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1、泓域咨询/丽水薄膜设备项目可行性研究报告丽水薄膜设备项目可行性研究报告xxx有限公司目录第一章 行业、市场分析9一、 全球设备市场创新高，受益于资本开支提升、制程节点进步9二、 薄膜设备：用于沉积物质，在设备市场占比较高12第二章 绪论15一、 项目名称及建设性质15二、 项目承办单位15三、 项目定位及建设理由16四、 报告编制说明18五、 项目建设选址19六、 项目生产规模19七、 建筑物建设规模20八、 环境影响20九、 项目总投资及资金构成20十、 资金筹措方案21十一、 项目预期经济效益规划目标21十二、 项目建设进度规划21主要经济指标一览表22第三章 项目背景分析24一、 海外设
2、备厂商在手订单饱满，供应链限制延续24二、 国内需求爆发，国产替代空间快速打开25三、 全球市场受海外厂商主导，前五大厂商市占率较高27四、 双招双引，以创新激活跨越式发展新动能27五、 项目实施的必要性29第四章 建设规模与产品方案31一、 建设规模及主要建设内容31二、 产品规划方案及生产纲领31产品规划方案一览表31第五章 项目选址33一、 项目选址原则33二、 建设区基本情况33三、 扩能升级，建立现代化生态经济体系34四、 跨山统筹，打造市域一体化丽水样板36五、 项目选址综合评价38第六章 法人治理39一、 股东权利及义务39二、 董事42三、 高级管理人员46四、 监事50第七章
3、 运营管理52一、 公司经营宗旨52二、 公司的目标、主要职责52三、 各部门职责及权限53四、 财务会计制度56第八章 工艺技术设计及设备选型方案62一、 企业技术研发分析62二、 项目技术工艺分析65三、 质量管理66四、 设备选型方案67主要设备购置一览表68第九章 组织机构及人力资源69一、 人力资源配置69劳动定员一览表69二、 员工技能培训69第十章 原辅材料及成品分析72一、 项目建设期原辅材料供应情况72二、 项目运营期原辅材料供应及质量管理72第十一章 投资计划方案74一、 投资估算的依据和说明74二、 建设投资估算75建设投资估算表79三、 建设期利息79建设期利息估算表8
4、0固定资产投资估算表81四、 流动资金81流动资金估算表82五、 项目总投资83总投资及构成一览表83六、 资金筹措与投资计划84项目投资计划与资金筹措一览表84第十二章 经济效益及财务分析86一、 基本假设及基础参数选取86二、 经济评价财务测算86营业收入、税金及附加和增值税估算表86综合总成本费用估算表88利润及利润分配表90三、 项目盈利能力分析91项目投资现金流量表92四、 财务生存能力分析94五、 偿债能力分析94借款还本付息计划表95六、 经济评价结论96第十三章 招标及投资方案97一、 项目招标依据97二、 项目招标范围97三、 招标要求97四、 招标组织方式98五、 招标信息
5、发布101第十四章 项目综合评价说明102第十五章 附表附件104主要经济指标一览表104建设投资估算表105建设期利息估算表106固定资产投资估算表107流动资金估算表108总投资及构成一览表109项目投资计划与资金筹措一览表110营业收入、税金及附加和增值税估算表111综合总成本费用估算表111固定资产折旧费估算表112无形资产和其他资产摊销估算表113利润及利润分配表114项目投资现金流量表115借款还本付息计划表116建筑工程投资一览表117项目实施进度计划一览表118主要设备购置一览表119能耗分析一览表119报告说明未来两年全球晶圆厂设备开支持续增长。2020年疫情带来的居家及远程
6、办公带来笔电等消费电子需求激增作为本轮周期的催化剂，2020H2以车用芯片为代表的供应链开始紧张，下游持续增长的需求与上游有限产能的矛盾演绎为2021年全年行业供需失衡加剧。2022年以来，消费性电子、智能手机、PC等领域需求确有下滑，但更值得注意的是全球正步入第四轮硅含量提升周期，服务器、汽车、工业、物联网等需求大规模提升。在6月台积电召开的股东大会上，公司管理层表示未来10年是半导体行业非常好的机会，主要原因就是5G及高效能运算的普及，生活数字化转型，带来对车用（新车半导体含量可达传统车的10倍）、手机、服务器等终端内半导体含量的增加，推动半导体需求大幅成长。中芯国际在22Q1法说会表示，
7、尽管消费电子，手机等存量市场进入去库存阶段，开始软着陆，但高端物联网、电动车、绿色能源、工业等增量市场尚未建立足够的库存，近年来硅含量提升与晶圆厂有限的产能扩充矛盾，叠加产业链转移带来的本土化产能缺口，使得公司需要大幅扩产，推出新产品工艺平台，满足客户旺盛的增量需求。疫情、全球经济及半导体周期性虽然会带来短期内的不确定性，但是技术进步、硅含量提升是长期支撑半导体行业持续发展的最关键驱动力。根据谨慎财务估算，项目总投资53389.61万元，其中：建设投资40944.98万元，占项目总投资的76.69%；建设期利息1110.67万元，占项目总投资的2.08%；流动资金11333.96万元，占项目总
8、投资的21.23%。项目正常运营每年营业收入113300.00万元，综合总成本费用87546.26万元，净利润18873.05万元，财务内部收益率27.40%，财务净现值34555.98万元，全部投资回收期5.40年。本期项目具有较强的财务盈利能力，其财务净现值良好，投资回收期合理。该项目的建设符合国家产业政策；同时项目的技术含量较高，其建设是必要的；该项目市场前景较好；该项目外部配套条件齐备，可以满足生产要求；财务分析表明，该项目具有一定盈利能力。综上，该项目建设条件具备，经济效益较好，其建设是可行的。本期项目是基于公开的产业信息、市场分析、技术方案等信息，并依托行业分析模型而进行的模板化设
9、计，其数据参数符合行业基本情况。本报告仅作为投资参考或作为学习参考模板用途。第一章 行业、市场分析一、 全球设备市场创新高，受益于资本开支提升、制程节点进步2021年全球半导体设备市场规模创1026亿美元新高，大陆首次占比全球第一。根据SEMI，2021年半导体设备销售额1026亿美元，同比激增44%，全年销售额创历史新高。大陆设备市场在2013年之前占全球比重为10%以内，20142017年提升至1020%，2018年之后保持在20%以上，份额呈逐年上行趋势。2020-2021年，国内晶圆厂投建、半导体行业加大投入，大陆半导体设备市场规模首次在市场全球排首位，2021达到296.2亿美元，同
10、比增长58%，占比28.9%。展望2022年，存储需求复苏，韩国预计将领跑全球，但大陆设备市场规模有望保持较高比重。北美半导体设备厂商月销售额2021年以来稳站30亿+美金。通过复盘半导体行业景气周期历史，北美半导体设备厂商月销售额对于全球半导体行业景气度分析具有重要意义，北美半导体设备销售额水平通常领先全球半导体销售额一个季度。2021年1月，北美半导体设备厂商月销售额首次突破了30亿美金关口，创历史新高，达到了30.4亿美金。此后月度销售额逐季创新高，至12月份销售额达到39.2亿美金，同比增长46%。与此同时全球半导体销售市场自2021年4月以来连续12个月同比增速超过20%，2022年
11、3月，全球半导体销售额达到505.8亿美金，同比增长23.0%，展望2022全年，从各机构当前预测平均值来看，预计2022年全球半导体市场仍将保持10%以上同比增长。半导体设备行业呈现明显的周期性，受下游厂商资本开支节奏变化较为明显。2017年，存储厂商的大幅资本开支推动半导体设备迎来巨大需求，且这一势头一直延续到2018年上半年。但随后产能过剩致使存储价格走低，导致DRAM和NAND厂商纷纷推迟设备订单。存储产能过剩一直持续到2019年上半年，同时上半年整体半导体行业景气度不佳，虽然下半年随着行业景气度恢复，以台积电为代表的晶圆厂陆续调高资本开支大幅扩产，2019年全年半导体设备需求同比仍回
12、落约2%。2020年全球各地先后受疫情影响，但存储行业资本支出修复、先进制程投资叠加数字化、5G带来的下游各领域强劲需求，全年设备市场同比增长19%。伴随半导体厂商新一轮资本开支开启，2021年全球设备市场继续大幅增长44%。当前海外设备龙头应用材料、泛林集团等均预计2022年全球设备市场规模将进一步增长。未来两年全球晶圆厂设备开支持续增长。2020年疫情带来的居家及远程办公带来笔电等消费电子需求激增作为本轮周期的催化剂，2020H2以车用芯片为代表的供应链开始紧张，下游持续增长的需求与上游有限产能的矛盾演绎为2021年全年行业供需失衡加剧。2022年以来，消费性电子、智能手机、PC等领域需求
13、确有下滑，但更值得注意的是全球正步入第四轮硅含量提升周期，服务器、汽车、工业、物联网等需求大规模提升。在6月台积电召开的股东大会上，公司管理层表示未来10年是半导体行业非常好的机会，主要原因就是5G及高效能运算的普及，生活数字化转型，带来对车用（新车半导体含量可达传统车的10倍）、手机、服务器等终端内半导体含量的增加，推动半导体需求大幅成长。中芯国际在22Q1法说会表示，尽管消费电子，手机等存量市场进入去库存阶段，开始软着陆，但高端物联网、电动车、绿色能源、工业等增量市场尚未建立足够的库存，近年来硅含量提升与晶圆厂有限的产能扩充矛盾，叠加产业链转移带来的本土化产能缺口，使得公司需要大幅扩产，推
14、出新产品工艺平台，满足客户旺盛的增量需求。疫情、全球经济及半导体周期性虽然会带来短期内的不确定性，但是技术进步、硅含量提升是长期支撑半导体行业持续发展的最关键驱动力。2020年开始全球领先的晶圆厂纷纷加速扩产提升资本开支，根据ICInsights，2021年全球半导体资本开支增速达到36%，预计2022年将继续增长24%，2020-2022年将会成为自1993-1995年以来的首次CapEx连续三年增速超过20%。半导体设备作为晶圆厂扩产的重要开支部分，根据SEMI，2021年全球晶圆厂前道设备支出增速达到42%，预计2022年将进一步增长18%。台积电、中芯国际纷纷增加资本开支，CapEx进
15、入上行期。根据ICInsights，全球代工厂资本开支约占半导体总体的35%，根据头部代工厂的资本开支规划来看，2022年代工领域资本开支将进一步提升。台积电从2020年170亿美金增长到2021年的300亿美金（用于N3/N5/N7的资本开支占80%），公司2021年4月1日公布未来三年资本开支1000亿美金，2022年资本开支将进一步提升至400-440亿美金，预计2023年资本开支仍有望超过400亿美金；联电2021年CapEx18亿美金，预计2022年翻倍达到36亿美金（其中90%将用于12英寸晶圆）；GlobalFoundries于2021年IPO后资本开支大幅提升用于扩产，公司20
16、20年CapEx4.5亿美金，2021年提升至16.6亿美金，预计2022年超过40亿美金；中芯国际2021年资本开支维持高位，达到45亿美金（大部分用于扩成熟制程，尤其是8寸数量扩4.5万片/月），预计2022年达到50亿美金。二、 薄膜设备：用于沉积物质，在设备市场占比较高薄膜生长：采用物理或化学方法使物质附着于衬底材料表面的过程，常见生长物质包括金属、氧化物、氮化物等不同薄膜。根据工作原理不同，薄膜沉积生长设备可分为：物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积（CVD）和外延等类别。PVD和CVD是主要的薄膜设备，ALD是产业技术发展趋势。在半导体领域，薄膜主要分给绝缘薄膜、金属薄膜。大部分绝
17、缘薄膜使用CVD，金属薄膜常用PVD（主要是溅射）。其他常用的镀膜方式包括ECD、SOD、MOCVD、Epitaxy等。在薄膜设备整体中，CVD的使用越来越广泛，基于CVD发展的ALD更是行业升级的技术方向。物理气相沉积（PVD）：利用蒸发或溅射，实现原子从源物质到沉底材料表面的物质转移，沉积形成薄膜。物理气相沉积是一种物理气相反应生长法，沉积过程是在真空或低压气体放电条件下，涂层物质源是固态物质，经过“蒸发或溅射”后，在零件表面生成与基材性能完全不同的新的固态物质涂层。PVD具有成膜速率高、镀膜厚度及均匀性可控好、薄膜致密性好、粘结力强及纯净度高等优点。PVD可以分为真空蒸镀（VacuumE
18、vaporator）和溅射（Sputtering）。PVD发展初期以真空蒸镀镀膜为主，特点是工艺简单、操作容易、纯度较高，缺点是难以蒸发某些金属和氧化物。由于溅射设备制备的薄膜更加均匀、致密，对衬底附着性强，纯度更高，溅射设备取代了蒸镀设备。2020年全球薄膜设备市场达到138亿美元，占IC制造设备21%；其中主要是CVD和PVD，合计占IC制造设备18%。其中，CVD市场规模高度89亿美元，主流是设备包括PECVD、TubeCVD、LPCVD和ALD等。整个薄膜市场市占率最高的是AMAT。高端领域如ALD受ASM、TEL和Lam等海外龙头主导。国内布局IC制造领域薄膜设备的主要国产厂商包括北
19、方华创和沈阳拓荆。CVD市场主要由海外龙头主导，国内北方华创、沈阳拓荆积极布局。根据Gartner数据，全球CVD市场前五大供应商包括AMAT（28%）、LamResearch（25%）、TEL（17%）、Kokusai（原日立高新，8%）、ASM（11%）。国内半导体设备龙头北方华创、沈阳拓荆在该领域也有布局。从PVD市场格局来看，AMAT一家独大，长期占据约80%的市占率。PVD市场主要供应商包括AMAT、ULVAC、Evatec、KLA、TEL、北方华创等。根据Gartner，2020年北方华创的半导体PVD设备全球市占率为3%，属于国内领先地位。随着国产替代加速，北方华创PVD业务有望
20、加速成长。第二章 绪论一、 项目名称及建设性质（一）项目名称丽水薄膜设备项目（二）项目建设性质本项目属于新建项目二、 项目承办单位（一）项目承办单位名称xxx有限公司（二）项目联系人雷xx（三）项目建设单位概况公司注重发挥员工民主管理、民主参与、民主监督的作用，建立了工会组织，并通过明确职工代表大会各项职权、组织制度、工作制度，进一步规范厂务公开的内容、程序、形式，企业民主管理水平进一步提升。围绕公司战略和高质量发展，以提高全员思想政治素质、业务素质和履职能力为核心，坚持战略导向、问题导向和需求导向，持续深化教育培训改革，精准实施培训，努力实现员工成长与公司发展的良性互动。公司不断推动企业品牌
21、建设，实施品牌战略，增强品牌意识，提升品牌管理能力，实现从产品服务经营向品牌经营转变。公司积极申报注册国家及本区域著名商标等，加强品牌策划与设计，丰富品牌内涵，不断提高自主品牌产品和服务市场份额。推进区域品牌建设，提高区域内企业影响力。公司按照“布局合理、产业协同、资源节约、生态环保”的原则，加强规划引导，推动智慧集群建设，带动形成一批产业集聚度高、创新能力强、信息化基础好、引导带动作用大的重点产业集群。加强产业集群对外合作交流，发挥产业集群在对外产能合作中的载体作用。通过建立企业跨区域交流合作机制，承担社会责任，营造和谐发展环境。公司秉承“诚实、信用、谨慎、有效”的信托理念，将“诚信为本、合
22、规经营”作为企业的核心理念，不断提升公司资产管理能力和风险控制能力。三、 项目定位及建设理由国内晶圆厂投资进入高峰期。根据集微网统计，20202022年国内晶圆厂总投资金额分别约1500/1400/1200亿元，其中内资晶圆厂投资金额约1000/1200/1100亿元。20202022年国内晶圆厂投资额将是历史上最高的三年，且未来还有新增项目的可能。当前和今后一个时期，我国发展仍然处于重要战略机遇期，但机遇和挑战都有新的发展变化。从国际看，当今世界正经历百年未有之大变局，新一轮科技革命和产业变革深入发展，经济全球化遭遇逆流，不稳定性不确定性明显增加。从国内看，我国已经进入新发展阶段，制度优势显
23、著，治理效能提升，发展韧性强、潜力大，新发展格局加快构建，长三角一体化发展、革命老区振兴发展等国家战略深入实施。从省内看，我省忠实践行“八八战略”、奋力打造“重要窗口”，争创社会主义现代化先行省，全力推动山区跨越式高质量发展和革命老区振兴。综合判断，我市发展处于大有可为而且必须大有作为的战略机遇期，是国家实施新时代支持革命老区振兴发展战略和全省实施加快山区跨越式发展战略的重点地区，高质量绿色发展态势向好，要着眼“两个大局”，深刻认识错综复杂的国际环境带来的新矛盾新挑战，深刻把握新发展阶段的新特征新要求，深刻理解危和机并存、危中有机、危可转机的新判断，牢固树立“没有实现加快发展也是一种风险，没有
24、追求实现加快跨越式发展的意识、决心和胆略更是极端危险”的理念，立足“生态是最大优势、发展是最重任务”的基本市情，保持生态优先、绿色发展的核心战略定力，奋发有为办好自己的事，努力在危机中育先机、于变局中开新局，以新气象新作为创造新业绩。四、 报告编制说明（一）报告编制依据1、承办单位关于编制本项目报告的委托；2、国家和地方有关政策、法规、规划；3、现行有关技术规范、标准和规定；4、相关产业发展规划、政策；5、项目承办单位提供的基础资料。（二）报告编制原则为实现产业高质量发展的目标，报告确定按如下原则编制：1、认真贯彻国家和地方产业发展的总体思路：资源综合利用、节约能源、提高社会效益和经济效益。2
25、、严格执行国家、地方及主管部门制定的环保、职业安全卫生、消防和节能设计规定、规范及标准。3、积极采用新工艺、新技术，在保证产品质量的同时，力求节能降耗。4、坚持可持续发展原则。（二） 报告主要内容1、项目提出的背景及建设必要性；2、市场需求预测；3、建设规模及产品方案；4、建设地点与建设条性；5、工程技术方案；6、公用工程及辅助设施方案；7、环境保护、安全防护及节能；8、企业组织机构及劳动定员；9、建设实施与工程进度安排；10、投资估算及资金筹措；11、经济评价。五、 项目建设选址本期项目选址位于xx（以最终选址方案为准），占地面积约95.00亩。项目拟定建设区域地理位置优越，交通便利，规划电
26、力、给排水、通讯等公用设施条件完备，非常适宜本期项目建设。六、 项目生产规模项目建成后，形成年产xxx套薄膜设备的生产能力。七、 建筑物建设规模本期项目建筑面积124384.53，其中：生产工程80771.10，仓储工程23277.16，行政办公及生活服务设施12443.71，公共工程7892.56。八、 环境影响本期工程项目设计中采用了清洁生产工艺，应用清洁原材料，生产清洁产品，同时采取完善和有效的清洁生产措施，能够切实起到消除和减少污染的作用；因此，本期工程项目建成投产后，各项环境指标均符合国家和地方清洁生产的标准要求。九、 项目总投资及资金构成（一）项目总投资构成分析本期项目总投资包括建
27、设投资、建设期利息和流动资金。根据谨慎财务估算，项目总投资53389.61万元，其中：建设投资40944.98万元，占项目总投资的76.69%；建设期利息1110.67万元，占项目总投资的2.08%；流动资金11333.96万元，占项目总投资的21.23%。（二）建设投资构成本期项目建设投资40944.98万元，包括工程费用、工程建设其他费用和预备费，其中：工程费用36187.19万元，工程建设其他费用3486.78万元，预备费1271.01万元。十、 资金筹措方案本期项目总投资53389.61万元，其中申请银行长期贷款22666.69万元，其余部分由企业自筹。十一、 项目预期经济效益规划目标
28、（一）经济效益目标值（正常经营年份）1、营业收入（SP）：113300.00万元。2、综合总成本费用（TC）：87546.26万元。3、净利润（NP）：18873.05万元。（二）经济效益评价目标1、全部投资回收期（Pt）：5.40年。2、财务内部收益率：27.40%。3、财务净现值：34555.98万元。十二、 项目建设进度规划本期项目按照国家基本建设程序的有关法规和实施指南要求进行建设，本期项目建设期限规划24个月。十四、项目综合评价通过分析，该项目经济效益和社会效益良好。从发展来看公司将面向市场调整产品结构，改变工艺条件以高附加值的产品代替目前产品的产业结构。主要经济指标一览表序号项目单
29、位指标备注1占地面积63333.00约95.00亩1.1总建筑面积124384.531.2基底面积39266.461.3投资强度万元/亩432.022总投资万元53389.612.1建设投资万元40944.982.1.1工程费用万元36187.192.1.2其他费用万元3486.782.1.3预备费万元1271.012.2建设期利息万元1110.672.3流动资金万元11333.963资金筹措万元53389.613.1自筹资金万元30722.923.2银行贷款万元22666.694营业收入万元113300.00正常运营年份5总成本费用万元87546.266利润总额万元25164.077净利润万
30、元18873.058所得税万元6291.029增值税万元4913.8810税金及附加万元589.6711纳税总额万元11794.5712工业增加值万元39300.2513盈亏平衡点万元36901.94产值14回收期年5.4015内部收益率27.40%所得税后16财务净现值万元34555.98所得税后第三章 项目背景分析一、 海外设备厂商在手订单饱满，供应链限制延续在手订单依旧强劲，供应链限制延续，设备大厂积极扩产。1）供给高度紧张：ASML22Q1营收yoy-19%，下滑主要系部分订单确认延迟；毛利率同比-5pt，承压主要系材料、供应链、运输等成本上升；库存周转率降低。泛林毛利率同比-1.7p
31、t，主要系成本压力（原材料、物流、通胀等）。2）订单依旧强劲：ASML新增在手订单约70亿欧元，环比持平。KLA：当前在手订单交期总体56个月，部分产品78月。爱德万客户订单提前量增加，由于系半导体等材料和零件短缺，交期延长。3）积极扩产：ASML预计2030年产能至少翻番，2025年年产能增加到约90套0.33孔径EUV和600套DUV。泰瑞达预计2023研发费用1900亿日元，yoy+20.1%；资本开支750亿日元，yoy+31.1%，规划金额皆较往年有大幅提升。2022下半年展望乐观，全年需求强劲将有订单递延至明年。泛林2022Q2毛利率指引中枢仍略降，持续成本和供应压力影响持续，二季
32、度订单积压不断增加。随产能落地、产品竞争力效益显现及部分订单延迟多数企业对H2展望乐观。ASML预计2022H2表现强劲，毛利率约54%，高于全年52%指引，主要由EUV和DPV出货及安装基础管理业务利润率提升驱动。Q4部分EUV系统收入将递延到2023年。泛林预计2022WFE需求将超1000亿美元，未满足的设备需求将递延至明年。泰瑞达积极建立库存及扩产，预计H2出货有更大增量及灵活性，预计Q2实现增长，仅高端产品出货受限。二、 国内需求爆发，国产替代空间快速打开国内晶圆厂投资进入高峰期。根据集微网统计，20202022年国内晶圆厂总投资金额分别约1500/1400/1200亿元，其中内资晶
33、圆厂投资金额约1000/1200/1100亿元。20202022年国内晶圆厂投资额将是历史上最高的三年，且未来还有新增项目的可能。设备国产化率较低，海外龙头垄断性较高。我国半导体设备市场仍非常依赖进口，从市场格局来看，细分市场均有较高集中度，主要参与厂商一般不超过5家，top3份额往往高于90%，部分设备甚至出现一家独大的情况，目前国内厂商目标市场主要是国内晶圆厂需求，尤其是内资投建的需求。制程越先进，设备投资额占比越高。设备投资一般占比7080%，当制程到16/14nm时，设备投资占比达85%；7nm及以下占比将更高。光刻、刻蚀、沉积、过程控制、热处理等均是重要投资环节。国内国产化逐渐起航，
34、从0到1的过程基本完成。北方华创产品布局广泛，刻蚀机、PVD、CVD、氧化/扩散炉、退火炉、清洗机、ALD等设备新产品市场导入节奏加快，产品工艺覆盖率及客户渗透率进一步提高，在集成电路领域主流生产线实现批量销售，产品加速迭代；第三代半导体、新型显示、光伏设备产品线进一步拓宽，出货量实现较快增长。拓荆科技作为国内唯一一家产业化应用PECVD和SACVD设备的供应商，PECVD累计发货150台，广泛用于中芯国际、华虹集团、长江存储、合肥长鑫、厦门联芯、燕东微电子等国内主流晶圆厂，PEALD已实现销售；中微公司介质刻蚀机已经打入5nm制程，新款用于高性能Mini-LED量产的MOCVD设备UniMa
35、x2022Q1订单已超180腔；芯源微前道涂胶显影设备在28nm及以上多项技术及高产能结构方面取得进展，并实现多种核心零部件的国产替代，公司前道物理清洗设备已经达到国际先进水平并成功实现国产替代，新签订单结构中前道产品占比大幅提升；华海清科CMP设备在逻辑芯片、3DNAND、DRAM制造等领域的工艺技术水平已分别突破至14nm、128层、1X/1Ynm，到2021年底，公司CMP设备累计出货超过140台，未发出产品的在手订单超70台。Mattson（屹唐半导体）在去胶设备市占率全球第二；盛美半导体单片清洗机在海力士、长存、SMIC等产线量产。精测电子、上海睿励在测量领域突破国外垄断。设备国产化
36、率较低，国产厂商成长空间巨大。我国半导体设备市场仍非常依赖进口，目前国内厂商目标市场主要是国内晶圆厂需求，尤其是内资投建的需求，潜在收入目标空间较大。三、 全球市场受海外厂商主导，前五大厂商市占率较高全球设备五强占市场主导角色。全球设备竞争格局，主要前道工艺（刻蚀、沉积、涂胶、热处理、清洗等）整合成三强AMAT、LAM、TEL。另外，光刻机龙头ASML市占率80%+；过程控制龙头KLA市占率50%。根据SEMI，ASML、AMAT、LAMResearch、TEL、KLA五大厂商2021年收入合计788亿美元，占全球市场约77%。综合看下来，设备五强市场在各赛道合计市占率基本在50%以上。AMS
37、L优势在光刻方面遥遥领先；AMAT优势在产品线广，沉积（CVD、PVD）市占率高；LAM优势在刻蚀领域；TEL优势在小赛道如涂胶、去胶、热处理；KLA优势在过程控制。四、 双招双引，以创新激活跨越式发展新动能坚持创新在现代化建设全局中的核心战略地位，坚定人才强市、科技兴市战略和创新驱动发展战略，以“双招双引”为战略举措，实施科技创新力提升八大工程，构建一心支撑、点面联动的浙西南区域创新体系，引育创新主体，完善创新生态，让创新成为高质量绿色发展的鲜明特征和强大引擎。加快构建浙西南区域科创体系全力打造浙西南科创中心。主动接轨我省“互联网+”、生命健康和新材料三大科创高地建设，坚持创新空间与产业空间
38、、人居空间协调发展，整合市域科创资源力量，在中心城市高标定位打造以服务全域孵化为基本特征的浙西南科创中心。（二）引育壮大多元协同的创新主体全面实施招商引资“一号工程”。以非常之功非一般力度推进招商工作，攻坚突破专业化招商，主动出击产业链招商，以结果论英雄，推进丽水主导产业从“跟跑”到“并跑”“领跑”的蝶变。发挥长三角招商中心的桥头堡作用，在北上广深等重点区域开展驻点招商，加强与央企、大型国企、500强企业和行业领军企业等合作，盯引能够影响和改变区域生产力、竞争力布局的“头部”企业、骨干项目，以及区域总部、研发中心、采购单元等功能性机构，实现市场主体优化提质。（三）打造全国“两山”发展人才高地实
39、施“升高”行动，全力引进高层次人才。深入实施“绿谷精英创新引领”行动计划，积极落地“鲲鹏行动”，加快引进更多高层次人才和高水平创新创业团队，集聚“绿谷精英”等重点高层次人才1000人以上。利用侨乡优势，建立丽水全球华侨人才地图，加大华侨人才引进力度。（四）打造活力高效的创业创新生态以更大力度推进科技体制改革。完善科技创新治理体系，推动项目、基地、人才、资金一体化高效配置。健全科技投入机制，建立和完善财政科技投入与企业投入、社会资金相结合的多元化科技投融资体系。五、 项目实施的必要性（一）现有产能已无法满足公司业务发展需求作为行业的领先企业，公司已建立良好的品牌形象和较高的市场知名度，产品销售形
40、势良好，产销率超过 100%。预计未来几年公司的销售规模仍将保持快速增长。随着业务发展，公司现有厂房、设备资源已不能满足不断增长的市场需求。公司通过优化生产流程、强化管理等手段，不断挖掘产能潜力，但仍难以从根本上缓解产能不足问题。通过本次项目的建设，公司将有效克服产能不足对公司发展的制约，为公司把握市场机遇奠定基础。（二）公司产品结构升级的需要随着制造业智能化、自动化产业升级，公司产品的性能也需要不断优化升级。公司只有以技术创新和市场开发为驱动，不断研发新产品，提升产品精密化程度，将产品质量水平提升到同类产品的领先水准，提高生产的灵活性和适应性，契合关键零部件国产化的需求，才能在与国外企业的竞
41、争中获得优势，保持公司在领域的国内领先地位。第四章 建设规模与产品方案一、 建设规模及主要建设内容（一）项目场地规模该项目总占地面积63333.00（折合约95.00亩），预计场区规划总建筑面积124384.53。（二）产能规模根据国内外市场需求和xxx有限公司建设能力分析，建设规模确定达产年产xxx套薄膜设备，预计年营业收入113300.00万元。二、 产品规划方案及生产纲领本期项目产品主要从国家及地方产业发展政策、市场需求状况、资源供应情况、企业资金筹措能力、生产工艺技术水平的先进程度、项目经济效益及投资风险性等方面综合考虑确定。具体品种将根据市场需求状况进行必要的调整，各年生产纲领是根据
42、人员及装备生产能力水平，并参考市场需求预测情况确定，同时，把产量和销量视为一致，本报告将按照初步产品方案进行测算。产品规划方案一览表序号产品（服务）名称单位单价（元）年设计产量产值1薄膜设备套xx2薄膜设备套xx3薄膜设备套xx4.套5.套6.套合计xxx113300.002021年全球半导体设备市场规模创1026亿美元新高，大陆首次占比全球第一。根据SEMI，2021年半导体设备销售额1026亿美元，同比激增44%，全年销售额创历史新高。大陆设备市场在2013年之前占全球比重为10%以内，20142017年提升至1020%，2018年之后保持在20%以上，份额呈逐年上行趋势。2020-202
43、1年，国内晶圆厂投建、半导体行业加大投入，大陆半导体设备市场规模首次在市场全球排首位，2021达到296.2亿美元，同比增长58%，占比28.9%。展望2022年，存储需求复苏，韩国预计将领跑全球，但大陆设备市场规模有望保持较高比重。第五章 项目选址一、 项目选址原则节约土地资源，充分利用空闲地、非耕地或荒地，尽可能不占良田或少占耕地；应充分利用天然地形，选择土地综合利用率高、征地费用少的场址。二、 建设区基本情况丽水地处浙江省西南部，古名处州。据明代名胜志记载，“隋开皇九年，处士星见于分野，因置处州”。市域面积1.73万平方公里，是全省陆域面积最大的地级市（占全国的1/600，全省的1/6）
44、，辖9个县（市、区）（莲都区、龙泉市和青田、云和、庆元、缙云、遂昌、松阳、景宁县），总人口270万。丽水是美不胜收的生态绿谷。丽水是“浙江绿谷”，是华东地区重要生态屏障，有着无与伦比的生态优势，素有“中国生态第一市”的美誉。山是江浙之巅，水是六江之源。瓯江、钱塘江、闽江、飞云江、灵江和福安江的源头都在丽水。全市森林覆盖率高达81.7%。水和空气质量常年居全省前列，是全国空气质量十佳城市中唯一的非沿海、低海拔城市。生态环境状况指数连续17年全省第一，是首批国家生态文明先行示范区、国家森林城市、中国气候养生之乡、中国天然氧吧城市。全市生产总值跃上1500亿元新台阶，年均增长6.7%，高于全省0.2
45、个百分点，人均生产总值达到1万美元；生态经济蓬勃发展，装备制造业、高新技术产业、战略性新兴产业提质扩量，“丽水山耕”“丽水山居”“丽水山景”等现代乡村产业风生水起，国家5A级景区实现“零”的突破，以“生态经济化、经济生态化”为显著特征的现代化生态经济体系初现成型；大花园核心区建设全面推进，国家公园创建取得突破性进展，生态环境状况指数保持全省第一；城乡发展协同推进，基础设施不断完善，丽水机场动工建设，衢宁铁路建成通车，成功创建全国文明城市，成为中国美丽乡村建设示范地区；改革开放持续深化，国家生态文明先行示范区、生态产品价值实现机制国家试点、绿色发展综合改革创新区和国家级扶贫改革试验区建设取得显著
46、成效；全方位融入长三角一体化发展的开放格局基本形成；民生福祉持续改善，实现“两不愁三保障”突出问题、年总收入10万元且经营性收入5万元以下集体经济薄弱村、年人均收入8000元以下家庭、低收入农户零就业家庭存量“四个清零”，农村居民人均可支配收入增幅、低收入农户人均可支配收入增幅均持续位居全省第一。三、 扩能升级，建立现代化生态经济体系坚持生产力最高标准，坚定生态经济化、经济生态化发展方向，聚焦产业扩能升级，持续推动经济发展质量变革、效率变革、动力变革，提高经济发展质量效益和核心竞争力，加快建设现代化生态经济体系。（一）全力主攻生态工业打造具有核心竞争力的现代产业链和产业集群。积极融入全省建设全球先进制造业基地战略布局，举全市之力实施生态工业高质量发展倍增行动，稳步提高制造业比重，创成生态工业高质量发展示范区，打造制造业绿色发展标杆地。实施现代产业集群培育升级工程，创新高端产业植入路径，发展壮大五大