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1、泓域咨询/潍坊关于成立CMP设备公司可行性报告潍坊关于成立CMP设备公司可行性报告xxx有限责任公司目录第一章 拟成立公司基本信息8一、 公司名称8二、 注册资本8三、 注册地址8四、 主要经营范围8五、 主要股东8公司合并资产负债表主要数据9公司合并利润表主要数据9公司合并资产负债表主要数据10公司合并利润表主要数据11六、 项目概况11第二章 公司筹建方案15一、 公司经营宗旨15二、 公司的目标、主要职责15三、 公司组建方式16四、 公司管理体制16五、 部门职责及权限17六、 核心人员介绍21七、 财务会计制度22第三章 市场分析28一、 本土设备厂商的竞争优势和未来前景28二、 半
2、导体前道设备各环节格局梳理28第四章 背景及必要性30一、 半导体设备行业的壁垒30二、 半导体设备行业31三、 半导体设备国产替代空间广阔31四、 强化科技创新,催生高质量发展新动能33五、 全面深化改革,增强内生发展活力36六、 项目实施的必要性37第五章 法人治理结构39一、 股东权利及义务39二、 董事43三、 高级管理人员48四、 监事51第六章 发展规划分析53一、 公司发展规划53二、 保障措施54第七章 选址方案57一、 项目选址原则57二、 建设区基本情况57三、 推进区域协调发展,塑成区域竞争新优势59四、 项目选址综合评价62第八章 环保分析63一、 环境保护综述63二、
3、 建设期大气环境影响分析64三、 建设期水环境影响分析67四、 建设期固体废弃物环境影响分析67五、 建设期声环境影响分析68六、 环境影响综合评价69第九章 风险评估70一、 项目风险分析70二、 项目风险对策72第十章 投资计划75一、 投资估算的依据和说明75二、 建设投资估算76建设投资估算表80三、 建设期利息80建设期利息估算表81固定资产投资估算表82四、 流动资金82流动资金估算表83五、 项目总投资84总投资及构成一览表84六、 资金筹措与投资计划85项目投资计划与资金筹措一览表85第十一章 经济效益及财务分析87一、 经济评价财务测算87营业收入、税金及附加和增值税估算表8
4、7综合总成本费用估算表88固定资产折旧费估算表89无形资产和其他资产摊销估算表90利润及利润分配表91二、 项目盈利能力分析92项目投资现金流量表94三、 偿债能力分析95借款还本付息计划表96第十二章 进度计划方案98一、 项目进度安排98项目实施进度计划一览表98二、 项目实施保障措施99第十三章 项目总结分析100第十四章 附表附件102主要经济指标一览表102建设投资估算表103建设期利息估算表104固定资产投资估算表105流动资金估算表105总投资及构成一览表106项目投资计划与资金筹措一览表107营业收入、税金及附加和增值税估算表108综合总成本费用估算表109固定资产折旧费估算表
5、110无形资产和其他资产摊销估算表110利润及利润分配表111项目投资现金流量表112借款还本付息计划表113建筑工程投资一览表114项目实施进度计划一览表115主要设备购置一览表116能耗分析一览表116报告说明随着制程推进和工艺升级，单位产能下设备需求将进一步增加。制程和工艺升级推动芯片复杂度提升，更复杂的结构需要更多的制造工序完成，各类设备的用量显著增加。以刻蚀环节为例，14nm制程所需使用的刻蚀步骤达到64次，7nm所需刻蚀步骤达140次，较14nm提升118%。设备用量方面，以中芯国际180nm8寸产线和90nm12寸产线所用到的薄膜沉积设备为例，每万片月产能所需的CVD设备、PVD
6、设备分别增加3倍和4倍左右。xxx有限责任公司主要由xxx（集团）有限公司和xx集团有限公司共同出资成立。其中：xxx（集团）有限公司出资650.00万元，占xxx有限责任公司65%股份；xx集团有限公司出资350万元，占xxx有限责任公司35%股份。根据谨慎财务估算，项目总投资46359.77万元，其中：建设投资37994.14万元，占项目总投资的81.95%；建设期利息761.41万元，占项目总投资的1.64%；流动资金7604.22万元，占项目总投资的16.40%。项目正常运营每年营业收入90700.00万元，综合总成本费用73411.51万元，净利润12645.64万元，财务内部收益率
7、20.22%，财务净现值8770.53万元，全部投资回收期5.99年。本期项目具有较强的财务盈利能力，其财务净现值良好，投资回收期合理。通过分析，该项目经济效益和社会效益良好。从发展来看公司将面向市场调整产品结构，改变工艺条件以高附加值的产品代替目前产品的产业结构。第一章 拟成立公司基本信息一、 公司名称xxx有限责任公司（以工商登记信息为准）二、 注册资本1000万元三、 注册地址潍坊xxx四、 主要经营范围经营范围：从事CMP设备相关业务（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
8、五、 主要股东xxx有限责任公司主要由xxx（集团）有限公司和xx集团有限公司发起成立。（一）xxx（集团）有限公司基本情况1、公司简介公司在发展中始终坚持以创新为源动力，不断投入巨资引入先进研发设备，更新思想观念，依托优秀的人才、完善的信息、现代科技技术等优势，不断加大新产品的研发力度，以实现公司的永续经营和品牌发展。公司依据公司法等法律法规、规范性文件及公司章程的有关规定，制定并由股东大会审议通过了董事会议事规则，董事会议事规则对董事会的职权、召集、提案、出席、议事、表决、决议及会议记录等进行了规范。 2、主要财务数据公司合并资产负债表主要数据项目2020年12月2019年12月2018年
9、12月资产总额14961.8411969.4711221.38负债总额6420.485136.384815.36股东权益合计8541.366833.096406.02公司合并利润表主要数据项目2020年度2019年度2018年度营业收入58384.2646707.4143788.19营业利润11544.409235.528658.30利润总额10344.568275.657758.42净利润7758.426051.575586.06归属于母公司所有者的净利润7758.426051.575586.06（二）xx集团有限公司基本情况1、公司简介本公司秉承“顾客至上，锐意进取”的经营理念，坚持“客户
10、第一”的原则为广大客户提供优质的服务。公司坚持“责任+爱心”的服务理念，将诚信经营、诚信服务作为企业立世之本，在服务社会、方便大众中赢得信誉、赢得市场。“满足社会和业主的需要，是我们不懈的追求”的企业观念，面对经济发展步入快车道的良好机遇，正以高昂的热情投身于建设宏伟大业。公司秉承“以人为本、品质为本”的发展理念，倡导“诚信尊重”的企业情怀；坚持“品质营造未来，细节决定成败”为质量方针；以“真诚服务赢得市场，以优质品质谋求发展”的营销思路；以科学发展观纵观全局，争取实现行业领军、技术领先、产品领跑的发展目标。 2、主要财务数据公司合并资产负债表主要数据项目2020年12月2019年12月201
11、8年12月资产总额14961.8411969.4711221.38负债总额6420.485136.384815.36股东权益合计8541.366833.096406.02公司合并利润表主要数据项目2020年度2019年度2018年度营业收入58384.2646707.4143788.19营业利润11544.409235.528658.30利润总额10344.568275.657758.42净利润7758.426051.575586.06归属于母公司所有者的净利润7758.426051.575586.06六、 项目概况（一）投资路径xxx有限责任公司主要从事关于成立CMP设备公司的投资建设与运营
12、管理。（二）项目提出的理由先进工艺单位产能投资几何级数提升。随着技术节点的不断缩小，集成电路制造的设备投入呈大幅上升的趋势，5万片月产能的5nm技术节大陆半导体设备的成长空间较大，国产化率有望加速。中国大陆半导体设备企业经过多年的技术研发和工艺积累，在部分领域实现了技术突破和创新，成功通过部分集成电路制造企业的验证，成为制造企业的设备供应商。去胶设备已基本实现国产化，CMP设备、清洗设备、热处理设备、刻蚀设备等的国产化率为20%左右；涂胶显影设备、离子注入设备、光刻设备也实现了突破。国产半导体设备进入生产线后，在不同产线持续测试和应用，可以及时掌握晶圆厂的技术需求，有针对性的对设备进行研发、升
13、级，推动其技术的不断完善、进步和创新。目前国内晶圆厂积极扩产，极大拉动国内半导体设备需求；终端半导体产品的不断迭代推动晶圆厂开发新的工艺，随着国内晶圆制造产业的迅速发展，国产半导体设备种类将不断增加，性能也将不断提升，国产设备厂商将迎来增长机遇，进入加速成长阶段。锚定二三五远景目标,综合考虑发展趋势、发展条件、发展步骤,经过积极努力,到2025年,高质量发展成效显著提升,“生态、开放、活力、精致”的现代化高品质城市基本建成。在质量效益明显提升的基础上,全市经济实现持续健康发展,增长潜力充分发挥,新旧动能转换实现突破,产业基础高级化、产业链现代化水平明显提高,经济总量稳步增长、产业结构持续优化、
14、发展动能接续转换,现代化经济体系建设取得重大进展。（三）项目选址项目选址位于xx（以最终选址方案为准），占地面积约93.00亩。项目拟定建设区域地理位置优越，交通便利，规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备，非常适宜本期项目建设。（四）生产规模项目建成后，形成年产xxx套CMP设备的生产能力。（五）建设规模项目建筑面积119287.94，其中：生产工程74696.61，仓储工程26485.16，行政办公及生活服务设施12340.17，公共工程5766.00。（六）项目投资根据谨慎财务估算，项目总投资46359.77万元，其中：建设投资37994.14万元，占项目总投资的81.95%；建设期利
15、息761.41万元，占项目总投资的1.64%；流动资金7604.22万元，占项目总投资的16.40%。（七）经济效益（正常经营年份）1、营业收入（SP）：90700.00万元。2、综合总成本费用（TC）：73411.51万元。3、净利润（NP）：12645.64万元。4、全部投资回收期（Pt）：5.99年。5、财务内部收益率：20.22%。6、财务净现值：8770.53万元。（八）项目进度规划项目建设期限规划24个月。（九）项目综合评价本项目生产所需的原辅材料来源广泛，产品市场需求旺盛，潜力巨大；本项目产品生产技术先进，产品质量、成本具有较强的竞争力，三废排放少，能够达到国家排放标准；本项目场
16、地及周边环境经考察适合本项目建设；项目产品畅销，经济效益好，抗风险能力强，社会效益显著，符合国家的产业政策。第二章 公司筹建方案一、 公司经营宗旨以市场需求为导向；以科研创新求发展；以质量服务树品牌；致力于产业技术进步和行业发展，创建国际知名企业。二、 公司的目标、主要职责（一）目标近期目标：深化企业改革，加快结构调整，优化资源配置，加强企业管理，建立现代企业制度；精干主业，分离辅业，增强企业市场竞争力，加快发展；提高企业经济效益，完善管理制度及运营网络。远期目标：探索模式创新、制度创新、管理创新的产业发展新思路。坚持发展自主品牌，提升企业核心竞争力。此外，面向国际、国内两个市场，优化资源配置
17、，实施多元化战略，向产业集团化发展，力争利用3-5年的时间把公司建设成具有先进管理水平和较强市场竞争实力的大型企业集团。（二）主要职责1、执行国家法律、法规和产业政策，在国家宏观调控和行业监管下，以市场需求为导向，依法自主经营。2、根据国家和地方产业政策、CMP设备行业发展规划和市场需求，制定并组织实施公司的发展战略、中长期发展规划、年度计划和重大经营决策。3、深化企业改革，加快结构调整，转换企业经营机制，建立现代企业制度，强化内部管理，促进企业可持续发展。4、指导和加强企业思想政治工作和精神文明建设，统一管理公司的名称、商标、商誉等无形资产，搞好公司企业文化建设。5、在保证股东企业合法权益和
18、自身发展需要的前提下，公司可依照公司法等有关规定，集中资产收益，用于再投入和结构调整。三、 公司组建方式xxx有限责任公司主要由xxx（集团）有限公司和xx集团有限公司共同出资成立。其中：xxx（集团）有限公司出资650.00万元，占xxx有限责任公司65%股份；xx集团有限公司出资350万元，占xxx有限责任公司35%股份。四、 公司管理体制xxx有限责任公司实行董事会领导下的总经理负责制，各部门按其规定的职能范围，履行各自的管理服务职能，而且直接对总经理负责；公司建立完善的营销、供应、生产和品质管理体系，确立各部门相应的经济责任目标，加强产品质量和定额目标管理，确保公司生产经营正常、有效、
19、稳定、安全、持续运行，有力促进企业的高效、健康、快速发展。总经理的主要职责如下：1、全面领导企业的日常工作；对企业的产品质量负责；向本公司职工传达满足顾客和法律法规要求的重要性；2、制定并正式批准颁布本公司的质量方针和质量目标，采取有效措施，保证各级人员理解质量方针并坚持贯彻执行；3、负责策划、建立本公司的质量管理体系，批准发布本公司的质量手册；4、明确所有与质量有关的职能部门和人员的职责权限和相互关系；5、确保质量管理体系运行所必要的资源配备；6、任命管理者代表，并为其有效开展工作提供支持；7、定期组织并主持对质量管理体系的管理评审，以确保其持续的适宜性、充分性和有效性。五、 部门职责及权限
20、（一）综合管理部1、协助管理者代表组织建立文件化质量体系，并使其有效运行和持续改进。2、协助管理者代表，组织内部质量管理体系审核。3、负责本公司文件（包括记录）的管理和控制。4、负责本公司员工培训的管理，制订并实施员工培训计划。5、参与识别并确定为实现产品符合性所需的工作环境，并对工作环境中与产品符合性有关的条件加以管理。（二）财务部1、参与制定本公司财务制度及相应的实施细则。2、参与本公司的工程项目可信性研究和项目评估中的财务分析工作。3、负责董事会及总经理所需的财务数据资料的整理编报。4、负责对财务工作有关的外部及政府部门，如税务局、财政局、银行、会计事务所等联络、沟通工作。5、负责资金管
21、理、调度。编制月、季、年度财务情况说明分析，向公司领导报告公司经营情况。6、负责销售统计、复核工作，每月负责编制销售应收款报表，并督促销售部及时催交楼款。负责销售楼款的收款工作，并及时送交银行。7、负责每月转账凭证的编制，汇总所有的记账凭证。8、负责公司总长及所有明细分类账的记账、结账、核对，每月5日前完成会计报表的编制，并及时清理应收、应付款项。9、协助出纳做好楼款的收款工作，并配合销售部门做好销售分析工作。10、负责公司全年的会计报表、帐薄装订及会计资料保管工作。11、负责银行财务管理，负责支票等有关结算凭证的购买、领用及保管，办理银行收付业务。12、负责先进管理，审核收付原始凭证。13、
22、负责编制银行收付凭证、现金收付凭证，登记银行存款及现金日记账，月末与银行对账单和对银行存款余额，并编制余额调节表。14、负责公司员工工资的发放工作，现金收付工作。（三）投资发展部1、调查、搜集、整理有关市场信息，并提出投资建议。2、拟定公司年度投资计划及中长期投资计划。3、负责投资项目的储备、筛选、投资项目的可行性研究工作。4、负责经董事会批准的投资项目的筹建工作。5、按照国家产业政策，负责公司产业结构、投资结构的调整。6、及时完成领导交办的其他事项。（四）销售部1、协助总经理制定和分解年度销售目标和销售成本控制指标，并负责具体落实。2、依据公司年度销售指标，明确营销策略，制定营销计划和拓展销
23、售网络，并对任务进行分解，策划组织实施销售工作，确保实现预期目标。3、负责收集市场信息，分析市场动向、销售动态、市场竞争发展状况等，并定期将信息报送商务发展部。4、负责按产品销售合同规定收款和催收，并将相关收款情况报送商务发展部。5、定期不定期走访客户，整理和归纳客户资料，掌握客户情况，进行有效的客户管理。6、制定并组织填写各类销售统计报表，并将相关数据及时报送商务发展部总经理。7、负责市场物资信息的收集和调查预测，建立起牢固可靠的物资供应网络，不断开辟和优化物资供应渠道。8、负责收集产品供应商信息，并对供应商进行质量、技术和供就能力进行评估，根据公司需求计划，编制与之相配套的采购计划，并进行
24、采购谈判和产品采购，保证产品供应及时，确保产品价格合理、质量符合要求。9、建立发运流程，设计最佳运输路线、运输工具，选择合格的运输商，严格按公司下达的发运成本预算进行有效管理，定期分析费用开支，查找超支、节支原因并实施控制。10、负责对部门员工进行业务素质、产品知识培训和考核等工作，不断培养、挖掘、引进销售人才，建设高素质的销售队伍。六、 核心人员介绍1、程xx，中国国籍，无永久境外居留权，1970年出生，硕士研究生学历。2012年4月至今任xxx有限公司监事。2018年8月至今任公司独立董事。2、金xx，中国国籍，无永久境外居留权，1961年出生，本科学历，高级工程师。2002年11月至今任
25、xxx总经理。2017年8月至今任公司独立董事。3、梁xx，1974年出生，研究生学历。2002年6月至2006年8月就职于xxx有限责任公司；2006年8月至2011年3月，任xxx有限责任公司销售部副经理。2011年3月至今历任公司监事、销售部副部长、部长；2019年8月至今任公司监事会主席。4、马xx，中国国籍，1978年出生，本科学历，中国注册会计师。2015年9月至今任xxx有限公司董事、2015年9月至今任xxx有限公司董事。2019年1月至今任公司独立董事。5、方xx，中国国籍，无永久境外居留权，1959年出生，大专学历，高级工程师职称。2003年2月至2004年7月在xxx股份
26、有限公司兼任技术顾问；2004年8月至2011年3月任xxx有限责任公司总工程师。2018年3月至今任公司董事、副总经理、总工程师。6、熊xx，1957年出生，大专学历。1994年5月至2002年6月就职于xxx有限公司；2002年6月至2011年4月任xxx有限责任公司董事。2018年3月至今任公司董事。7、汤xx，中国国籍，1977年出生，本科学历。2018年9月至今历任公司办公室主任，2017年8月至今任公司监事。8、蒋xx，中国国籍，无永久境外居留权，1958年出生，本科学历，高级经济师职称。1994年6月至2002年6月任xxx有限公司董事长；2002年6月至2011年4月任xxx有
27、限责任公司董事长；2016年11月至今任xxx有限公司董事、经理；2019年3月至今任公司董事。七、 财务会计制度（一）财务会计制度1、公司依照法律、行政法规和国家有关部门的规定，制定公司的财务会计制度。上述财务会计报告按照有关法律、行政法规及部门规章的规定进行编制。2、公司除法定的会计账簿外，将不另立会计账簿。公司的资产，不以任何个人名义开立账户存储。3、公司分配当年税后利润时，应当提取利润的10%列入公司法定公积金。公司法定公积金累计额为公司注册资本的50%以上的，可以不再提取。公司的法定公积金不足以弥补以前年度亏损的，在依照前款规定提取法定公积金之前，应当先用当年利润弥补亏损。公司从税后
28、利润中提取法定公积金后，经股东大会决议，还可以从税后利润中提取任意公积金。公司弥补亏损和提取公积金后所余税后利润，按照股东持有的股份比例分配，但本章程规定不按持股比例分配的除外。股东大会违反前款规定，在公司弥补亏损和提取法定公积金之前向股东分配利润的，股东必须将违反规定分配的利润退还公司。公司持有的本公司股份不参与分配利润。4、公司的公积金用于弥补公司的亏损、扩大公司生产经营或者转为增加公司资本。但是，资本公积金将不用于弥补公司的亏损。法定公积金转为资本时，所留存的该项公积金将不少于转增前公司注册资本的25%。5、公司股东大会对利润分配方案作出决议后，公司董事会须在股东大会召开后2个月内完成股
29、利（或股份）的派发事项。6、公司利润分配政策为：（1）公司应重视对投资者的合理投资回报，利润分配政策应保持连续性和稳定性，公司经营所得利润将首先满足公司经营需要。公司每年根据经营情况和市场环境，充分考虑股东的利益，实行合理的股利分配方案。（2）董事会应当综合考虑所处行业特点、发展阶段、自身经营模式、盈利水平以及是否有重大资金支出安排等因素，区分下列情形，并按照公司章程规定的程序，提出差异化的现金分红政策：公司发展阶段属成熟期且无重大资金支出安排的，进行利润分配时，现金分红在本次利润分配中所占比例最低应达到80%；公司发展阶段属成熟期且有重大资金支出安排的，进行利润分配时，现金分红在本次利润分配
30、中所占比例最低应达到40%；公司发展阶段属成长期且有重大资金支出安排的，进行利润分配时，现金分红在本次利润分配中所占比例最低应达到20%；公司发展阶段不易区分但有重大资金支出安排的，可以按照前项规定处理。（3）在符合现金分红的条件下，公司优先采取现金分红的股利分配政策，即：公司当年度实现盈利，在弥补上一年度的亏损，依法提取法定公积金、任意公积金后进行现金分红，单一以现金方式分配的利润不少于当年度实现的可分配利润的10%。在公司当年未实现盈利情况下，公司不进行现金利润分配，同时需经公司董事会、股东大会审议通过。若公司业绩增长快速，并且董事会认为公司公司在制定现金分红具体方案时，董事会应当认真研究
31、和论证公司现金分红的时机、条件和最低比例、调整的条件及其决策程序要求等事宜，独立董事应当发表明确意见。独立董事可以征集中小股东的意见，提出分红提案，并直接提交董事会审议。股东大会对现金分红具体方案进行审议前，公司应当通过多种渠道主动与股东特别是中小股东进行沟通和交流，充分听取中小股东的意见和诉求，并及时答复中小股东关心的问题。董事会在决策和形成利润分配预案时，要详细记录管理层建议、参会董事的发言要点、独立董事意见、董事会投票表决情况等内容，并形成书面记录作为公司档案妥善保存。公司应当严格执行本章程确定的现金分红政策以及股东大会审议批准的现金分红具体方案。确有必要对本章程确定的现金分红政策进行调
32、整或者变更的，应当满足本章程规定的条件，经过详细论证后，履行相应的决策程序，并经出席股东大会的股东（包括股东代理人）所持表决权的2/3以上通过。（4）股东违规占用公司资金的，公司应当扣减该股东所分配的现金红利，以偿还其占用的资金。（二）内部审计1、公司实行内部审计制度，配备专职审计人员，对公司财务收支和经济活动进行内部审计监督。2、公司内部审计制度和审计人员的职责，应当经董事会批准后实施。审计负责人向董事会负责并报告工作。（三）会计师事务所的聘任1、公司聘用会计师事务所必须由股东大会决定，董事会不得在股东大会决定前委任会计师事务所。2、公司保证向聘用的会计师事务所提供真实、完整的会计凭证、会计
33、账簿、财务会计报告及其他会计资料，不得拒绝、隐匿、谎报。3、会计师事务所的审计费用由股东大会决定。4、公司解聘或者不再续聘会计师事务所时，提前20天事先通知会计师事务所，公司股东大会就解聘会计师事务所进行表决时，允许会计师事务所陈述意见。会计师事务所提出辞聘的，应当向股东大会说明公司有无不当情形。第三章 市场分析一、 本土设备厂商的竞争优势和未来前景成本和价格并非本土标签以外的唯一竞争力，快速响应的定制化服务为重要优势。基于本土优势，一方面可以提供低成本、定制化、及时的服务（海外设备厂商往往委托国内团队做售后服务，同时服务定制化程度弱），另一方面能够针对客户技术需求进行联合攻关、定制化开发，适
34、配性的提升会带动稳定性和良率的提升。伴随客户导入，国产设备技术水平/工艺覆盖度有望快速提升。尽管部分国产设备目前稳定性、良率方面等相较国际大厂仍有差距，但只要下游厂商愿意导入国产设备，长远来看，部分国产设备技术能力、稳定性、良率将随与下游客户的积累持续加速提升，将实现从“能用”到“好用”的转变，如：中微公司在部分MOCVD设备市场已实现对海外巨头的超越。二、 半导体前道设备各环节格局梳理晶圆制造设备是半导体设备行业需求最大的领域，光刻、刻蚀和沉积设备为主要组成部分。根据SEMI数据来看，目前半导体设备主要为晶圆制造设备，市场占有率超过85%。其中，刻蚀机、薄膜沉积、光刻机设备为半导体设备的核心
35、设备，这三类半导体设备的市占率分别为22%、22%和20%。国内为全球半导体设备最大市场，先进技术由美欧日等国主导。从地区分布来看，中国大陆半导体设备市场占比呈持续提升之势，2021年市场规模达到296亿美元，占全球市场的比重为29%，是半导体设备的最大市场。先进半导体设备技术仍由美欧日等国主导，其中美国的刻蚀设备、离子注入机、薄膜沉积设备、测试设备、程序控制、CMP等设备的制造技术位于世界前列；荷兰凭借ASML的高端光刻机在全球处于领先地位；日本则在刻蚀设备、清洗设备、测试设备等方面具有竞争优势。第四章 背景及必要性一、 半导体设备行业的壁垒技术壁垒：1）半导体设备是由成千上万的零部件组成的
36、复杂系统，将成千上万的零部件有机组合在一起实现精细至nm级别的操作是第一个难点。2）保障设备在nm级别的操作基础上的超高良率是半导体设备制造过程中的第二个难点。制造一块芯片通常需要上百台设备紧密配合，历经400-500道工序，若单工序良率仅能做到99%，则历经500道工序最终良率不足1%；提升至小数点后两位的水平才能使良率达到95%以上。3）保障设备在实现以上两个要求的基础上长时间稳定的运行是半导体设备制造过程中的第三个难点。与上述同理，一条芯片产线上百台设备，每一台设备稳定运行时间的微小降低将在整个体系内被巨额放大。若发生设备宕机造成该批假设1000片晶圆的报废，在28nm及以下的制程级别对
37、应的损失超过300万美元，近2000万人民币。客户验证壁垒：正是由于设备本身和产线构成的复杂性，单设备的良率、稳定性会在整个体系内产生累积效应的影响，同时可能带来巨额的潜在损失，因此晶圆制造厂商对于上游设备的验证、验收有严苛的标准和流程。同时，对于晶圆制造厂而言，配合上游设备验证需要付出大量的人力（合作研发、调试）、物力（拿出其他设备配合验证的机会成本损失、验证过程中的物料损失），以及采用新设备供应商面临的巨大潜在风险（批量晶圆报废的风险、向客户延迟交货的风险），很少有晶圆厂愿意承担以上的损失和风险去验证新供应商的设备。二、 半导体设备行业集成电路系采用一定的工艺，把一个电路中所需的晶体管、电
38、阻、电容和电感等元件及它们之间的连接导线全部制作在一小块半导体晶片如硅片或介质基片上，然后焊接封装在一个管壳内，成为具有所需电路功能的电子器件。半导体设备在芯片制造中发挥着重要作用。半导体设备是半导体制造的基石，是半导体行业的基础和核心。半导体工艺流程主要包括硅片制造、IC设计、芯片制造和芯片封测，从产业链来看，半导体设备在硅片制造以及芯片制造的前道/后道工艺中均发挥着重要作用。三、 半导体设备国产替代空间广阔半导体设备市场持续增长的底层逻辑是科技产业发展对半导体需求量的提升，直接驱动因素是下游晶圆制造厂商的扩产。2021年半导体市场规模实现同比增长26%，达5530亿美元。全球半导体产业资本
39、支出保持强劲增长，根据ICInsights数据，2021年，全球半导体行业资本支出达到1539亿美元，预计2022年将达到1904亿美元。摩尔定律推动产业发展，设备行业壁垒将持续提升。根据摩尔定律演进，每隔18-24个月芯片性能将提升一倍。先进制程IC产能具有强劲的增长势头，根据ICInsights预测，2024年先进制程（10nm）的IC产能预计增长并在全球产能占比提升至30%。每更新一代工艺制程，则需更新一代更为先进的制程设备，更加精密的制程带来半导体设备难度直线上升，行业壁垒不断提高。随着制程推进和工艺升级，单位产能下设备需求将进一步增加。制程和工艺升级推动芯片复杂度提升，更复杂的结构需
40、要更多的制造工序完成，各类设备的用量显著增加。以刻蚀环节为例，14nm制程所需使用的刻蚀步骤达到64次，7nm所需刻蚀步骤达140次，较14nm提升118%。设备用量方面，以中芯国际180nm8寸产线和90nm12寸产线所用到的薄膜沉积设备为例，每万片月产能所需的CVD设备、PVD设备分别增加3倍和4倍左右。先进工艺单位产能投资几何级数提升。随着技术节点的不断缩小，集成电路制造的设备投入呈大幅上升的趋势，5万片月产能的5nm技术节大陆半导体设备的成长空间较大，国产化率有望加速。中国大陆半导体设备企业经过多年的技术研发和工艺积累，在部分领域实现了技术突破和创新，成功通过部分集成电路制造企业的验证
41、，成为制造企业的设备供应商。去胶设备已基本实现国产化，CMP设备、清洗设备、热处理设备、刻蚀设备等的国产化率为20%左右；涂胶显影设备、离子注入设备、光刻设备也实现了突破。国产半导体设备进入生产线后，在不同产线持续测试和应用，可以及时掌握晶圆厂的技术需求，有针对性的对设备进行研发、升级，推动其技术的不断完善、进步和创新。目前国内晶圆厂积极扩产，极大拉动国内半导体设备需求；终端半导体产品的不断迭代推动晶圆厂开发新的工艺，随着国内晶圆制造产业的迅速发展，国产半导体设备种类将不断增加，性能也将不断提升，国产设备厂商将迎来增长机遇，进入加速成长阶段。四、 强化科技创新,催生高质量发展新动能坚持创新在现
42、代化高品质城市建设全局中的核心地位,深入实施创新驱动发展战略、人才强市战略,完善创新体系,提升科技研发能力和水平,建设国家创新型城市,打造区域性创新高地。1、强化创新载体支撑。高标准建设运营市产业技术研究院,发挥科技体制改革“试验田”的作用。提升国家商用汽车动力系统总成工程技术研究中心、内燃机可靠性国家重点实验室、国家乘用车自动变速器工程技术研究中心等重大创新平台研发能力。围绕重点产业链布局创新链,培育新建SDL系统国家重点实验室、潍坊高端装备山东省实验室、燃料电池国家技术创新中心、山东磁悬浮产业技术研究院等一批国家和省级科技创新平台,实现大中型企业研发机构全覆盖,争取实施一批具有前瞻性、战略
43、性的国家、省重大科技项目,进一步提升科技进步对全市经济增长贡献率。2、提升企业技术创新能力。强化企业技术创新主体地位,进一步推动创新政策、创新资源、创新人才、创新服务等要素向企业集聚。继续推行高新技术企业“育苗造林”行动,实施“单项冠军”“瞪羚”企业倍增计划,进一步壮大高新技术企业规模。加大招院引所力度,加快中科院化学所、潍坊先进光电芯片研究院等科技创新平台建设。深化产学研融合,支持企业和高校、科研院所联合共建技术研发中心、产业研究院、制造业创新中心、中试基地、创新创业共同体等新型研发机构。鼓励龙头企业设立境外全球研发中心,开展国际研发合作,加大财政科技投入,建立财政科技投入稳定增长机制。发挥
44、企业家在技术创新中的重要作用,鼓励企业加大研发投入,支持创新型中小微企业快速成长。3、激发人才创新活力。实施高层次人才聚集、专业技术人才提升和高技能人才振兴“三大工程”,制定更加积极、更加开放、更加有效的人才政策。聚焦优势产业,推动产业链、供应链、人才链、创新链深度融合,提升价值链。加大“高精尖缺”人才引育力度,推广“一事一议”引才模式,重点引进对我市产业发展具有重大引领作用的顶尖人才、领军人才、科研团队。实施柔性引智工程,全面建立鸢都产业领军人才配额制度。开展知识更新工程、技能提升行动,用好国家职业教育创新发展高地建设机遇,持续推进职业教育创新发展全国试验区和全省示范区建设。加快校企对接合作
45、,培养壮大应用型、创新型、技能型人才队伍。完善市人才发展集团功能,搭建人才信息库和“一站式”综合服务平台。建设与国际标准相衔接的人才安居环境,高质量落实子女入学、家属安置、住房保障、医疗服务等人才保障政策,打造一流人才发展环境。4、完善科技创新体制机制。推动政府职能从研发管理向创新服务转变,坚持市场化导向,以产业为中心,优化重大科技项目、科技资源布局,推动重点领域项目、人才、资金一体化配置,构建普惠性创新生态体系。强化对基础前沿研究、关键核心技术研发支持。加强知识产权保护与应用,发挥潍坊院士谷、蓝色智谷等平台作用,加快科研院所改革,扩大科研自主权。完善科研诚信评价应用体系。改进科技项目组织管理
46、方式,实行“揭榜挂帅包干”等制度,完善科技评价机制,优化科技奖励项目。推进中国(潍坊)知识产权保护中心建设,争创国家知识产权示范城市。加强技术转移机构和技术经理人培育,完善科技成果转移转化服务体系,加快技术成果向现实生产力转化。健全科技金融协同支持机制,促进新技术产业化、规模化应用。加强科普工作,弘扬科学精神和工匠精神。五、 全面深化改革,增强内生发展活力持续加大解放思想、守正创新力度,深化重点领域和关键环节改革,促进有效市场和有为政府更好结合,推动全面深化改革取得突破性、系统性、标志性成果。1、推进要素市场化配置改革。深化土地管理制度改革,推进土地、劳动力、资本、技术、数据等要素市场化改革。健全要素市场运行机制,完善要素交易规则和服务体系,实现要素价格市场决定、流动自主有序、配置高效公平。健全长期租赁、先租后让、弹性年期供应、作价出资(入股)等工业用地市场供应体系,探索推进“标准地”改革,试点并推开新型产业用地(M0)改革。加快建设城乡统一的建设用地市场。提升潍坊市资本服务中心功能,打造资本对接交流合作平台。推动完善差别化资源性产品价格形成机制,提升用能权、排污权等各类要素资源市场化配置水平。完善市场出清机制,促进要素资源向高效市场主体流动。2、激发各类市场主体活力。坚持两个“毫不动摇”,深化国资国企改革,做强做优做大