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1、 设备中心清洗组 12月20日Rena清洗机清洗机一、设备概况 RENA清洗设备设备概况设备概况InTex去除硅片表面的污染物；在硅片表面腐蚀出绒面；络合硅片表面沾污的金属离子。目目 的的 ：InOxSide目目 的的 ：去除硅片表面的磷硅玻璃；去掉硅片背面及周边p-n结。工作流程工作流程 制绒槽 上料台 下料台 干 燥漂洗 3#酸 洗漂洗 2#碱 洗 吹 干漂洗 1#InOxSide 刻蚀槽 上料台 下料台 干 燥漂洗 3#酸 洗漂洗 2#漂洗 1#碱 洗Intex开机前开机前检查1、压缩空气:RENA 清洗 机的 Air Knifes 工作压力规定46bar 的气压。开机前开机前检查2、纯
2、水（DI水）纯水压力应在3Bar-4Bar，温度在 20 摄氏度开机前开机前检查3、冷却水：进水温度应在 20 摄氏度以下，进水回水压力差应在 3Bar 以上进水温度回水温度开机前开机前检查4、化学品供应：在界面下，点击10 查看各 Media Supply 均正常供应（箭头均为绿色）开机的操作开机的操作过程程1、合上电源，开启设备的显示器电源开关电源按钮 开机的操作开机的操作过程程点击 Login 进入登陆界面，输入用户名及密码，点击 ok 进入,点击开机的操作开机的操作过程程Conveyor按钮1.点击 Manual 按钮,随后点 F4（三次），进入rives 菜单，点击 All Conv
3、eyor,点击 star开始滚轮转动。2.点 F10 退回主界面 开机的操作开机的操作过程程确认界面各模块单元上方显示黄色“Manual”状态，且滚轮显示蓝色即滚动状态.开机的操作开机的操作过程程确认监测屏幕上显示各模块溶液均满槽（即 Full DI、Full Chem)和设备门窗均关闭。所有槽位工作状态显示 ready.readyFull ChemFull DI 开机的操作开机的操作过程程n在设备背面处，确认 KOH 槽和酸槽液面均达到第二液位传感器(Pump Dry Protection)，若液位不 够，通知当班工艺工程师。开机的操作开机的操作过程程信息栏确认各模块有无报警信息，若有任何异
4、常，通知当班工艺和设备工程师。开机的操作开机的操作过程程Conveyor按钮1.点击 Manual 按钮,随后点 F4（三次），进入rives 菜单，点击 All Conveyor,点击 Stop 停止滚轮转动。2.点 F10 退回主界面。开机的操作开机的操作过程程点击 Mode Auto 按钮，设备进入自动模式，在界面上所有操作单元下方从黄色“Manual”转变成绿 色“Auto”Mode Auto绿色Auto开机的操作开机的操作过程程设备将自动开始从 Tank 中向 Etch bath 添加腐蚀液添加到Etch bath 开机的操作开机的操作过程程n界面上 Etch bath 单元下方显示
5、为黄色“Filling chemie”和黄色not ready,等待 Etch bath 添加完成，等待碱槽和酸槽温度显示稳定，下方显示为绿色添加完成显示为绿色开机的操作开机的操作过程程n“Full chemie”和绿色“Ready”。随后点击start按钮各模块自动运行变为绿色start按钮开机的操作开机的操作过程程n界面显示各模块均为绿色“Ready”和绿色in process即设备进入正常生产状态。in process关机的操作关机的操作过程程n点击界面下方的“Stop”按钮stop按钮 关机的操作关机的操作过程程n确认各模块均停止工作，点击“Mode manual按钮进入手动模式，Ma
6、nual按钮关机的操作关机的操作过程程n进入“Manual”选单中“Etch bath”，点击Drain Bath,即把 Etch bath 中的反应液排到 Tank内。点击 F10 退回主菜单，确认 Etch Bath 模块显示黄色not ready和黄色drainingDrain Bath关机的操作关机的操作过程程n等待 Etch bath 排液完成，在 Etch bath 模块上只显示为黄色“not ready”。表明液体排完显示为黄色“not ready”关机的操作关机的操作过程程n用水枪冲洗 KOH 的喷淋管和槽体，并清洁设备表面。关机的操作关机的操作过程程n 检查各门的位置，正确地调整好它们。正确为 绿色关机的操作关机的操作过程程n点击右上角的“Log off”，跳出一个对话框。点击对话框中“Log off”，门将被密封。按钮关机的操作关机的操作过程程n 关闭设备显示器，正常的电脑关机不可直接按电源按钮谢谢!