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1、洁净室的运行管理一、 洁净室的管理及定期检查1、 管理的意义洁净技术是一门新兴的综合性科学技术，随着经济和科学技术的飞速发展，洁净技术在近20年发展十分迅速，各种规模、不同洁净度等级的洁净室在电子、精密机械、航天、冶金、生物制药、医疗、食品、化妆品等行业发挥着日益重要的作用，为提高产品质量、开发高新精尖产品都做出了重要贡献。实践已经证明，洁净室能否发挥预期的作用和为各类产品生产提供一个预想的生产环境，与洁净室的正确设计、精心施工和严格的维护管理均密切相关。一个建好的洁净室，如果设计是正确的、合理的，施工建造是高质量的，但运行中的维护管理不科学、不严格，必将使该洁净室的空气洁净度等级逐渐下降，生
2、产环境不能满足产品生产的要求，从而使产品质量下降、成品率降低，甚至不可能做出合格的产品。所谓洁净室的维护管理应包括洁净室内的人员及生产工艺设备、工器具的管理，空气、水、气体、化学品的设备及输送过程的管理，洁净室的清扫灭菌等。通过一些事例说明，洁净室不仅要建造好，而且更应该管好、用好，要增强洁净意识，建立健全洁净室维护管理的规章制度，自觉的做好洁净室的管理工作。 加强洁净室的运行管理，对于洁净厂房的安全、稳定的运转也是十分重要的。洁净厂房的安全管理工作比一般生产厂房更为重要，这是因为洁净室的密闭性好、平面布置曲折，洁净室内设施、装修要求严格，建造费用高，洁净室内通常设置有贵重设备、仪器等，一旦发
3、生安全事故，损失巨大。另外，某些洁净厂房内的产品生产过程中需要使用一定数量的可燃气体、溶剂、化学品，有的还需使用有毒的气体、液体等，这样便容易引发安全事故的发生。据调查资料表明，洁净厂房的安全事故时有发生，这些安全事故发生的原因是多方面的，据统计，其中由于生产工艺设备或生产环境控制设备的操作引发的安全事故占总数的57%，所以加强洁净厂房内的各类设备及其相关设施的维护管理，对确保洁净室的安全、稳定运行十分重要。 综上所述，加强洁净厂房运行中的维护管理，不仅能确保洁净室内的空气洁净度等级，提高产品质量，而且还是保证安全生产所必须的；洁净厂房的建造费用昂贵，大多洁净室内生产高新技术产品，产品价值高，
4、有的还是国民经济的重要产品。因此，洁净厂房一旦因维护管理不善，至使空气洁净度等级下降或出现安全事故，其经济损失巨大，甚至造成严重的社会影响。2、 管理的原则、内容 （1）、洁净室管理的原则 为了保持洁净室内的空气洁净度，必须建立一套科学的、有效的维护管理规定，对于具体的某一洁净室在制定维护管理规定的，必须按自身的特点和具体的构造、空气洁净度等级、生产工艺要求以及配置的系统、设备情况确定，但是都应该以防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖和安全生产为宗旨，通用的洁净室维护管理的原则大体如下：、 进入洁净室的管理，包括对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬入以及相关的设备、管线的维护管理
5、，应做到不得将微粒、微生物带入洁净室。、 操作管理技术，对洁净室内人员用洁净工作服的制作、穿着和清洗；操作人员的移动和动作；室内设备及装修材料的选择和清扫、灭菌等。尽可能的减少、防止洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。、 严格各类设备、设施的维护管理，制定相应的操作规程，保证各类设备、设施按要求正常运转，包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具等。以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等级。、 清扫、灭菌管理，对洁净室内的各类设备、设施的清扫、灭菌以及方法、周期和检查作明确的规定，防止、消除洁净室内尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖。（2）、洁净室维护管理内容 、人员管理，所谓洁净
6、室的人员管理应包括：制定专职管理人员的职责、洁净室人员的准入制度、人员培训教育规定、进入洁净室人员的“人净程序”管理和退出管理制度等。 、洁净服的管理，包括：洁净服采购和制作（含材料选择）、洁净服使用管理、洁净服的清洗规定等。 、物流管理，包括：进入洁净室的物料准入制度，物料的清理和清扫规定、“物净程序”管理、废弃物管理制度等。 、洁净室内设备及工器具管理，包括：设备及工器具的搬入管理，清扫 和清洁规定，设备及工器具的退出管理等。 、洁净室用净化空调系统及设备的维护管理，制定相应的操作规程、维修制度等，包括净化空调系统和洁净室相关的公用动力系统的设备、管线等管理维护，如，空气过滤器、空调机、局
7、部净化设备、冷冻机及水泵、纯水设备、配电设备、安全报警设施等。 、洁净室的清洁、清扫和灭菌管理，包括：清扫、清洁和灭菌规定，清扫和清洁设备管理，清洗和灭菌设施管理等。 、洁净室安全管理，包括：安全报警方面的管理制度，洁净室安全管理制度。（3）、洁净室定期检查的项目 洁净室在设计建造、竣工验收后应进行综合性能测试、评价。为了监控洁净室在使用过程中的正常运行和维护，应对洁净室的运行状况及相关的设施进行定期检查，一般定期检查的项目见下表：洁净室的定期检查项目项目检 查 方 法 及 其 他 尘埃数在规定的时间、地点，用粒子计数器测定控制粒径的微粒数温湿度在规定的时间、地点测定和核对连续测定记录菌落数在
8、规定的时间、地点、测定沉降菌数或浮游菌数等风量测量净化空调系统的高效过滤器的压差，检查过滤器是否堵塞、安装的密封垫是否完好或过滤器损坏而引起的泄露情况。使用风速计检查局部排风装置的风量静压差使用压力表测定洁净室内外的静压差送风机和管道类检查送风机轴承，送风机运行状态、尘埃和污物，送、回风管道内部和送风口的腐蚀及污垢等情况照度使用照度表在规定的时间、地点测定照度值噪声使用噪声测定仪在规定的时间地点测定噪声值其他室内是否保持清洁、顶棚和墙面是否有裂缝或腐蚀、涂敷状态，机械和设备类有没有异常现象等，必须逐个列表检查，不能遗漏任何一项。根据产品生产工艺要求所必须的检查内容，如微震动、电磁干扰等二、 人
9、员管理1、 人员与室内空气污染洁净室内的尘源，主要来自生产工艺设备运转中发尘，产品和材料运送过程中发尘，洁净室内建筑内表面等的发尘和人员产尘。来自生产设备运转中的尘粒有的可通过局部排风装置排除；按洁净室的管理规定，产品和材料均应进行清洁，在运送过程中的发尘量与人体发尘量相比是很少的；洁净室内表面只要严格按规定进行清扫、清洁，其发尘量也可控制到很少。洁净室的尘源主要来自操作人员的发尘，即使按规定对洁净室人员按“人净程序”进行了人生净化，洁净室内人员的产尘仍是主要污染源。在洁净生产环境内，工作人员的发尘量多少与其穿着的洁净工作服种类、形式和洁净服的着装的材质类型有关，与工作人员在洁净室内的活动、动
10、作的幅度等因素有关。洁净室内工作人员所散发的尘粒，也有来自口腔等产生的微粒，曾经有学者对吸烟者呼气所发出的微粒进行测试和调查，结果显示刚吸烟者呼气中0.30.5um的微粒浓度较高。进入洁净室人员涂抹化妆品也是不适宜的，因其散到洁净室的环境空气中，对产品质量造成很坏影响。2、 洁净室专职管理人员及职责根据洁净厂房的规模和工厂的组织机构设置情况，确定设置洁净室专职管理人员或管理机构，负责进行洁净室及相关设施的管理。洁净室管理人员宜少而精，并在洁净室投入运行前就必须确定和制定出洁净室的各项管理制度。洁净室专职管理人员应该熟悉洁净室内设备和相关设施、洁净室构造、保持空气洁净度等级的技术措施、洁净室检测
11、技术、确保产品质量的相关洁净技术措施等；善于管理维护洁净室及相关设施（含安全报警设施等），具有处理安全事故的能力；必须具有生产环境洁净技术方面的广泛知识，丰富的管理资历、经验和认真负责的工作精神等。洁净室专职管理人员的主要职责和要求如下：（1）、产品质量管理a 应熟知洁净室内生产的产品的用途、生产工艺特点；b 为确保产品质量与企业技术负责人共同确定对洁净厂房内各生产工序或房间的空气洁净度等级、受控生产环境的各项要求，如温度、相对湿度、压差和产品生产所需水电气的供应品质等；c 洁净室内产品生产所需原辅材料和排出的废水、废气以及固体废弃物的数量、性能特点等。（2）、洁净室管理a 熟知本企业洁净室的
12、构造、净化空调系统的技术性能和保持空气洁净度等级的技术措施；b 熟知本企业洁净室产品生产环境所需的水、电、气等供应系统技术性能，以及确保水、电、气等品质的技术措施；c 熟知并掌握洁净厂房所需各项检查方法，并确定检测评价要求和时间；d 熟知洁净室清扫、清洗和消毒方法，确定清扫、清洗和消毒时间和检查的要求和时间；e 决定洁净室及其相关技术设施的运行或停止，并定期检查运行日志及有关记录；f 当洁净室发生故障或出现安全隐患时，决定采取有效处理措施，并发布相关命令直至停止运行。3、洁净室人员数量和出入管理（1）、严格控制进入洁净室的人员数量，由洁净室专职管理人员、企业负责人共同确定洁净室的操作人员数量，
13、一经商定必须严格控制；严格控制临时进入洁净室的维护、检测人员和其他人员，如参观者等，临时进入者必须办理申请、批准手续并佩带进出标志。（2）、下列人员不准进入洁净室：a皮肤有晒焦、剥离、外伤和炎症、瘙痒症者；b鼻子排出物过多者；c感冒、咳嗽、冻伤、湿疹等疾病患者；d过多掉头皮，头发者，有搓皮肤、挖鼻孔、搔头等不良习惯者；e没有按规定洗去化妆品、指甲油和未穿洁净工作服者；没有及时刮须、剪指甲者。（3）、对洁净室工作人员应按规定进行定期考核、培训；对临时进入人员应进行监督、记录。（4）、进入洁净室的工作人员不准带入下列物件：a未按规定进行洁净处理的各类材料、设备和仪器等物件；b纸（包括硬纸和记录用纸
14、）和笔（包括铅笔、钢笔以及墨水、橡皮等）；c工作人员的各种个人物品，如手表、化妆品、手纸、钱包、钥匙、装饰品、食品、香烟、打火机、火柴等。（5）、洁净室工作人员须知a进入洁净室的人员应该严格执行人身净化制度、线路和程序，任何人不得随意更改。在洁净室内必须按规定着衣、带帽、换鞋；b作业人员在洁净室内工作时，动作要轻，严格执行操作规程，不允许跑跳、打闹，不做不必要的动作，不做易发尘和大幅度的动作；c为不干扰气流，在作业区上游侧不应放物品，生产操作一般应在洁净工作台或气流的上游进行；d不允许将与生产无关和容易产尘的物品带入洁净室；e严禁在洁净室内吸烟、饮食和进行非生产性活动；f在生物洁净室，特别是生
15、物安全实验室的工作人员，操作完成后，首先脱去防护衣，然后立即洗手、淋浴、洗脸刷牙等，再做其他事。（6）、进入洁净室的人身净化，为了保持洁净室的空调洁净度，应尽量减少进入洁净室人员带入的污染物，所有进入洁净室的人员必须严格的按规定程序进行人身净化。a个人衣服物品全部放到指定的柜子里，去掉化装，换上指定的服装。在脱衣室内必须按空气洁净度等级相应的脱衣顺序脱衣，放在规定的衣柜内。b进入脱衣室前将拖鞋、帆布鞋脱下放在鞋柜内。c在盥洗室用洗手器洗手。供给洗手器的是与洁净区的空气洁净度等级相适应的洁净洗涤剂和洁净水。洗手器阀门的开关宜采用脚塌式的，先用洁净洗涤剂洗涤，再用洁净水冲洗。洗涤后用自动烘干器烘干
16、。为了保护皮肤，烘干后可擦规定的香脂。手是交叉污染的媒介，要经常洗涤。不要用手触及高净化产品和高净化包装材料等，要按规定带手套和指套。d人员进入洁净室首先由个人洁净工作服专用柜或收纳处取出洁净工作服。若洁净工作服尚未开封，需仔细切开包装拿出服装，不粘带包装料碎削。穿衣时，不要使衣服触及地板、桌子、椅子等物品，不要玷污袖子和裤腿下摆，姿势要保持直立，按从上至下顺序穿衣，必要时须设置专用的穿衣台。戴帽子时要把头发全部遮住，头部紧紧地包在兜帽内，直到连身式洁净工作服的拉链口。e穿鞋套时要把裤腿下摆紧紧地裹在鞋套内。f设有吹淋室时，按规定进行吹淋后进洁净室。（7）、 洁净室人员退出时应注意的事项为了防
17、止再次进入和往返作业对洁净室造成交叉污染，人员在作业中途和作业完毕均应按规定的顺序退出洁净室。a 在更衣区之前不得脱掉洁净工作服，进入更衣室先脱洁净室用鞋，放在规定的场所。必要时脱鞋前洗手，脱鞋后再摘掉帽子，放在规定处。b 脱洁净工作服时不要触及地板、桌子和其他物品，一般由下至上脱，用衣架挂在规定的处所。c 脱去洁净工作服以后，若需再进洁净室时，仍需按进入洁净室的顺序进行。d 退出洁净室时不需要空气吹淋。e 不能穿洁净工作服上厕所（洁净厕所除外），上厕所按上面出入洁净室的注意事项处理。在生物洁净室，特别实在生物安全实验室工作的人员，操作完毕后，首先脱掉防护衣和其他实验室专用内衣（拿出实验室前要
18、灭菌处理），然后立即洗手、淋浴、洗脸等，在洗手之前不得走出实验室或吸烟、吃东西、上厕所，个人佩带的手表等物品也不得在洗手前戴上，即使使用橡胶手套，在操作完毕后也要洗手，因为手套有小空、裂隙或由于指甲划伤而可能留下侵入污染的途径。（8）、对进入洁净室人员情况的登记a进入洁净室的人员要限制在最少数量：5级（100级）和要求更严的洁净室人员密度不大于0.1，要求差于5级（100级）的洁净室，人员密度不大于0.25为好；b对上、下午进入洁净室的人数、时间要分别登记；c对正式工作人员以外的人员进入洁净室的数量和时间进行登记（b，c两条要求的目的在于产品质量有问题时可以核查污染源）。4、洁净室的卫生管理（
19、1）、洗手和消毒作业人员进入洁净室前均需洗手；对药品生产的作业人员，在进入洁净室前还需消毒处理。但无论是无菌制剂或是非无菌制剂，洗手和消毒方法基本相同。只是进入无菌制剂室要增加消毒次数，并需戴手术用手套等，对卫生管理要更加注意。、洗手和消毒设备一般有下列几项：f 冲洗设备和排水槽；g 洗涤剂筒；h 指甲刷子；i 装有消毒液的洗脸盆。、消毒液一般使用下列溶液：a 双氯苯双胍乙烷；b 石炭酸类（酚醛、甲酚肥皂水）；c 氯化苯、苄叉毒芹。、洗手和消毒一般按下列步骤进行：a 用洗涤剂洗掉手上的污物；b 轻轻地冲洗手上的洗涤剂；c 把手放到消毒液内约10s，然后自然干燥。（2）、日常应注意的事项a宜每天
20、冲澡、换衣，经常洗头，保持身体清洁（实验和实验都证明由于洗澡后皮肤表面油脂膜的损失而使皮肤变干，因而掉落的皮屑并不比洗澡前少，因此这里提出“冲澡”，指只需冲去浮沉即可）；b男子尽量每日刮胡须（由于胡须容易留存污染粒子和微生物，对于生物洁净室的工作人员，特别是从事靠空气传染的病原体的操作人员，更不要留胡须。即使戴放毒面具，为了充分发挥其功能，胡须的存在也是不利的）；c经常洗手、剪指甲，洗手后擦洁净室用润肤膏，以防皮肤干裂；d不接触易使手皮肤干裂、剥脱的粉类或溶剂；e在洁净室内动作要轻；f在洁净室内不要拖足行走，不要振臂、转动，不做不必要的动作或走动；g在洁净室内要按要求戴手套，不要漏出手腕。戴上
21、手套后，不要触及不洁净的东西，包括自己的身体。手套要经常更换。5、对进入洁净室人员的培训教育（1）、对洁净室工作人员特别是技术人员进行培训教育，应掌握的内容如下：a所在洁净室的特点、构造及其有关技术性能和各工序/房间的空气洁净度等级要求；b洁净技术的一般知识，如尘粒、菌类的产生、滞留及危害性等；c人员净化程序和物料净化路线及要求；d洁净室的尘源、尘粒或菌类与产品质量的关系；尘粒或菌类的控制以及空气洁净度等级的测试方法、仪器和评价方法的知识；e洁净工作服的使用、清洗要求；f净化设备、系统的使用规程，故障排除方法；g洁净室的清扫、清洗和消毒的方法和规定；h洁净室人员的卫生保健要求和规定；i洁净室的
22、安全设施及安全管理规定；j其他相关规定、规程。（2）、对洁净室人员进行训练的内容，一般有下列各项：a按规定的方法练习脱去个人服装并保管起来；b按规定的方法练习穿洁净工作服；c按规定的方法练习洗手、烘干，使用洁净室专用纸巾；d做不拖足行走的练习；e做带进洁净室器材、物品的清洁净化练习；f练习使用洁净室的消防器材；g做从洁净室内紧急疏散的练习。6、洁净工作服洁净工作服是进入洁净室的人员必须穿着的服装，是确保洁净室正常运行、减少人体发尘量的必备措施。鉴于人体的产尘是从洁净服表面散发或通过洁净服面料渗透或从末端喷发出（袖口、领口等），因此洁净服应由产尘量少、又能抗静电的毛料制作，其作用是减少人体皮肤表
23、面、毛发和内着装的发尘。对于洁净服的材料选择、逢制、使用和清洗等都应建立科学的管理制度。（1）、洁净服的分类和材质、洁净服的形式d 按制作材料划分，有涤纶、聚酯、棉纶、棉布制成的洁净工作服；e 按衣料纺织方法分，有平纹、斜纹；f 按服装样式分，有分装型、连身型。g 按用途分，有无尘和无菌两类。 洁净服用材料选择制作洁净工作服的材料应选用不易透过污染物的面料，并在穿着、作业、洗涤以及其他处理后应很少起尘或不起尘，不起毛、不掉毛；洁净服在摩擦时应不产生静电等，对洁净服的性能要求：a 不发尘，应采用难于引起纤维脱落，穿用较长时间也无断丝现象的纤维；b 有过滤效果，人体的发尘不应通过面料向外扩散，不透
24、过皮屑、头皮等；c 有防静电性能的不良导体材料；d 具有穿着舒适、活动方便、不闷热的材料；e 耐久性较好，因需经常洗涤、重复使用，应具有反复洗涤的耐久性；f 不易黏附尘粒；g 具有耐腐蚀性，避免化学品溅落，确保人身安全；h 操作简便、穿着柔软合身，清洗后不起邹和不需烫熨；i 不透明等。 材料与制作能够满足制作洁净服衣料性能要求的面料有合成纤维尼龙和聚脂长纤维。鉴于聚酯具有耐热性、尺寸稳定性、耐老化（变黄）、洗涤耐久性及纤维加工等方面的优点，近年来采用聚酯类材料较多，但是聚酯类材料易产生静电，所以如何提高防静电性能便成为业内外人士十分关注的问题，为此可采用：a.掺入法，在纺织过程中加入防静电材料
25、；b.后加工法，对组成的衣料进行防静电处理；c.使有机聚酯带导电性能，用碳粉等物质涂敷等。洁净服制作过程中应注意a.式样设计要简单，接逢要尽可能少，并尽量不要口袋；b.接逢处不要让织物纤维露头，以免脱落发尘；c.带宽紧带的领口、袖口、裤腰、裤口、套鞋套上口，以防止内上衣的尘粒落入洁净室内，且穿脱方便；d.不用金属拉链，纽扣要少。洁净室用鞋。由于布鞋、拖鞋容易产尘，在洁净室不得使用；洁净室用鞋、鞋套、鞋罩均可洗涤，有的洁净室也可使用一次性紧口塑料鞋套；在鞋套的边缘和脚脖处要逢上宽紧带，以防鞋套下滑，鞋套应为长筒的，其长度应能把整个裤腿下摆完全包在里面。（2）、洁净服的使用与管理洁净室所用的洁净工
26、作服应能正常发挥其性能和作用，要根据不同的生产环境情况和空气洁净度要求制订合理的洁净工作服管理办法，并严格执行。洁净服的管理工作应由洁净室专职管理人员委派专人执行，其管理范围应从新的或清洗后检验开始，直至经过使用再返回再次清洗和修理的全过程，洁净服专门管理人应对每个环节认真按规定进行管理。洁净工作服的管理可分为a.新洁净服或清洗后洁净服的检验；b.洁净服的储存和发放；c.穿、脱过程的管理；d.洁净服状态（污染、破损）的检查、清洗和废弃的决定；e.清洗；f.修理。、 洁净服的储存和发放b 日常作业后，洁净服应放在规定的专用存放柜内；应严格区分不同作业、不同空气洁净度等级的工作人员用洁净服的专用存
27、放处；c 作业人员的洁净服的发放时间应尽可能一致；专门洁净服管理者向各类作业人员发放相应的洁净服；d 作业人员只能穿着由专门洁净服管理者发放的洁净服；并在穿着洁净服前检查是否符合规定要求，要对检查结果进行确认；e 洁净服有明显污染或破损时，使用者必须及时向专门管理者报告，并经专门管理者检查确定能否继续使用。、 洁净工作服的状态a 洁净服的一次使用时间（两次清洗之间的时间）不应超过工艺生产的周期时间，通常无尘洁净服每周清洗12次；无菌洁净服每天清洗；b 一个作业区所用的洁净服应在同一时间清洗；c 洁净服的清洗、修理和废弃由专门洁净服管理者按企业管理办法规定和实际检验、检查情况决定，通常洁净服清洗
28、50100次应经检查或检查后确定是否废弃；d 洁净服的修理应根据检查或使用中出现的问题如脱线、破损、纤维露头等，由专门管理者决定，并付修理单。（3）、洁净工作服的清洗洁净服在衣料生产、逢制和穿用过程中，不可避免会带上污染物，纤维本身也会因摩擦脱落纤维。所以新洁净服在使用前或使用一定时间后，都应进行清洗。根据实验和控制，采用不同清洗方法、不同的水质清洗，清洗后的洁净服在使用过程具有不同的产尘量。A 普通水洗，需用经0.3um过滤精度的过滤器过滤后的自来水，使用工业洗衣机进行清洗。清洗方法与一般服装基本相同，但必须选用中性、去污力强、且易漂洗的洗衣粉，尽量采用温水。水温宜为：聚酯衣料6070，尼龙
29、布料5055，最高60。清洗后应在7级（10000级）的洁净环境中晾干。B 普通水洗+纯水漂洗，这种清洗方法与“普通水洗”基本相同，只是在最后漂洗时，需使用纯水进行漂洗，洗后应在7级（10000级）的洁净环境中进行烘干。C 专用清洗溶剂清洗，为了去除溶性污染物，先用普通水洗方法湿洗，然后再用经过蒸馏处理后的专用溶剂进行清洗，洗后应在7级（10000级）的洁净环境中烘干。洁净服干燥后，应在洁净服洗涤用专用洁净室内整理叠好，装入洁净的聚酯或尼龙袋内，通常为双层包装。洁净服清洗过程中应注意以下事项。 洁净服清洗前，应认真检查有无破损，纽扣、拉练等附件是否完好；对有缺陷的应进行修理，更换或废弃。 洁净
30、工作服清洗场所的空气洁净度等级应不低于ISO8级；并应设层流罩等局部净化装置，在与使用洁净服的场所的空气洁净度等级相适应的环境下进行洁净服的整理，包装等操作。 湿法清洗和干式清洗用水均需采用过滤精度为0.3m的过滤器过滤。 在进行漂洗透水时，使用抗静电剂以提高抗静电性能。三、 洁净室的清扫 洁净室的一般清扫必须在生产工艺操作结束后进行，若有必要在生产前清扫，则工艺生产必须在净化空调系统开机运行时间达到自净要求后方可开始运行。为了防止交叉污染，清扫洁净厂房设施的工具均应按产品特点、工序要求、空气洁净度等级不同分别专用。洁净室的清扫工具一般采用集中固定式或便携式移动真空清扫设备，以确保在定期清扫时
31、能去除微粒污染；也能有效地、适时地清除某些不适合在洁净室外进行工作所带来的污染。当设置集中固定式真空清扫系统时，其排风机应安装在洁净室外；洁净室内的连接插座在不使用时应严密封盖，以免危及洁净室内的圧差或气流形式。当设置便携式真空清扫设备时，应配置有排风过滤器，其过滤应至少与所在洁净环境的等级相同；还应注意在使用时对洁净室内气流的影响。若洁净室不具备上述清扫条件时，也可采用不掉纤维的材料如丝光毛巾、尼龙布等进行擦拭，一般每天1次或数次。对于高级别的洁净室，擦拭用水应使用过滤后的水；有特殊要求的场所，也可采用符合要求的有机溶剂进行擦拭。当洁净室内产品生产工艺要求不能进行擦拭时，应采用真空清扫设备进
32、行清扫。一般对于小面积的洁净室宜采用移动式真空清扫机，而大面积或高级别的洁净室宜采用集中或真空吸尘系统。集中或規空吸尘系统的设置要求如下。(1)、吸尘装置宜布置在靠近负荷的中心，并要考虑隔声隔振措施。（2）、洁净室内吸尘口位置和数量，要根据软管作用半径确定，使洁净室内各处都得到清扫。（3）、集尘器要设置在真空泵的吸入端，集尘器可采用布袋除尘器等。 （4）、吸尘系统的管道材料要选用耐磨、气密性好、有一定强度的材质，如无缝钢管或硬塑料管。管道弯头的曲率半径为管道直径的46倍，夹角一般为30度，最大不超过45度。水平管道要有一定的坡度，坡向立管或集尘器。四、 设备管理1、洁净室设备管理的内容（1）、
33、生产工艺设备的防污染处理在洁净室内产品生产过程中生产设备的尘粒污染是不可忽视的，据资料介绍，在大规模集成电路生产过程中生产设备的发尘量要占总微粒污染量的30%左右，可见其影响之大。污染的类型，除了影响制作微尘污染外，还有可使器件物性恶化的钠、钾等碱金属和铜、铁等重金属分子或分子级污染。所谓生产设备的污染，虽然有的是生产工艺固有的污染，但是还有源于设备制作材料、生产过程的原辅材料，工器具使用不当和机械运动及其润滑剂等的各类污染。还有在产品生产过程中由于操作失误也会造成不应有污染。从各种洁净室内产品生产的实践表明，加强洁净室内产品生产过程中生产工艺和设备的管理，确是降低室内污染程度，提高产品质量的
34、重要措施。要十分认真细致地观察洁净室内的生产在盍过程中可能发尘的情况，特别是运输装置、运动部件、机械手等可能成为污染源；还有各类泵、风机等的电动机内部轴承之间磨擦的发尘情况等，并针对这些污染源的情况制订相应的管理措施和必要的对策。（2）、净化空调系统设备的管理净化空调系统装置是确保洁净室内空气洁净度等级的主要，包括各类空气过滤器、洁净工作台、层流罩、空气吹淋室、传递窗、空调装置等的正常维护、定期检查和规定的测试论证等。在下列任一情况下，应更换高效过滤器。A气流速度了降到最低限度，即使更换初效、中效空气过滤器后，气流速度仍不能增大；B高效空气过滤器的阻力达到初阻力的1.5-2倍；C高效空气过滤器
35、专家学者修补的渗漏。（3）、动力公用设施的管理这些设施是实惠洁净室正常、安全运行的重要装置，包括水、电、气的供应系统以及通信、安全报警装置等的日常维护、定期检查和规定的测试、论证。（4）、设备和人身安全方面的管理按规定记录各类的盍状态及有关参数，记妙分析定期检查、维修、清洗状况，尤其注意定期检查转动部件、通信和安全报警装置以及自动装置等的完好状况和即时分析可能出现的各种问题，确保洁净室的正常、安全运行。（5）、定期检验、校正各类测试、测量仪器、仪表，确保测量、控制的准确、可靠。若采用计算机管理、监控时，就定期检查、榇其运转情况，并汇款单即时留下必要的记录。2、生产工艺设备和工器具的防污染管理措施以大规模集成电路生产用洁净室为例，生产工艺和工器具的防污染管理措施的较彻底的方法是实惠生产过程自动化，不再采用手工操作方式运送硅片，不再用镊子进行硅片的装送，以杜绝、工器具和人身带来的污染。同时，生产大规模集成电路随着硅圆片直径的不断增大，人工操作已不能适应工艺生产要求，所以全面实现自动化操作，已经不仅是改善生产环境空气洁净度的需要，而且与改善企业的经济利益密切相关了。洁净厂房设计时，应根据建筑平面与空间、人员通行与操作、生产设备的移动与维护以及公用动力设施和管线等的实际情况，进行综合协调，选择不同的方式、不同的布置。