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1、特气控制系统气柜气柜组成组成:1.电控电控2.COMPUTER3.GAS PANEL1.1.电气控制电气控制电气控制电气控制STATUS LEDS LOCAL SDSTATUS LEDS LOCAL SDRED,YELLOY,GREEN SWITCHRED,YELLOY,GREEN SWITCH 电磁阀SENSORS2.2.COMPUTER COMPUTER koyo philips 3.3.盘面盘面盘面盘面(一一一一)双盘盘面 单盘面示意图(二二)GAS FLOW SCHEMATIC-DUAL GSM WITH PURGE GAS MANIFOLD一一一一.Semi-Gas.Semi-Gas
2、全自动气柜更换钢瓶操作步骤全自动气柜更换钢瓶操作步骤全自动气柜更换钢瓶操作步骤全自动气柜更换钢瓶操作步骤:如果是液态类气体需要输入如果是液态类气体需要输入“净重净重”确认。确认。1 1 接通接通220V220V电源，打开电源，打开“EMO”“EMO”紧急开关，进入盘面画面。紧急开关，进入盘面画面。2 2 输入输入passwordpassword，按确认。，按确认。3 L3 L盘面进入盘面进入“In shutdown”“In shutdown”按按“commands”“commands”菜单。菜单。4 4 选择选择“terminate purge”“terminate purge”按按“Yes”
3、“Yes”。5 5 选择选择“select purge”“select purge”按按“Cylinder change”“Cylinder change”，按，按“Yes”“Yes”，按，按“ACK”“ACK”确认，进入更换钢确认，进入更换钢瓶的过程。瓶的过程。6 L-Cylinder shutoff test6 L-Cylinder shutoff test，执行，执行process Gas removalprocess Gas removal置换。置换。7 7 更换钢瓶前更换钢瓶前Pre-purgePre-purge前吹扫，执行完循环次数。前吹扫，执行完循环次数。8 Cylinder c
4、hange8 Cylinder change更换钢瓶，按更换钢瓶，按“ACK”“ACK”确认。确认。9 Process Gas removal9 Process Gas removal执行工艺气体置换。执行工艺气体置换。10 Auto leak test10 Auto leak test自动检漏测试自动检漏测试11 Manual leak test11 Manual leak test手动检漏测试，按手动检漏测试，按“ACK”“ACK”确认。确认。12 Leak Repair12 Leak Repair泄漏维护，按泄漏维护，按“ACK”“ACK”确认。确认。13 Repair Leak tes
5、t13 Repair Leak test维护后泄漏测试，按维护后泄漏测试，按“ACK”“ACK”确认。确认。1414更换钢瓶后更换钢瓶后Post-purgePost-purge后吹扫，执行完循环次数。后吹扫，执行完循环次数。15 Regulator15 Regulator调压阀调压阀 shutoff shutoff及测试。及测试。1616缓慢完全打开钢瓶手动阀，回缓慢完全打开钢瓶手动阀，回1/41/4圈，进入钢瓶压力测试。圈，进入钢瓶压力测试。1717缓慢调节缓慢调节RegulatorRegulator调压阀的二次压力至供气压力。调压阀的二次压力至供气压力。1818按按“service rea
6、dy”“service ready”进入钢瓶供气或备用。进入钢瓶供气或备用。4 4.更换钢瓶操作（依照更换钢瓶操作（依照更换钢瓶操作（依照更换钢瓶操作（依照L L钢瓶为例）钢瓶为例）钢瓶为例）钢瓶为例）1 1 选择需要更换的钢瓶，按选择需要更换的钢瓶，按“更换钢瓶更换钢瓶”后按后按“确认确认”。2 2 关闭更换钢瓶的钢瓶手动阀，按关闭更换钢瓶的钢瓶手动阀，按“下一步下一步”。3 3 确认钢瓶手动阀已经关闭，按确认钢瓶手动阀已经关闭，按“确认确认”。4 4 进行低压释放。进行低压释放。5 5 进行预吹扫，完成设置的循环次数。进行预吹扫，完成设置的循环次数。6 6 钢瓶检测结束报警，按钢瓶检测结束
7、报警，按“close”“close”，按，按“下一步下一步”。7 7 更换钢瓶，结束后按更换钢瓶，结束后按“下一步下一步”。8 8 进行钢瓶进行钢瓶FittingFitting测漏，正常后按测漏，正常后按“确认确认”。9 9 进行后吹扫，完成循环次数。进行后吹扫，完成循环次数。10 10 钢瓶检测结束，按钢瓶检测结束，按“close”“close”。11 11 如果是液态类气体需要输入皮重和切换压力如果是液态类气体需要输入皮重和切换压力“净重净重”确认。确认。12 12 缓慢完全打开钢瓶手动阀，回缓慢完全打开钢瓶手动阀，回1/41/4圈。圈。13 13 选择供气或备用。选择供气或备用。14 1
8、4 缓慢调节缓慢调节RegulatorRegulator调压阀的二次压力至供气压力。调压阀的二次压力至供气压力。二二二二.半自动气柜和全自动气柜更换钢瓶操作步骤：半自动气柜和全自动气柜更换钢瓶操作步骤：半自动气柜和全自动气柜更换钢瓶操作步骤：半自动气柜和全自动气柜更换钢瓶操作步骤：三三三三.手动气柜更换钢瓶操作步骤手动气柜更换钢瓶操作步骤手动气柜更换钢瓶操作步骤手动气柜更换钢瓶操作步骤：要求要求PN2PN2钢瓶的出口压力钢瓶的出口压力80+/-10PSI80+/-10PSI。1 1 关闭钢瓶手动阀。关闭钢瓶手动阀。2 2 打开低压放空的左抽空开关（打开低压放空的左抽空开关（V3LV3L、V4L
9、V4L、V7LV7L），使之管道内气体完全放空，），使之管道内气体完全放空，然后关闭此阀，同时关闭然后关闭此阀，同时关闭RegulatorRegulator。3 3 更换钢瓶前的更换钢瓶前的Pre-purgePre-purge：打开钢瓶：打开钢瓶PN2PN2管路左吹扫开关进行管路左吹扫开关进行PigtailPigtail吹扫吹扫5 5秒后关秒后关闭，然后打开高压放空的左高抽开关使之对闭，然后打开高压放空的左高抽开关使之对PigtailPigtail管道部分进行抽真空管道部分进行抽真空3 3秒后关秒后关闭；再次闭；再次PN2PN2进行进行PigtailPigtail管路吹扫以及抽真空，循环往复执
10、行管路吹扫以及抽真空，循环往复执行1010次。次。4 4 执行更换钢瓶的过程。执行更换钢瓶的过程。5 5 更换钢瓶后的更换钢瓶后的Pigtail FittingPigtail Fitting检漏：打开钢瓶检漏：打开钢瓶PN2PN2管路左吹扫开关，然后再关闭，管路左吹扫开关，然后再关闭，进行进行Pigtail FittingPigtail Fitting的的check leakcheck leak。检漏通过后进行。检漏通过后进行PigtailPigtail后吹扫。后吹扫。6 6 更换钢瓶后的更换钢瓶后的Post-purgePost-purge：打开钢瓶：打开钢瓶PN2PN2管路左吹扫开关进行管路
11、左吹扫开关进行PigtailPigtail吹扫吹扫5 5秒后关秒后关闭，然后打开高压放空的左高抽开关使之对闭，然后打开高压放空的左高抽开关使之对PigtailPigtail管道部分进行抽真空管道部分进行抽真空3 3秒后关秒后关闭；再次闭；再次PN2PN2进行进行PigtailPigtail管路吹扫以及抽真空，循环往复执行管路吹扫以及抽真空，循环往复执行1010次。次。7 7 关闭关闭L L盘面上所有气动阀件，打开盘面上所有气动阀件，打开L L钢瓶手动阀，调节钢瓶手动阀，调节RegulatorRegulator的压力使之满足的压力使之满足工艺设备的供气压力。工艺设备的供气压力。如果是液态类气体需
12、要输入切换压力如果是液态类气体需要输入切换压力“毛重毛重”确认。确认。8 8 缓慢完全打开钢瓶手动阀，回缓慢完全打开钢瓶手动阀，回1/41/4圈。圈。9 9 缓慢调节缓慢调节RegulatorRegulator调压阀的二次压力至供气压力。调压阀的二次压力至供气压力。10 10 按按“供气开关供气开关”或或“备用开关备用开关”。5.气柜操作流程图气柜操作流程图SCREENMENUSCREENINPUTPASSWORDOPERATION SCREENA PANELOrB PANELSELECT GO TOA or B PANELNOAUTO PURGE(PREPURGE)FINISHCHANGE
13、NEWCYLINDERTHEN PRESSACK.BUTTONNOPOSTPURGEFINISHPROCESS(INSTALL ESV)YSEYSECONFIRMLOAD CELL(NEW or OLDOPENCYLINDERLOW DELIVERYPRESSURE&HIGHDELIVERYPRESSURE(DO YOU WANGT TOPROCESS ORSTANDBY?SELECTPROCESSorSTANDBYPROCESSPROCESSSTANDBYSTANDBY6 6.钢瓶更换分解图示钢瓶更换分解图示钢瓶更换分解图示钢瓶更换分解图示前吹扫：前吹扫：）放空（图一）放空（图一）开开）通）通关关开开）抽真空）抽真空开开图一图一后吹扫：后吹扫：1)Pigtail Fitting1)Pigtail Fitting1)Pigtail Fitting1)Pigtail Fitting检漏检漏检漏检漏 ）通吹扫）通吹扫关关开开）抽真空）抽真空开开）保压）保压nVMB/VMPValve Manifold Box Valve Manifold PanelTHANK S！此课件下载可自行编辑修改，仅供参考！此课件下载可自行编辑修改，仅供参考！感谢您的支持，我们努力做得更好！谢谢感谢您的支持，我们努力做得更好！谢谢