微电子生产设备安装技术参数表.docx

《微电子生产设备安装技术参数表.docx》由会员分享，可在线阅读，更多相关《微电子生产设备安装技术参数表.docx（1页珍藏版）》请在taowenge.com淘文阁网|工程机械CAD图纸|机械工程制图|CAD装配图下载|SolidWorks_CaTia_CAD_UG_PROE_设计图分享下载上搜索。

微电子生产设备安装技术参数表设备安装技术参数应符合A. 0.1的要求。设备名称型号用途包装箱尺寸毛重(kg)毛重(kg)毛重(kg)主体尺寸主要部件尺寸维修空间前(mm)后(mm)左(mm)右(mm)地基要求水平度微振电源电源性质电压(V)相数功率(kW)接地电阻(。)纯水电阻率 MQ (25)温度()压力(MPa)流量(L/min)冷却水电阻率 MQ (25)温度()压力(MPa)流量(L/min)大宗气体纯度()压力(MPa)流量(L/min)管道接口型式特种气体化学品环境要求温度()湿度()洁净度排风材质接口 (mm)抽速(m/s)排气气质接口 (mm)抽速(m/s)通讯接口其它特殊要求