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1、微影成像制造工程微影成像制造工程摘要n緒論n製程與設備說明l光阻塗佈顯影製程與設備l對準曝光製程與設備l對準測量製程與設備l線寬量測製程與設備l顯微鏡檢查製程與設備n應用2.軟烤n熱氣體吹拂n加熱板傳導加熱3.對準與曝光曝光n利用光能、透過光罩，讓光阻感光，形成圖形的製程。n以下為裝置示意圖3.對準與曝光曝光時有兩種機台n步進機 n掃描機3.對準與曝光 對準n在規格內稱對準n在規格外稱對準不良4.曝後烤n為消除曝光可能遇到的駐波效應，使得曝光後的光阻與未曝光的光阻在浸泡顯影液時能夠有高的蝕刻比。5.顯影n將光阻曝光後形成的酸性物質去除，留下圖形所需要的光阻。硬烘烤n即為光阻顯影後，進行的烘烤製
2、成，烘烤過後光阻較硬，故稱硬烘烤。低溫烘烤，有曝光缺陷存在正確溫度烘烤圖形正常烘烤溫度過高圖形變形重工 即為製成不良，重作該道製程。顯影過度第一步驟第二步驟第三步驟對準量測製程與設備 穩定性測試：n對同一目標，重複測量幾次，在計算其標準差，是否達到穩定的狀態，才能進行量測。差值校正：n指的是，定期以標準測試器進行測量，測量值於實際值之差異補償至機台參數中，確保測量值與實際值一樣。線寬量測製程與設備 n目前半導體製程已進入次微米階段，因此線寬的量測都從光學量測改為電子顯微鏡量測。顯微鏡檢查製程與設備n光阻成像是經過許多的化學反應、機械傳輸及光學成像而成，在這當中如有非預期的動作或異常產生，都可能
3、會使成像有缺陷，希望透過此流程來把有問題的晶片攔下。例子應用微型投影輕鬆呈現彩炫世界！n微型投影應用正逐漸成形於智慧型手機、數位相機、筆電、行動上網裝置和可攜式數位錄放影機等領域。矽晶注入式雙層光阻應用於記憶體矽晶注入式雙層光阻應用於記憶體n光阻是一種經過光線照射後會變為可溶解或不可溶解的光敏材料，因此能透過後續的蝕刻製程將所選擇的部份移除。n藉由免除多層光阻製程所需的硬光罩層和相關製程步驟，此一新光阻可提供一套更符合成本效益的微影製程解決方案。資料來源n半導體製造技術與管理，清華大學出版社nhttp:/entry.hit.edu.tw/d901023/page_1-8.htmnhttp:/e
4、learning.stut.edu.tw/m_facture/Nanotech/Web/ch2.htmnhttp:/nano.nchc.org.tw/dictionary/Optical_Lithography.htmlnhttp:/.tw/Art/Show2.asp?O=200907071151231459&F=%B7L%BCv&U=ZEnhttp:/.tw/News/ShowNews.asp?O=200712101735330454&F=%B7L%BCv%C0%B3%A5%CE&U=ZEnhttp:/.tw/news/ShowProduct.asp?O=200209241854243671&F=%B7L%BCv%C0%B3%A5%CE&U=ZEnhttp:/www.me.tnu.edu.tw/study/proj/proj90/90-11%A5%FA%AA%FD%C1%E1%BD%A4%BE%F7%BBP%C0%E3%BBk%A8%E8%B2M%AC%BE%F7%A4%A7%BBs%B5%7B%BBP%B3%5D%B3%C6%A7%DE%B3N%B9%EA%B0%C8.pdf謝謝聆聽结束语结束语谢谢大家聆听！谢谢大家聆听！23