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1、设备使用问卷调查表各位用户及学界先进 您好 感谢您长久以来对国家实验研究院奈米元件实验室NDL的支持与爱护。提供更专业的全方位服务是我们的责任使客户满意是我们追求的目标追求世界第一是我们的愿景。 为了提升服务品质本实验室希望透过NDL的web portal进行客户满意度调查以提升NDL服务品质及行政支援效率。您的宝贵意见是我们改进的重要参考和未来研究资源运用效率检讨的依据。请您拨冗填写以下表单您的协助与意见将使我们更加成长与进步谢谢您的合作。 顺颂 教安 倪卫新 敬上 国家奈米元件实验室主任 国立交通大学TSMC讲座教授 一、基本资料 填写日期 姓名 学校/系所或单位/部门 职称博士班 硕士班
2、 其他 联络电话 E-mail 指导教授姓名 指导教授E-mail 指导教授联络电话 国家实验研究院 国家奈米元件实验室 National Nano Device Laboratories 表单编号S4-BP02C 修定日期95/09/01 二、详细资料 1.请问您是否曾取得NDL自行操作仪器资格 是 否 2.请问您是否曾委托NDL进行代工服务是 否 3.请问您是否曾参加NDL所开设之课程是 否 4.请问您是否曾与NDL共同进行研究计画推动是 否 5.请问您目前使用NDL仪器设备所使用的经费多来自於自费 国科会贵仪 NDL合作计画 无使用过NDL仪器设备 三、网站改版满意度调查 非常满意 满意
3、 普通 不满意 非常不满意 您对NDL目前网站首页编排方式 5 4 3 2 1 您对NDL目前网站提供的资讯内容丰富性 5 4 3 2 1 您对NDL目前网站使用容易度 5 4 3 2 1 您对NDL目前网站资讯更新速度 5 4 3 2 1 您对NDL目前网站下载速度 5 4 3 2 1 四、技术支援满意度调查未使用其他贵仪中心仪器设备者贵仪中心栏位免填 非常满意 满意 普通 不满意 非 常 不 满意 您对仪器设备使用预约上的便利性 NDL 5 4 3 2 1 贵仪中心 5 4 3 2 1 您对仪器设备的使用稳定度 NDL 5 4 3 2 1 贵仪中心 5 4 3 2 1 您对仪器设备工程师的
4、专业程度及应用经验 NDL 5 4 3 2 1 贵仪中心 5 4 3 2 1 您对仪器设备在违规事项与工安问题的标示明确性 NDL 5 4 3 2 1 贵仪中心 5 4 3 2 1 您对仪器设备技术服务服务对自己研究上的帮助 NDL 5 4 3 2 1 贵仪中心 5 4 3 2 1 五、课程规划满意度调查 非满普不非 国家实验研究院 国家奈米元件实验室 National Nano Device Laboratories 表单编号S4-BP02C 修定日期95/09/01 常满意 意 通 满意 常 不 满意 您对NDL现有开课项目 5 4 3 2 1 您对NDL现有课程规划内容 5 4 3 2
5、1 您对NDL讲师授课方式、表达能力 5 4 3 2 1 您对NDL课程的收费标准 5 4 3 2 1 您对NDL课程对工作或自己研究上的帮助 5 4 3 2 1 六、合作研究满意度调查 非常满意 满意 普通 不满意 非 常 不 满意 您对NDL合作研究案的申请与审核流程 5 4 3 2 1 您对NDL合作研究案服务窗口的服务态度 5 4 3 2 1 您对NDL研究人员的专业素养与研究态度 5 4 3 2 1 您对NDL研究环境的完善程度 5 4 3 2 1 您对合作研究模式对自己研究上的帮助 5 4 3 2 1 七、营运组制程模组及设备服务满意度调查未使用营运组仪器设备仪器设备者免填 1.请
6、问您曾经使用过本实验室下列何项制程模组及设备服务 可复选 频率请略估每日、每周、每月、每年 微影 Lithography 频率 湿式清洗蚀刻 Wet Clean Etch 频率 蚀刻 Etching 频率 化学机械研磨 CMP 频率 离子植入Implantation 频率 电化学电镀ECP 频率 热处理制程 Thermal Process 频率 分子磊晶Epitaxial Growth 频率 薄膜沈积 Thin Film Deposition 频率 薄膜特性分析 Thin Film Analysis 频率 奈米碳管 CNTs 频率 电性量测分析 Electrical Measurement 频
7、率 金属化制程 Metallization 频率 表面污染分析Contamination Analysis 频率 2.请问您对於营运组制程模组及设备服务满意程度如何 非常满意 满意 普通 不满意 非 常 不 满意 国家实验研究院 国家奈米元件实验室 National Nano Device Laboratories 表单编号S4-BP02C 修定日期95/09/01 机台之维护能力 5 4 3 2 1 对制程技术支援能力 5 4 3 2 1 机台训练及考核之专业性 5 4 3 2 1 对现有机台预约制度之满意度 5 4 3 2 1 对现有机台种类及属性满意度 5 4 3 2 1 就营运组制程模
8、组及设备所提供的自行操作服务而言您觉得还有哪些方面可以做进一步的改善 3.请问您对於营运组委托服务方面您的满意度如何 不曾委托服务者可免填 非常满意 满意 普通 不满意 非 常 不 满意 到目前为止整个交货、验收过程 5 4 3 2 1 代工品质的稳定性 5 4 3 2 1 委托服务时程之长短 5 4 3 2 1 机台委托代工之价位 5 4 3 2 1 就营运组委托服务而言您觉得还有哪些方面可以做进一步的改善 八、奈米量测技术组仪器使用满意度调查未使用奈米量测组仪器设备仪器设备者免填 1.请问您曾经使用过曾经使用过下列何项分析服务 或者曾自行操作何项设备可复选 频率请略估每日、每周、每月、每年
9、 场发射扫描式电子显微镜 SEM 频率 扫描探针显微镜 SPM 频率 欧杰电子显微镜 Auger 化学分析电子仪 ESCA 频率 穿透式电子显微镜 TEM 频率 X光绕射仪 XRD 频率 试片准备室 含PIPS ion-mill 频率 A、如果您是申请委托服务者请填写此部分 您申请的是哪一项分析服务 可复选 场发射扫描式电子显微镜 SEM 扫描探针显微镜 SPM 欧杰电子显微镜 Auger 化学分析电子仪 ESCA 穿透式电子显微镜 TEM X光绕射仪 XRD 试片准备室 含PIPS ion-mill 您对本单位奈米量测分析服务的满意程度为何 非满普不非 国家实验研究院 国家奈米元件实验室 N
10、ational Nano Device Laboratories 表单编号S4-BP02C 修定日期95/09/01 常满意 意 通 满意 常 不 满意 您觉得负责分析工程师的技术专业度如何 5 4 3 2 1 您对分析结果的满意程度为何 5 4 3 2 1 就奈米量测组委托服务而言您觉得还有哪些方面可以做进一步的改善 _ B、如果您是自行操作者请填写此部分 您使用的仪器是下列哪一部 场发射扫描式电子显微镜 SEM 扫描探针显微镜 SPM 穿透式电子显微镜 TEM X光绕射仪 XRD 试片准备室 含PIPS ion-mill 您对本单位奈米量测分析自行操作仪器设备服务的满意程度为何 非常满意
11、满意 普通 不满意 非 常 不 满意 您觉得所提供的仪器设备SOP是否清楚 5 4 3 2 1 您认为此仪器之训练与考核是否让您对仪器有进一步的认识避免错误操作 5 4 3 2 1 您认为分析仪器所得之资料对您的研究助益很大吗 5 4 3 2 1 从训练、考核、预约到使用仪器您觉得奈米量测组有哪些项目或流程需要做更好的改善 C、整体来说您对於奈米量测组所提供之仪器设备或分析服务的满意度是 非常满意 满意 普通 不满意 非 常 不 满意 整体满意度 5 4 3 2 1 九、高频分析组仪器使用满意度调查未使用高频分析组仪器设备仪器设备者免填 1.请问您曾经使用过曾经使用过下列何项分析服务 或者曾自
12、行操作何项设备可复选 频率请略估每日、每周、每月、每年 奈米元件参数量测系统 频率 20/50 GHz元件高频S参数量测系统 频率 国家实验研究院 国家奈米元件实验室 National Nano Device Laboratories 表单编号S4-BP02C 修定日期95/09/01 110GHz元件高频S参数量测系统 频率 高频杂讯参数量测系统 频率 高频功率参数量测系统 频率 RFIC量测系统 频率 元件低频杂讯参数量测系统 频率 4-port高频S参数量测系统 频率 脉冲式射频量测系统 频率 A、如果您是申请委托服务者请填写此部分 您申请的是哪一项分析服务 可复选 奈米元件参数量测系统
13、 20/50 GHz元件高频S参数量测系统 110GHz元件高频S参数量测系统 高频杂讯参数量测系统 高频功率参数量测系统 RFIC量测系统 元件低频杂讯参数量测系统 4-port高频S参数量测系统 脉冲式射频量测系统 您对本单位高频分析服务的满意程度为何 非常满意 满意 普通 不满意 非 常 不 满意 您觉得负责分析工程师的技术专业度如何 5 4 3 2 1 您对分析结果的满意程度为何 5 4 3 2 1 就高频分析组委托服务而言您觉得还有哪些方面可以做进一步的改善 _ 国家实验研究院 国家奈米元件实验室 National Nano Device Laboratories 表单编号S4-BP
14、02C 修定日期95/09/01 B、如果您是自行操作者请填写此部分 您使用的仪器是下列哪一部 奈米元件参数量测系统 20/50 GHz元件高频S参数量测系统 110GHz元件高频S参数量测系统 高频杂讯参数量测系统 高频功率参数量测系统 RFIC量测系统 元件低频杂讯参数量测系统 4-port高频S参数量测系统 脉冲式射频量测系统 您对本单位高频分析自行操作仪器设备服务的满意程度为何 非常满意 满意 普通 不满意 非 常 不 满意 您觉得所提供的仪器设备SOP是否清楚 5 4 3 2 1 您认为此仪器之训练与考核是否让您对仪器有进一步的认识避免错误操作 5 4 3 2 1 您认为分析仪器所得
15、之资料对您的研究助益很大吗 5 4 3 2 1 从训练、考核、预约到使用仪器您觉得高频分析组有哪些项目或流程需要做更好的改善 _ C、整体来说您对於高频分析组所提供之仪器设备或分析服务的满意度是 非常满意 满意 普通 不满意 非 常 不 满意 整体满意度 5 4 3 2 1 国家实验研究院 国家奈米元件实验室 National Nano Device Laboratories 表单编号S4-BP02C 修定日期95/09/01 十、南科奈米结构制造组仪器设备满意度调查未使用南科仪器设备仪器设备者免填 1.请问您曾经使用过本实验室下列何项制程模组及设备服务 可复选 频率请略估每日、每周、每月、每
16、年 化学气相沈积电感藕合蚀刻PECVDICP 频率 热蒸镀机Thermal coater 频率 反应式离子蚀刻STS 频率 原子力显微镜AFM 频率 金属溅镀系统Sputter 频率 表面轮廓量测仪Profile meter 频率 电性量测系统HP4140BHP4145B 频率 膜厚量测NK 及 M-gage 频率 电子显微镜SEM 频率 炉管Furnace 频率 光阻涂布及显影系统Track 频率 湿式蚀刻Wet bench 频率 光罩对准曝光系统Aligner 频率 手动旋乾机Hood内之手动机台 频率 2.请问您对於南科制程模组及设备服务满意程度如何 非常满意 满意 普通 不满意 非 常
17、 不 满意 机台之维护能力 5 4 3 2 1 对制程技术支援能力 5 4 3 2 1 机台训练及考核之专业性 5 4 3 2 1 对现有机台预约制度之满意度 5 4 3 2 1 对现有机台种类及属性满意度 5 4 3 2 1 就南科制程模组及设备服务自行操作而言您觉得还有哪些方面可以做进一步的改善 3.请问您对於南科委托服务方面您的满意度如何 不曾委托服务者可免填 非常满意 满意 普通 不满意 非 常 不 满意 到目前为止整个交货、验收过程 5 4 3 2 1 代工品质的稳定性 5 4 3 2 1 委托服务时程之长短 5 4 3 2 1 机台委托代工之价位 5 4 3 2 1 就南科委托服务
18、方面而言您觉得还有哪些方面可以做进一步的改善 国家实验研究院 国家奈米元件实验室 National Nano Device Laboratories 表单编号S4-BP02C 修定日期95/09/01 4.请问您对於南科其他各方面满意度为合 非常满意 满意 普通 不满意 非 常 不 满意 核卡、发卡之申辨流程 5 4 3 2 1 工安教育课程训练 5 4 3 2 1 实验室物料及耗材领取如化学药品、晶片、耗材、手套 5 4 3 2 1 本实验室环境及安全设施 5 4 3 2 1 整体而言您觉得南科还有哪些方面可以做进一步的改善 国家实验研究院 国家奈米元件实验室 National Nano Device Laboratories 表单编号S4-BP02C 修定日期95/09/01