中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段；三、高效空气过滤器或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端；四、中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选用；五、阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在同一洁净室内；六、高效空气过滤器的安装方式应简便可靠，易于检漏和更换；第5.4.6条 送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择。中效、高效空气过滤器的阻力宜按其初阻力的两倍计算。第5.4.7条 净化空气调节系统如需电加热时，应选用管状电加热器，位置应布置在高效空气过滤器的上风侧，并应有防火安全措施。第五节 采采暖通风风第5.55.1条 洁净室
37、室的采暖暖型式，应应按下列列不同情情况确定定：一、100级、10000级、10，000级洁净净室，不不应采用用散热器器采暖，100，000级洁净净室，不不宜采用用散热器器采暖。二、值班采暖可利用技术夹道的散热器进行间接采暖，或采用间歇运行净化空气调节系统，值班风机系统进行热风采暖。第5.5.2条 散热器应采用表面光滑、不易积尘、便于清扫的型式。第5.5.3条 洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备，应设局部排风装置、排风罩的操作口面积应尽量缩小。第5.5.4条 局部排风系统在下列情况下，应单独设置：一、非同一净化空气调节系统；二、排风介质混合后能产生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危险性；三、所排出
38、的有害物毒性相差很大。第5.5.5条 洁净室的排风系统设计，应采取下列措施：一、防倒灌措施；二、含有易燃、易爆物质局部排风系统的防火、防爆措施。第5.5.6条 换鞋室、存外衣室、盥洗室、厕所和淋浴室等，应采取通风措施，其室内的静压值，应低于洁净区。第5.5.7条 洁净室事故排风系统的换气次数，应采用每小时1520次。事故排风装置的控制开关，应分别设在洁净室和室外便于操作的地点，并应与净化空气调节系统联锁，其室内宜设报警装置。第六节 风管和和附件第5.66.1条 风管断断面尺寸寸的确定定，应考考虑能对对风管内内壁进行行清洁处处理，并并在适当当位置设设置密闭闭的清扫扫口。风风管壁厚厚按附录录六选用
39、用。第5.66.2条 净化空空气调节节系统的的新风管管、回风风总管，应应设置密密闭调节节阀。送送风机的的吸入口口处和需需要调节节风量处处，应设设置调节节阀。洁洁净室内内的排风风系统，应应设置调调节阀、止止回阀或或密闭阀阀。总风风管穿过过楼板和和风管穿穿过防火火墙处，必必须设置置防火阀阀。第5.66.3条 净化空空气调节节系统的的风管和和调节阀阀以及高高效空气气过滤器器的保护护网、孔孔板和扩扩散孔板板等附件件的制作作材料和和涂料，应应根据输输送空气气的洁净净要求及及其所处处的空气气环境条条件确定定。洁净室室内排风风系统的的风管、调调节阀和和止回阀阀等附件件的制作作材料和和涂料，应应根据排排除气体
40、体的性质质及其所所处的空空气环境境条件确确定。第5.66.4条 在中效效和高效效的空气气过滤器器前后，应应设置测测压孔。在在新风管管和送回回风总管管以及需需要调节节风量的的支管上上、应设设置风量量测定孔孔。第5.66.5条 排除腐腐蚀性气气体的风风管，可可采用塑塑料风管管，其他他风管以以及风管管的保温温和消声声材料及及其粘结结剂，应应采用非非燃烧材材料或难难燃烧材材料。第六章 给给水排水水第第一节 一般规规定第6.11.1条 洁净厂厂房内的的给水排排水干管管，应敷敷设在技技术夹层层、技术术竖井、地地沟管槽槽内或地地下埋设设。洁净室室内应少少敷设管管道，引引入洁净净室的支支管宜明明敷，但但对空气
41、气洁净度度等级要要求高的的洁净室室可暗敷敷。第6.11.2条 洁净厂厂房内的的管道外外表面，如如可能结结露，应应采取防防结露措措施。第6.11.3条 管道穿穿过洁净净室顶棚棚、墙壁壁和楼板板处应设设套管。管道与套管之间应采取可靠的密封措施。第6.1.4条 管道不宜穿过防火墙。如必须穿过时，穿墙管及其套管应为非燃烧体管材。第二节 给给水第6.22.1条 洁净厂厂房内的的给水系系统设计计，应根根据生产产、生活活和消防防等各项项用水对对水质、水水温、水水压和水水量的要要求，分分别设置置直流、循循环或重重复利用用的给水水系统。高高纯水系系统应设设置循环环管道。第6.2.2条 管材的选择，应符合下列要求
42、：一、纯水管、高纯水管应采用硬聚氯乙烯管、聚丙烯管或不锈钢管；二、冷却循环给水和回水管宜采用镀锌钢管；三、生产用水设备与管道的连接宜采用优质软管；四、管道的配件应采用相应的材料。第6.2.3条 洁净厂房内可设置开水供应设施；盥洗室内的盥洗盆宜供应热水；软化水、纯水管道应预留清洗口；纯水终端净化装置应放在靠近用水点处。第6.2.4条 洁净厂房的周围，应设置洒水设施。第三节 排排水第6.33.1条 洁净厂厂房的排排水系统统设计，应应根据生生产排出出的废水水性质、浓浓度、水水量等特特点确定定排水系系统，并并应有废废水处理理或综合合利用设设施。第6.33.2条 洁净室室内的排排水设备备以及与与重力回回水管道道相连接接的设备备,必须在在其排出出口以下下部位设设水封装装置,并应有有防止水水封被破破坏的设设施。第6.33.3条 1000级、10000级洁净净室内，不不宜设置置地漏；如必须须设置时时，应采采用有盖盖地漏，并并不应设